JPH03215985A - レーザ装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 30
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
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- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明はパルス状の高エネルギレーザ光を発生するた
めのガスレーザ装置の改良に関する。
めのガスレーザ装置の改良に関する。
［従来の技術］
パルス状の高エネルギレーザ光を発生するガスレーザ装
置としては、複数のガスレーザ発振装置を組合せた多段
増幅型のものが知られている。このようなガスレーザ装
置は、例えば第３図に示すように、第１のガスレーザ発
振装置１の出射光を第２のガスレーザ発振装置２に入射
してこれを第２のガスレーザー発振装置２で発生したレ
ーザ光に重畳させ、重畳された第２のガスレーザ発振装
置２の出射光を第３のガスレーザ発振装置３に入射して
、第３のガスレーザ発振装置３で発生したレーザ光に重
畳させるように構成しており、この第３のレーザ発振装
置３から増強されたレーザ光が出射される。第１、第２
及び第３のガスレーザ発振装置１、２及び３は、同期制
御ユニノ１・４により制御されるように構成されており
、この同期制御ユニット４からそれぞれのトリガ信号が
各ガスレーザ発振装置１、２及び３に内蔵された励起用
のサイラトロンに印加される。これらのトリガ信号によ
って各ガスレーザ発振装置３２、３は発振しレーザ光を
発生ずるが、トリガ信号が印加されてからレーザ光が生
じ、その強度が最大（ピ−ク）になるまでの時間（例え
ばｌμｓｅｃでこの時間を以後タイムラグと称する）は
各ガスレーザ発振装置１、２、３により異なる。すなわ
ちこのタイムラグはガスレーザ発振装置１，２、３の構
成要素の寸法の偏差、ガス圧のばらつき等によって変化
し、上記３個のガスレーザ発振装置１、２、３のタイム
ラグを一致させることは困難である。
置としては、複数のガスレーザ発振装置を組合せた多段
増幅型のものが知られている。このようなガスレーザ装
置は、例えば第３図に示すように、第１のガスレーザ発
振装置１の出射光を第２のガスレーザ発振装置２に入射
してこれを第２のガスレーザー発振装置２で発生したレ
ーザ光に重畳させ、重畳された第２のガスレーザ発振装
置２の出射光を第３のガスレーザ発振装置３に入射して
、第３のガスレーザ発振装置３で発生したレーザ光に重
畳させるように構成しており、この第３のレーザ発振装
置３から増強されたレーザ光が出射される。第１、第２
及び第３のガスレーザ発振装置１、２及び３は、同期制
御ユニノ１・４により制御されるように構成されており
、この同期制御ユニット４からそれぞれのトリガ信号が
各ガスレーザ発振装置１、２及び３に内蔵された励起用
のサイラトロンに印加される。これらのトリガ信号によ
って各ガスレーザ発振装置３２、３は発振しレーザ光を
発生ずるが、トリガ信号が印加されてからレーザ光が生
じ、その強度が最大（ピ−ク）になるまでの時間（例え
ばｌμｓｅｃでこの時間を以後タイムラグと称する）は
各ガスレーザ発振装置１、２、３により異なる。すなわ
ちこのタイムラグはガスレーザ発振装置１，２、３の構
成要素の寸法の偏差、ガス圧のばらつき等によって変化
し、上記３個のガスレーザ発振装置１、２、３のタイム
ラグを一致させることは困難である。
多段増幅型のガスレーザ装置においては、複数のガスレ
ーザ発振装置１、２、３の光出力のピークの時点を一致
させる必要がある。しかし、前記のように、各ガスレー
ザ発振装置１、２、３のタイムラグは同一ではないので
、各ガスレーザ発振装置１、２、３に同時にトリが信号
を印加したのでは前記光出力のピークの時点を一致させ
ることはできない。各ガスレーザ発振装置１、２、３の
光出力のピークの時点が一致しない場合は、それらが重
畳された光出力のピーク値が高くならず、高エネルギー
を有するレーザ光を得ることはできない。
ーザ発振装置１、２、３の光出力のピークの時点を一致
させる必要がある。しかし、前記のように、各ガスレー
ザ発振装置１、２、３のタイムラグは同一ではないので
、各ガスレーザ発振装置１、２、３に同時にトリが信号
を印加したのでは前記光出力のピークの時点を一致させ
ることはできない。各ガスレーザ発振装置１、２、３の
光出力のピークの時点が一致しない場合は、それらが重
畳された光出力のピーク値が高くならず、高エネルギー
を有するレーザ光を得ることはできない。
上記の光出力のピークの時点を一致させるため５
の従来の技術としては、米国、クエステック社の製品カ
タログに示されたものがある。この従来例においては、
このガスレーザ装置を一定の周期で動作させるための電
気信号の起動パルス信号を前記同期制御ユニット４にお
いて前記一定の周期で発生させる。そしてその起動パル
ス信号から第１の所定の時間（例えば３μｓｅｃ）を経
過した時点を「基準時点」と定める。第１、第２及び第
３の各ガスレーザ発振装置１、２、３に個別に印加され
る各トリガ信号はこの起動パルス信号からそれぞれ第２
、第３及び第４の所定時間（第１の所定時間より短く例
えば２μｓｅｃ前後）後に出力されるようになされてい
る。一方各ガスレーザ発振装置１，２．３にはその出力
光を検出するための光検出器５、６、７がそれぞれ設け
られており、各光検出器５、６、７は所定の閾値を越え
る光入力があったとき検出出力を出力するようになされ
ている。各光検出器５、６、７の検出出力は、前記同期
制御ユニット４において、前記基準時点との時間的な前
後関係である時期（以後タイミングと６ 称する）が比較される。すなわち、光検出器５、６、７
の検出出力が基準時点より先に検出されるか、後に検出
されるかが調べられる。例えば、第１のガスレーザ発振
装置ｌの光検出器５の検出出力が基準時点より前に検出
されたときは、次の発振時に前記第２の所定時間を延長
してトリガ信号の出力時点を一定時間遅延させる。トリ
ガ信号が遅延すると、１・リガ信号の出力時点からタイ
ムラグの時間後に発振するガスレーザ発振装置の発光時
点も遅れる。このようにして前記一定時間の遅延を１周
期毎に繰り返して行い前記光検出器の検出出力の検出時
点が基準時点に一致した時点で制御動作を停止する。上
記の制御動作は第２及び第３のガスレーザ発振装置につ
いても同様に行なわれる。
タログに示されたものがある。この従来例においては、
このガスレーザ装置を一定の周期で動作させるための電
気信号の起動パルス信号を前記同期制御ユニット４にお
いて前記一定の周期で発生させる。そしてその起動パル
ス信号から第１の所定の時間（例えば３μｓｅｃ）を経
過した時点を「基準時点」と定める。第１、第２及び第
３の各ガスレーザ発振装置１、２、３に個別に印加され
る各トリガ信号はこの起動パルス信号からそれぞれ第２
、第３及び第４の所定時間（第１の所定時間より短く例
えば２μｓｅｃ前後）後に出力されるようになされてい
る。一方各ガスレーザ発振装置１，２．３にはその出力
光を検出するための光検出器５、６、７がそれぞれ設け
られており、各光検出器５、６、７は所定の閾値を越え
る光入力があったとき検出出力を出力するようになされ
ている。各光検出器５、６、７の検出出力は、前記同期
制御ユニット４において、前記基準時点との時間的な前
後関係である時期（以後タイミングと６ 称する）が比較される。すなわち、光検出器５、６、７
の検出出力が基準時点より先に検出されるか、後に検出
されるかが調べられる。例えば、第１のガスレーザ発振
装置ｌの光検出器５の検出出力が基準時点より前に検出
されたときは、次の発振時に前記第２の所定時間を延長
してトリガ信号の出力時点を一定時間遅延させる。トリ
ガ信号が遅延すると、１・リガ信号の出力時点からタイ
ムラグの時間後に発振するガスレーザ発振装置の発光時
点も遅れる。このようにして前記一定時間の遅延を１周
期毎に繰り返して行い前記光検出器の検出出力の検出時
点が基準時点に一致した時点で制御動作を停止する。上
記の制御動作は第２及び第３のガスレーザ発振装置につ
いても同様に行なわれる。
［発明が解決しようとする課題］
前記従来の技術によるガスレーザ装置においては、光検
出器５、６、７はそれぞれ第１、第２及び第３のガスレ
ーザ発振装置１，２、３の出力光を検出するが、光検出
器６は第１のガスレーザ発振装置１から第２のガスレー
ザ発振装置２に入力された光に第２のガスレーザ発振装
置２で発生した光が重畳された光を検出する。同様に、
光検出器７は第１及び第２のガスレーザ発振装置ｌ及び
２から入力された光に第３のガスレーザ発振装置３で発
生した光が重畳された光を検出する。したがって、例え
ば、光検出器６の閾値の設定においては、その閾値のレ
ベルを前段の第１のガスレーザ発振装置１からの入力光
のレベルより高い第２のガスレーザ発振装置２の出力光
のレベルによって検出出力が得られるように設定する必
要がある。
出器５、６、７はそれぞれ第１、第２及び第３のガスレ
ーザ発振装置１，２、３の出力光を検出するが、光検出
器６は第１のガスレーザ発振装置１から第２のガスレー
ザ発振装置２に入力された光に第２のガスレーザ発振装
置２で発生した光が重畳された光を検出する。同様に、
光検出器７は第１及び第２のガスレーザ発振装置ｌ及び
２から入力された光に第３のガスレーザ発振装置３で発
生した光が重畳された光を検出する。したがって、例え
ば、光検出器６の閾値の設定においては、その閾値のレ
ベルを前段の第１のガスレーザ発振装置１からの入力光
のレベルより高い第２のガスレーザ発振装置２の出力光
のレベルによって検出出力が得られるように設定する必
要がある。
同様にして検出器７の閾値は第３のガスレーザ発振装置
３の出力光によって検出出力が得られるように設定する
必要がある。しかしこのような閾値の設定は繁雑であり
、設定値を誤ると前段のガスレーザ発振装置からの入力
光を検出する場合がある。このような値に閾値が設定さ
れると各ガスレーザ発振装置の発生時点を一致させるこ
とができない。
３の出力光によって検出出力が得られるように設定する
必要がある。しかしこのような閾値の設定は繁雑であり
、設定値を誤ると前段のガスレーザ発振装置からの入力
光を検出する場合がある。このような値に閾値が設定さ
れると各ガスレーザ発振装置の発生時点を一致させるこ
とができない。
［課題を解決するための手段コ
この第１の発明のレーザ装置は、第１のガスレーザ発振
装置の出射光を第２のガスレーザ発振装置に入射させて
第２のガスレーザ発振装置において発生した光に重畳さ
せて第２のガスレーザ発振装置から出射させ、さらに第
２のガスレーザ発振装置の出射光を第３のガスレーザ発
振装置に入射させ、第３のガスレーザ発振装置において
発生した光に重畳させて出射させるように順次配列した
少なくとも２個のガスレーザ発振装置を所定の周期で発
振させるための個別のトリガ信号をトリガ信号発生回路
において発生させ、前記重畳された出射光の強度を検出
手段により検出し、その検出出力のレベルを、メモリ手
段によって記憶し、検出出力のレベルをメモリ手段に記
憶された前の周期のレベルと比較手段により比較し、比
較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加す
るように各ガスレーザ発振装置のトリガ信号の出力時期
を演算装置により調節するように構成している。
装置の出射光を第２のガスレーザ発振装置に入射させて
第２のガスレーザ発振装置において発生した光に重畳さ
せて第２のガスレーザ発振装置から出射させ、さらに第
２のガスレーザ発振装置の出射光を第３のガスレーザ発
振装置に入射させ、第３のガスレーザ発振装置において
発生した光に重畳させて出射させるように順次配列した
少なくとも２個のガスレーザ発振装置を所定の周期で発
振させるための個別のトリガ信号をトリガ信号発生回路
において発生させ、前記重畳された出射光の強度を検出
手段により検出し、その検出出力のレベルを、メモリ手
段によって記憶し、検出出力のレベルをメモリ手段に記
憶された前の周期のレベルと比較手段により比較し、比
較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加す
るように各ガスレーザ発振装置のトリガ信号の出力時期
を演算装置により調節するように構成している。
また第２の発明のレーザ装置は、第１のガスレ９ −
一ザ発振装置の出射光を第２のガスレーザ発振装置に入
射させて第２のガスレーザ発振装置において発生した光
に重畳させて第２のガスレーザ発振装置から出射させ、
さらに第２のガスレーザ発振装置の出射光を第３のガス
レーザ発振装置に入射させ、第３のガスレーザ発振装置
において発生した光に重畳させて出射させるように順次
配列した３個のガスレーザ発振装置を所定の周期で発振
させるための個別のトリガ信号をトリガ信号発生回路に
おいて発生させ、前記重畳された出射光の強度を検出手
段により検出し、その検出出力のレベルを、メモリ手段
によって記憶し、検出出力のレベルをメモリ手段に記憶
された前の回の発振のレベルと比較手段により比較し、
比較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加
するように第２及び第３のガスレーザ発振装置のトリガ
信号の出力時期を第２のガスレーザー装置及び第３のガ
スレーザー装置の順序で順次演算装置により調節するよ
うに構成している。
射させて第２のガスレーザ発振装置において発生した光
に重畳させて第２のガスレーザ発振装置から出射させ、
さらに第２のガスレーザ発振装置の出射光を第３のガス
レーザ発振装置に入射させ、第３のガスレーザ発振装置
において発生した光に重畳させて出射させるように順次
配列した３個のガスレーザ発振装置を所定の周期で発振
させるための個別のトリガ信号をトリガ信号発生回路に
おいて発生させ、前記重畳された出射光の強度を検出手
段により検出し、その検出出力のレベルを、メモリ手段
によって記憶し、検出出力のレベルをメモリ手段に記憶
された前の回の発振のレベルと比較手段により比較し、
比較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加
するように第２及び第３のガスレーザ発振装置のトリガ
信号の出力時期を第２のガスレーザー装置及び第３のガ
スレーザー装置の順序で順次演算装置により調節するよ
うに構成している。
［作用コ
１０
一定の周期で出力されるパルス状のレーザ光の強さを光
検出器により検出し、そのレベルをメモリするとともに
、各レーザ発振装置のトリガタイミングを前記１周期毎
に進ませ又は遅らせて前記レベルが最大になるタイミン
グに制御する。
検出器により検出し、そのレベルをメモリするとともに
、各レーザ発振装置のトリガタイミングを前記１周期毎
に進ませ又は遅らせて前記レベルが最大になるタイミン
グに制御する。
［実施例］
第１図にこの発明のレーザ装置の実施例を示す。
この実施例においては、例えば３個のガスレーザ発振装
置１、２、３が組合わされており、第１のガスレーザ発
振装置１の出射光は第２のガスレーザ発振装置２に入射
され、第２のガスレーザ発振装置２で発生するレーザ光
に重畳される。そして第２のガスレーザ発振装置２の出
射光は第３のガスレーザ発振装置３に入射され、第３の
ガスレーザ発振装置３で発生するレーザ光に重畳されて
出射される。第３のガスレーザ発振装置３の出射光の強
度はホトトランジスタ等による光検出器７によって検出
される。光検出器７は例えば、出力光の光路中に配置さ
れたハーフミラーによって分割された光を検出するよう
になされている。光検出器７の検出出力は同期制御装置
１０に入力される。
置１、２、３が組合わされており、第１のガスレーザ発
振装置１の出射光は第２のガスレーザ発振装置２に入射
され、第２のガスレーザ発振装置２で発生するレーザ光
に重畳される。そして第２のガスレーザ発振装置２の出
射光は第３のガスレーザ発振装置３に入射され、第３の
ガスレーザ発振装置３で発生するレーザ光に重畳されて
出射される。第３のガスレーザ発振装置３の出射光の強
度はホトトランジスタ等による光検出器７によって検出
される。光検出器７は例えば、出力光の光路中に配置さ
れたハーフミラーによって分割された光を検出するよう
になされている。光検出器７の検出出力は同期制御装置
１０に入力される。
同期制御装置１０は演算回路１１、メモリ１２、比較回
路１３及び１・リガ信号発生回路１４から構成されてい
る。この実施例の動作を第２図のフローチャートを参照
して説明する。トリガ信号発生回路１４は一定の周期で
個別のトリガ信号を第１、第２及び第３のガスレーザ発
振装置１、２、３にぞれぞれ印加するようになされてお
り、各トリガ信号が出力される時期（以下タイミングと
称する）は演算装置１１によって制御されている。同期
制御装置１０に入力された光検出器７の検出出力は演算
装置ｌ１に入力され、その大きさである出力レベルが検
出されてメモリ１２にメモリされる（第２図フローチャ
ートのステップ１）。
路１３及び１・リガ信号発生回路１４から構成されてい
る。この実施例の動作を第２図のフローチャートを参照
して説明する。トリガ信号発生回路１４は一定の周期で
個別のトリガ信号を第１、第２及び第３のガスレーザ発
振装置１、２、３にぞれぞれ印加するようになされてお
り、各トリガ信号が出力される時期（以下タイミングと
称する）は演算装置１１によって制御されている。同期
制御装置１０に入力された光検出器７の検出出力は演算
装置ｌ１に入力され、その大きさである出力レベルが検
出されてメモリ１２にメモリされる（第２図フローチャ
ートのステップ１）。
次の発振において、第２のガスレーザ発振装置２のトリ
ガ信号が出力されるタイミングである「第２のタイミン
グ」が進められる（ステソプ２）。
ガ信号が出力されるタイミングである「第２のタイミン
グ」が進められる（ステソプ２）。
進め時間は例えばｌｎｓｅｃであり、この時間はタイミ
ングを遅らす場合も同様である。ステソプ３で出力レベ
ル増加したかどうかが判定され、出力レベルが増加した
場合には引続いて以後の発振毎に第２のタイミングが進
められ、出力レベルが最高値に達し、次に下降に転ずる
タイミングを検出する。下降に転じたことがステソブ３
で検出されると、ステップ４で第２のタイミングを遅ら
せ、ステップ５で出力レベルの増加を確認して、２周期
前に第２のタイミングが進められたことをステップ７に
よって確認して第２のタイミングの調整を完了し、ステ
ップ８に移る。上記のプロセスによって第２のガスレー
ザ発振装置２のタイミングは最適の値に設定される。次
に第３のガスレーザ発振装置３についても同様にしてス
テップ８からステップ１３において最適なタイミングが
設定される。この実施例において、ガスレーザ発振装置
は３個用いられているが、この数は３個に限定されるも
のではない。３個以上のガスレーザー発振装置を用いる
ときは第２のガスレーザー発振装置から順次出力時期の
調節をすることが必要である。
ングを遅らす場合も同様である。ステソプ３で出力レベ
ル増加したかどうかが判定され、出力レベルが増加した
場合には引続いて以後の発振毎に第２のタイミングが進
められ、出力レベルが最高値に達し、次に下降に転ずる
タイミングを検出する。下降に転じたことがステソブ３
で検出されると、ステップ４で第２のタイミングを遅ら
せ、ステップ５で出力レベルの増加を確認して、２周期
前に第２のタイミングが進められたことをステップ７に
よって確認して第２のタイミングの調整を完了し、ステ
ップ８に移る。上記のプロセスによって第２のガスレー
ザ発振装置２のタイミングは最適の値に設定される。次
に第３のガスレーザ発振装置３についても同様にしてス
テップ８からステップ１３において最適なタイミングが
設定される。この実施例において、ガスレーザ発振装置
は３個用いられているが、この数は３個に限定されるも
のではない。３個以上のガスレーザー発振装置を用いる
ときは第２のガスレーザー発振装置から順次出力時期の
調節をすることが必要である。
［発明の効果］
この発明によれば、多段増幅型ガスレーザ装置−１３
の最終段の出射光のレベルを検出し、そのレベルが最大
になるように各段のガスレーザ発振装置のタイミングを
変化させるので、光検出装置の検出の閾値に無関係に各
ガスレーザ発振装置の発振のタイミングを一致させるこ
とができる。
になるように各段のガスレーザ発振装置のタイミングを
変化させるので、光検出装置の検出の閾値に無関係に各
ガスレーザ発振装置の発振のタイミングを一致させるこ
とができる。
第１図はこの発明のレーザ装置の実施例のブロックダイ
ヤグラム、第２図は本発明の実施例の動作を示すフロー
チャート、第３図は従来の技術によるレーザ装置のブロ
ックダイヤグラムである。
ヤグラム、第２図は本発明の実施例の動作を示すフロー
チャート、第３図は従来の技術によるレーザ装置のブロ
ックダイヤグラムである。
Claims (2)
- （１）第１のガスレーザ発振装置の出射光を第２のガス
レーザ発振装置に入射させ第２のガスレーザ発振装置に
おいて発生した光に重畳させて前記第２のガスレーザ発
振装置から出射させ、さらに第２のガスレーザ発振装置
の出射光を第３のガスレーザ発振装置に入射させ、第３
のガスレーザ発振装置において発生した光に重畳させて
出射させるように順次配列した少なくとも２個のガスレ
ーザ発振装置、 前記少なくとも２個のガスレーザ発振装置を所定の周期
で発振させるための個別のトリガ信号を前記少なくとも
２個のガスレーザ発振装置にそれぞれ与えるためのトリ
ガ信号発生回路、 前記順次配列された最終のガスレーザ発振装置の出射光
の強度を検出する検出手段、 検出手段の検出出力のレベルを記憶するメモリ手段、 検出出力のレベルを、メモリ手段に記憶された１周期前
の検出出力のレベルと比較する比較手段、及び 比較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加
する方向に各ガスレーザ発振装置のトリガ信号の出力時
期を調節する演算装置 を有するレーザー装置。 - （２）第１のガスレーザ発振装置の出射光を第２のガス
レーザ発振装置に入射させ第２のガスレーザ発振装置に
おいて発生した光に重畳させて前記第２のガスレーザ発
振装置から出射させ、さらに第２のガスレーザ発振装置
の出射光を第３のガスレーザ発振装置に入射させ、第３
のガスレーザ発振装置において発生した光に重畳させて
出射させるように順次配列したガスレーザ発振装置、 前記３個のガスレーザ発振装置を所定の周期で発振させ
るための個別のトリガ信号を前記３個のガスレーザ発振
装置にそれぞれ与えるためのトリガ信号発生回路、 前記第３のガスレーザ発振装置の出射光の強度を検出す
る検出手段、 検出手段の検出出力のレベルを記憶するメモリ手段、 検出出力のレベルを、メモリ手段に記憶された１周期前
の検出出力のレベルと比較する比較手段、及び 比較手段の比較結果に基づいて検出出力のレベルが増加
する方向に第２及び第３のガスレーザ発振装置のトリガ
信号の出力時期を第２のガスレーザー装置及び第３のガ
スレーザー発振装置の順序で順次調節する演算装置 を有するレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080590A JPH03215985A (ja) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080590A JPH03215985A (ja) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03215985A true JPH03215985A (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=11760560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1080590A Pending JPH03215985A (ja) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03215985A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4230496A1 (de) * | 1992-09-11 | 1994-03-17 | Bergmann Hans Wilhelm | Verfahren zum Feinabtrag mit gepulster Laserstrahlung |
| EP1540783A2 (en) * | 2002-07-31 | 2005-06-15 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
| JP2012204820A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Gigaphoton Inc | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
-
1990
- 1990-01-20 JP JP1080590A patent/JPH03215985A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4230496A1 (de) * | 1992-09-11 | 1994-03-17 | Bergmann Hans Wilhelm | Verfahren zum Feinabtrag mit gepulster Laserstrahlung |
| EP1540783A2 (en) * | 2002-07-31 | 2005-06-15 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
| EP1540783A4 (en) * | 2002-07-31 | 2006-04-19 | Cymer Inc | CONTROL SYSTEM FOR TWO CHAMBER GAS LASER |
| JP2012204820A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Gigaphoton Inc | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
| US9184555B2 (en) | 2011-03-28 | 2015-11-10 | Gigaphoton Inc. | Laser system and laser light generation method |
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