JPH07225978A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH07225978A JPH07225978A JP1465994A JP1465994A JPH07225978A JP H07225978 A JPH07225978 A JP H07225978A JP 1465994 A JP1465994 A JP 1465994A JP 1465994 A JP1465994 A JP 1465994A JP H07225978 A JPH07225978 A JP H07225978A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 短波長光で大きな磁気光学効果を得ることが
できる光磁気記録媒体を提供する。 【構成】 透明基板１上に少なくとも第一保護層２、第
一記録層３、第二記録層４、第三記録層５、第二保護層
６の順に積層し、前記透明基板側から光を照射して、記
録の読み書きを行う光磁気記録媒体において、前記第一
記録層３を希土類遷移金属合金膜、前記第二記録層４を
多層膜、前記第三記録層５を希土類遷移金属合金膜とす
ることを特徴とする光磁気記録媒体。
できる光磁気記録媒体を提供する。 【構成】 透明基板１上に少なくとも第一保護層２、第
一記録層３、第二記録層４、第三記録層５、第二保護層
６の順に積層し、前記透明基板側から光を照射して、記
録の読み書きを行う光磁気記録媒体において、前記第一
記録層３を希土類遷移金属合金膜、前記第二記録層４を
多層膜、前記第三記録層５を希土類遷移金属合金膜とす
ることを特徴とする光磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気光学効果（カー効
果）を利用して、情報信号の書き込み、読み出しを行う
光磁気記録媒体に関する。特に、波長が６００ｎｍ以下
の短波長レーザによる高密度記録に適した光磁気記録媒
体に関する。
果）を利用して、情報信号の書き込み、読み出しを行う
光磁気記録媒体に関する。特に、波長が６００ｎｍ以下
の短波長レーザによる高密度記録に適した光磁気記録媒
体に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、光磁気記録方式を用いた記録媒体
が実用化されている。これは、垂直磁気異方性を有した
希土類遷移金属合金の薄膜がもつ磁気光学効果を利用し
た記録方式であり、書換え可能でかつ大容量な記録媒体
を実現している。また、光磁気記録媒体は可搬性があ
り、情報の機密保持や大容量情報の簡便な移動に適して
いる。しかし、画像データなどを扱うマルチメディアの
発展にみるように、更なる記憶容量の増大が望まれてい
る。これを実現するために、多値記録、ピットエッジ記
録等いくつかの方法がある。その方法の一つとして、微
小磁区を記録し、短波長光を用いて再生することが有効
である。従来の光磁気記録媒体は、記録層としてＴｂＦ
ｅＣｏ，ＮｄＤｙＦｅＣｏなどの希土類遷移金属合金を
用いている。この媒体は、短波長領域においてカー回転
角が減少してしまい、それに伴い再生信号も減少するた
め、短波長光で再生したとき十分なＣＮ比がとれなかっ
た。短波長化における一つの課題は６００ｎｍ以下の短
波長領域でカー回転角の大きな光磁気記録媒体を実現す
ることである。特に、軽希土類金属と遷移金属とのアモ
ルファス合金は、４ｆ電子の光磁気効果への寄与のた
め、短波長領域でカー回転角が大きいことが知られてお
り、短波長用媒体の有力な候補となっている。最近では
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃ
ｓ Ｖｏｌ．６９ｐ４７６１でＩＢＭ ＪａｐａｎのＩ
ｉｙｏｒｉらによって、短波長領域でカー回転角は大き
いが、飽和磁化が大きいため垂直磁化膜にはならないＮ
ｄＣｏを、垂直磁化膜であるＴｂＦｅＣｏでサンドイッ
チして垂直磁化膜を実現させる方法が提案されている。
が実用化されている。これは、垂直磁気異方性を有した
希土類遷移金属合金の薄膜がもつ磁気光学効果を利用し
た記録方式であり、書換え可能でかつ大容量な記録媒体
を実現している。また、光磁気記録媒体は可搬性があ
り、情報の機密保持や大容量情報の簡便な移動に適して
いる。しかし、画像データなどを扱うマルチメディアの
発展にみるように、更なる記憶容量の増大が望まれてい
る。これを実現するために、多値記録、ピットエッジ記
録等いくつかの方法がある。その方法の一つとして、微
小磁区を記録し、短波長光を用いて再生することが有効
である。従来の光磁気記録媒体は、記録層としてＴｂＦ
ｅＣｏ，ＮｄＤｙＦｅＣｏなどの希土類遷移金属合金を
用いている。この媒体は、短波長領域においてカー回転
角が減少してしまい、それに伴い再生信号も減少するた
め、短波長光で再生したとき十分なＣＮ比がとれなかっ
た。短波長化における一つの課題は６００ｎｍ以下の短
波長領域でカー回転角の大きな光磁気記録媒体を実現す
ることである。特に、軽希土類金属と遷移金属とのアモ
ルファス合金は、４ｆ電子の光磁気効果への寄与のた
め、短波長領域でカー回転角が大きいことが知られてお
り、短波長用媒体の有力な候補となっている。最近では
Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃ
ｓ Ｖｏｌ．６９ｐ４７６１でＩＢＭ ＪａｐａｎのＩ
ｉｙｏｒｉらによって、短波長領域でカー回転角は大き
いが、飽和磁化が大きいため垂直磁化膜にはならないＮ
ｄＣｏを、垂直磁化膜であるＴｂＦｅＣｏでサンドイッ
チして垂直磁化膜を実現させる方法が提案されている。
【０００３】一方、Ｐｔ／Ｃｏ系多層膜は短波長光に対
して大きなカー回転角を示す光磁気材料として注目され
ており、多くの研究機関で研究が進められている。特開
平４−２４７３４６では、短波長光で再生できるオーバ
ーライト可能な高密度光磁気記録媒体として、読み出し
層にＰｔ／Ｃｏ多層膜を形成し、その上に、希土類遷移
金属合金を積層した構造が提案されている。
して大きなカー回転角を示す光磁気材料として注目され
ており、多くの研究機関で研究が進められている。特開
平４−２４７３４６では、短波長光で再生できるオーバ
ーライト可能な高密度光磁気記録媒体として、読み出し
層にＰｔ／Ｃｏ多層膜を形成し、その上に、希土類遷移
金属合金を積層した構造が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たＮｄＣｏをＴｂＦｅＣｏでサンドイッチする方法で
は、１００Å程度のＴｂＦｅＣｏ層を介してＮｄＣｏ層
の信号を読み出すため、短波長領域で十分なカー回転角
が得られないという問題点を有していた。また、ＮｄＣ
ｏは単層で面内磁化膜であり、記録特性を劣化させるこ
とがあり、カー回転角が大きくても再生に十分なＣＮ比
が得られないという問題点を有していた。また、読み出
し層にＰｔ／Ｃｏ多層膜を形成し、その上に、希土類遷
移金属合金を積層した構造では、十分な保磁力を得るこ
とができず、Ｐｔ／Ｃｏ多層膜に特有な結晶粒界による
ノイズを抑えることができないという問題点を有してい
た。
たＮｄＣｏをＴｂＦｅＣｏでサンドイッチする方法で
は、１００Å程度のＴｂＦｅＣｏ層を介してＮｄＣｏ層
の信号を読み出すため、短波長領域で十分なカー回転角
が得られないという問題点を有していた。また、ＮｄＣ
ｏは単層で面内磁化膜であり、記録特性を劣化させるこ
とがあり、カー回転角が大きくても再生に十分なＣＮ比
が得られないという問題点を有していた。また、読み出
し層にＰｔ／Ｃｏ多層膜を形成し、その上に、希土類遷
移金属合金を積層した構造では、十分な保磁力を得るこ
とができず、Ｐｔ／Ｃｏ多層膜に特有な結晶粒界による
ノイズを抑えることができないという問題点を有してい
た。
【０００５】そこで本発明の目的とするところは、上述
の問題点を解決し、波長が６００ｎｍ以下の短波長レー
ザによる高密度記録に適した光磁気記録媒体を提供する
ことにある。
の問題点を解決し、波長が６００ｎｍ以下の短波長レー
ザによる高密度記録に適した光磁気記録媒体を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、透明基板上に少なくとも第一保護層、第一記録層、
第二記録層、第三記録層、第二保護層の順に積層し、前
記透明基板側から光を照射して、記録の読み書きを行う
光磁気記録媒体において、前記第一記録層を希土類遷移
金属合金膜、前記第二記録層を多層膜、前記第三記録層
を希土類遷移金属合金膜とすることを特徴とする。
は、透明基板上に少なくとも第一保護層、第一記録層、
第二記録層、第三記録層、第二保護層の順に積層し、前
記透明基板側から光を照射して、記録の読み書きを行う
光磁気記録媒体において、前記第一記録層を希土類遷移
金属合金膜、前記第二記録層を多層膜、前記第三記録層
を希土類遷移金属合金膜とすることを特徴とする。
【０００７】また、本発明の光磁気記録媒体は、前記第
二記録層をＰｔ，Ｐｄの内より選ばれる少なくとも一種
類の元素または合金と、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｇｄ，Ｄ
ｙ，Ｔｂ，Ｎｄ，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｃｒの内より選ば
れる少なくとも一種類の元素または合金とを交互に積層
した多層膜からなることを特徴とする。
二記録層をＰｔ，Ｐｄの内より選ばれる少なくとも一種
類の元素または合金と、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｇｄ，Ｄ
ｙ，Ｔｂ，Ｎｄ，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｃｒの内より選ば
れる少なくとも一種類の元素または合金とを交互に積層
した多層膜からなることを特徴とする。
【０００８】
（実施例１）図１は、本発明の光磁気記録媒体の一実施
例を示す断面図である。１は透明基板、２は第一保護
層、３は第一記録層、４は第二記録層、５は第三記録
層、６は第二保護層、７は反射層、８は保護コートであ
る。それぞれの材料の一例を示せば、透明基板１はポリ
カーボネイト基板であり、第一保護層２、第二保護層６
はＡｌＳｉＮ層であり、第一記録層３、第三記録層５は
ＮｄＤｙＴｂＦｅＣｏ層であり、第二記録層４はＰｔ／
Ｃｏ多層膜であり、反射層７はＡｌ層であり、保護コー
ト８は紫外線硬化樹脂である。また、これ以外の材料の
バリエーションも多く知られている。例えば、透明基板
１に関しては、ガラス，２Ｐ，アモルファスポリオレフ
ィン等が用いられ、第一保護層２、第二保護層６に関し
ては、ＳｉＮ，ＡｌＯ，ＳｉＯ，ＺｒＯ，ＡｌＮ等が用
いられ、第一記録層３、第三記録層５に関しては、Ｔｂ
Ｆｅ，ＤｙＦｅ，ＧｄＴｂＦｅ，ＧｄＤｙＴｂＦｅ，Ｔ
ｂＦｅＣｏ，ＮｄＤｙＦｅＣｏ，ＰｒＤｙＦｅＣｏ等種
々の希土類−遷移金属合金が用いられる。第二記録層４
に関しては、Ｐｔの代わりにＰｄが用いられ、Ｃｏの代
わりにＦｅ，ＮｉあるいはＴｂＣｏ，ＮｄＣｏ，ＤｙＣ
ｏ，ＦｅＣｏ，ＦｅＮｉ，ＮｉＣｏ等の合金が用いられ
る。反射層７に関してはＡｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｃｕ等を主体とし、これに耐食性向上及び熱
伝導率の制御のために、Ｎｂ，Ｔｉ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｗ，
Ｍｏ等の不働体形成元素を添加した材料を用いることが
できる。ここで熱伝導率の制御は、光磁気記録膜の温度
が、記録や消去時に上昇し、構造緩和などによる磁気特
性の変化を抑制するために行う。すなわち、熱を周囲に
拡散することにより、光ビームの中心部分の温度の上昇
を抑制し、かつ幅の広い消去磁区幅が得られるなど、デ
ィスクの性能向上に加えて信頼性向上にもつながる。
例を示す断面図である。１は透明基板、２は第一保護
層、３は第一記録層、４は第二記録層、５は第三記録
層、６は第二保護層、７は反射層、８は保護コートであ
る。それぞれの材料の一例を示せば、透明基板１はポリ
カーボネイト基板であり、第一保護層２、第二保護層６
はＡｌＳｉＮ層であり、第一記録層３、第三記録層５は
ＮｄＤｙＴｂＦｅＣｏ層であり、第二記録層４はＰｔ／
Ｃｏ多層膜であり、反射層７はＡｌ層であり、保護コー
ト８は紫外線硬化樹脂である。また、これ以外の材料の
バリエーションも多く知られている。例えば、透明基板
１に関しては、ガラス，２Ｐ，アモルファスポリオレフ
ィン等が用いられ、第一保護層２、第二保護層６に関し
ては、ＳｉＮ，ＡｌＯ，ＳｉＯ，ＺｒＯ，ＡｌＮ等が用
いられ、第一記録層３、第三記録層５に関しては、Ｔｂ
Ｆｅ，ＤｙＦｅ，ＧｄＴｂＦｅ，ＧｄＤｙＴｂＦｅ，Ｔ
ｂＦｅＣｏ，ＮｄＤｙＦｅＣｏ，ＰｒＤｙＦｅＣｏ等種
々の希土類−遷移金属合金が用いられる。第二記録層４
に関しては、Ｐｔの代わりにＰｄが用いられ、Ｃｏの代
わりにＦｅ，ＮｉあるいはＴｂＣｏ，ＮｄＣｏ，ＤｙＣ
ｏ，ＦｅＣｏ，ＦｅＮｉ，ＮｉＣｏ等の合金が用いられ
る。反射層７に関してはＡｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒ
ｈ，Ｐｄ，Ｃｕ等を主体とし、これに耐食性向上及び熱
伝導率の制御のために、Ｎｂ，Ｔｉ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｗ，
Ｍｏ等の不働体形成元素を添加した材料を用いることが
できる。ここで熱伝導率の制御は、光磁気記録膜の温度
が、記録や消去時に上昇し、構造緩和などによる磁気特
性の変化を抑制するために行う。すなわち、熱を周囲に
拡散することにより、光ビームの中心部分の温度の上昇
を抑制し、かつ幅の広い消去磁区幅が得られるなど、デ
ィスクの性能向上に加えて信頼性向上にもつながる。
【０００９】製造方法の詳細は、工程の一例を追いなが
ら説明していく。
ら説明していく。
【００１０】まず、ポリカーボネイト基板をクリーニン
グするために、スパッタガスがＡｒ、ガス圧１ｍＴｏｒ
ｒ、投入パワー５０Ｗで２０秒間ＲＦプラズマエッチン
グを行った（図２（ａ））。
グするために、スパッタガスがＡｒ、ガス圧１ｍＴｏｒ
ｒ、投入パワー５０Ｗで２０秒間ＲＦプラズマエッチン
グを行った（図２（ａ））。
【００１１】次に、ＲＦマグネトロンスパッタリングに
より、スパッタガスが（Ａｒ６０％＋Ｎ2４０％）、ガ
ス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー１ｋＷでＡｌＳｉＮ
層を５００Å形成した後、ＤＣマグネトロンスパッタリ
ングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧１．５ｍＴｏ
ｒｒ、投入パワー３００ＷでＮｄ５．４ａｔ％Ｄｙ１
５．７ａｔ％Ｔｂ５．１ａｔ％Ｆｅ５８．５ａｔ％Ｃｏ
１５．３ａｔ％の組成を有する第一記録層３を８０Å形
成した（図２（ｂ））。
より、スパッタガスが（Ａｒ６０％＋Ｎ2４０％）、ガ
ス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー１ｋＷでＡｌＳｉＮ
層を５００Å形成した後、ＤＣマグネトロンスパッタリ
ングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧１．５ｍＴｏ
ｒｒ、投入パワー３００ＷでＮｄ５．４ａｔ％Ｄｙ１
５．７ａｔ％Ｔｂ５．１ａｔ％Ｆｅ５８．５ａｔ％Ｃｏ
１５．３ａｔ％の組成を有する第一記録層３を８０Å形
成した（図２（ｂ））。
【００１２】次に、第二記録層４としてスパッタガスが
Ａｒ、ガス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー３００Ｗで
二元同時スパッタリングによりＰｔ９Å／Ｃｏ４Å多層
膜をＰｔ層が最上層と最下層になるように４８Å形成し
た（図２（ｃ））。
Ａｒ、ガス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー３００Ｗで
二元同時スパッタリングによりＰｔ９Å／Ｃｏ４Å多層
膜をＰｔ層が最上層と最下層になるように４８Å形成し
た（図２（ｃ））。
【００１３】次に、第三記録層５としてＤＣマグネトロ
ンスパッタリングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧
１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー３００ＷでＮｄ５．４ａ
ｔ％Ｄｙ１５．７ａｔ％Ｔｂ５．１ａｔ％Ｆｅ５８．５
ａｔ％Ｃｏ１５．３ａｔ％を８０Å形成した後、第二保
護層６としてＡｌＳｉＮ層をＲＦマグネトロンスパッタ
リングにより、スパッタガスが（Ａｒ６０％＋Ｎ2４０
％）、ガス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー１ｋＷで２
００Å形成した。さらに、ＤＣマグネトロンスパッタリ
ングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧２ｍＴｏｒ
ｒ、投入パワー３００Ｗで反射層７としてＡｌ層を６０
０Å形成した後、スピンコートにより紫外線硬化樹脂を
１０μｍ塗布し、保護コートを形成した（図２
（ｄ））。
ンスパッタリングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧
１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー３００ＷでＮｄ５．４ａ
ｔ％Ｄｙ１５．７ａｔ％Ｔｂ５．１ａｔ％Ｆｅ５８．５
ａｔ％Ｃｏ１５．３ａｔ％を８０Å形成した後、第二保
護層６としてＡｌＳｉＮ層をＲＦマグネトロンスパッタ
リングにより、スパッタガスが（Ａｒ６０％＋Ｎ2４０
％）、ガス圧１．５ｍＴｏｒｒ、投入パワー１ｋＷで２
００Å形成した。さらに、ＤＣマグネトロンスパッタリ
ングにより、スパッタガスがＡｒ、ガス圧２ｍＴｏｒ
ｒ、投入パワー３００Ｗで反射層７としてＡｌ層を６０
０Å形成した後、スピンコートにより紫外線硬化樹脂を
１０μｍ塗布し、保護コートを形成した（図２
（ｄ））。
【００１４】このようにして作製した光磁気記録媒体の
カー回転角の波長依存性を図３に示す。尚、誘電体層の
膜厚は５３２ｎｍでＣ／Ｎが最大となるように最適化し
た。また、比較例１として記録層をＴｂＦｅＣｏ膜とし
た構成の光磁気記録媒体、比較例２として記録層をＰｔ
／Ｃｏ多層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層膜とした構成の
光磁気記録媒体を作製した。作製方法は、記録層以外は
本発明の光磁気記録媒体の作製方法と同じである。本発
明の光磁気記録媒体は、短波長領域でカー回転角の大き
いＰｔ／Ｃｏ多層膜の寄与により、従来使用していた希
土類遷移金属合金、例えばＴｂＦｅＣｏ膜（比較例１）
と比べて、大きなカー回転角が得られた。Ｐｔ／Ｃｏ多
層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層構造を記録層とする光磁
気記録媒体（比較例２）と比べてもほぼ同じカー回転角
が得られた。本発明の光磁気記録媒体は、Ｐｔ／Ｃｏ多
層膜を大きい保磁力の得られる希土類遷移金属層でサン
ドイッチするため、従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜において保
磁力が小さいという問題を解決することができた。ま
た、従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜では限られた膜厚の範囲で
しか垂直磁化膜にならなかったが、本発明の光磁気記録
媒体は、垂直磁気異方性の大きい希土類遷移金属層でサ
ンドイッチするため、垂直磁化膜になる膜厚の範囲が大
きくなるとともに、記録した磁区の安定性が向上し、高
密度記録が可能となる。この光磁気記録媒体の磁気特性
は、希土類遷移金属合金膜の組成を変えることにより、
任意に制御可能である。
カー回転角の波長依存性を図３に示す。尚、誘電体層の
膜厚は５３２ｎｍでＣ／Ｎが最大となるように最適化し
た。また、比較例１として記録層をＴｂＦｅＣｏ膜とし
た構成の光磁気記録媒体、比較例２として記録層をＰｔ
／Ｃｏ多層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層膜とした構成の
光磁気記録媒体を作製した。作製方法は、記録層以外は
本発明の光磁気記録媒体の作製方法と同じである。本発
明の光磁気記録媒体は、短波長領域でカー回転角の大き
いＰｔ／Ｃｏ多層膜の寄与により、従来使用していた希
土類遷移金属合金、例えばＴｂＦｅＣｏ膜（比較例１）
と比べて、大きなカー回転角が得られた。Ｐｔ／Ｃｏ多
層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層構造を記録層とする光磁
気記録媒体（比較例２）と比べてもほぼ同じカー回転角
が得られた。本発明の光磁気記録媒体は、Ｐｔ／Ｃｏ多
層膜を大きい保磁力の得られる希土類遷移金属層でサン
ドイッチするため、従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜において保
磁力が小さいという問題を解決することができた。ま
た、従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜では限られた膜厚の範囲で
しか垂直磁化膜にならなかったが、本発明の光磁気記録
媒体は、垂直磁気異方性の大きい希土類遷移金属層でサ
ンドイッチするため、垂直磁化膜になる膜厚の範囲が大
きくなるとともに、記録した磁区の安定性が向上し、高
密度記録が可能となる。この光磁気記録媒体の磁気特性
は、希土類遷移金属合金膜の組成を変えることにより、
任意に制御可能である。
【００１５】この光磁気記録媒体に、波長５３２ｎｍの
レーザ光を用い、回転数１８００ｒｐｍ、記録レーザパ
ワー４．５ｍＷ、記録周波数６．６ＭＨｚ、再生レーザ
パワー１．０ｍＷの条件で、半径３５ｍｍの位置に光変
調により記録した。得られた再生出力はＣ／Ｎで４９ｄ
Ｂであった。ＴｂＦｅＣｏ膜を記録層とする光磁気記録
媒体（比較例１）と比べるとＣが大きくなり、Ｐｔ／Ｃ
ｏ多層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層構造を記録層とする
光磁気記録媒体（比較例２）と比べるとＮが小さくなっ
ており、いずれの媒体と比較してもＣ／Ｎが向上した。
偏光顕微鏡により形成された記録磁区の形状を観察した
ところ、磁区長０．５μｍの良好形状の記録磁区が形成
されていた。また、磁界変調記録を用いた場合、尾の部
分が短い矢羽根型磁区が形成されていた。このことはピ
ットエッジ記録にとって好適であり、高密度光記録に有
利である。
レーザ光を用い、回転数１８００ｒｐｍ、記録レーザパ
ワー４．５ｍＷ、記録周波数６．６ＭＨｚ、再生レーザ
パワー１．０ｍＷの条件で、半径３５ｍｍの位置に光変
調により記録した。得られた再生出力はＣ／Ｎで４９ｄ
Ｂであった。ＴｂＦｅＣｏ膜を記録層とする光磁気記録
媒体（比較例１）と比べるとＣが大きくなり、Ｐｔ／Ｃ
ｏ多層膜とＴｂＦｅＣｏ膜との積層構造を記録層とする
光磁気記録媒体（比較例２）と比べるとＮが小さくなっ
ており、いずれの媒体と比較してもＣ／Ｎが向上した。
偏光顕微鏡により形成された記録磁区の形状を観察した
ところ、磁区長０．５μｍの良好形状の記録磁区が形成
されていた。また、磁界変調記録を用いた場合、尾の部
分が短い矢羽根型磁区が形成されていた。このことはピ
ットエッジ記録にとって好適であり、高密度光記録に有
利である。
【００１６】また、繰り返し記録再生を行ったところ、
１０7回繰り返した後にも変化は見られなかった。
１０7回繰り返した後にも変化は見られなかった。
【００１７】この効果は、第二記録層としてＰｔ／Ｃｏ
多層膜を用いた場合に限るものではなく、Ｐｔの代わり
にＰｄあるいはＰｔＰｄを用いても同様の効果が得ら
れ、Ｃｏの代わりにＦｅ，ＮｉあるいはＴｂＣｏ，Ｎｄ
Ｃｏ，ＤｙＣｏ，ＦｅＣｏ，ＦｅＮｉ，ＮｉＣｏ，Ｃｏ
Ｃｒを用いても同様の効果が得られた。結果を表１に示
す。
多層膜を用いた場合に限るものではなく、Ｐｔの代わり
にＰｄあるいはＰｔＰｄを用いても同様の効果が得ら
れ、Ｃｏの代わりにＦｅ，ＮｉあるいはＴｂＣｏ，Ｎｄ
Ｃｏ，ＤｙＣｏ，ＦｅＣｏ，ＦｅＮｉ，ＮｉＣｏ，Ｃｏ
Ｃｒを用いても同様の効果が得られた。結果を表１に示
す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば短波長光で大きな磁気光学効果を得ることが
できるとともに、低ノイズ化が図れ高密度記録に有用な
光磁気記録媒体を提供することが可能になるという効果
を有する。また、垂直磁化膜の得られる膜厚のマージン
が大きくなり、歩留まり向上にも寄与する。また、反射
層を記録膜上に形成することにより、光磁気記録媒体の
温度分布を容易に制御でき、記録磁区形状を任意に選択
できると共に、１０7回繰り返し記録可能な光磁気記録
媒体を提供することが可能になるという効果を有する。
明によれば短波長光で大きな磁気光学効果を得ることが
できるとともに、低ノイズ化が図れ高密度記録に有用な
光磁気記録媒体を提供することが可能になるという効果
を有する。また、垂直磁化膜の得られる膜厚のマージン
が大きくなり、歩留まり向上にも寄与する。また、反射
層を記録膜上に形成することにより、光磁気記録媒体の
温度分布を容易に制御でき、記録磁区形状を任意に選択
できると共に、１０7回繰り返し記録可能な光磁気記録
媒体を提供することが可能になるという効果を有する。
【図１】本発明の光磁気記録媒体の一実施例を示す断面
図。
図。
【図２】本発明の光磁気記録媒体の製造方法の一実施例
を示す工程断面図。
を示す工程断面図。
【図３】本発明の光磁気記録媒体の磁気光学効果の波長
依存特性図。
依存特性図。
１ 透明基板 ２ 第一保護層 ３ 第一記録層 ４ 第二記録層 ５ 第三記録層 ６ 第二保護層 ７ 反射層 ８ 保護コート
Claims (5)
- 【請求項１】 透明基板上に少なくとも第一保護層、第
一記録層、第二記録層、第三記録層、第二保護層の順に
積層し、前記透明基板側から光を照射して、記録の読み
書きを行う光磁気記録媒体において、前記第一記録層を
希土類遷移金属合金膜、前記第二記録層を多層膜、前記
第三記録層を希土類遷移金属合金膜とすることを特徴と
する光磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の光磁気記録媒体におい
て、前記第二記録層をＰｔ，Ｐｄの内より選ばれる少な
くとも一種類の元素または合金と、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，
Ｇｄ，Ｄｙ，Ｔｂ，Ｎｄ，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｔｉ，Ｃｒの内
より選ばれる少なくとも一種類の元素または合金とを交
互に積層した多層膜からなることを特徴とする光磁気記
録媒体。 - 【請求項３】 請求項１記載の光磁気記録媒体におい
て、前記第二記録層をＰｔ／Ｃｏ多層膜からなることを
特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項４】 請求項１記載の光磁気記録媒体におい
て、前記第二記録層をＰｄ／Ｃｏ多層膜からなることを
特徴とする光磁気記録媒体。 - 【請求項５】 請求項１記載の光磁気記録媒体におい
て、第二保護層上に反射層を設けたことを特徴とする光
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1465994A JPH07225978A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1465994A JPH07225978A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07225978A true JPH07225978A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11867348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1465994A Pending JPH07225978A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07225978A (ja) |
-
1994
- 1994-02-08 JP JP1465994A patent/JPH07225978A/ja active Pending
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