JPH0815342A - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置Info
- Publication number
- JPH0815342A JPH0815342A JP6170061A JP17006194A JPH0815342A JP H0815342 A JPH0815342 A JP H0815342A JP 6170061 A JP6170061 A JP 6170061A JP 17006194 A JP17006194 A JP 17006194A JP H0815342 A JPH0815342 A JP H0815342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal
- measurement
- voltage
- contact
- impedance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/66—Testing of connections, e.g. of plugs or non-disconnectable joints
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】インピーダンスの測定の際に測定対象と測定端
子との接触を簡易な回路を用いて確実に判定する。 【構成】インピーダンス測定装置において、測定端子と
測定対象との接触が不良のとき測定値の実部を強制的に
負にする手段を備え、該測定値の実部の値を接触良否判
定基準値と比較し、測定値の実部が該基準値より負のと
き接触不良と判定する。接触良否判定基準値は、測定値
の実部のばらつきの大きさ以上の負の値とし、測定値の
ばらつきによる誤判定を除去する。測定値の実部を強制
的に負にする回路は、信号源１の出力端子に反転増幅器
２の入力を接続し、反転増幅器の出力は抵抗Ｒ２を介し
て高圧電圧端子Ｈｐに接続し、高圧電圧端子と接地間に
抵抗Ｒ４を接続し、また信号源１の出力端子と低圧電圧
端子Ｌｃ間及び低圧電圧端子Ｌｐと接地端子間にそれぞ
れ抵抗Ｒ３とＲ５を接続する、構成である。
子との接触を簡易な回路を用いて確実に判定する。 【構成】インピーダンス測定装置において、測定端子と
測定対象との接触が不良のとき測定値の実部を強制的に
負にする手段を備え、該測定値の実部の値を接触良否判
定基準値と比較し、測定値の実部が該基準値より負のと
き接触不良と判定する。接触良否判定基準値は、測定値
の実部のばらつきの大きさ以上の負の値とし、測定値の
ばらつきによる誤判定を除去する。測定値の実部を強制
的に負にする回路は、信号源１の出力端子に反転増幅器
２の入力を接続し、反転増幅器の出力は抵抗Ｒ２を介し
て高圧電圧端子Ｈｐに接続し、高圧電圧端子と接地間に
抵抗Ｒ４を接続し、また信号源１の出力端子と低圧電圧
端子Ｌｃ間及び低圧電圧端子Ｌｐと接地端子間にそれぞ
れ抵抗Ｒ３とＲ５を接続する、構成である。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は一般にインピーダンス測定
装置に関し、特にインピーダンス測定装置の測定端子と
測定対象との接触の良否を判定する装置及び方法に関す
る。電子部品等の抵抗またはインピーダンス等を測定す
る際、測定対象と測定端子との接触が不完全な場合、測
定値に誤りを生じる。電子部品の製造工程でこのような
接触不良が起こると、不良部品を良品として出荷した
り、良品の部品を廃棄してしまう可能性がある。このよ
うな問題は、高品質の部品を低コストで大量生産したい
電子部品メーカにとって重大な問題である。本発明は、
インピーダンス測定装置において、測定端子と測定対象
との接触の良否を判定する手段を提案するものである。
特に接触する回路数が多い４端子、５端子、４端子対構
造の測定端子では接触不良が起こる確率が高いので、こ
れらの測定装置について有効な方法を提案する。以下、
４端子、５端子、４端子対構造を総称して４端子構造と
呼ぶことにする。また本明細書において、インピーダン
スには抵抗、アドミッタンスなどを含むものとし、イン
ピーダンス測定装置にはＬＣＲメータ、ｍΩメータ、イ
ンピーダンス・アナライザなどを含むものとする。
装置に関し、特にインピーダンス測定装置の測定端子と
測定対象との接触の良否を判定する装置及び方法に関す
る。電子部品等の抵抗またはインピーダンス等を測定す
る際、測定対象と測定端子との接触が不完全な場合、測
定値に誤りを生じる。電子部品の製造工程でこのような
接触不良が起こると、不良部品を良品として出荷した
り、良品の部品を廃棄してしまう可能性がある。このよ
うな問題は、高品質の部品を低コストで大量生産したい
電子部品メーカにとって重大な問題である。本発明は、
インピーダンス測定装置において、測定端子と測定対象
との接触の良否を判定する手段を提案するものである。
特に接触する回路数が多い４端子、５端子、４端子対構
造の測定端子では接触不良が起こる確率が高いので、こ
れらの測定装置について有効な方法を提案する。以下、
４端子、５端子、４端子対構造を総称して４端子構造と
呼ぶことにする。また本明細書において、インピーダン
スには抵抗、アドミッタンスなどを含むものとし、イン
ピーダンス測定装置にはＬＣＲメータ、ｍΩメータ、イ
ンピーダンス・アナライザなどを含むものとする。
【０００２】
【従来技術と問題点】インピーダンスの測定方法には、
大きく分けて２端子測定と４端子測定がある。２端子測
定の場合の接触不良の判定は、測定結果の大小により行
うのが一般的である。４端子測定の場合は、測定結果の
大小だけでは判定できない場合がある。その例を以下に
述べる。図３は４端子測定法の原理図である。測定対象
３の一端子４には測定端子である高圧電流端子Ｈｃと高
圧電圧端子Ｈｐが接触し、他の端子５には低圧電流端子
Ｌｃと低圧電圧端子Ｌｐが接触している。これらＨｃ、
Ｈｐ、ＬｃとＬｐが４端子を構成している。信号源１は
抵抗Ｒ１を介し高圧電流端子Ｈｃに接続され、測定対象
に電流を供給する。信号源の他の端子は接地または仮想
接地されている。低圧電流端子Ｌｃも接地または仮想接
地されている。測定電流は信号源１から抵抗Ｒ１、測定
端子Ｈｃを介して測定対象の端子４に供給され、端子５
から測定端子Ｌｃを経て信号源１に環流する。測定電流
は、図示していないがこのループ内の電流計で測定され
る。例えば抵抗Ｒ１の両端の電圧を測定して電流値を求
める。他の方法はＬｃ端子に電流計を接続する。この場
合、Ｌｃ端子を仮想接地するために、演算増幅器と抵抗
で構成される電流計が通常用いられる。
大きく分けて２端子測定と４端子測定がある。２端子測
定の場合の接触不良の判定は、測定結果の大小により行
うのが一般的である。４端子測定の場合は、測定結果の
大小だけでは判定できない場合がある。その例を以下に
述べる。図３は４端子測定法の原理図である。測定対象
３の一端子４には測定端子である高圧電流端子Ｈｃと高
圧電圧端子Ｈｐが接触し、他の端子５には低圧電流端子
Ｌｃと低圧電圧端子Ｌｐが接触している。これらＨｃ、
Ｈｐ、ＬｃとＬｐが４端子を構成している。信号源１は
抵抗Ｒ１を介し高圧電流端子Ｈｃに接続され、測定対象
に電流を供給する。信号源の他の端子は接地または仮想
接地されている。低圧電流端子Ｌｃも接地または仮想接
地されている。測定電流は信号源１から抵抗Ｒ１、測定
端子Ｈｃを介して測定対象の端子４に供給され、端子５
から測定端子Ｌｃを経て信号源１に環流する。測定電流
は、図示していないがこのループ内の電流計で測定され
る。例えば抵抗Ｒ１の両端の電圧を測定して電流値を求
める。他の方法はＬｃ端子に電流計を接続する。この場
合、Ｌｃ端子を仮想接地するために、演算増幅器と抵抗
で構成される電流計が通常用いられる。
【０００３】測定電流によって生じた測定対象の端子間
の電圧は、高圧電圧端子Ｈｐと低圧電圧端子Ｌｐを介し
てそれぞれ差動増幅器８の入力端子６と７に印加され、
差動増幅器８の出力端子に接続される電圧計（図示して
いない）で測定される。通常のインピーダンス測定器で
は、この電圧計と電流計で測定された値のベクトル比を
演算処理で求め、測定値として出力する。ここで、低圧
電圧端子Ｌｐが接触不良で開放になった場合を考察す
る。この状態では、測定電流は正常に流れる。端子Ｌｐ
が開放の状態でも、差動増幅器の端子７の電位が接地電
位に近い値になる場合には、測定値は正常な接触状態の
値に近い値になる。すなわち、測定結果の大小では接触
不良を判別することは出来ない。電子部品の検査におい
てこのような状態になっとき、本来なら規格外で不良品
になる筈の部品を良品と判定する可能性がある。これは
高品質を保証する電子部品メーカにとって、大きな問題
である。このような問題を解決するために、特願平３−
３０８４８５で接触判定回路及び接触判定方法が提案さ
れている。この提案は、端子Ｌｐの接触の判定のために
測定器にスイッチ及び直流電源と直流電圧計を追加して
いる。従って、測定器の構成が複雑になりまた価格の上
昇を招いている。
の電圧は、高圧電圧端子Ｈｐと低圧電圧端子Ｌｐを介し
てそれぞれ差動増幅器８の入力端子６と７に印加され、
差動増幅器８の出力端子に接続される電圧計（図示して
いない）で測定される。通常のインピーダンス測定器で
は、この電圧計と電流計で測定された値のベクトル比を
演算処理で求め、測定値として出力する。ここで、低圧
電圧端子Ｌｐが接触不良で開放になった場合を考察す
る。この状態では、測定電流は正常に流れる。端子Ｌｐ
が開放の状態でも、差動増幅器の端子７の電位が接地電
位に近い値になる場合には、測定値は正常な接触状態の
値に近い値になる。すなわち、測定結果の大小では接触
不良を判別することは出来ない。電子部品の検査におい
てこのような状態になっとき、本来なら規格外で不良品
になる筈の部品を良品と判定する可能性がある。これは
高品質を保証する電子部品メーカにとって、大きな問題
である。このような問題を解決するために、特願平３−
３０８４８５で接触判定回路及び接触判定方法が提案さ
れている。この提案は、端子Ｌｐの接触の判定のために
測定器にスイッチ及び直流電源と直流電圧計を追加して
いる。従って、測定器の構成が複雑になりまた価格の上
昇を招いている。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、インピーダンス測定装
置においてハードウェアの増加を小さく押さえ、４端子
測定に有効な接触判定を行う手段をを提示することであ
る。
置においてハードウェアの増加を小さく押さえ、４端子
測定に有効な接触判定を行う手段をを提示することであ
る。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、現実の受動電子部品ではイン
ピーダンスの実部（抵抗成分）は負にならないことを利
用している。つまり測定対象と測定端子との間が接触不
良になった場合に、測定値のインピーダンスの実部が負
になるような回路を測定装置に付加し、測定値の実部が
負になれば接触が不良と判別する。本発明は、４端子構
成の高圧電圧端子Ｈｐ及び低圧電圧端子Ｌｐ端子の接触
不良を検出する方法である。端子Ｈｃ及び端子Ｌｃの接
触不良及び２端子測定の場合については、特願平３−３
０８４８５の方法によっても、ハードウェアの増加無し
に検出可能である。
ピーダンスの実部（抵抗成分）は負にならないことを利
用している。つまり測定対象と測定端子との間が接触不
良になった場合に、測定値のインピーダンスの実部が負
になるような回路を測定装置に付加し、測定値の実部が
負になれば接触が不良と判別する。本発明は、４端子構
成の高圧電圧端子Ｈｐ及び低圧電圧端子Ｌｐ端子の接触
不良を検出する方法である。端子Ｈｃ及び端子Ｌｃの接
触不良及び２端子測定の場合については、特願平３−３
０８４８５の方法によっても、ハードウェアの増加無し
に検出可能である。
【０００６】
【発明の実施例】現実の受動部品では、インピーダンス
の実部（抵抗成分）が負になることはあり得ない。そこ
で本発明の基本的な実施例は、測定対象と測定端子が接
触不良のとき実部が負を示す手段を付加し、インピーダ
ンス測定値の実部が負になったき測定端子が接触不良で
あると判定する方法である。しかし通常のインピーダン
ス測定装置では、雑音電圧などによる測定の偶然誤差の
ため、ある程度測定値がばらつく。このため、抵抗成分
の非常に小さな測定対象、例えば空気コンデンサのよう
なものを測定した場合、正常な接触状態であってもイン
ピーダンスの実部が偶然負になってしまうことがある。
従って、実部が負になれば接触不良であるとする判定に
は、ばらつきによる誤判定を含むことになる。
の実部（抵抗成分）が負になることはあり得ない。そこ
で本発明の基本的な実施例は、測定対象と測定端子が接
触不良のとき実部が負を示す手段を付加し、インピーダ
ンス測定値の実部が負になったき測定端子が接触不良で
あると判定する方法である。しかし通常のインピーダン
ス測定装置では、雑音電圧などによる測定の偶然誤差の
ため、ある程度測定値がばらつく。このため、抵抗成分
の非常に小さな測定対象、例えば空気コンデンサのよう
なものを測定した場合、正常な接触状態であってもイン
ピーダンスの実部が偶然負になってしまうことがある。
従って、実部が負になれば接触不良であるとする判定に
は、ばらつきによる誤判定を含むことになる。
【０００７】この誤判定を避け、信頼性の高い判定をす
る実施例では、接触良否の判定を測定値の実部の正負で
行うのではなく、負の値の接触良否判定基準値と比較
し、該測定値の実部が該基準値より負になるとき接触不
良と判定する。接触判定基準値の絶対値を、測定値の実
部のばらつきの大きさ以上の値に設定し、ばらつきで接
触不良の誤判定をしないようにする。これを図２のイン
ピーダンスの複素平面で詳述する。図の虚軸の右側の範
囲つまり実部が正の範囲が受動部品のインピーダンスの
取り得る範囲である。接触不良と判定する範囲は、図の
接触良否判定基準線の左側の網掛けで示した範囲であ
る。該基準線は、虚軸ではなく実軸上の負側にずれてい
る。この基準線と虚軸との間の範囲は、接触が良好であ
ってもばらつきによって測定値が偶然存在し得る範囲で
ある。逆にいえば、接触が正常のときばらつきがあって
も不良の範囲（網掛領域）に入り込まないように基準線
を設定するのである。また接触不良のときは、後述する
方法で実部を強制的に基準線よりさらに負側にさせるの
で、接触良好の誤判定をすることはない。図２では、本
発明の基本を示すために、接触良否判定基準線を虚軸に
平行な直線としたが、ばらつきの取り得る範囲を避けて
いれば、直線でなくてもよい。インピーダンスの大き
さ、測定レンジによってばらつきが変わるのが通常のた
め、基準線を折り線や曲線あるいはその組合せにして最
適な値にすることも可能である。
る実施例では、接触良否の判定を測定値の実部の正負で
行うのではなく、負の値の接触良否判定基準値と比較
し、該測定値の実部が該基準値より負になるとき接触不
良と判定する。接触判定基準値の絶対値を、測定値の実
部のばらつきの大きさ以上の値に設定し、ばらつきで接
触不良の誤判定をしないようにする。これを図２のイン
ピーダンスの複素平面で詳述する。図の虚軸の右側の範
囲つまり実部が正の範囲が受動部品のインピーダンスの
取り得る範囲である。接触不良と判定する範囲は、図の
接触良否判定基準線の左側の網掛けで示した範囲であ
る。該基準線は、虚軸ではなく実軸上の負側にずれてい
る。この基準線と虚軸との間の範囲は、接触が良好であ
ってもばらつきによって測定値が偶然存在し得る範囲で
ある。逆にいえば、接触が正常のときばらつきがあって
も不良の範囲（網掛領域）に入り込まないように基準線
を設定するのである。また接触不良のときは、後述する
方法で実部を強制的に基準線よりさらに負側にさせるの
で、接触良好の誤判定をすることはない。図２では、本
発明の基本を示すために、接触良否判定基準線を虚軸に
平行な直線としたが、ばらつきの取り得る範囲を避けて
いれば、直線でなくてもよい。インピーダンスの大き
さ、測定レンジによってばらつきが変わるのが通常のた
め、基準線を折り線や曲線あるいはその組合せにして最
適な値にすることも可能である。
【０００８】次に、接触不良になった場合に、測定され
るインピーダンスの実部を強制的に負の値にする実施例
について述べる。図１にこの回路を示す。図３と同様の
機能を有する素子には同じ参照番号を付してある。図１
は図３と同じ機能を有する素子すなわち信号源１、抵抗
Ｒ１、測定対象３、４端子のＨｃ、Ｈｐ、Ｌｐ、Ｌｃ、
及び差動増幅器８に、インピーダンス測定値の実部を負
にする次の回路を付加している。２は利得が負の増幅器
すなわち反転増幅器、Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５はそれ
ぞれ抵抗器である。信号源１の出力端子に反転増幅器２
の入力端子を接続し、該反転増幅器の出力端子から抵抗
Ｒ２を介して高圧電圧端子Ｈｐに接続し、さらに高圧電
圧端子Ｈｐと接地端子間に抵抗Ｒ４を接続する。また信
号源１の出力端子には抵抗Ｒ３の一端が接続され、抵抗
Ｒ３の他端は低圧電圧端子Ｌｐに接続される。さらに低
圧電圧端子Ｌｐと接地端子間に抵抗Ｒ５を接続する。各
測定端子が正常に接触している場合、接触判定のために
付加された回路は、後述する方法で通常の測定動作に影
響を与えないように抵抗Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５の値
が選ばれているものとする。この場合、差動増幅器８の
出力には測定対象の両端の電圧が出力されインピーダン
スが正しく測定される。高圧電圧端子Ｈｐが接触不良の
場合、差動増幅器８の入力端子６にはＶｓ＊（−Ａ）＊
Ｒ４／（Ｒ２＋Ｒ４）の電圧が入力される（Ｖｓは信号
源１の出力電圧、−Ａは反転増幅器の利得）。端子７の
電圧はほぼ零である。従って、差動増幅器の出力端子に
は測定対象の両端の電圧ではなく、信号源に逆相の電圧
が出力される。一方、高圧電流端子Ｈｃと低圧電流端子
Ｌｃは正常に接続されているため、測定対象に流れる電
流は正しく測定される。この場合、測定電流が信号源と
逆相になることはありえない。従って、測定電流と電圧
が逆相になるため、測定された値の実部は負になる。
るインピーダンスの実部を強制的に負の値にする実施例
について述べる。図１にこの回路を示す。図３と同様の
機能を有する素子には同じ参照番号を付してある。図１
は図３と同じ機能を有する素子すなわち信号源１、抵抗
Ｒ１、測定対象３、４端子のＨｃ、Ｈｐ、Ｌｐ、Ｌｃ、
及び差動増幅器８に、インピーダンス測定値の実部を負
にする次の回路を付加している。２は利得が負の増幅器
すなわち反転増幅器、Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５はそれ
ぞれ抵抗器である。信号源１の出力端子に反転増幅器２
の入力端子を接続し、該反転増幅器の出力端子から抵抗
Ｒ２を介して高圧電圧端子Ｈｐに接続し、さらに高圧電
圧端子Ｈｐと接地端子間に抵抗Ｒ４を接続する。また信
号源１の出力端子には抵抗Ｒ３の一端が接続され、抵抗
Ｒ３の他端は低圧電圧端子Ｌｐに接続される。さらに低
圧電圧端子Ｌｐと接地端子間に抵抗Ｒ５を接続する。各
測定端子が正常に接触している場合、接触判定のために
付加された回路は、後述する方法で通常の測定動作に影
響を与えないように抵抗Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５の値
が選ばれているものとする。この場合、差動増幅器８の
出力には測定対象の両端の電圧が出力されインピーダン
スが正しく測定される。高圧電圧端子Ｈｐが接触不良の
場合、差動増幅器８の入力端子６にはＶｓ＊（−Ａ）＊
Ｒ４／（Ｒ２＋Ｒ４）の電圧が入力される（Ｖｓは信号
源１の出力電圧、−Ａは反転増幅器の利得）。端子７の
電圧はほぼ零である。従って、差動増幅器の出力端子に
は測定対象の両端の電圧ではなく、信号源に逆相の電圧
が出力される。一方、高圧電流端子Ｈｃと低圧電流端子
Ｌｃは正常に接続されているため、測定対象に流れる電
流は正しく測定される。この場合、測定電流が信号源と
逆相になることはありえない。従って、測定電流と電圧
が逆相になるため、測定された値の実部は負になる。
【０００９】また、低圧電圧端子Ｌｐが接触不良の場
合、正常に接続されている端子６の電圧より、端子７の
電圧が高くなるよう、Ｒ１からＲ５の値と差動増幅器の
利得を選んでおく。このようにすると差動増幅器の出力
端には、信号源と逆相の電圧が出力され、測定される値
の実部は負になる。高圧電圧端子Ｈｐ、低圧電圧端子Ｌ
ｐが両方同時に接触不良になった場合も、同様にインピ
ーダンスの実部は負になる。Ｒ１からＲ５の値を適切に
選べば負の値の絶対値は、正常な接触の場合のばらつき
の大きさに比べ十分大きくなる。このようにして、端子
Ｈｐ、端子Ｌｐが接触不良のとき、測定されるインピー
ダンスの実部は、上に述べた接触良否判定基準に比べ十
分負になり、測定端子の接触良否の判定が行える。なお
端子Ｈｃ、端子Ｌｃの接触不良および２端子測定の場合
については、特願平３−３０８４８５に提案されている
方法によって接触判定が可能である。
合、正常に接続されている端子６の電圧より、端子７の
電圧が高くなるよう、Ｒ１からＲ５の値と差動増幅器の
利得を選んでおく。このようにすると差動増幅器の出力
端には、信号源と逆相の電圧が出力され、測定される値
の実部は負になる。高圧電圧端子Ｈｐ、低圧電圧端子Ｌ
ｐが両方同時に接触不良になった場合も、同様にインピ
ーダンスの実部は負になる。Ｒ１からＲ５の値を適切に
選べば負の値の絶対値は、正常な接触の場合のばらつき
の大きさに比べ十分大きくなる。このようにして、端子
Ｈｐ、端子Ｌｐが接触不良のとき、測定されるインピー
ダンスの実部は、上に述べた接触良否判定基準に比べ十
分負になり、測定端子の接触良否の判定が行える。なお
端子Ｈｃ、端子Ｌｃの接触不良および２端子測定の場合
については、特願平３−３０８４８５に提案されている
方法によって接触判定が可能である。
【００１０】各測定端子が正常に接続されている場合、
接触良否判定のために付加された回路が、通常の測定動
作に影響を与えない方法を述べる。これは、まず影響を
極力小さくするように抵抗Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５の
値を選定し、次に残った微少な影響を補正により取り除
く方法である。抵抗の値は、次のようにして選ぶ。Ｒ２
はＲ１に比べて十分大きな値とする。Ｒ１の両端の電圧
を測定して測定対象に流れる電流を測定する方式の場合
は、Ｒ２に流れる電流が測定誤差になる。これを避ける
ためにＲ２は測定対象に比べて十分大きな値とする。Ｒ
４は測定対象３に並列に接続されるので測定誤差にな
る。これを避けるため、Ｒ４は測定対象に比べて十分大
きな値とする。Ｒ３及びＲ５は、端子ＬｃおよびＬｐの
接触抵抗に比べて十分大きな値とする。Ｌｃ端子に電流
計を接続して測定対象に流れる電流を測定する方式では
Ｒ３及びＲ５に流れる電流が測定誤差になるので、これ
を避けるためにＲ３及びＲ５は十分大きな値とする。こ
れらにより、接触良否判定の付加回路が正常な接触のと
きの測定に与える影響を低減できる。
接触良否判定のために付加された回路が、通常の測定動
作に影響を与えない方法を述べる。これは、まず影響を
極力小さくするように抵抗Ｒ２、Ｒ３，Ｒ４及びＲ５の
値を選定し、次に残った微少な影響を補正により取り除
く方法である。抵抗の値は、次のようにして選ぶ。Ｒ２
はＲ１に比べて十分大きな値とする。Ｒ１の両端の電圧
を測定して測定対象に流れる電流を測定する方式の場合
は、Ｒ２に流れる電流が測定誤差になる。これを避ける
ためにＲ２は測定対象に比べて十分大きな値とする。Ｒ
４は測定対象３に並列に接続されるので測定誤差にな
る。これを避けるため、Ｒ４は測定対象に比べて十分大
きな値とする。Ｒ３及びＲ５は、端子ＬｃおよびＬｐの
接触抵抗に比べて十分大きな値とする。Ｌｃ端子に電流
計を接続して測定対象に流れる電流を測定する方式では
Ｒ３及びＲ５に流れる電流が測定誤差になるので、これ
を避けるためにＲ３及びＲ５は十分大きな値とする。こ
れらにより、接触良否判定の付加回路が正常な接触のと
きの測定に与える影響を低減できる。
【００１１】上述のように、これらの抵抗は測定対象に
比べて大きくなければならない。言い換えれば、正常な
接触状態での測定値は、測定対象のインピーダンスが高
いときに、大きな誤差を受けることである。従って、上
述の条件に加えて、さらにこれらの抵抗による誤差を取
り除くには、ＯＰＥＮ校正機能を用いる。この校正方法
は、まず測定端子を開放した状態でインピーダンスを測
定しておき、測定対象を接続してインピーダンスを測定
した測定値に演算により補正を施して誤差を取り除く方
法である。ＯＰＥＮ校正法はインピーダンス測定装置の
誤差を補正する３点校正方法の中の一つである。３点校
正法については特願平５−８５５４５及び特願平５−３
５２２１５を参照のこと。以上に本発明の実施例を示し
たが、例示の様式、部分形、配置、その他に限定するも
のでなく、必要に応じて本発明の要旨を失うことなく構
成の変形も許容される。例えば、図１の実施例では交流
のインピーダンス測定について述べたが、直流の抵抗測
定器においても本発明が適応出来る。
比べて大きくなければならない。言い換えれば、正常な
接触状態での測定値は、測定対象のインピーダンスが高
いときに、大きな誤差を受けることである。従って、上
述の条件に加えて、さらにこれらの抵抗による誤差を取
り除くには、ＯＰＥＮ校正機能を用いる。この校正方法
は、まず測定端子を開放した状態でインピーダンスを測
定しておき、測定対象を接続してインピーダンスを測定
した測定値に演算により補正を施して誤差を取り除く方
法である。ＯＰＥＮ校正法はインピーダンス測定装置の
誤差を補正する３点校正方法の中の一つである。３点校
正法については特願平５−８５５４５及び特願平５−３
５２２１５を参照のこと。以上に本発明の実施例を示し
たが、例示の様式、部分形、配置、その他に限定するも
のでなく、必要に応じて本発明の要旨を失うことなく構
成の変形も許容される。例えば、図１の実施例では交流
のインピーダンス測定について述べたが、直流の抵抗測
定器においても本発明が適応出来る。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、抵抗あるいはインピー
ダンスの測定を行う機器において、しばしば問題となる
測定対象と測定端子の接触不良を検出することが、従来
の方法に比べて簡単に可能になり実用に供して有益であ
る。
ダンスの測定を行う機器において、しばしば問題となる
測定対象と測定端子の接触不良を検出することが、従来
の方法に比べて簡単に可能になり実用に供して有益であ
る。
【図１】本発明の実施例を示す図である。
【図２】本発明の接触良否判定基準を示す図である。
【図３】４端子測定の原理を示す図である。
１：信号源 ２：反転増幅器 ３：測定対象 ４：測定対象の端子 ５：測定対象の端子 ６：差動増幅器の入力端子 ７：差動増幅器の入力端子 ８：差動増幅器 Ｒ１：抵抗 Ｒ２：抵抗 Ｒ３：抵抗 Ｒ４：抵抗 Ｒ５：抵抗
Claims (7)
- 【請求項１】インピーダンス測定装置において、測定端
子と測定対象との接触が不良のときインピーダンス測定
値の実部を負にする手段を備え、該測定値の実部の値を
接触良否判定基準値と比較し、該測定値の実部が該基準
値より負のとき該接触が不良であると判定することを特
徴とするインピーダンス測定装置。 - 【請求項２】前記接触良否判定基準値を零とすることを
特徴とする請求項１記載のインピーダンス測定装置。 - 【請求項３】前記接触良否判定基準値を、前記測定値の
実部のばらつきの大きさ以上の負の値とする請求項１記
載のインピーダンス測定装置。 - 【請求項４】測定対象の一端が接続される高圧電流端子
及び高圧電圧端子と、測定対象の他端が接続される低圧
電流端子及び低圧電圧端子を有し、高圧各端子と低圧各
端子との間に接続される測定対象にインピーダンス測定
信号を与える信号源と、高圧電流端子と低圧電流端子間
に流れる電流および高圧電圧端子と低圧電圧端子間の電
圧を測定する手段を有し、該電流と電圧のベクトル比を
演算してインピーダンスを測定する４端子測定法のイン
ピーダンス測定装置において、インピーダンス測定値の
実部を負にして高圧電圧端子と測定対象との接触不良及
び低圧電圧端子と測定対象との接触不良を検出する手段
を備えたインピーダンス測定装置。 - 【請求項５】前記４端子測定法において、 前記信号源の出力端子に反転増幅器の入力端子を接続
し、該反転増幅器の出力端子から抵抗を介して高圧電圧
端子に接続し、さらに高圧電圧端子と接地端子間に抵抗
を接続することによって高圧電圧端子と測定対象間が接
触不良のときインピーダンス測定値の実部を負にする手
段と、 該信号源の出力端子と低圧電圧端子間及び該低圧電圧端
子と接地端子間にそれぞれ抵抗を接続することによって
該低圧電圧端子と測定対象間が接触不良のときインピー
ダンス測定値の実部を負にする手段と、を有してなる請
求項４記載のインピーダンス測定装置。 - 【請求項６】前記測定端子と測定対象との接触が不良の
とき前記測定値の実部を負にする手段において、反転増
幅器の出力端と高圧電圧端子間に接続した抵抗、該高圧
電圧端子と接地間に接続した抵抗、信号源の出力端子と
低圧電圧端子間に接続した抵抗及び該低圧電圧端子と接
地間に接続した抵抗を、測定対象のインピーダンス及び
測定端子間の接触抵抗に比べ大きな値とし、測定端子と
測定対象との接触が正常のとき該手段がインピーダンス
測定値に与える誤差を小さくした請求項５記載のインピ
ーダンス測定装置。 - 【請求項７】前記測定端子と測定対象との接触が不良の
とき前記測定値の実部を負にする手段において、反転増
幅器の出力端と高圧電圧端子間に接続した抵抗、該高圧
電圧端子と接地間に接続した抵抗、信号源の出力端子と
低圧電圧端子間に接続した抵抗及び該低圧電圧端子と接
地間に接続した抵抗を、測定対象のインピーダンス及び
測定端子間の接触抵抗に比べ大きな値とし、測定端子と
測定対象との接触が正常のとき該手段がインピーダンス
測定値に与える誤差を小さくし、さらに測定端子を開放
した状態の測定値を用いて該誤差を取り除く補正を行う
請求項５記載のインピーダンス測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17006194A JP3415681B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | インピーダンス測定装置 |
| US08/490,355 US5600249A (en) | 1994-06-29 | 1995-06-14 | Determining contact quality of an impedance meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17006194A JP3415681B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | インピーダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815342A true JPH0815342A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3415681B2 JP3415681B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=15897910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17006194A Expired - Fee Related JP3415681B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5600249A (ja) |
| JP (1) | JP3415681B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216528A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Hioki Ee Corp | 絶縁検査方法および絶縁検査装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5999002A (en) * | 1997-08-15 | 1999-12-07 | Keithley Instruments, Inc. | Contact check for remote sensed measurement |
| US5933309A (en) * | 1998-06-02 | 1999-08-03 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for monitoring the effects of contact resistance |
| GB2363855B (en) * | 1999-08-05 | 2002-06-26 | Murata Manufacturing Co | Impedance measuring apparatus for electronic component |
| JP3402274B2 (ja) | 1999-08-05 | 2003-05-06 | 株式会社村田製作所 | 電子部品のインピーダンス測定装置 |
| US7598741B2 (en) * | 1999-12-24 | 2009-10-06 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for internal calibration in induction logging instruments |
| JP2001264128A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-26 | Mitsubishi Electric Corp | センサの異常検出装置、車両の制御装置 |
| US7548819B2 (en) * | 2004-02-27 | 2009-06-16 | Ultra Electronics Limited | Signal measurement and processing method and apparatus |
| US9651596B2 (en) * | 2013-08-30 | 2017-05-16 | Keysight Technologies, Inc. | System and apparatus for measuring capacitance |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3866117A (en) * | 1973-02-12 | 1975-02-11 | Gen Electric | Method and means for measuring the phase angle between current and voltage |
| JP3262819B2 (ja) * | 1991-10-28 | 2002-03-04 | アジレント・テクノロジー株式会社 | 接触判定回路を備えるインピーダンス測定装置及びその接触判定方法 |
| JP3214766B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-10-02 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 接続検査のための装置 |
| US5336990A (en) * | 1993-01-13 | 1994-08-09 | United Technologies Automotive, Inc. | Electrical test shunt having dual contact point mating terminals |
| US5386188A (en) * | 1993-01-15 | 1995-01-31 | Keithley Instruments, Inc. | In-circuit current measurement |
| US5491424A (en) * | 1994-08-12 | 1996-02-13 | At&T Corp. | System for measuring contamination resistance |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP17006194A patent/JP3415681B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-14 US US08/490,355 patent/US5600249A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009216528A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Hioki Ee Corp | 絶縁検査方法および絶縁検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5600249A (en) | 1997-02-04 |
| JP3415681B2 (ja) | 2003-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9322871B2 (en) | Current measurement circuit and method of diagnosing faults in same | |
| US6252411B1 (en) | Method and apparatus for testing frequency-dependent electrical circuits | |
| US5416470A (en) | Contact judging circuit and contact judging method for impedance measuring apparatus | |
| JP3415681B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
| US6674295B1 (en) | Impedance measuring apparatus for electronic component | |
| US6803776B2 (en) | Current-comparator-based four-terminal resistance bridge for power frequencies | |
| US6960290B2 (en) | Testing and calibration device for an oxygen probe evaluation circuit and method of use of the device | |
| JP3675678B2 (ja) | プローブ接触状態検出方法およびプローブ接触状態検出装置 | |
| JP3527665B2 (ja) | コンデンサのインピーダンス測定装置 | |
| JP3283986B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
| JP4421062B2 (ja) | インピーダンス測定方法及び装置 | |
| JP2954449B2 (ja) | 容量測定回路及びそれを備えたｌｃｒメ−タ | |
| JP2004184374A (ja) | インピーダンス測定装置 | |
| JPH05196678A (ja) | 電気回路試験装置 | |
| KR20020094117A (ko) | 인쇄회로기판상의 저항 인덕터 및 커패시터 병렬 회로의검사를 위한 방법 | |
| JP2024123803A (ja) | 電気抵抗の測定方法 | |
| JPH0572243A (ja) | 集積回路装置の計測方法 | |
| JPS637349B2 (ja) | ||
| JPH0814590B2 (ja) | 回路素子測定器の端子接続状態検出回路 | |
| JPH08105935A (ja) | 半導体集積回路の検査装置 | |
| JPH04138378A (ja) | 電流測定装置 | |
| JPH0245155B2 (ja) | ||
| JPH0814591B2 (ja) | 回路素子測定器の端子接続状態検出回路 | |
| JPH0572259A (ja) | 半導体集積回路装置の測定方法 | |
| JPH0886827A (ja) | 部分放電検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |