JPH03229680A - 洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

液晶用カラーフィルター等を製造する際に、ガラス基板
等を洗浄する方法に関する。

【従来の技術】

液晶デイスプレーに使用するカラーフィルターの多くは
、先ずガラス基板の上にＣｒ等の金属を蒸着して金属薄
膜を形成し、次にこの金属薄膜に写真製版技術等の適宜
の手段によって所望のパターンを描画形成している。上
記工程において、前記金属薄膜に無機物や有機物が付着
していると、正規のパターンを形成することができない
。 このため、パターン形成する前にガラス基板をクロコン
液（Ｃｒと硫酸の混合液）に浸漬して洗浄する工程が設
けられている。クロコン液に浸漬して洗浄する方法は手
作業であったり、ロボットによって行われている。

【発明が解決しようとする課題】

しかしながら、ガラス基板を手作業によって一枚ずつク
ロコン液に浸漬して洗浄する方法は生産性が低いだけで
なく、洗浄液が硫酸を使っているため危険でもある。ま
た、ロボットを人手に代えて投入しても、前後の工程と
比較すると能率が劣るため、ラインを連続化するメリッ
トがないと云う問題点があった。 したがって、安全にしかも高能率にガラス基板を洗浄す
ることのできる洗浄方法の開発が待たれていた。

【課題を解決するための手段】

本発明は上記した従来技術の課題を解決するためになさ
れたもので、洗浄槽に洗浄液を注入して側壁よりオーバ
ーフローさせ、オーバーフロー中の液面上昇部に被洗浄
物を水平搬送手段によって搬送し、洗浄液と接触させて
洗浄することを特徴とする洗浄方法を提供するものであ
る。

【作用】

本発明になる洗浄方法は上記構成であるので、洗浄液を
液槽から洗浄槽に循環注入し、側壁よりオーバーフロー
させながら被洗浄物を搬送手段によって洗浄槽の上に搬
送すると、オーバーフロー中の液面上昇部に被洗浄物が
浸漬されるので、被洗浄物の表面に付着等していた汚れ
は洗浄液によって洗い落とされる。

【実施例】

つぎに本発明を図面に基づいて詳細に説明する。 図中１は液槽２の略中層部に適宜の手段によって配置さ
れた洗浄槽であり、該洗浄槽１の底部と前記液槽２の底
部とを連通ずる注入バイブ３の途中に設けられたポンプ
４によって、洗ｉ液５がＭ１２から洗浄槽１に注入可能
に配設されている。 洗浄槽１の底部から注入された洗浄液５は、側壁１１の
上端より液面５１が上昇し、オーバーフローして液槽２
に戻る。液面５１の上昇の程度は側壁１１の周長が一定
であれば、ポンプ４による洗浄槽１への注入速度に大略
比例する。 符号６は、液槽２の側壁２１に設けられたスリット２１
ａと２１ｂとを通り、洗浄槽１の前記側壁１１の上端す
れすれに水平移動可能に設けられたコンベヤーであり、
片面にクロム蒸着されたガラス基板７がクロム蒸着面を
上にして水平方向に自動搬送される。 上記構成の装置を用いてガラス基板７を洗浄する方法を
説明すると、ポンプ４を駆動し、注入パイプ３を介して
液槽２にある洗浄液Ｓを洗浄槽１にその底部から注入す
ると、洗浄槽１に注入された洗浄液５の液面５１は側壁
１１より上昇し、側壁１１の上部開口端よりオーバーフ
ローして液槽２に戻る。洗浄液５をこの様に循環させな
がら、コンベヤー６を駆動させてガラス基板７を側壁２
１のスリット２１ａから液槽２に送り込み、洗浄槽１の
上を通過させて図面右側のスリブ）２１ｂより搬出させ
る。ガラス基板７は洗浄槽１の上を通過中に、洗浄液５
の液面上昇部に浸漬されてその表面が洗浄される。 なお、洗浄槽１は第２図に示す様に、被洗浄物の搬送手
段であるコンベヤー６の配設箇所を除いて側壁１１を高
くしてスリブ１−ＩＬａおよび１１ｂを形成し、洗浄液
５を注入する手段の能力が比較的小さくても液面５１が
容易に上昇する様にすることもできる。この場合、洗浄
液５はスリット１１ａおよびｆｌｂよりオーバーフロー
するので、側壁１の上端からはオーバーフローさせても
させなくても良い。また、第３図に示す様に、洗浄槽１
を多数列設して洗浄効率を高めたり（この場合、液槽１
の内部を各洗浄槽１に対応させて区画し、それぞれの間
で洗浄液５を循環注入することも可能）、洗浄液５を被
洗浄物であるガラス基板７の上方から吹き付けて洗浄効
果を高めることもできる。さらに、洗浄槽１に超音波発
振装置を付設して洗浄効果を高めたり、被洗浄物の搬出
入口である側壁２１のスリブ）２１ａおよび２１ｂにエ
アーカーテン等を設けて洗浄液５が装置の外に持ち出さ
れない様にしたり、洗浄液５の循環部に濾過装置を適宜
組込んだり、液槽２に排気装置を付設するなど、従来周
知の各種手段が併用可能なことは云うまでもない。とこ
ろで洗浄槽１、液槽２等は洗浄液５（クロコン液に限定
されるものではない）によって腐食等されることがない
部材、例えばテフロン、塩化ビニル等によって作られる
ことが望ましい。

【発明の効果】

以上説明した様に、本発明になる洗浄方法は洗浄槽に洗
浄液を注入して側壁よりオーバーフローさせ、オーバー
フロー中の液面上昇部に被洗浄物を水平搬送手段によっ
て搬送し、洗浄液と接触させて洗浄する方法であるので
、水平方向に搬送するだけで被洗浄物は洗浄される。し
たがって、洗浄速度は前後の工程と比較しても遜色ない
ため、洗浄工程を組込んだ高能率なカラーフィルターの
製造ラインが可能となった。また、この様に自動化がで
きるため、人手に頼っていた時に較べ格段に安全性も向
上した。さらに、洗浄液の収率も被洗浄物の出入り口に
エアーナイフ等の簡単な液切れ手段を付設することによ
り、従来の浸漬法より著しく向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図と第３図
は装置の要部の他の例を示す説明図である。 １・・・洗浄槽、 １１・・・側壁、 １１ａ１　ｌｂ・・・スリット、 ２・・・液槽、 ２１・・・側壁、 ２１　ａ１２　ｌ　ｂ＋＋スリット、 ３・・・注入パイプ、 ４・・・ポンプ、 ５・・・洗浄液、 ５１・・・洗浄液部、 ６・・・コンベヤー ７・・・ガラス基板。 第１図 第３図 １１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　洗浄槽に洗浄液を注入して側壁よりオーバーフローさ
   せ、オーバーフロー中の液面上昇部に被洗浄物を水平搬
   送手段によって搬送し、洗浄液と接触させて洗浄するこ
   とを特徴とする洗浄方法。