JPH0317614B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は細長い被加工品を支える装置に関す
る。きわめて正確な平坦さを有する表面に支持さ
れたグリツトすなわち歯によつて切削が行なわれ
るある機械加工作業においては、機械加工される
表面と交差する一つの表面に支持されている一連
のフイーチヤー（feature）（個々の最終製品に対
応する目標点）のすべてを、機械加工される表面
からあらかじめ選ばれた公差帯域内に置くよう
に、機械加工される表面の最終輪郭を調整するこ
とが望ましい。そのような典型的作業では、13個
のフイーチヤーが中心から中心まで４ミリ（0.16
インチ）の間隔に置かれ、そして理想的には、各
フイーチヤーが最終的に表面から50.8マイクロセ
ンチから203.2マイクロセンチ（20マイクロイン
チから80マイクロインチ）までの範囲に置かれる
ように、表面が機械加工されなければならない。
ラツプ仕上げされるかまたは他の方法で機械加工
されるべき最初の表面からか、または別の基準線
から測つたこれらフイーチヤーまでの間隔にかか
わらず、上述したような理想による最終形状を作
ることが望まれる。

上記した典型的作業は、デイスクメモリ用の薄
膜磁気ヘツドをバツチで製作する時に行なわれ
る。フイーチヤーは被加工品の側面に配置された
個々の薄膜ヘツドスロート（throat）である。こ
れらヘツドスロートは機械加工されるべき表面の
最初の位置に対して、この表面がかなり機械加工
された時に到達するような位置に置かれる。機械
加工が完了したのち、加工品である棒は個々の変
換器ヘツドに分離するために横断方向に切断され
る。

これらの変換器ヘツドのための被加工品は、配
置を制御するマスクの誤差、マスクの位置の誤
差、および外力と残留応力によつて生ずる棒の幾
何学的な変化に起因して、ある基準線に沿つて正
確に位置決めすることはできない。それにもかか
わらず、すべてのヘツドスロートは、へりからあ
らかじめ決められた50.8マイクロセンチから
203.2マイクロセンチ（20マイクロインチから80
マイクロインチ）までの公差帯域内に置かれねば
ならない。明らかに、与えられた被加工品から生
ずる廃棄ヘツドが少なければ少ないほど、作業は
より効率的で経済的である。

機械加工作業を促進するために、複数のセンサ
ーを機械加工されるべき棒の上のあらかじめ決め
られた位置に置くこともできる。実際、現在使用
されているセンサーは、各フイーチヤーからの機
械加工される表面の間隔の連続的できわめて正確
な指示（12.7マイクロセンチ（５マイクロイン
チ）以内の誤差）を与える。したがつて機械加工
中に、各フイーチヤーがあらかじめ選ばれた公差
帯域の方へ進行することを監視することができ
る。

（従来の技術） われわれが知る最良の技術は、薄膜ヘツドのラ
ツプ仕上げに使用するために、「湾曲誤差の自動
化された補正」を行なう被加工品の支え装置を開
示した、IBM技術開示公報（TDB）の1981年６
月、第24巻第1A号198ページである。また、
IBMTDBの1980年９月第23巻第４号、1970年９
月第13巻第４号、および米国特許第3821815号は、
薄膜変換器ヘツドのバツチ製作のラツプ仕上げ、
または機械加工段階に関する技術を開示してい
る。

（発明が解決しようとする課題） しかし、従来の技術によつたのでは、機械加工
の過程のどの段階においても複数のフイーチヤー
を高いパーセンテージで特定の公差帯域内に置く
ことはできなかつた。

本発明は公差帯域にはいるフイーチヤーのパー
センテージを増大させるために有用な被加工品を
支える装置を提供する。これを達成するために本
発明は、すべての、または少なくとも大部分の被
加工品が望みの幅の公差帯域内にはいるように、
機械加工中の被加工品を曲げることを教示する。

本発明の目的は、機械加工作業中被加工品を支
える装置を得ることである。

もう一つの目的は、支える装置の上に取り付け
られている間に被加工品を曲げることである。

さらに一つの目的は、被加工品の上の一連の部
分的に整合したフイーチヤーを、機械加工作業
中、どれかのフイーチヤーがあらかじめ決められ
た公帯域外に動く前に、すべてのフイーチヤーを
公差帯域に入れるように、被加工品の曲げを制御
することである。

もう一つの更なる目的は、被加工品の機械加工
によつて生ずるスクラツプ率を減らすことであ
る。

（課題を解決するための手段） 本発明は、第１と第２の細長い、平らな、ほぼ
平行な表面を有する細長い被加工品を支える装置
であつて、前記被加工品は該被加工品の第１の表
面を前記装置上の支持表面を接着することによつ
て前記装置に取り付けられるようになつており、
また、前記装置は電力を入力することに応動して
前記被加工品を曲げて前記第２の表面に凹状の形
を形成するようにされ、前記装置は、比較的剛直
な基部と、第１及び第２の端を有し、該第１の端
で前記基部にほぼ垂直に取り付けられている幹部
と、前記幹部の第２の端に取り付けられていて前
記基部とほぼ平行に且つ該基部に向かいあつて前
記幹部の第２の端に片持ち支持された支持棒であ
つて、該支持棒は前記基部及び前記幹部の硬直性
に対して比較的たわみ性があり、また、前記支持
棒は前記基部から離れる方向を向いている前記支
持表面を有しており、この支持表面は前記被加工
品の第１の表面の形にほぼ一致する形を有してお
り、また、前記支持棒の片持ちされた端部におい
て前記基部の方に向いている負荷作用点を有す
る、前記支持棒と、前記基部に取り付けられてい
て前記幹部から隔置されている柱であつて、前記
支持棒上の前記負荷作用点に向かつて延びていて
該負荷作用点に接触しており且つ正の熱膨張係数
を有する前記柱と、前記柱に密接に熱接触してい
る熱発生装置であつて、エネルギ入力を受けて熱
を発生して前記柱を加熱してそれを膨張されるよ
うになつており、これによつて、前記負荷作用点
に力を適用し且つ前記支持棒を曲げるようになつ
ている、前記熱発生装置と、 を備えたことを特徴とする。

（発明の作用及び効果） 本発明の細長い被加工品を支える装置におい
て、前記支持棒とそれに接着された被加工品は、
前記熱発生装置にエネルギを加えることにより前
記柱が膨張されて前記支持棒に力を加えることに
よつて、曲げられ得る。

典型的な機械加工作業において被加工品のフイ
ーチヤーの相対的位置は、約1016マイクロセンチ
（400マイクロインチ）にも及ぶ調節が必要となる
が、約９／５×10^-5センチ／センチ／℃（約10^-5
インチ／インチ／〓）ほどの熱膨張係数を有する
典型的な金属を使用して前記柱を作ることにすれ
ば、前記支持棒に対して要請される曲げは、もし
前記柱が2.54センチ（１インチ）ほどの長さであ
つて、且つ十分に大なる中実の横断面積を有し、
更に、前記支持棒が極度の剛性を有していないな
らば、前記柱を数十度ばかり温度上昇させること
によつて簡単に達成することが可能である。

本発明によれば、被加工品の複数のフイーチヤ
ーをより高いパーセンテージで特定の公差帯域内
に同時に入れるように、被加工品を機械加工中に
曲げることができ、かくて被加工品の機械加工に
よつて生ずるスクラツプ率を減少させることがで
きる。

（実施例） 第１図に示す典型的な被加工品１１の断片は、
デイスクメモリ用の薄膜磁気変換器のスロートで
あるフイーチヤー１５の配列を有し、それらフイ
ーチヤー１５の間にはいわゆる機械加工案内すな
わちセンサー１４が置かれている。フイーチヤー
１５とそれらに隣接するセンサー１４とは、線２
９に関して互いに正確に間隔を置くことが必要で
あり、フイーチヤー１５とそれに隣接するセンサ
ー１４とは同等物であると考えるようにする。す
なわち、あるセンサー１４が非常に小さい誤差で
線２９からある間隔を有して位置することがわか
れば、そのセンサー１４に隣接するフイーチヤー
１５も線２９からほとんど同じ間隔を有して位置
していることを知ることができる。フイーチヤー
１５とセンサー１４との間にそのような正確な位
置関係をつくることは、ホルムストランド、ヘネ
フエント、およびクラツチが共同発明者である
「機械加工センサーを転正する方法」と題する特
許出願の明細書の教示によつて行なわれることが
できる。典型的作業では、被加工品１１は14個の
センサー１４を有し、それらは第５ａ図に示すよ
うに、左から右へ１から14までの位置番号をつけ
られている。

典型的作業では、被加工品１１の面３３はラツ
プ仕上げ車によつてゆつくりランプ仕上げされ
て、線２９をゆつくりとセンサー１４の方へ移し
て行く。或る一つのフイーチヤー１５であるスロ
ートの高さは、隣接するセンサー１４に対して被
加工品１１上に極めて正確に置かれるが、被加工
品１１は比較的大きな長さを有し且つ、製作誤差
があるので、すべてのセンサー１４またはフイー
チヤー１５が、線２９の最初の位置か、または機
械加工作業中に線２９がセンサー１４とフイーチ
ヤー１５の方へ移されるときの中間位置における
線２９のいずれかから全く同じ間隔で置かれると
いうことは不可能である。

このことをいつそう詳しく説明するために、第
２図から第４図までのグラフにより、典型的機械
加工作業における種々な状況に対する個々のセン
サー１４（またはフイーチヤー１５）の線２９か
らの距離を非常に拡大した尺度で示す。第２図か
ら第４図までのグラフにおいて、小さいダツシユ
は縦座標目盛りでセンサー１４（またはそれに隣
接するフイーチヤー１５）の線２９からの間隔
（スロートの高さ）を示し、それらの位置番号は
横座標上に見える。第２図から第４図までのグラ
フでは、20マイクロインチから80マイクロインチ
までに対応する二つの水平の線で示したスロート
の高さの公差範囲がある。

第２図において、被加工品１１は、位置番号４
から位置番号８までを有するセンサー１４は公差
範囲内にはいつており、そして位置番号１から３
まで、および位置番号９から１４までを有するセ
ンサー１４は、まだ公差範囲の中に入つていな
い。第３図では、約30マイクロインチ以上が面３
３から研削され、位置番号５のセンサー１４が公
差範囲内のほぼ下端にあり、そして位置番号１及
び２と、位置番号１２から１４までのセンサー
が、なお線２９から80マイクロインチの間隔の最
大公差水準の上方にある。

位置番号４から８までのセンサー１４は、もし
機械加工が、位置番号１および２と、位置番号１
２から１４までのセンサー１４が公差範囲内に入
るまで続くとすれば、公差範囲の下方に出てしま
うことがわかる。したがつて、機械加工を止める
最も好ましい状態は、第３図に示すものなとなら
ざるを得ない。というのは、これでも、14個のセ
ンサーのうちの９個は線２９に対して正しい公差
を有している変換器がつくられるからである。然
し、もし位置番号１および２と位置番号１２から
１４までのセンサー１４の近くにおいてより多く
機械加工を行なわせ得るような、被加工品を支え
る装置（支持装置）が利用できるならば、被加工
品１１上のすべてのフイーチヤー１５に対応する
変換器は使用可能とされる。

第５ａ図に示す被加工品を支える装置１０は、
この目的を達成する支持装置である。比較的堅い
基部２３は、一端が基部２３の中心から垂直に突
出する一体の幹部２１を有している。支持棒１２
は、その長さに沿うほぼ中間で幹部２１の他端に
それと一体で配置され、基部２３とほぼ平行に延
びている。支持棒１２の各端はこうして、幹部２
１に片持ち支持され、基部２３と向かい合つて間
隔を置いた関係に保持される。被加工品１１は、
線３１のところの接着剤によつて支持表面３２に
接着されている。柱１７ａと１７ｂは基部２３の
穴１９の中に置かれている。穴１９は基部２３を
貫通しており、それらの軸線が支持棒１２の各端
の近くの負荷作用点と交差するように配置されて
いる。支持棒１２から遠い端に隣接する各穴１９
の部分は、止めねじ２６とら合するようにねじを
切られている。各止めねじ２６は、内部に同心の
穴４２を有している。

支持棒１２、幹部２１、および基部２３が熱伝
導性で熱膨張性の材料から作られるとき、支持装
置１０のこれらの部分に熱が伝わることを防ぐた
めに、柱１７ａと１７ｂを熱から絶縁することが
必要である。したがつて、ある低熱伝導率の材料
で作られた端部せん（熱絶縁装置）１６が、負荷
作用点に隣接する各柱１７ａと１７ｂの上端に取
り付けられている。端部せん１６は好ましくは、
ドーム形の頭とそれから突出する軸を有し、この
軸は、端部せん１６が負荷作用点と、隣接する柱
１７ａまたは１７ｂの上端との間に正確に置かれ
るために、柱１７ａまたは１７ｂの穴２２の中に
正確に嵌合される。柱１７ａと１７ｂの外径より
やや大きい内径を有する円筒形スペーサ（熱絶縁
ブシユ）２７は、穴１９の中のねじ山とかみ合う
止めねじ２６の頂上で各穴１９の中にはまつてい
る。内方の肩４０（第５ｂ図）は、止めねじ２６
に隣接する穴１９の端を部分的に閉ざし、それに
よつて柱１７ａ又は１７ｂの端をその隣接する止
めねじ２６から隔置している。円筒形スペーサ２
７は、端部せん１６と同じ材料で作ることができ
る。これらの端部せん１６と円筒形スペーサ２７
の材料は、かなりな機械的圧縮強さを有していな
ければならない。

各柱１７ａと１７ｂは、ほぼその長さ全体に沿
つて延び、そして円筒形スペーサ２７の端を通つ
て、隣接する止めねじ２６の穴４２に通じる穴２
２を有している。加熱素子（抵抗素子）２４ａと
２４ｂは、柱１７ａと１７ｂとの穴２２の中にそ
れぞれ置かれる。加熱素子２４ａと２４ｂとにそ
れぞれ電流を流す１対の電線２５ａと２５ｂとが
接続されている。加熱素子２４ａと２４ｂとは、
柱１７ａと１７ｂのそれぞれと密接に熱接触して
いる。電線２５ａと２５ｂは止めねじ２６の穴４
２を通り、電源に接続される。それぞれ止めねじ
２６と円筒形スペーサ２７（第５ｂ図）との中の
穴４２と４１とは、好ましくは加熱素子２４ａと
２４ｂが柱１７ａまたは１７ｂのそれぞれに挿入
されることができ、また引き出すことができるだ
けの大きさである。

被加工品１１は、好ましくは支持表面３２にに
かわ付けすることによつて取り付けられる。溝１
３は、被加工品の表面３３がセンサー１４に対し
て正しい位置に機械加工されたのち、この被加工
品が個々の変換器に切断されるのに便利なように
備えられている。支持装置１０は、機械カツタ、
または研摩剤で被覆された円板に対して支持する
ために、工具の腕に締めつけて取り付けられる。

この支持装置１０が正しく機能するために、い
くつかの条件が必要である。支持棒１２は基部２
３に比べてたわみ性があることが必要である。こ
れは支持棒１２の厚さ（第５ａ図で垂直の高さ）
を基部２３のものより比較的に小さくすることに
よつて簡単に達成される。

柱１７ａと１７ｂは正の熱膨張係数を有してい
なければならない。また比較的高い弾性係数を有
する材料から作られることが好ましい。鉄合金
（特にステンレス鋼）、あるアルミニウム合金、お
よび黄銅のすべては、６マイクロインチ／イン
チ／〓から10マイクロインチ／インチ／〓まで
（54/5マイクロセンチ／センチ／℃〜18マイクロ
センチ／センチ／℃）の程度の比較的高い熱膨張
係数を有している。柱１７ａと１７ｂが、加熱素
子２４ａと２４ｂからの熱が柱１７ａと１７ｂの
全質量に亘つて急速に分布されるように、比較的
高い熱伝導率を有することも好ましい。柱１７ａ
と１７ｂにはステンレス鋼を用いるのが好まし
い。長さ25.4ミリ（１インチ）でステンレス鋼で
作られた柱１７ａまたは１７ｂは、その受ける各
〓の増加ごとに約10マイクロインチ膨張する（約
45.72マイクロセンチ／℃）。柱１７ａまたは１７
ｂの中の10〓の温度変化（18℃の温度変化）は、
その端が拘束されていないとき、そのような柱の
100マイクロインチ（約254マイクロセンチ）の膨
張を生ずる。異なる熱膨張係数によつて生ずる誤
差をなくするために、支持棒１２、幹部２１、お
よび基部２３のすべてが、柱１７ａと１７ｂを構
成する材料と同じ材料で作られるのが好ましい。
本発明によつて曲げは数マイクロインチ以内に制
御され得る。

作動について述べると、電流は導線２５ａと２
５ｂとの対の一つまたは両方に加えられて、それ
に接続された加熱素子２４が発熱しそれを囲む柱
１７ａと１７ｂを暖める。これにより柱の膨張が
生じて、負荷作用点において柱は支持棒１２の腕
を押圧する。この押圧力により支持棒１２は曲げ
られ、被加工品１１にやや凹状の形を与える。曲
げの量は、周知の構造解析の原理によつて、柱１
７ａと１７ｂの横断面積と弾性係数、および支持
棒１２と基部２３の剛直性によつて決まる。した
がつて支持棒１２に必要なたわみの量を決め、そ
の必要なたわみの量を生ずるように所定の温度範
囲内において十分な押圧力を与えるように柱１７
ａ，１７ｂ、および支持棒１２を設計せねばなら
ない。加熱素子２４を流れる電流を制御すること
によつて、柱１７ａと１７の温度を適度な正確さ
で調整することができ、それによつて支持棒１２
のたわみを制御する。第３図と第４図について述
べると、被加工品１１を約40マイクロインチ（約
101.6マイクロセンチ）だけ凹形に曲げて、機械
加工されるべき端をより機械加工されるように
し、位置番号１および２と、位置番号12から14ま
でのセンサー１４をより大きく機械加工してそれ
らを公差範囲内に入れられるようにする。

止めねじ２６は、柱１７ａと１７ｂとに予荷重
を与えるために十分に締められることが必要であ
る。予荷重の量は、いつたん支持棒１２、柱１７
ａ，１７ｂ、および基部２３の形状が最終的に選
ばれると、止めねじ２６の正しいねじ込みによつ
て正確に決められる。

支持棒１２を曲げる前に、被加工品１１を最初
に少し凸状にあらかじめ曲げておく方法は、被加
工品１１が支持棒１２に接続される前に柱１７ａ
と１７ｂを加熱することによつて達成される。被
加工品１１は、次いで第６ａ図に示すように適所
に接着される。柱１７ａと１７ｂが次いで冷却さ
れると、収縮して支持棒１２は第６ｂ図に示すよ
うにゆがめられていない形に戻る。被加工品１１
は接着剤によつて支持棒１２に拘束されているか
ら、支持棒１２がまつすぐになると第６ｂ図に示
すように曲げられる。

被加工品１１の支持棒１２への接着の正確さと
繰り返し可能性を確実にするために、接着が行な
われるあいだ被加工品１１は最初にその中にほと
んど残留応力を持つていてはならない。かように
する接着方法は、最初に被加工品１１を上へ向い
た支持表面３２の上に直後に横置する。次いで皮
下注射針３４または他の施薬品が、低い粘度と表
面張力を有する液体接着剤のしずく３５を、被加
工品１１の側面に隣接する支持表面３２の上に一
定の間隔で置くために使用される。この接着剤は
空気に接触するとまもなく硬化し、そして被加工
品１１を支持装置１０から取りはずそうとすると
き、ある方法で溶かされることのできるタイプの
ものでなければならない。毛管作用により接着剤
は支持表面３２と被加工品１１の間のすきまの中
に導かれる。接着剤は次いで、硬化して接着剤の
線３１をつくるとき、被加工品１１を支持表面３
２に接着する。被加工品１１は全組立体を適当な
溶剤の中に浸すことによつて取りはずされる。好
ましい設着材料は、コネチカツト州06111、ニユ
ーイントンのロクタイト社によつて製作される、
商品名スーパーボンダー916一時的接着剤として
知られるシアン−アクリラートである。この材料
は、25℃で１センチポイズから５センチポイズま
での粘度と、適当な表面張力を有している。硬化
した接着剤は、ニトロメタンまたはアセトンで溶
かされる。表面張力と粘度との値はそれぞれ、溶
着剤が毛管作用によつて支持表面３２と被加工品
１１との間のすきまの中に引かれることができる
ように、大きくそして小さくなければならない。
被加工品１１を支持棒１２に接着するために上述
した方法を使用することによつて、被加工品１１
の中にほとんど初期応力は存在しない。そのう
え、この方法の使用は、支持表面３２に接着され
た被加工品１１の表面の正確な機械加工の必要を
なくする。すきまの中の不整は接着剤で簡単に満
たされる。接着剤を施すとき、被加工品１１の両
端が最初に支持棒１２に接着されることが望まし
い。いつたん両端が固定されたら、一つおきに接
着しながら内方へ支持表面３２から支持表面３２
に進めるのがよいと思う。

電気的な加熱素子２４ａと２４ｂ以外の手段に
よつて柱１７ａと１７ｂに熱を供給することも可
能ではあろうが、他の方法は電気のように効率が
よく、または容易に制御されないように思われ
る。

支持棒１２を幹部２１に一端で片持ち支持させ
てただ一つの柱１７ａを使用することもできる。
これによれば、電流が柱１７ａの加熱素子２４ａ
に加えられると支持棒１２の一端だけが曲げられ
る。このとき、支持棒１２の二つの端を異なる量
だけ曲げることは不可能であるから、この設計は
上記の好ましい実施例ほど望ましくないように思
われる。

また、もし支持棒１２、幹部２１、および基部
２３が、耐熱材料または低い熱伝導率または小さ
い熱膨張係数を有する他の材料で作られるなら
ば、柱１７ａと１７ｂを基部２３または支持棒１
２から熱絶縁する必要はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、支持装置に支えられるべき被加工品
の一例を示し、第２図は、機械加工作業によつて
移動される被加工品のヘリ（線２９）からの、被
加工品の片側に備えられる個々のフイーチヤーの
距離を示すグラフであり、第３図は、約76.2マイ
クロセンチ（約30マイクロインチ）の機械加工に
よつて、被加工品のヘリから移された、第２図に
おけるものと同じ距離を示すグラフであり、第４
図は、機械加工作業中、第２図のグラフの特性を
有する被加工品を曲げ、それによつて機械加工さ
れたヘリからのフイーチヤーの相対位置を変える
ために、支持装置を使用した結果を示すグラフで
あり、第５ａ図は、被加工品を支える支持装置の
斜視図、第５ｂ図は、柱を止めねじから絶縁する
円筒形スペーサの横断面図であり、第６ａ図と第
６ｂ図は、被加工品を支える支持装置の二つの状
態を誇張した形で示す図である。 図面の符号１０は「被加工品を支える装置、す
なわち支持装置」、１１は「被加工品」、１２は
「支持棒」、１３は「溝」、１４は「センサー」、１
５は「フイーチヤー」、１６は「端部せん」、１７
ａ，１７ｂは「柱」、１９，２２，４１，４２は
「穴」、２１は「幹部」、２３は「基部」、２４ａ，
２４ｂは「熱発生装置」または「加熱素子」、２
５ａ，２５ｂは「電線」、２６は「止めねじ」、２
７は「円筒形スペーサ」、２８は「ねじを切られ
た穴」、２９は「線」、３１は「接着剤の線」、３
２は「支持表面」、３３は「被加工品の表面」、３
５は「液体接着剤のしずく」、４０は「肩」を示
す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 第１と第２の細長い、平らな、ほぼ平行な表
   面を有する細長い被加工品を支える装置であつ
   て、前記被加工品は該被加工品の第１の表面を前
   記装置上の支持表面に接着することによつて前記
   装置に取り付けられるようになつており、また、
   前記装置は電力を入力することに応動して前記被
   加工品を曲げて前記第２の表面に凹状の形を形成
   するようにされ、 前記装置は、 (a) 比較的剛直な基部と、 (b) 第１及び第２の端を有し、該第１の端で前記
   基部にほぼ垂直に取り付けられている幹部と、 (c) 前記幹部の第２の端に取り付けられていて前
   記基部とほぼ平行に且つ該基部に向かいあつて
   前記幹部の第２の端に片持ち支持された支持棒
   であつて、該支持棒は前記基部及び前記幹部の
   硬直性に対して比較的たわみ性があり、また、
   前記支持棒は前記基部から離れる方向を向いて
   いる前記支持表面を有しており、この支持表面
   は前記被加工品の第１の表面の形にほぼ一致す
   る形を有しており、また、前記支持棒の片持ち
   された端部において前記基部の方に向いている
   負荷作用点を有する、前記支持棒と、 (d) 前記基部に取り付けられていて前記幹部から
   隔置されている柱であつて、前記支持棒上の前
   記負荷作用点に向かつて延びていて該負荷作用
   点に接触しており且つ正の熱膨張係数を有する
   前記柱と、 (e) 前記柱に密接に熱接触している熱発生装置で
   あつて、エネルギ入力を受けて熱を発生して前
   記柱を加熱してそれを膨張されるようになつて
   おり、これによつて、前記負荷作用点に力を適
   用し且つ前記支持棒を曲げるようになつてい
   る、前記熱発生装置と、 を備えた細長い被加工品を支える装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、
   前記幹部は前記基部のほぼ中点で前記基部に取り
   付けられ、前記支持棒はほぼその中点で前記幹部
   に取り付けられ、そして前記基部に面する各端に
   負荷作用点を有し、また前記幹部の両側に前記基
   部によつて支えられ、そして柱の上の前記負荷作
   用点の方へ延びてそれに接触する１対の前記柱を
   さらに含む、ことを特徴とする細長い被加工品を
   支える装置。 ３ 特許請求の範囲第２項記載の装置において、
   前記基部、幹部、および支持棒は、金属の一体に
   作られた一片である、ことを特徴とする細長い被
   加工品を支える装置。 ４ 特許請求の範囲第２項記載の装置において、
   前記エネルギ入力は電流であり、そして前記熱発
   生装置は抵抗素子と、電流を前記抵抗素子に流す
   装置とを含む、ことを特徴とする細長い被加工品
   を支える装置。 ５ 特許請求の範囲第４項記載の装置において、
   各柱は、前記抵抗素子を含む縦の穴を有する、こ
   とを特徴とする細長い被加工品を支える装置。 ６ 特許請求の範囲第４項記載の装置において、
   前記柱から前記支持棒の端部に至る熱の流れに抵
   抗するために各柱の各端に置かれた熱絶縁装置を
   含む、ことを特徴とする細長い被加工品を支える
   装置。 ７ 特許請求の範囲第４項記載の装置において、
   前記基部は、各柱に予荷重を掛けるために、前記
   基部によつて支えられる前記柱の端を機械的に支
   える止めねじ装置を含む、ことを特徴とする細長
   い被加工品を支える装置。 ８ 特許請求の範囲第７項記載の装置において、
   前記止めねじ装置は、軸線が前記負荷作用点と交
   差するねじを切られた穴を有する前記基部の中の
   領域を含み、そして各穴の中の止めねじは一つの
   柱の一端に接触する、ことを特徴とする細長い被
   加工品を支える装置。 ９ 特許請求の範囲第８項記載の装置において、
   前記止めねじ装置は、前記基部に隣接する前記柱
   に接触してそれを囲む熱絶縁ブシユをさらに含
   み、前記止めねじと前記ブシユはそれらを貫く同
   軸線の穴を含み、そして各柱は、隣接する止めね
   じの中の穴に通じる軸線方向の穴を含む、ことを
   特徴とする細長い被加工品を支える装置。 １０ 特許請求の範囲第１項記載の装置におい
   て、前記幹部と前記柱は、ほぼ等しい熱膨張係数
   を有する材料で成る、ことを特徴とする細長い被
   加工品を支える装置。 １１ 特許請求の範囲第１項記載の装置におい
   て、前記支持表面は、あらかじめ決められた間隔
   を有する横方向の溝を有する領域を含む、ことを
   特徴とする細長い被加工品を支える装置。