JPH0320912B2 - - Google Patents

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JPH0320912B2
JPH0320912B2 JP58104590A JP10459083A JPH0320912B2 JP H0320912 B2 JPH0320912 B2 JP H0320912B2 JP 58104590 A JP58104590 A JP 58104590A JP 10459083 A JP10459083 A JP 10459083A JP H0320912 B2 JPH0320912 B2 JP H0320912B2
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JP
Japan
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resistor
resin
paste
printed
epoxy
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58104590A
Other languages
English (en)
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JPS59228749A (ja
Inventor
Masakazu Yamagishi
Akira Kazami
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
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Publication of JPS59228749A publication Critical patent/JPS59228749A/ja
Publication of JPH0320912B2 publication Critical patent/JPH0320912B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/702Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof
    • H01L21/705Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof of thick-or thin-film circuits or parts thereof of thick-film circuits or parts thereof

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は混成集積回路、特に二種類の抵抗ペー
ストより成る抵抗体を有する混成集積回路に関す
る。
(ロ) 従来技術 従来の混成集積回路を第1図に示す。混成集積
回路基板1は表面をアルマイト処理したアルミニ
ウム基板を用い、基板1上に所望の形状の銅箔よ
り成る導電路2を設け、導電路2間にはオーミツ
ク接触を得るための導電ペースト3を介して印刷
抵抗体4が適宜形成されている。
印刷抵抗体4のペーストとして従来エポキシ樹
脂ベースのカーボン印刷抵抗ペーストが主流であ
つた。一般的に、このカーボン印刷抵抗ペースト
はエポキシ樹脂100、カーボン8、無機フイラ
ー30、有機溶剤100の組成で形成されてい
る。エポキシ樹脂はフレキシブルで密着性が良い
ので、スクリーン印刷には適しているが、反面耐
熱性が悪く抵抗値の変動巾が大きい欠点を有して
いる。
また、上記したエポキシ樹脂ベースのカーボン
印刷ペースト以外の抵抗体としてポリイミド系樹
脂ベースの印刷ペーストが知られている。ポリイ
ミド系樹脂にはカプトン型とビスマレイミド型と
がある。カプトン型はジメチルフオルムアミド、
Nメチルピロリドン等の極性の強い溶媒にしか溶
解しない熱可塑性ポリイミドであり、ビスマレイ
ミド型はこれらより多種の比較的極性に弱い溶媒
にも溶解できる熱硬化性ポリイミドである。
しかしカプトン型ではペースト化が極めて困難
であり、印刷ステンシルに有害な強い極性の溶剤
が必要であり、更に250℃以上の高温長時間の焼
付が必要となるため、一般のフエノールあるいは
エポキシ系基板には使用できない。ビスマレイミ
ド型ではカーボンとのペースト化は比較的容易で
あるが、上述したカプトン型と同様に強い極性の
溶剤と高温長時間の焼付を必要とする。更にビス
マレイミド型の欠点であるもろさと低接着性のた
めに厚膜20μ以下では均一にスクリーン印刷を行
なえないばかりでなく構造的に安定した厚膜抵抗
体が得られないという最大の欠点があつた。
従つて耐熱性のある抵抗値の変動の少い印刷抵
抗体を組込んだ混成集積回路の要求を満足できな
かつた。
本発明に依る混成集積回路は第2図に示す如
く、混成集積回路基板11と、基板11上に設け
た導電路12と、エポキシ樹脂ベースのカーボン
印刷抵抗ペーストおよびエポキシ変性した熱硬化
性ポリイミド樹脂ベースのカーボン印刷抵抗ペー
ストで形成した抵抗体14,15より構成され、
焼成時間によりエポキシ樹脂ベースのカーボン印
刷抵抗ペーストの抵抗体14の面積抵抗値を調整
することを特徴とする。
(ハ) 発明の目的 本発明は斯点に鑑みてなされ、従来の抵抗ペー
ストの欠点を利用し且つ抵抗値の一定なエポキシ
変性した熱硬化性ポリイミド樹脂ベースのカーボ
ン印刷抵抗ペーストと併用して抵抗値の調整を可
能とした混成集積回路を提供することを目的とす
る。
(ニ) 発明の構成 本発明に依る混成集積回路は第2図に示す如
く、混成集積回路基板11と、基板11上に設け
た導電路12と、エポキシ樹脂ベースのカーボン
印刷抵抗ペーストおよびポリイミド樹脂ベースの
カーボン印刷抵抗ペーストで形成した抵抗体1
4,15より構成され、焼成時間によりエポキシ
樹脂ベースのカーボン印刷抵抗ペーストの抵抗体
14の面積抵抗値を調整することを特徴とする。
(ホ) 実施例 混成集積回路基板11としてはアルミニウム基
板表面をアルマイト処理したものあるいはアルミ
ニウム基板表面にAl2O3を混入した絶縁樹脂を塗
布したもの等を用い、良好な放熱特性を得てい
る。
斯る基板11上には銅箔を貼着し、所望の形状
にエツチングして導電路12を形成する。導電路
12は表面の酸化を防止するためにニツケルメツ
キを施している。
抵抗体14,15は本発明の特徴とする点であ
る。抵抗体14,15は導電路12間にオーミツ
ク接触のための導電ペースト13を介してカーボ
ン印刷抵抗ペーストをスクリーン印刷して形成さ
れる。カーボン印刷抵抗ペーストとしては従来の
エポキシ樹脂ベースのものと、エポキシ変性した
熱硬化性ポリイミド樹脂ベースのカーボン印刷抵
抗ペーストを用いる。
斯るポリイミド樹脂ベースのカーボンレジン印
刷抵抗ペーストは、エポキシ変性ポリイミド樹脂
100、カーボン8、無機フイラー30、有機溶
剤110の重量比で組成されている。エポキシ変
性ポリイミド樹脂はビスマレイミド型ポリイミド
樹脂に分子量300〜3000のエポキシ樹脂を10〜80
部添加して加熱変性して共重合して形成する。
従来のエポキシ樹脂ベースのカーボンレジン印
刷抵抗ペーストおよびエポキシ変性したポリイミ
ド樹脂ベースのカーボンレジン印刷抵抗ペースト
は、それぞれスクリーン印刷により基板11の所
望の導電路12間に付着される。続いて両カーボ
ンレジン印刷抵抗ペーストは同時に焼成工程によ
り焼成される。第3図から明らかな様に従来のエ
ポキシ樹脂ベースのカーボンレジン印刷抵抗ペー
ストは点線の如く焼成時間の増加につれてその面
積抵抗値が減少し、ポリイミド樹脂ベースのカー
ボンレジン印刷抵抗ペーストは実線の如く焼成時
間に関係なくほぼ一定の面積抵抗値を得られる。
これはポリイミド樹脂の耐熱性に寄因するもので
ある。
従つて第4図に示すトランジスタ回路のベース
ブリーダ抵抗R1,R2について、R1にポリイ
ミド樹脂ベースのカーボンレジン印刷抵抗ペース
トを用い、R2に従来のエポキシ樹脂ベースのカ
ーボンレジン印刷抵抗ペーストを用いると、抵抗
R1は焼成時間に関係なく一定の抵抗値を得ら
れ、抵抗R2を焼成時間により面積抵抗値を制御
して所望のベースバイアス電位にトリミングなし
に調整できる。具体的には両カーボンレジン印刷
抵抗ペーストを200℃の熱風循環炉で焼成する。
抵抗R1は約1時間の焼成した後は面積抵抗値約
10KΩ/口で安定し、抵抗R2は焼成時間1時間
のとき面積抵抗値約35KΩ/口であり、焼成時間
2時間のときは約20KΩ/口となり約40%減少す
る。従つて抵抗R2のこの減少特性を利用してト
リミングと同様の効果が得られるのである。なお
導電路12上には他の回路素子16、例えばトラ
ンジスタ、集積回路、チツプコンデンサー等を固
着し、所望の電気接続をしている。
斯る本発明に依れば焼成時間により抵抗値の変
化するエポキシ樹脂ベース抵抗体と焼成時間によ
り抵抗値が殆んど変化しないエポキシ変性熱硬化
性ポリイミド樹脂ベースの抵抗体とそれぞれブリ
―ダ抵抗のR1とR2のような(第4図参照)組合
せとすることにより、機械的トリミングを行わず
に焼成時間によりエポキシベースのR1の値を次
第に低下させてR1/R2比率を一定値に行えるも
のである。これによれば機械的トリミングが無い
ためR1の許容電力は低下せず、必要最小限の面
積でR1を印刷形成することが可能である。これ
によれば集積度を上げるため極めて有効(機械的
トリミングをする場合、トリミングによる削減量
分の面積をあらかじめ予測して大きな面積にして
おく必要がある)と言えるばかりでなく、トリミ
ング工程が不要となるためレーザートリマー装置
等も不要となり生産の合理化に大いに役立つもの
である。
(ヘ) 効果 本発明に依ればエポキシ樹脂ベースのカーボン
レジン印刷抵抗ペーストとエポキシ変性したポリ
イミド樹脂ベースのカーボンレジン印刷抵抗ペー
ストを用いることにより、焼成時間の制御によつ
てトリミングと同等の効果が得られトリミング工
程なしに回路調整を行なえる利点を有する。
また両抵抗ペーストはともにスクリーン印刷で
き、且つ同時焼成を行なえるので量産に適した構
造である。
更に本発明では一方の抵抗体に分子が3次元的
結合するエポキシ変性したポリイミド樹脂ベース
のカーボン印刷抵抗ペーストを用いているので基
板および基板周辺の温度が上昇(過熱状態)して
も分子結合が安定しているため温度変化による抵
抗値の変化がほとんど起こらない。その結果、経
時変化あるいは温度変化による回路特性の劣化を
著しく抑制でき信頼制の優れた混成集積回路を提
供できる効果を有する。
更に本発明に用いるエポキシ変性したポリイミ
ド樹脂ベースのカーボン印刷抵抗ペーストは極制
の弱い溶媒で溶解できるためにスクリーン印刷の
ステンシルが溶媒によつて溶けることがないので
精度の優れた抵抗体をスクリーン印刷することが
できる利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の混成集積回路を説明する断面
図、第2図は本発明の混成集積回路を説明する断
面図、第3図は本発明に用いるカーボンレジン印
刷抵抗ペーストの焼成特性を説明する曲線図、第
4図は本発明を適用するトランジスタ回路の回路
図である。 11は混成集積回路基板、12は導電路、13
は導電ペースト、14,15は抵抗体、16は回
路素子である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 混成集積回路基板上に所望の導電路および抵
    抗体を形成した混成集積回路に於いて、 前記抵抗体をエポキシ樹脂ベースのカーボンレ
    ジン印刷抵抗とエポキシ変性した熱硬化性ポリイ
    ミド系樹脂ベースのカーボンレジン印刷抵抗で構
    成し、 前記エポキシ系樹脂ベースのカーボンレジン印
    刷抵抗の面積抵抗値を焼成時間により調整したこ
    とを特徴とする混成集積回路。
JP58104590A 1983-06-10 1983-06-10 混成集積回路 Granted JPS59228749A (ja)

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JP58104590A JPS59228749A (ja) 1983-06-10 1983-06-10 混成集積回路

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JP58104590A JPS59228749A (ja) 1983-06-10 1983-06-10 混成集積回路

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JPS59228749A JPS59228749A (ja) 1984-12-22
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH0748401B2 (ja) * 1988-04-28 1995-05-24 松下電器産業株式会社 ポリマー厚膜抵抗体
DE19750306A1 (de) * 1997-11-13 1999-05-20 Bosch Gmbh Robert Elektronisches Steuergerät

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55141705A (en) * 1979-04-20 1980-11-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Film resistor

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