JPH0320899B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0320899B2 JPH0320899B2 JP23507686A JP23507686A JPH0320899B2 JP H0320899 B2 JPH0320899 B2 JP H0320899B2 JP 23507686 A JP23507686 A JP 23507686A JP 23507686 A JP23507686 A JP 23507686A JP H0320899 B2 JPH0320899 B2 JP H0320899B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- suction
- lead
- suction head
- detection lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 42
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は半導体製造工程におけるリードフレー
ムの吸着搬送に関し、特にリードフレームを吸着
搬送する吸着ヘツドをリードフレーム検出装置に
関する。
ムの吸着搬送に関し、特にリードフレームを吸着
搬送する吸着ヘツドをリードフレーム検出装置に
関する。
(ロ) 従来の技術
従来、例えば実開昭57−132445号に示されるよ
うにリードフレームの検出は、リードフレームを
真空吸着ヘツドにて１枚ずつ吸着搬送し送りシユ
ート上へ供給し、リードフレームを送り、途中に
設けられたあるステーシヨンにて、リードフレー
ムが正しく１枚ずつ真空吸着ヘツドにて送りシユ
ートへ供給されたかを、送りシユート上に配置さ
れた接触子の移動量を検出することにより判定し
ていた。第７図に従来のリードフレーム検出器を
説明する斜視図を示す。
うにリードフレームの検出は、リードフレームを
真空吸着ヘツドにて１枚ずつ吸着搬送し送りシユ
ート上へ供給し、リードフレームを送り、途中に
設けられたあるステーシヨンにて、リードフレー
ムが正しく１枚ずつ真空吸着ヘツドにて送りシユ
ートへ供給されたかを、送りシユート上に配置さ
れた接触子の移動量を検出することにより判定し
ていた。第７図に従来のリードフレーム検出器を
説明する斜視図を示す。
第７図について図番及び構成を説明すると、１
はリードフレームストツカー部、２はリードフレ
ーム送りシユート、３は吸着ヘツド、４は検出レ
バー、５は前記検出レバーを回動自在に軸支する
支点、６は前記検出レバーを前記支点を中心に反
時計方向に付勢する付勢手段としての引張バネ、
７は前記検出レバーに設けられた接触子、８は前
記接触子に取付けられたローラー、９は前記接触
子の変位による前記検出レバーの移動量を検出す
るフオトセンサーである。
はリードフレームストツカー部、２はリードフレ
ーム送りシユート、３は吸着ヘツド、４は検出レ
バー、５は前記検出レバーを回動自在に軸支する
支点、６は前記検出レバーを前記支点を中心に反
時計方向に付勢する付勢手段としての引張バネ、
７は前記検出レバーに設けられた接触子、８は前
記接触子に取付けられたローラー、９は前記接触
子の変位による前記検出レバーの移動量を検出す
るフオトセンサーである。
第７図の動作について説明すると、吸着ヘツド
３はリードフレームストツカー部１よりリードフ
レームを吸着した後上昇しリードフレーム送りシ
ユート２上方まで水平移動した後下降し吸着した
前記リードフレームを載置した後上昇し前記リー
ドフレームストツカー部１まで水平移動するとい
う前述の動作を繰返す。一方前記リードフレーム
送りシユート２に載置されたリードフレームを矢
印方向に搬送され検出レバー４が設けられたステ
ーシヨンへ到達する。ここで、リードフレームが
正しく１枚ずつ送られてきたか否かをローラー
８、圧接子７の変位による前記検出レバー４の移
動量の差をフオトセンサー９により検出する。
３はリードフレームストツカー部１よりリードフ
レームを吸着した後上昇しリードフレーム送りシ
ユート２上方まで水平移動した後下降し吸着した
前記リードフレームを載置した後上昇し前記リー
ドフレームストツカー部１まで水平移動するとい
う前述の動作を繰返す。一方前記リードフレーム
送りシユート２に載置されたリードフレームを矢
印方向に搬送され検出レバー４が設けられたステ
ーシヨンへ到達する。ここで、リードフレームが
正しく１枚ずつ送られてきたか否かをローラー
８、圧接子７の変位による前記検出レバー４の移
動量の差をフオトセンサー９により検出する。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点
前述の第７図に示された従来例あるいは実開昭
57−132445号等に示されたリードフレームの検出
器では、例えばリードフレームが２枚吸着搬送さ
れても途中では検出できず、リードフレーム送り
シユートに供給され何ピツチか送られてはじめて
異常を検出でき装置を停止できる。この時点で作
業者は２枚重なつたリードフレームを取除き装置
を再スタートしなければならない。またリードフ
レームがリードフレーム供給シユートに供給され
なかつた場合も作業者がリードフレームを供給し
なければならない。前述のように吸着搬送時のミ
スが検出できないためロスタイムが大きいという
問題点が存在する。
57−132445号等に示されたリードフレームの検出
器では、例えばリードフレームが２枚吸着搬送さ
れても途中では検出できず、リードフレーム送り
シユートに供給され何ピツチか送られてはじめて
異常を検出でき装置を停止できる。この時点で作
業者は２枚重なつたリードフレームを取除き装置
を再スタートしなければならない。またリードフ
レームがリードフレーム供給シユートに供給され
なかつた場合も作業者がリードフレームを供給し
なければならない。前述のように吸着搬送時のミ
スが検出できないためロスタイムが大きいという
問題点が存在する。
(ニ) 問題点を解決するための手段
本発明は前記問題点を解決するためになされた
ものであり、リードフレームをリードフレームス
トツカー部よりリードフレーム送りシユートまで
吸着搬送する間に、前記リードフレームの吸着搬
送手段の吸着面下方に接触子を前記吸着搬送手段
に吸着されたリードフレームに圧接可能に配置
し、前記搬送手段通過時の前記接触子の移動量の
差を検出することにより、前記吸着搬送手段の前
記リードフレームの吸着の有無又は適正枚数か否
かを検出することを特徴としたリードフレーム検
出装置により前記問題点を解決する。
ものであり、リードフレームをリードフレームス
トツカー部よりリードフレーム送りシユートまで
吸着搬送する間に、前記リードフレームの吸着搬
送手段の吸着面下方に接触子を前記吸着搬送手段
に吸着されたリードフレームに圧接可能に配置
し、前記搬送手段通過時の前記接触子の移動量の
差を検出することにより、前記吸着搬送手段の前
記リードフレームの吸着の有無又は適正枚数か否
かを検出することを特徴としたリードフレーム検
出装置により前記問題点を解決する。
(ホ) 作用
本発明のリードフレーム検出装置により、リー
ドフレームストツカー部からリードフレーム送り
シユートへ吸着搬送中の吸着ヘツドのリードフレ
ームの有無かつ適正枚数か否かを前記吸着ヘツド
の吸着面に吸着されたリードフレームあるいは吸
着ヘツド面に圧接された接触子の変位を検出しリ
ードフレームの検出を行う。
ドフレームストツカー部からリードフレーム送り
シユートへ吸着搬送中の吸着ヘツドのリードフレ
ームの有無かつ適正枚数か否かを前記吸着ヘツド
の吸着面に吸着されたリードフレームあるいは吸
着ヘツド面に圧接された接触子の変位を検出しリ
ードフレームの検出を行う。
(ヘ) 実施例
図面に従つて、本発明のリードフレーム検出装
置を説明すると、第１図は本発明のリードフレー
ム検出装置の概要を示す図、第２図は吸着搬送手
段をローラによるガイド機構により支持した状態
を示す図、第３図は前記ローラによるガイド機構
の側面図、第４図、第６図は本発明のリードフレ
ーム検出装置の動作時の状態を示し、第５図は動
作前の状態を示す。第１図、第２図、第３図、第
５図、第６図について図番及び構成を説明する
と、１０はリードフレーム、１１は前記リードフ
レームの吸着搬送手段としての吸着ヘツド、１２
はリードフレームストツカー部、１３はリードフ
レーム送りシユート、１４は接触子としての検出
レバー、１５は前記検出レバーに取付られた検出
ローラ、１６は前記検出レバーを回動自在に軸支
する検出レバー支点、１７は前記リードフレーム
の受皿部、１８は本発明リードフレーム検出装置
の動作前の状態で前記検出レバーに当接する第１
のストツパボルト、１９は前記検出レバーを前記
検出レバー支点を中心に時計方向に回動するよう
に付勢する第１の引張バネ、２０は前記検出レバ
ーの移動量を検出するフオトセンサー、２１は前
記吸着ヘツドをガイドする固定側ローラ、２２は
前記吸着ヘツドをガイドする可動側ローラ、２３
はフレーム、２４はローラレバー、２５は前記フ
レームに前記ローラレバーを回動自在に軸支する
ローラレバー支点、２６は前記ローラレバーを下
方に付勢する前記フレームに取付られた第２の引
張バネ、２７は前記フレームに取付られたストツ
パー、２８は前記ローラレバーに取付られ前記ス
トツパーに当接可能な第２のストツパーボルト、
２９は前記検出レバーに設けられた切欠き部であ
る。
置を説明すると、第１図は本発明のリードフレー
ム検出装置の概要を示す図、第２図は吸着搬送手
段をローラによるガイド機構により支持した状態
を示す図、第３図は前記ローラによるガイド機構
の側面図、第４図、第６図は本発明のリードフレ
ーム検出装置の動作時の状態を示し、第５図は動
作前の状態を示す。第１図、第２図、第３図、第
５図、第６図について図番及び構成を説明する
と、１０はリードフレーム、１１は前記リードフ
レームの吸着搬送手段としての吸着ヘツド、１２
はリードフレームストツカー部、１３はリードフ
レーム送りシユート、１４は接触子としての検出
レバー、１５は前記検出レバーに取付られた検出
ローラ、１６は前記検出レバーを回動自在に軸支
する検出レバー支点、１７は前記リードフレーム
の受皿部、１８は本発明リードフレーム検出装置
の動作前の状態で前記検出レバーに当接する第１
のストツパボルト、１９は前記検出レバーを前記
検出レバー支点を中心に時計方向に回動するよう
に付勢する第１の引張バネ、２０は前記検出レバ
ーの移動量を検出するフオトセンサー、２１は前
記吸着ヘツドをガイドする固定側ローラ、２２は
前記吸着ヘツドをガイドする可動側ローラ、２３
はフレーム、２４はローラレバー、２５は前記フ
レームに前記ローラレバーを回動自在に軸支する
ローラレバー支点、２６は前記ローラレバーを下
方に付勢する前記フレームに取付られた第２の引
張バネ、２７は前記フレームに取付られたストツ
パー、２８は前記ローラレバーに取付られ前記ス
トツパーに当接可能な第２のストツパーボルト、
２９は前記検出レバーに設けられた切欠き部であ
る。
次に本発明リードフレーム検出装置の検出動作
を説明すると第１図に示すように吸着ヘツド１１
はリードフレームストツカー部１２よりリードフ
レーム１０を吸着し、リードフレーム送りシユー
ト１３への搬送を行う途中、検出レバー１４の上
方を通過する。第１図のように前記吸着ヘツド１
１が正しく１枚前記リードフレーム１０を吸着し
ている場合は、第５図の状態から第４図の状態に
前記検出レバー１４は検出レバー支点１６を中心
に反時計方向に第１の引張バネ１９の付勢力に抗
して回転しフオトセンサー２０は切欠き部２９の
通光を検出し、リードフレーム検出装置は正常と
検出し、前記吸着ヘツド１１は前記リードフレー
ム送りシユート１３まで搬送し、下降して前記リ
ードフレーム１０を載置し、再び前記リードフレ
ームストツカー部１２へ移動し、吸着搬送を続け
る。また前記吸着ヘツド１１が第１図に示す位置
に前記リードフレーム１０を吸着しないで到達し
たなら前記検出レバー１４は変位を行なわず、前
記フオトセンサー２０は遮光された状態のままで
あり、リードフレーム検出装置は異常を検出し、
前記吸着ヘツド１１はリードフレーム受皿部１７
に進んだ後に前記リードフレームストツカー部１
２へ移動し、前記リードフレーム１０を吸着し搬
送を繰返す。前記吸着ヘツド１１が第１図に示す
位置に複数枚（ここでは２枚）吸着して到達した
なら、第５図から第６図の状態に前記検出レバー
１４は前記検出レバー支点１６を中心に反時計方
向に第１の引張バネ１９の付勢力に抗して回転し
前記フオトセンサー２０は遮光された状態とな
り、リードフレーム検出装置は異常を検出し前記
吸着ヘツド１１は２枚の前記リードフレーム１０
を吸着したまま前記リードフレーム受皿部１７ま
で搬送し、吸着を停止し前記リードフレーム受皿
部１７に落下させ、前記リードフレームストツカ
ー部１２へ移動し前記リードフレーム１０を吸着
し搬送を繰返す。
を説明すると第１図に示すように吸着ヘツド１１
はリードフレームストツカー部１２よりリードフ
レーム１０を吸着し、リードフレーム送りシユー
ト１３への搬送を行う途中、検出レバー１４の上
方を通過する。第１図のように前記吸着ヘツド１
１が正しく１枚前記リードフレーム１０を吸着し
ている場合は、第５図の状態から第４図の状態に
前記検出レバー１４は検出レバー支点１６を中心
に反時計方向に第１の引張バネ１９の付勢力に抗
して回転しフオトセンサー２０は切欠き部２９の
通光を検出し、リードフレーム検出装置は正常と
検出し、前記吸着ヘツド１１は前記リードフレー
ム送りシユート１３まで搬送し、下降して前記リ
ードフレーム１０を載置し、再び前記リードフレ
ームストツカー部１２へ移動し、吸着搬送を続け
る。また前記吸着ヘツド１１が第１図に示す位置
に前記リードフレーム１０を吸着しないで到達し
たなら前記検出レバー１４は変位を行なわず、前
記フオトセンサー２０は遮光された状態のままで
あり、リードフレーム検出装置は異常を検出し、
前記吸着ヘツド１１はリードフレーム受皿部１７
に進んだ後に前記リードフレームストツカー部１
２へ移動し、前記リードフレーム１０を吸着し搬
送を繰返す。前記吸着ヘツド１１が第１図に示す
位置に複数枚（ここでは２枚）吸着して到達した
なら、第５図から第６図の状態に前記検出レバー
１４は前記検出レバー支点１６を中心に反時計方
向に第１の引張バネ１９の付勢力に抗して回転し
前記フオトセンサー２０は遮光された状態とな
り、リードフレーム検出装置は異常を検出し前記
吸着ヘツド１１は２枚の前記リードフレーム１０
を吸着したまま前記リードフレーム受皿部１７ま
で搬送し、吸着を停止し前記リードフレーム受皿
部１７に落下させ、前記リードフレームストツカ
ー部１２へ移動し前記リードフレーム１０を吸着
し搬送を繰返す。
ここで前記吸着ヘツド１１が前記検出レバー１
４上方を通過する際前記吸着ヘツド１１の上下の
振れにより前記フオトセンサー２０が誤動作する
ことを防止するための前記吸着ヘツド１１の支持
について説明する。
４上方を通過する際前記吸着ヘツド１１の上下の
振れにより前記フオトセンサー２０が誤動作する
ことを防止するための前記吸着ヘツド１１の支持
について説明する。
第２図に示すように前記吸着ヘツド１１の端部
を固定側ローラ２１と可動側ローラ２２で支持し
第３図に示すように前記吸着ヘツド１１の振れを
第２の引張バネ２６の付勢力により前記可動側ロ
ーラ２２を介して押え、前記吸着ヘツド１１の下
面の高さを前記固定側ローラ２１を基準に一定に
保つことができこのため前記吸着ヘツド１１下面
が基準になりリードフレームの検出を確実に行え
る。
を固定側ローラ２１と可動側ローラ２２で支持し
第３図に示すように前記吸着ヘツド１１の振れを
第２の引張バネ２６の付勢力により前記可動側ロ
ーラ２２を介して押え、前記吸着ヘツド１１の下
面の高さを前記固定側ローラ２１を基準に一定に
保つことができこのため前記吸着ヘツド１１下面
が基準になりリードフレームの検出を確実に行え
る。
(ト) 発明の効果
本発明におけるリードフレーム検出装置によれ
ば、リードフレーム送りシユートに搬送する前に
異常を検出できるため２枚重なりのリードフレー
ムがリードフレーム送りシユート内に入り込みシ
ユートとカバーの間にくいついたり、送り爪を破
損するというトラブルを解消し、吸着搬送手段が
吸着ミスを起こした場合も、リカバリーできるの
で装置の稼働率の上昇に寄与できる。
ば、リードフレーム送りシユートに搬送する前に
異常を検出できるため２枚重なりのリードフレー
ムがリードフレーム送りシユート内に入り込みシ
ユートとカバーの間にくいついたり、送り爪を破
損するというトラブルを解消し、吸着搬送手段が
吸着ミスを起こした場合も、リカバリーできるの
で装置の稼働率の上昇に寄与できる。
第１図は本発明のリードフレーム検出装置の概
要図、第２図は吸着搬送手段の支持状態を示す
図、第３図はローラによるガイド機構の側面図、
第４図及び第６図は本発明のリードフレーム検出
装置の動作状態を示す図、第５図は動作前の状態
を示す図、第７図は従来図である。 １０……リードフレーム、１１……吸着ヘツ
ド、１２……リードフレームストツカー部、１３
……リードフレーム送りシユート、１４……検出
レバー、２０……フオトセンサー。
要図、第２図は吸着搬送手段の支持状態を示す
図、第３図はローラによるガイド機構の側面図、
第４図及び第６図は本発明のリードフレーム検出
装置の動作状態を示す図、第５図は動作前の状態
を示す図、第７図は従来図である。 １０……リードフレーム、１１……吸着ヘツ
ド、１２……リードフレームストツカー部、１３
……リードフレーム送りシユート、１４……検出
レバー、２０……フオトセンサー。
Claims (1)
- １ リードフレームをリードフレームストツカー
部よりリードフレーム送りシユートまで吸着搬送
する間に、前記リードフレームの吸着搬送手段の
吸着面下方に接触子を前記吸着搬送手段によつて
吸着されたリードフレームに圧接可能に配置し、
前記搬送手段通過時の前記接触子の変位を検出す
ることにより、前記吸着搬送手段の前記リードフ
レームの吸着の有無又は適正枚数か否かを検出す
ることを特徴としたリードフレーム検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23507686A JPS6388831A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | リ−ドフレ−ム検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23507686A JPS6388831A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | リ−ドフレ−ム検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6388831A JPS6388831A (ja) | 1988-04-19 |
| JPH0320899B2 true JPH0320899B2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=16980706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23507686A Granted JPS6388831A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | リ−ドフレ−ム検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6388831A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10981413B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-04-20 | World Venture Corporation | Automatic continuous image engraving device |
| JP6819985B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2021-01-27 | 株式会社ワールドベンチャー | 自動連続画像彫刻装置 |
-
1986
- 1986-10-02 JP JP23507686A patent/JPS6388831A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6388831A (ja) | 1988-04-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2015168456A (ja) | 袋の供給方法及び袋供給装置 | |
| JPH0320899B2 (ja) | ||
| JPH10180670A (ja) | 板状物の取り出し方法および装置 | |
| JPH11278658A (ja) | 農産物の供給装置 | |
| JPH05310335A (ja) | 枚葉印刷機の給紙装置 | |
| JP2020175956A (ja) | ラベル貼付ヘッド、ラベル貼付装置。 | |
| JPH02123049A (ja) | シート状物の供給装置 | |
| JP2652199B2 (ja) | 記録用シート搬送装置 | |
| JP3810021B2 (ja) | 段ボールシート供給装置 | |
| JP3578567B2 (ja) | 遊技機製造用搬送ライン切替装置 | |
| JP2662090B2 (ja) | シート体枚葉制御方法 | |
| JPH01287932A (ja) | リードフレーム送りシュート | |
| JPH0692492A (ja) | シートオートフィーダー | |
| TW512123B (en) | Plate material supply device | |
| JPH0853216A (ja) | 育苗箱搬送供給装置 | |
| JPH06293448A (ja) | シート体枚葉方法 | |
| JPS629208Y2 (ja) | ||
| JP6633933B2 (ja) | フィーダー | |
| JP2588681Y2 (ja) | 感光性プレートオートフィーダ | |
| JP2759539B2 (ja) | 薄板材供給装置 | |
| JP2002053107A (ja) | 自動包装機における袋供給装置 | |
| JP2001144494A (ja) | 基板検出装置及びこれを備えた部品実装装置 | |
| JPS6258148B2 (ja) | ||
| JPH0741194A (ja) | 印刷版の供給方法及び供給装置 | |
| JPH08198468A (ja) | 感光材料供給装置及び感光材料分離取り出し方法 |