JPH03206999A - 軟ｘ線多層膜反射鏡 - Google Patents
軟ｘ線多層膜反射鏡Info
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- JPH03206999A JPH03206999A JP273290A JP273290A JPH03206999A JP H03206999 A JPH03206999 A JP H03206999A JP 273290 A JP273290 A JP 273290A JP 273290 A JP273290 A JP 273290A JP H03206999 A JPH03206999 A JP H03206999A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、生体弔Ｘ線顕微鏡などに用いられるＸ線反射
鏡に関し、特に生体の蛋白質の観察に有用な２３人〜４
４人の波長領域の軟Ｘ線に対し高い反射率を示す多層膜
反射鏡に関する。
鏡に関し、特に生体の蛋白質の観察に有用な２３人〜４
４人の波長領域の軟Ｘ線に対し高い反射率を示す多層膜
反射鏡に関する。
（従来の技術）
第４図は、３０人前後の波長のＸ線に対する吸収率と波
長との関係を各種の物質について示す図である。本図か
ら明らかなように、２３人〜４４人の波長領域ではプロ
テインやポリイミドなどの蛋白質と水とでは吸収率が１
桁程度異なる。この吸収率差は、水分子を構成する酸素
の光学吸収端（２３．７人）の近傍の長波長側で酸素に
よるＸ線の吸収が少なくなることによって生ずる。
長との関係を各種の物質について示す図である。本図か
ら明らかなように、２３人〜４４人の波長領域ではプロ
テインやポリイミドなどの蛋白質と水とでは吸収率が１
桁程度異なる。この吸収率差は、水分子を構成する酸素
の光学吸収端（２３．７人）の近傍の長波長側で酸素に
よるＸ線の吸収が少なくなることによって生ずる。
生体用Ｘ線顕微鏡では、水と蛋白質とのＸ線に対する吸
収率の差を利用して像の濃淡を出すために、両者に対す
る吸収率の差が１０倍程度にもなる２３人〜４４人の波
長領域の軟Ｘ線が用いられる。ところが、この波長領域
においては全ての物質の屈折率がｌに近いから単一の物
質だけでは反射率の高い反射鏡を構成できない。そこで
、ごく僅かに屈折率が異なる物質を層状に交互に多数重
ねて多層膜構造を形成し、この多層膜構造における各層
の厚さを適切に設定することにより、各層の境界で起こ
るほんの僅かな反射波の位相を互いに一致させ、比較的
高い反射率の反射１Ａを得ている。
収率の差を利用して像の濃淡を出すために、両者に対す
る吸収率の差が１０倍程度にもなる２３人〜４４人の波
長領域の軟Ｘ線が用いられる。ところが、この波長領域
においては全ての物質の屈折率がｌに近いから単一の物
質だけでは反射率の高い反射鏡を構成できない。そこで
、ごく僅かに屈折率が異なる物質を層状に交互に多数重
ねて多層膜構造を形成し、この多層膜構造における各層
の厚さを適切に設定することにより、各層の境界で起こ
るほんの僅かな反射波の位相を互いに一致させ、比較的
高い反射率の反射１Ａを得ている。
その多層膜構造における反射率は多Ｎ膜を構成する高屈
折率物質と低屈折率物質とをどのように組合わせるかに
依存するので、比較的高い反射率か得られる物質の組合
わせが種々提案されている。
折率物質と低屈折率物質とをどのように組合わせるかに
依存するので、比較的高い反射率か得られる物質の組合
わせが種々提案されている。
それらのうちの一つには高屈折率！！ＩＩ質としてＢｅ
、低屈折率！！！ｌｌ！！としてＮｉをそれぞれ用いる
Ｂｅ／Ｎｉの組合わせかあり、Ｂ ｅ ／ Ｎ ｉ多層
膜反射鏡は広く利用されている。第３図はそのＢ ｅ
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡を示す断面図であり、１は基板
、２はＮｉ層、４はＢｅ層である。たたし、本図ではＮ
ｉ層２とＢｅ層４とは厚み方向の寸法を横方向の寸法よ
り拡大して描いてある。この多層膜反射鏡では、Ｎｉ層
２とＢｅ層４とを交互に積層して基板ｌ上に多層膜構造
が形或されている。
、低屈折率！！！ｌｌ！！としてＮｉをそれぞれ用いる
Ｂｅ／Ｎｉの組合わせかあり、Ｂ ｅ ／ Ｎ ｉ多層
膜反射鏡は広く利用されている。第３図はそのＢ ｅ
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡を示す断面図であり、１は基板
、２はＮｉ層、４はＢｅ層である。たたし、本図ではＮ
ｉ層２とＢｅ層４とは厚み方向の寸法を横方向の寸法よ
り拡大して描いてある。この多層膜反射鏡では、Ｎｉ層
２とＢｅ層４とを交互に積層して基板ｌ上に多層膜構造
が形或されている。
その他の例として、高屈折率物質をＳ ｉ Ｏ ２とし
、低屈折率物質をＮｉとするＳ ｉＯ ２ ／ Ｎ ｉ
多層膜反射！！（特願昭６３−１２５０２４号）がある
。さらに別の例として、高屈折率物質としてＬｉ，Ｌｉ
Ｈ．またはＬ ｉ ２０を用い、低屈折率物責としてＮ
ｔを用いるＬｉ系／ Ｎ ｉ多１膜反射鏡（特願昭６３
−１９２１５８号）かある。
、低屈折率物質をＮｉとするＳ ｉＯ ２ ／ Ｎ ｉ
多層膜反射！！（特願昭６３−１２５０２４号）がある
。さらに別の例として、高屈折率物質としてＬｉ，Ｌｉ
Ｈ．またはＬ ｉ ２０を用い、低屈折率物責としてＮ
ｔを用いるＬｉ系／ Ｎ ｉ多１膜反射鏡（特願昭６３
−１９２１５８号）かある。
（発明か解決しようとする課題）
従来から知られている前述の各多Ｉｌｌ！反射鏡にはそ
れぞれ次のような解決すべき課題がある。
れぞれ次のような解決すべき課題がある。
Ｂ ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡では、Ｂｅに毒性があ
り、Ｂｅの薄膜を形成する際に発生する蒸気や塵埃等の
排出物を処理し環境の汚染を防ぐための装置に多大の費
用がかかる。また、Ｓ ｉ Ｏ ２ ／ Ｎ ｉ多層膜
反射鏡は反射率においてＢ ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射
鏡に劣る。さらに、Ｌｉ系／Ｎｉ多層膜反射鏡では、Ｌ
ｉ系の物質が活性に富み空気中で不安定であって、経時
変化を受け易く、耐久性において他の材料のものに劣る
。このように、従来の各多Ｎ膜反射鏡にはそれぞれ解決
すべき課題かあった。
り、Ｂｅの薄膜を形成する際に発生する蒸気や塵埃等の
排出物を処理し環境の汚染を防ぐための装置に多大の費
用がかかる。また、Ｓ ｉ Ｏ ２ ／ Ｎ ｉ多層膜
反射鏡は反射率においてＢ ｅ ／ Ｎ ｉ多層膜反射
鏡に劣る。さらに、Ｌｉ系／Ｎｉ多層膜反射鏡では、Ｌ
ｉ系の物質が活性に富み空気中で不安定であって、経時
変化を受け易く、耐久性において他の材料のものに劣る
。このように、従来の各多Ｎ膜反射鏡にはそれぞれ解決
すべき課題かあった。
（課題を解決するための手段）
前述の課題を解決するために本発明か提供する手段は、
Ｘ線に対し互いに異なる屈折率を示す物？か交互にＭ層
されてなる多層Ｗ：！構造を有し この多層１膜構造に
おける高屈折率層と低屈折率層との厚さはこれら各層の
境界で反射される前記Ｘ線が互いに強め合う値に設定し
てある軟ｘｉ多層膜反射鏡で烏って、前記高屈折率層が
Ｂ２Ｏ３でなることを特徴とする。
Ｘ線に対し互いに異なる屈折率を示す物？か交互にＭ層
されてなる多層Ｗ：！構造を有し この多層１膜構造に
おける高屈折率層と低屈折率層との厚さはこれら各層の
境界で反射される前記Ｘ線が互いに強め合う値に設定し
てある軟ｘｉ多層膜反射鏡で烏って、前記高屈折率層が
Ｂ２Ｏ３でなることを特徴とする。
（作用）
本発明では、多層Ｍ構遣における高屈折率物質としてＢ
．０，（二酸化硼素）を用いる。
．０，（二酸化硼素）を用いる。
Ｂ２０，は２３．３人〜４４人の波長領域で吸収が少な
く、低屈折率物質のＮｉとＢ ｘ Ｏ ３とを交互に積
層した８２０Ｂ／Ｎｉｌ層膜構造ではＢｅ／ＮｉやＳｉ
Ｏ■／Ｎｉの多層膜構造より反射率が高い．また、Ｂ２
０，には毒性がない。さらに、Ｂ２０３は、不活性であ
り、空気中でも安定であるから、Ｂ ２ ０ ｓ層を含
んでなる多Ｎ膜構造も耐久性に優れている。
く、低屈折率物質のＮｉとＢ ｘ Ｏ ３とを交互に積
層した８２０Ｂ／Ｎｉｌ層膜構造ではＢｅ／ＮｉやＳｉ
Ｏ■／Ｎｉの多層膜構造より反射率が高い．また、Ｂ２
０，には毒性がない。さらに、Ｂ２０３は、不活性であ
り、空気中でも安定であるから、Ｂ ２ ０ ｓ層を含
んでなる多Ｎ膜構造も耐久性に優れている。
（実施例）
次に実施例を挙げ本発明をさらに詳しく説明する，
？１図は本発明の一実施例を示すＩｕＩｉ而図、第２図
はこの実施例および従来の軟Ｘ線多層膜反射鏡の反射率
と波長との関係を示す図である。ただし、第１図におい
ては、符号２および３で示す薄膜層は層の厚み方向の寸
法を横方向の寸法より拡大して示してある。
はこの実施例および従来の軟Ｘ線多層膜反射鏡の反射率
と波長との関係を示す図である。ただし、第１図におい
ては、符号２および３で示す薄膜層は層の厚み方向の寸
法を横方向の寸法より拡大して示してある。
第１図において、１は基板、２はＮｉ層、３はＢ２０，
層である，Ｎｉ層２とＢｔＯ３１３とは基板１上にそれ
ぞれ９９層ずつスパッタリングにより積層され、多＃Ｊ
Ａ＊造をなしている。Ｎｉ層２は低屈折率層であり、８
２０３層３は高屈折率層である。これら両層の僅かな屈
折率差により、両層の各境界で軟Ｘ線が僅かに反射され
る。Ｎｉ層２と８ ２ ０ ｓ層３との厚さは、各境界
で反射された軟Ｘ線の位相が揃い、それら反射波が互い
に強め合う値に設定してある。
層である，Ｎｉ層２とＢｔＯ３１３とは基板１上にそれ
ぞれ９９層ずつスパッタリングにより積層され、多＃Ｊ
Ａ＊造をなしている。Ｎｉ層２は低屈折率層であり、８
２０３層３は高屈折率層である。これら両層の僅かな屈
折率差により、両層の各境界で軟Ｘ線が僅かに反射され
る。Ｎｉ層２と８ ２ ０ ｓ層３との厚さは、各境界
で反射された軟Ｘ線の位相が揃い、それら反射波が互い
に強め合う値に設定してある。
第２図の特性図は、Ｘ線が反射面に対し２０’の角度で
入射される場合について、数値計算により得られた波長
と反射率との関係を示す。従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉお
よびＳｉＯ■／ Ｎ ｉの多層膜反射鏡においても積層
数は本実施例と同じく９つとして計算した。本図から明
らかなように、本実施−１の８２０ｉ／Ｎｉ多層膜反射
鏡は、２３．３人以上の長波長領域で従来のいずれの多
層膜反射鏡よりも高い反射率を示す。また、実施例で高
屈折率層として用いるＢ２０，には毒性がないから、こ
の実施例の製遺においては格別な環境汚染防止装置を必
要としない。したがって、この実施例は従来のＢ ｅ
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡より安価に製造できる。
入射される場合について、数値計算により得られた波長
と反射率との関係を示す。従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉお
よびＳｉＯ■／ Ｎ ｉの多層膜反射鏡においても積層
数は本実施例と同じく９つとして計算した。本図から明
らかなように、本実施−１の８２０ｉ／Ｎｉ多層膜反射
鏡は、２３．３人以上の長波長領域で従来のいずれの多
層膜反射鏡よりも高い反射率を示す。また、実施例で高
屈折率層として用いるＢ２０，には毒性がないから、こ
の実施例の製遺においては格別な環境汚染防止装置を必
要としない。したがって、この実施例は従来のＢ ｅ
／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡より安価に製造できる。
さらに、Ｂ２０，は不活性であり、活性なＬｉ系物質に
比べて極めて安定な物質である。そこで、本実施例は、
反射率か高いだけでなく、安価に製造でき、耐久性にも
優れている。
比べて極めて安定な物質である。そこで、本実施例は、
反射率か高いだけでなく、安価に製造でき、耐久性にも
優れている。
（発明の効果）
以上に実施例を挙げて詳しく説明したように、本発明に
よれば、従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉやＳｉＯ２／Ｎｉの
多層膜反射鏡より反射率が高く、しかもＢ ｅ ／ Ｎ
ｉ多層膜反射鏡より安価に製造でき、さらに従来のＬ
ｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡より耐久性に優れた軟Ｘ
線多層膜反射鏡が得られる。
よれば、従来のＢ ｅ ／ Ｎ ｉやＳｉＯ２／Ｎｉの
多層膜反射鏡より反射率が高く、しかもＢ ｅ ／ Ｎ
ｉ多層膜反射鏡より安価に製造でき、さらに従来のＬ
ｉ系／ Ｎ ｉ多層膜反射鏡より耐久性に優れた軟Ｘ
線多層膜反射鏡が得られる。
第ｌ図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図の実施例および従来の多層膜反射鏡における反射率と
波長との関係を示す特性図、第３図は従来のＢ ｅ ／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡を示す断面図、第４図は波長３０
人前後のＸ線に対する吸収率と波長との関係を各種の物
質について示す図である。 ■・・・基板、２・・・Ｎｉ層、３・・・Ｂ２０，層、
４・・・Ｂｅ層。
図の実施例および従来の多層膜反射鏡における反射率と
波長との関係を示す特性図、第３図は従来のＢ ｅ ／
Ｎ ｉ多層膜反射鏡を示す断面図、第４図は波長３０
人前後のＸ線に対する吸収率と波長との関係を各種の物
質について示す図である。 ■・・・基板、２・・・Ｎｉ層、３・・・Ｂ２０，層、
４・・・Ｂｅ層。
Claims (1)
- Ｘ線に対し互いに異なる屈折率を示す物質が交互に積
層されてなる多層膜構造を有し、この多層膜構造におけ
る高屈折率層と低屈折率層との厚さはこれら各層の境界
で反射される前記Ｘ線が互いに強め合う値に設定してあ
る軟Ｘ線多層膜反射鏡において、前記高屈折率層がＢ＿
２Ｏ＿３でなることを特徴とする軟Ｘ線多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP273290A JPH03206999A (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP273290A JPH03206999A (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03206999A true JPH03206999A (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=11537496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP273290A Pending JPH03206999A (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03206999A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08199342A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Rikagaku Kenkyusho | 軟ｘ線光学素子用多層膜構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256000A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Nikon Corp | 軟ｘ線顕微鏡用多層膜反射鏡 |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP273290A patent/JPH03206999A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256000A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Nikon Corp | 軟ｘ線顕微鏡用多層膜反射鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08199342A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Rikagaku Kenkyusho | 軟ｘ線光学素子用多層膜構造 |
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