JPH03231162A - 抵抗値測定装置 - Google Patents
抵抗値測定装置Info
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- JPH03231162A JPH03231162A JP2662790A JP2662790A JPH03231162A JP H03231162 A JPH03231162 A JP H03231162A JP 2662790 A JP2662790 A JP 2662790A JP 2662790 A JP2662790 A JP 2662790A JP H03231162 A JPH03231162 A JP H03231162A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 64
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 20
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000012951 Remeasurement Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[概要]
モジュール抵抗などの抵抗値を自動測定する例えば自動
プローハ等の抵抗値測定装置に関し、プローブ接触不良
に伴う異常測定を識別できるようにすることにより、異
常測定時には再測定を実行して正しい測定結果を求め直
し歩留まり悪化を回避することを目的とし、 抵抗両端に生じた電圧もしくは該電圧に比例する電圧を
経時的に取り込んで時分割する時分割手段と、時分割さ
れた各電圧の最小値を保持する最小値保持手段と、時分
割された各電圧の最大値を保持する最大値保持手段と、
所定の測定周期後に前記両保持手段に保持された最小値
および最大値の差値を演算する差値演算手段と、該差値
が所定の基準値よりも大きければ測定無効を判定する無
効判定手段と、を備えたことを特徴とする特〔産業上の
利用分野〕 本発明は、抵抗値測定装置に関し、特にモジュル抵抗な
どの抵抗値を自動測定する例えば自動ブロー八等の抵抗
値測定装置に関する。
プローハ等の抵抗値測定装置に関し、プローブ接触不良
に伴う異常測定を識別できるようにすることにより、異
常測定時には再測定を実行して正しい測定結果を求め直
し歩留まり悪化を回避することを目的とし、 抵抗両端に生じた電圧もしくは該電圧に比例する電圧を
経時的に取り込んで時分割する時分割手段と、時分割さ
れた各電圧の最小値を保持する最小値保持手段と、時分
割された各電圧の最大値を保持する最大値保持手段と、
所定の測定周期後に前記両保持手段に保持された最小値
および最大値の差値を演算する差値演算手段と、該差値
が所定の基準値よりも大きければ測定無効を判定する無
効判定手段と、を備えたことを特徴とする特〔産業上の
利用分野〕 本発明は、抵抗値測定装置に関し、特にモジュル抵抗な
どの抵抗値を自動測定する例えば自動ブロー八等の抵抗
値測定装置に関する。
近年、電子機器構成部品の実装密度がきわめて高くなっ
てきている。これは大規模半導体集積回路などの高密度
化傾向に加えて、例えば抵抗素子をひとつのパッケージ
に多数形成するいわゆるモジュール化が進められた結果
による。
てきている。これは大規模半導体集積回路などの高密度
化傾向に加えて、例えば抵抗素子をひとつのパッケージ
に多数形成するいわゆるモジュール化が進められた結果
による。
このようなモジュール構造の抵抗(以下、モジュール抵
抗)の製造工程では、各抵抗の値を測定してパンケージ
ごとに良否を判定する必要があり、かかる目的で例えば
自動ブロー八等の高精度な抵抗値測定装置が用いられる
。
抗)の製造工程では、各抵抗の値を測定してパンケージ
ごとに良否を判定する必要があり、かかる目的で例えば
自動ブロー八等の高精度な抵抗値測定装置が用いられる
。
(従来の技術〕
第4図は従来の抵抗値測定装置の構成図で、ブロー八1
0には4本のワイヤープローブ11〜14が取り付けら
れている。これらワイヤープローブ11〜14の各先端
はクランプ指令信号S、の入力時に、モジュール抵抗1
5の適当な半田バンプ16.17に接触するようになっ
ている。
0には4本のワイヤープローブ11〜14が取り付けら
れている。これらワイヤープローブ11〜14の各先端
はクランプ指令信号S、の入力時に、モジュール抵抗1
5の適当な半田バンプ16.17に接触するようになっ
ている。
半田バンプ16.17間の抵抗素子18の値を測定する
際は、まず、直流電流源19からの定電流iを抵抗素子
18に流し込み、抵抗素子18の両端りこ発生した電圧
e(抵抗値に比例する電圧)を差動アンプ20で増幅し
た後、アナログ/ディジタルコンバータ(以下、A/D
コンバータ)21に入力する。
際は、まず、直流電流源19からの定電流iを抵抗素子
18に流し込み、抵抗素子18の両端りこ発生した電圧
e(抵抗値に比例する電圧)を差動アンプ20で増幅し
た後、アナログ/ディジタルコンバータ(以下、A/D
コンバータ)21に入力する。
A/Dコンバータ21には積分型のものが用いられ、所
定の測定用!tlI(例えば10〜30m5 )の間、
継続して電圧eを積分し、測定周期が経過すると測定完
了信号Szおよび積分電圧値(測定データ)Σeを制御
装置22に出力する。
定の測定用!tlI(例えば10〜30m5 )の間、
継続して電圧eを積分し、測定周期が経過すると測定完
了信号Szおよび積分電圧値(測定データ)Σeを制御
装置22に出力する。
制御装置22は上述のクランプ指令信号S、や測定開始
信号S、などを適宜発生するとともにA/Dコンバータ
21からのΣeに基づいて抵抗素子18の良否を判定す
る。また、制御装置22はひとつの抵抗素子18の良否
判定を完了するとモジュール抵抗15内の他の抵抗素子
に対しても同様な判定動作を繰り返し、モジュール抵抗
15全体の良否を判定する。なお、23はノイズ吸収用
のコンデンサ、24は上記のA/Dコンバータ21およ
び制御装置22を含むデータ処理部である。
信号S、などを適宜発生するとともにA/Dコンバータ
21からのΣeに基づいて抵抗素子18の良否を判定す
る。また、制御装置22はひとつの抵抗素子18の良否
判定を完了するとモジュール抵抗15内の他の抵抗素子
に対しても同様な判定動作を繰り返し、モジュール抵抗
15全体の良否を判定する。なお、23はノイズ吸収用
のコンデンサ、24は上記のA/Dコンバータ21およ
び制御装置22を含むデータ処理部である。
S発明が解決しようとする課題〕
−かしながら、かかる従来の抵抗値測定装置にあっては
、A/Dコンバータ21に積分型を用いる構成となって
いたため、例えばワイヤープローブ11〜14と半田ハ
ンプ16.17との間に接触不良(以下、プローブ接触
不良という)が生じた場合に、このプローブ接触不良に
伴う抵抗値の変化を実際の測定値として誤認してしまい
、正しい値の抵抗素子を不良として誤判定するといった
問題点かあすなわち、抵抗素子の測定に際しては一対の
半田バンプ16.17に対してそれぞれ2本づつのワイ
ヤープローブを接触させるが、半田バンプの外形が滑り
易い球面形であるためにプローブ先端を確寓に半田ハン
プ表面に押し付けておくことが困難で、例えば僅かな振
動入力でも接触不良となることがある。
、A/Dコンバータ21に積分型を用いる構成となって
いたため、例えばワイヤープローブ11〜14と半田ハ
ンプ16.17との間に接触不良(以下、プローブ接触
不良という)が生じた場合に、このプローブ接触不良に
伴う抵抗値の変化を実際の測定値として誤認してしまい
、正しい値の抵抗素子を不良として誤判定するといった
問題点かあすなわち、抵抗素子の測定に際しては一対の
半田バンプ16.17に対してそれぞれ2本づつのワイ
ヤープローブを接触させるが、半田バンプの外形が滑り
易い球面形であるためにプローブ先端を確寓に半田ハン
プ表面に押し付けておくことが困難で、例えば僅かな振
動入力でも接触不良となることがある。
このようなプローブ接触不良が発生すると抵抗素子18
両端の電圧eが変動してノイズとなるが、このノイズが
瞬間的なものであればA/Dコンバータ21の積分作用
によって概ね除去できる。しかし、プローブ接触不良が
ある程度m続する場合には第5図に示すように振動入力
の瞬間から電圧eが持続的に増大するから、もはや積分
作用による除去効果が期待できず、結局、測定誤差を大
きくする要因となる。
両端の電圧eが変動してノイズとなるが、このノイズが
瞬間的なものであればA/Dコンバータ21の積分作用
によって概ね除去できる。しかし、プローブ接触不良が
ある程度m続する場合には第5図に示すように振動入力
の瞬間から電圧eが持続的に増大するから、もはや積分
作用による除去効果が期待できず、結局、測定誤差を大
きくする要因となる。
その結果、実際には正しい値の抵抗素子18であっても
これを不良として判定してしまい、かえって歩留まりを
悪化させるといった不具合があった。
これを不良として判定してしまい、かえって歩留まりを
悪化させるといった不具合があった。
そこで、本発明は、プローブ接触不良に伴う異常測定を
識別できるようにすることにより、異常測定時には再測
定を実行して正しい測定結果を求め直し歩留まり悪化を
回避することを目的としている。
識別できるようにすることにより、異常測定時には再測
定を実行して正しい測定結果を求め直し歩留まり悪化を
回避することを目的としている。
〔電源を解決するための手段]
本発明は、上記目的を達成するためその原理構成図を第
1図に示すように、抵抗両端に生じた電圧もしくは該電
圧に比例する電圧を経時的に取り込んで時分割する時分
割手段と、時分割された各電圧の最小値を保持する最小
値保持手段と、時分割された各電圧の最大値を保持する
最大値保持手段と、所定の測定周期後に前記両保持手段
に保持された最小値および最大値の差値を演算する差値
演算手段と、該差値が所定の基準値よりも大きければ測
定無効を判定する無効判定手段と、を備えたことを特徴
とする。
1図に示すように、抵抗両端に生じた電圧もしくは該電
圧に比例する電圧を経時的に取り込んで時分割する時分
割手段と、時分割された各電圧の最小値を保持する最小
値保持手段と、時分割された各電圧の最大値を保持する
最大値保持手段と、所定の測定周期後に前記両保持手段
に保持された最小値および最大値の差値を演算する差値
演算手段と、該差値が所定の基準値よりも大きければ測
定無効を判定する無効判定手段と、を備えたことを特徴
とする。
本発明では、−測定周期間の電圧差値が基準値よりも大
きければ、その測定周期における測定の無効が判定され
る。
きければ、その測定周期における測定の無効が判定され
る。
すなわち、プローブ接触不良に伴う測定電圧の経時的変
動は、電源や差動アンプ等から混入する雑音変動に比べ
て相当に大きいといった事実から、差値が大きくなった
場合には、かなりの高い確率でプローブ接触不良の発生
が推定でき、したがって、再測定の実行によりワイヤー
プローブと半田ハンプとを確実に接触させて抵抗素子の
値を正しく測定し直す結果、誤った不良判定の回避が図
られる。
動は、電源や差動アンプ等から混入する雑音変動に比べ
て相当に大きいといった事実から、差値が大きくなった
場合には、かなりの高い確率でプローブ接触不良の発生
が推定でき、したがって、再測定の実行によりワイヤー
プローブと半田ハンプとを確実に接触させて抵抗素子の
値を正しく測定し直す結果、誤った不良判定の回避が図
られる。
[実施例]
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第2.3図は本発明に係る抵抗値測定装置の一実施例を
示す図である。
示す図である。
第2図において、30はデータ処理部(第4図のデータ
処理部24に対応)であり、データ処理部30は高速、
高分解能(例えば20μs)のA/Dコンバータ31、
比較回路32、最小値レジスタ33、最大値レジスタ3
4、加算回路35、合計値レジスタ36、割算回路37
、カウンタ38、制御部39および設定部40を備えて
構成する。
処理部24に対応)であり、データ処理部30は高速、
高分解能(例えば20μs)のA/Dコンバータ31、
比較回路32、最小値レジスタ33、最大値レジスタ3
4、加算回路35、合計値レジスタ36、割算回路37
、カウンタ38、制御部39および設定部40を備えて
構成する。
A/Dコンバータ31は時分割手段として機能し、差動
アンプ20の出力電圧(便宜的に測定電圧e)を測定サ
イクルごとに時分割で取り込み、各分割区間(例えば2
0μs)ごとの測定電圧eの大きさを表すディジタルデ
ータDiを出力する。ここでiは例えばIから12まで
の時分割区間番号であり、−測定周期の間の測定サイク
ル番号に対応する。
アンプ20の出力電圧(便宜的に測定電圧e)を測定サ
イクルごとに時分割で取り込み、各分割区間(例えば2
0μs)ごとの測定電圧eの大きさを表すディジタルデ
ータDiを出力する。ここでiは例えばIから12まで
の時分割区間番号であり、−測定周期の間の測定サイク
ル番号に対応する。
比較回路32は測定サイクルごとにDiを順次に取り込
み、このDiと最小値レジスタ33内のデータ(最小値
データDIIlin )および最大値レジスタ34内の
データ(最大値データDmax )とを比較し、Dmi
nよりも小さいDi大入力場合にはそのDiでDmin
を更新し、あるいは、Dmaxよりも大きいDi人力の
場合にはそのDiでD o+axを更新する。ここで、
最小値レジスタ33は最小値保持手段として機能し、ま
た、最大値レジスタ34は最大値保持手段として機能す
る。
み、このDiと最小値レジスタ33内のデータ(最小値
データDIIlin )および最大値レジスタ34内の
データ(最大値データDmax )とを比較し、Dmi
nよりも小さいDi大入力場合にはそのDiでDmin
を更新し、あるいは、Dmaxよりも大きいDi人力の
場合にはそのDiでD o+axを更新する。ここで、
最小値レジスタ33は最小値保持手段として機能し、ま
た、最大値レジスタ34は最大値保持手段として機能す
る。
加算回路35は測定サイクルごとにDiを順次に取り込
み、このDiと合計値レジスタ36内のデータ(合計値
データΣDi)とを加算し、その加算値でΣDiを更新
する。
み、このDiと合計値レジスタ36内のデータ(合計値
データΣDi)とを加算し、その加算値でΣDiを更新
する。
割算回路37は合計値レジスタ36内のデータΣDiを
カウンタ38からの最大カウント数Cで乗算し、その乗
算結果を抵抗値測定データRとして出力する。最大カウ
ント数Cは一測定周期における測定サイクル数(ここで
は、12)に相当する。
カウンタ38からの最大カウント数Cで乗算し、その乗
算結果を抵抗値測定データRとして出力する。最大カウ
ント数Cは一測定周期における測定サイクル数(ここで
は、12)に相当する。
制御部39は差値演算手段および無効判定手段として機
能し、例えばマイクロコンピュータなどが構成され、■
測定サイクルごとにシーケンスをコントロールする制御
動作、■抵抗素子の良否を判定する良否判定動作、■プ
ローブ接触不良に伴う異常測定状態を識別し測定の無効
を判定する無効判定動作を実行する。
能し、例えばマイクロコンピュータなどが構成され、■
測定サイクルごとにシーケンスをコントロールする制御
動作、■抵抗素子の良否を判定する良否判定動作、■プ
ローブ接触不良に伴う異常測定状態を識別し測定の無効
を判定する無効判定動作を実行する。
すなわち、■の制御動作は、各測定サイクルのはじめに
A/Dコンバータ31やカウンタ38に対して測定開始
指令を出力する動作と、A/Dコンバータ31からの測
定完了通知に応答して比較回路32や加算回路35に対
してデータ処理指令を出力する動作とを含む。また、■
の良否判定動作は、抵抗値測定データRを良否判定用の
規格データと比較し、規格を満足していればそのときの
測定対象抵抗素子を合格と判定する動作を含む、但し、
次に述べる測定無効判定時には、■での判定結果は無視
され、再び同一の抵抗素子に対する測定が繰り返される
。
A/Dコンバータ31やカウンタ38に対して測定開始
指令を出力する動作と、A/Dコンバータ31からの測
定完了通知に応答して比較回路32や加算回路35に対
してデータ処理指令を出力する動作とを含む。また、■
の良否判定動作は、抵抗値測定データRを良否判定用の
規格データと比較し、規格を満足していればそのときの
測定対象抵抗素子を合格と判定する動作を含む、但し、
次に述べる測定無効判定時には、■での判定結果は無視
され、再び同一の抵抗素子に対する測定が繰り返される
。
■の無効判定動作について。この動作は、まず−測定周
期終了時の最大値データDmaxと最小値データDmr
nとの差値DXを求め、このDxと設定部40内の設定
データ(所定の基準値DI )とを比較し、DXがり、
Iを越えた場合に、その回の測定周期における測定無効
を判定する。所定の基準値DXは、事前に、例えば電源
や差動アンプなどからの混入ノイズを測定しておき、そ
の値に若干のマージンを加えて設定する。
期終了時の最大値データDmaxと最小値データDmr
nとの差値DXを求め、このDxと設定部40内の設定
データ(所定の基準値DI )とを比較し、DXがり、
Iを越えた場合に、その回の測定周期における測定無効
を判定する。所定の基準値DXは、事前に、例えば電源
や差動アンプなどからの混入ノイズを測定しておき、そ
の値に若干のマージンを加えて設定する。
次に、作用を説明する。
第3図はA/Dコンバータ31からの時分割データ(D
i)を時系列的に示す図である。この例では一測定周期
の間で、測定サイクルごとにり6、D2、D3、・・・
・・・I)+zの分割データが順次に発生している。
i)を時系列的に示す図である。この例では一測定周期
の間で、測定サイクルごとにり6、D2、D3、・・・
・・・I)+zの分割データが順次に発生している。
測定開始直後にあってはDn+ax 、、Diinおよ
びΣDiの値がともにゼロなので、1番目のDlの値が
これらDmax 、 DminおよびΣDiの値となる
。
びΣDiの値がともにゼロなので、1番目のDlの値が
これらDmax 、 DminおよびΣDiの値となる
。
2番目のD2が発生すると、D2はD ff1axおよ
びDa+inと比較され、この場合り、<D2なのでD
iaxだけがD2で更新されるとともに、ΣDiにD2
が加算され、ΣDiはDI−i−D2の大きさに更新さ
れる。
びDa+inと比較され、この場合り、<D2なのでD
iaxだけがD2で更新されるとともに、ΣDiにD2
が加算され、ΣDiはDI−i−D2の大きさに更新さ
れる。
このような更新動作を一測定周期の間、継続すると測定
周期の最後では、ΣDiの値がり、から[)+zまでを
全て加算した値で求められ、このΣDiを測定サイクル
数(12)に相当するカウント値Cで除して抵抗値測定
データRが得られる。すなわち、−測定周期の間の時分
割データDiの算術平均値が抵抗値測定データRとして
得られる。
周期の最後では、ΣDiの値がり、から[)+zまでを
全て加算した値で求められ、このΣDiを測定サイクル
数(12)に相当するカウント値Cで除して抵抗値測定
データRが得られる。すなわち、−測定周期の間の時分
割データDiの算術平均値が抵抗値測定データRとして
得られる。
ここで、−測定周期の間のDi中で最・トの値のものを
D3とし、また、最大の値のものをDl2とすると、測
定周期終了時のDminはD3となり、D raaxは
DIzとなる。そして、差値D8はDIZD、で与えら
れ、このD8が基準値り、よりも大きければ、その回の
測定無効が判定される。
D3とし、また、最大の値のものをDl2とすると、測
定周期終了時のDminはD3となり、D raaxは
DIzとなる。そして、差値D8はDIZD、で与えら
れ、このD8が基準値り、よりも大きければ、その回の
測定無効が判定される。
すなわち、基準値DRは、例えば電源や差動アンプなど
からの混入ノイズを測定し、その値に若干のマージンを
加えて設定したものであるから、このDRよりもDXが
大きいときには、通常の測定ノイズよりも遥かに大きな
ノイズ、例えばプローブ接触不良に伴うノイズが混入し
たことが識別できる。
からの混入ノイズを測定し、その値に若干のマージンを
加えて設定したものであるから、このDRよりもDXが
大きいときには、通常の測定ノイズよりも遥かに大きな
ノイズ、例えばプローブ接触不良に伴うノイズが混入し
たことが識別できる。
したがって、測定無効の判定時には、同一の抵抗素子に
対して再び測定を繰り返し、Dx<Daを満足する場合
に、その回の測定データを有効とすれば、正しい値の低
板素子を誤って不良と判定することを避けることができ
、歩留まり悪化を回避できる。
対して再び測定を繰り返し、Dx<Daを満足する場合
に、その回の測定データを有効とすれば、正しい値の低
板素子を誤って不良と判定することを避けることができ
、歩留まり悪化を回避できる。
J発明の効果〕
本発明によれば、プローブ接触不良に伴う異常測定を識
別できるようにしたので、異常測定時には再測定を実行
して正しい測定結果を求め直すことができ、歩留まり悪
化を回避することができる。
別できるようにしたので、異常測定時には再測定を実行
して正しい測定結果を求め直すことができ、歩留まり悪
化を回避することができる。
第1図は本発明の原理構成図、
第2.3図は本発明りこ係る抵抗値測定装置の一実施例
を示す図であり、 第2図はその要部の構成図、 第3図はその時分割されたデータDiを示すグラフ、 第4.5図は従来例を示す図であり、 第4図はその構成図、 第5図はその測定データを示すグラフである。 31・・・・・・A/Dコンバータ(時分割手段)、3
3・・・・・・最小値レジスタ(最小値保持手段)34
・・・・・・最大値レジスタ(最大値保持手段)39・
・・・・・制御部c差値演算手段、無効判定手段)。 第 5 図
を示す図であり、 第2図はその要部の構成図、 第3図はその時分割されたデータDiを示すグラフ、 第4.5図は従来例を示す図であり、 第4図はその構成図、 第5図はその測定データを示すグラフである。 31・・・・・・A/Dコンバータ(時分割手段)、3
3・・・・・・最小値レジスタ(最小値保持手段)34
・・・・・・最大値レジスタ(最大値保持手段)39・
・・・・・制御部c差値演算手段、無効判定手段)。 第 5 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 抵抗両端に生じた電圧もしくは該電圧に比例する電圧を
経時的に取り込んで時分割する時分割手段と、 時分割された各電圧の最小値を保持する最小値保持手段
と、 時分割された各電圧の最大値を保持する最大値保持手段
と、 所定の測定周期後に前記両保持手段に保持された最小値
および最大値の差値を演算する差値演算手段と、 該差値が所定の基準値よりも大きければ測定無効を判定
する無効判定手段と、 を備えたことを特徴とする抵抗値測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2662790A JPH0820474B2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 抵抗値測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2662790A JPH0820474B2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 抵抗値測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03231162A true JPH03231162A (ja) | 1991-10-15 |
JPH0820474B2 JPH0820474B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=12198694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2662790A Expired - Lifetime JPH0820474B2 (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | 抵抗値測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0820474B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017399A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Seiko Epson Corp | バンプを有する集積回路装置内の抵抗値測定方法及び抵抗値調整方法並びに集積回路装置及び電子機器 |
JP2009300157A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Midori Anzen Co Ltd | 絶縁監視装置 |
JP2009300158A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Midori Anzen Co Ltd | 絶縁監視装置 |
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-
1990
- 1990-02-06 JP JP2662790A patent/JPH0820474B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH0820474B2 (ja) | 1996-03-04 |
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