JPH01296200A - 軟ｘ線用多層膜反射鏡 - Google Patents
軟ｘ線用多層膜反射鏡Info
- Publication number
- JPH01296200A JPH01296200A JP12502488A JP12502488A JPH01296200A JP H01296200 A JPH01296200 A JP H01296200A JP 12502488 A JP12502488 A JP 12502488A JP 12502488 A JP12502488 A JP 12502488A JP H01296200 A JPH01296200 A JP H01296200A
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- JP
- Japan
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- film
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- soft
- silicon dioxide
- reflecting
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、Ｘ線の中で特に生体用に使われる２３．３
〜４３．７Ｘの領域の軟Ｘ線を反射させる反射鏡に関す
るものである。
〜４３．７Ｘの領域の軟Ｘ線を反射させる反射鏡に関す
るものである。
（従来の技術）
生体用Ｘ線顕微鏡には、水とたん白質のＸ線に対する吸
収率の差を利用して像の濃淡を出すために、両者の吸収
率の差が１０倍にもなる前記２３．３〜４３．７Ｘの領
域の軟Ｘ線が用いられているが、この領域では従来、多
層膜反射鏡として第４図に示すように基板３の上に低屈
折率層としてニッケこの発明は、上述のような特別な作
業環境を設ける要のない材料を用いて、従来品に比して
遜色のない反射率を有する多層膜反射鏡を提供すること
を目的としてなされたものである。
収率の差を利用して像の濃淡を出すために、両者の吸収
率の差が１０倍にもなる前記２３．３〜４３．７Ｘの領
域の軟Ｘ線が用いられているが、この領域では従来、多
層膜反射鏡として第４図に示すように基板３の上に低屈
折率層としてニッケこの発明は、上述のような特別な作
業環境を設ける要のない材料を用いて、従来品に比して
遜色のない反射率を有する多層膜反射鏡を提供すること
を目的としてなされたものである。
（課題を解決するための手段）
この発明の多層膜反射鏡が対象とする前記Ｘ線の波長領
域における水の吸収が酸素によるものであることに着目
し、酸化物により高屈折領域を形成した場合の前期Ｘ線
の反射特性の解析を行った結果、第１図に示すように二
酸化珪素４でこの層を形成することによって解決したも
のである。
域における水の吸収が酸素によるものであることに着目
し、酸化物により高屈折領域を形成した場合の前期Ｘ線
の反射特性の解析を行った結果、第１図に示すように二
酸化珪素４でこの層を形成することによって解決したも
のである。
（第１図）
（作用）
二酸化珪素は光学材料として知られており、薄膜化され
たものの表面が滑らか、かつ光学的に等方性であること
も知られているが、界面におけるケル、ベリリウムの組
合せよりも高い反射率を得る可能性も大きい訳である。
たものの表面が滑らか、かつ光学的に等方性であること
も知られているが、界面におけるケル、ベリリウムの組
合せよりも高い反射率を得る可能性も大きい訳である。
第２図に波長３１．６Ｘの窒素の特性Ｘ線に対するニッ
ケル・ベリリウム９．ニッケル・珪素およびニッケル・
二酸化珪素の各組合せ多層膜の反射率（実施例） この発明の多層膜反射鏡は第１図に示すように基板３の
上に二酸化珪素４とニッケル２と全交互に積層した構成
になるものであり、成膜法としてはＸ空蒸着、スパッタ
リング、イオンビームデポジション、ＣＶＤ等を用いる
が、物質量の境界で発生する反射波を強め合う膜厚で積
層されている。
ケル・ベリリウム９．ニッケル・珪素およびニッケル・
二酸化珪素の各組合せ多層膜の反射率（実施例） この発明の多層膜反射鏡は第１図に示すように基板３の
上に二酸化珪素４とニッケル２と全交互に積層した構成
になるものであり、成膜法としてはＸ空蒸着、スパッタ
リング、イオンビームデポジション、ＣＶＤ等を用いる
が、物質量の境界で発生する反射波を強め合う膜厚で積
層されている。
（発明の効果）
この発明は多層膜反射鏡の高屈折層を従来のべＩＪ Ｉ
Ｊウムから二酸化珪素等の酸化物にて形成したことによ
り成膜時の毒性による種々の制限をなく対車の角度依存
性を示し、第３図は膜面粗さに対する散乱強度の変化を
示し、第４図は従来例多層膜反射鏡の構成を示す断面図
である。
Ｊウムから二酸化珪素等の酸化物にて形成したことによ
り成膜時の毒性による種々の制限をなく対車の角度依存
性を示し、第３図は膜面粗さに対する散乱強度の変化を
示し、第４図は従来例多層膜反射鏡の構成を示す断面図
である。
工＠技術院長 飯塚十三
第１図
第４図
入射角 （度）
第２図
Claims (1)
- Ｘ線に対する屈折率の異なる物質を交互に積層し、その
境界における反射波が互いに強めあうようにそれぞれの
層の厚さを調整して高反射率を得るように構成されたＸ
線反射鏡において、高屈折率層（軽原素系）に二酸化珪
素等の酸化物を用いたことを特徴とする軟Ｘ線用多層膜
反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12502488A JPH01296200A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 軟ｘ線用多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12502488A JPH01296200A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 軟ｘ線用多層膜反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01296200A true JPH01296200A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14899966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12502488A Pending JPH01296200A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 軟ｘ線用多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01296200A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08199342A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Rikagaku Kenkyusho | 軟ｘ線光学素子用多層膜構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388502A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-19 | Canon Inc | 軟ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡 |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP12502488A patent/JPH01296200A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388502A (ja) * | 1986-10-01 | 1988-04-19 | Canon Inc | 軟ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08199342A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-08-06 | Rikagaku Kenkyusho | 軟ｘ線光学素子用多層膜構造 |
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