JP2846235B2 - ヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
ヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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- Magnetic Heads (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘッドピース集合体加
工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、セラミック構造体で
なるウエハー上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を格子状に
配列して形成した後、ウエハーからバー状の単列ヘッド
ピース集合体を取出し、取出されたヘッドピース集合体
を、治具に接着剤を用いて接着し、研磨する工程を経て
製造される。研磨工程の１つの主要な目的は、電磁変換
特性に極めて大きな影響を及ぼすスロートハイト（ギャ
ップディプス）を設定することにある。薄膜磁気ヘッド
はギャップ膜を介して対向するポール部と、ポール部に
連続するヨーク部とを有している。ポール部はセラミッ
ク構造体の面に対して実質的に平行となるように形成さ
れた先端部領域の後方に、セラミック構造体の面から離
れる方向に立ち上がる変位領域を有し、変位領域を経て
ヨークに連なっている。ポール部の先端から変位点まで
の深さが、通常、スロートハイトまたはギャップディプ
スと呼ばれている。スロートハイトは、例えば１μm 程
度の微小寸法であって、電磁変換特性を定めるのに極め
て重要な部分である。スロートハイトの設定に当って、
ウエハーから切出されたヘッドピース集合体を、鉄やス
テンレス等でなる治具に接着剤を用いて接着し、この状
態で、ポール部の端部の現れる端面を、所定のスロート
ハイトが得られる位置まで研磨する。ヘッドピース集合
体に対する研磨技術については、特開昭６２ー９５７１
６号公報及び特開昭６３ー１１３８１８号公報が開示し
ている。
なるウエハー上に多数の薄膜磁気ヘッド素子を格子状に
配列して形成した後、ウエハーからバー状の単列ヘッド
ピース集合体を取出し、取出されたヘッドピース集合体
を、治具に接着剤を用いて接着し、研磨する工程を経て
製造される。研磨工程の１つの主要な目的は、電磁変換
特性に極めて大きな影響を及ぼすスロートハイト（ギャ
ップディプス）を設定することにある。薄膜磁気ヘッド
はギャップ膜を介して対向するポール部と、ポール部に
連続するヨーク部とを有している。ポール部はセラミッ
ク構造体の面に対して実質的に平行となるように形成さ
れた先端部領域の後方に、セラミック構造体の面から離
れる方向に立ち上がる変位領域を有し、変位領域を経て
ヨークに連なっている。ポール部の先端から変位点まで
の深さが、通常、スロートハイトまたはギャップディプ
スと呼ばれている。スロートハイトは、例えば１μm 程
度の微小寸法であって、電磁変換特性を定めるのに極め
て重要な部分である。スロートハイトの設定に当って、
ウエハーから切出されたヘッドピース集合体を、鉄やス
テンレス等でなる治具に接着剤を用いて接着し、この状
態で、ポール部の端部の現れる端面を、所定のスロート
ハイトが得られる位置まで研磨する。ヘッドピース集合
体に対する研磨技術については、特開昭６２ー９５７１
６号公報及び特開昭６３ー１１３８１８号公報が開示し
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、セラミック
構造体でなるヘッドピース集合体と、鉄やステンレス等
でなる治具とでは、熱膨張係数が異なるため、両者の熱
膨張係数の差に起因してヘッドピース集合体に歪を発生
し、ヘッドピース集合体が湾曲したり曲ったりしやす
い。ヘッドピース集合体の湾曲、曲がりはヘッドピース
集合体を治具に取り付ける接着剤の硬化収縮力によって
も発生する。このため、研磨工程等において、ヘッドピ
ース集合体に配列されている各電磁変換素子のスロート
ハイトが一定になるように研磨することが困難である。
構造体でなるヘッドピース集合体と、鉄やステンレス等
でなる治具とでは、熱膨張係数が異なるため、両者の熱
膨張係数の差に起因してヘッドピース集合体に歪を発生
し、ヘッドピース集合体が湾曲したり曲ったりしやす
い。ヘッドピース集合体の湾曲、曲がりはヘッドピース
集合体を治具に取り付ける接着剤の硬化収縮力によって
も発生する。このため、研磨工程等において、ヘッドピ
ース集合体に配列されている各電磁変換素子のスロート
ハイトが一定になるように研磨することが困難である。
【０００４】上述した問題点を解決しようとする試み
は、既になされている。例えば、特開平２ー７１４１５
号公報には、ヘッド列（ヘッドピース集合体）を研磨加
工する時、上部と下部を異種材料で構成したラップキャ
リヤ（治具）に熱溶融性接着剤で仮固定して行なうこと
により、ヘッド列の接着後の反りを抑え、必要とするポ
ールハイト（スロートハイト）精度を歩留よく安定に得
られる旨記載されている。また、特開平４ー２９１０１
０号公報には、ヘッドブロック（ヘッドピース集合体）
を、治具へ固定する際に、浮上面と裏面も加工歪が相殺
するようにヘッドブロックを固定し研磨するか、加工歪
の異なる研磨方法を用いて、ヘッドブロック浮上面と裏
面の加工歪を制御することにより、薄膜磁気ヘッドのギ
ャップ深さ（スロートハイト）精度のばらつきのない薄
膜磁気ヘッドを得る技術が開示されている。
は、既になされている。例えば、特開平２ー７１４１５
号公報には、ヘッド列（ヘッドピース集合体）を研磨加
工する時、上部と下部を異種材料で構成したラップキャ
リヤ（治具）に熱溶融性接着剤で仮固定して行なうこと
により、ヘッド列の接着後の反りを抑え、必要とするポ
ールハイト（スロートハイト）精度を歩留よく安定に得
られる旨記載されている。また、特開平４ー２９１０１
０号公報には、ヘッドブロック（ヘッドピース集合体）
を、治具へ固定する際に、浮上面と裏面も加工歪が相殺
するようにヘッドブロックを固定し研磨するか、加工歪
の異なる研磨方法を用いて、ヘッドブロック浮上面と裏
面の加工歪を制御することにより、薄膜磁気ヘッドのギ
ャップ深さ（スロートハイト）精度のばらつきのない薄
膜磁気ヘッドを得る技術が開示されている。
【０００５】しかしながら、何れの先行技術も、治具に
固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正する
手段は開示していない。
固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正する
手段は開示していない。
【０００６】本発明の課題は、ヘッドピース集合体の湾
曲及び曲りに起因するスロートハイトの変動を防止し得
るヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの
製造方法を提供することである。
曲及び曲りに起因するスロートハイトの変動を防止し得
るヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの
製造方法を提供することである。
【０００７】本発明のもう一つの課題は、固定した後に
生じたヘッドピース集合体の歪を修正し得るヘッドピー
ス集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法を提
供することである。
生じたヘッドピース集合体の歪を修正し得るヘッドピー
ス集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係るヘッドピース集合体加工用治具は、第
１の治具部材と、第２の治具部材とを含み、ヘッドピー
ス集合体の加工に用いられるものであって、前記第１の
治具部材は、前記ヘッドピース集合体を接着する取付面
を有しており、前記第２の治具部材は、本体部分と、歪
発生機構とを含み、前記本体部分が前記第１の治具部材
に結合され、前記歪発生機構が前記本体部分に備えられ
前記第１の治具部材に歪を生じさせる。
め、本発明に係るヘッドピース集合体加工用治具は、第
１の治具部材と、第２の治具部材とを含み、ヘッドピー
ス集合体の加工に用いられるものであって、前記第１の
治具部材は、前記ヘッドピース集合体を接着する取付面
を有しており、前記第２の治具部材は、本体部分と、歪
発生機構とを含み、前記本体部分が前記第１の治具部材
に結合され、前記歪発生機構が前記本体部分に備えられ
前記第１の治具部材に歪を生じさせる。
【０００９】好ましくは、前記歪発生機構は、前記取付
面に対して正負の歪を生じさせる。
面に対して正負の歪を生じさせる。
【００１０】また、前記第１の治具部材は、好ましく
は、一面に幅方向及び長さ方向を仮想したとき、前記取
付面が幅方向の一側面に位置しており、前記第２の治具
部材は前記本体部分の一面が前記第１の治具部材の厚み
方向の一面に面接触している。
は、一面に幅方向及び長さ方向を仮想したとき、前記取
付面が幅方向の一側面に位置しており、前記第２の治具
部材は前記本体部分の一面が前記第１の治具部材の厚み
方向の一面に面接触している。
【００１１】また、前記歪発生機構は、好ましくは、可
動部材と、駆動部材とを含み、前記可動部材が前記本体
部分に移動可能に取り付けられ、前記駆動部材が前記本
体部分に取り付けられ、外部操作に基づいて前記可動部
材を移動させる。
動部材と、駆動部材とを含み、前記可動部材が前記本体
部分に移動可能に取り付けられ、前記駆動部材が前記本
体部分に取り付けられ、外部操作に基づいて前記可動部
材を移動させる。
【００１２】前記第１の治具部材は、好ましくは、少な
くとも前記第２の治具部材と接触する前記一面に開口す
る穴を有しており、前記可動部材は、突起を含み、前記
突起が前記穴に挿入される。
くとも前記第２の治具部材と接触する前記一面に開口す
る穴を有しており、前記可動部材は、突起を含み、前記
突起が前記穴に挿入される。
【００１３】更に好ましくは、前記駆動部材は、ネジ体
を含んでおり、前記ネジ体は一端が前記可動部材に結合
され、中間部が前記本体部分にネジ結合され、他端が前
記本体部分の外部に導かれている。
を含んでおり、前記ネジ体は一端が前記可動部材に結合
され、中間部が前記本体部分にネジ結合され、他端が前
記本体部分の外部に導かれている。
【００１４】別の好ましい例では、ピンを含み、前記ピ
ンが前記第１の治具部材及び前記第２の治具部材の間に
配置されて両者間の位置決めを行う。
ンが前記第１の治具部材及び前記第２の治具部材の間に
配置されて両者間の位置決めを行う。
【００１５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いる。
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いる。
【００１６】
【作用】第１の治具部材は、ヘッドピース集合体を薄膜
磁気ヘッド要素の配列方向の全長にわたって接着する取
付面を有している。従って、ヘッドピース集合体を第１
の治具部材の取付面に接着して研磨することができる。
磁気ヘッド要素の配列方向の全長にわたって接着する取
付面を有している。従って、ヘッドピース集合体を第１
の治具部材の取付面に接着して研磨することができる。
【００１７】第２の治具部材は、本体部分と、歪発生機
構とを含んでいる。本体部分は第１の治具部材に結合さ
れ、歪発生機構は本体部分に備えられ第１の治具部材に
歪を生じさせる。このため、第１の治具部材に接着され
ているヘッドピース集合体も、第１の治具部材の歪に対
応して歪む。これにより、第１の治具部材に固定した後
に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し得る。
構とを含んでいる。本体部分は第１の治具部材に結合さ
れ、歪発生機構は本体部分に備えられ第１の治具部材に
歪を生じさせる。このため、第１の治具部材に接着され
ているヘッドピース集合体も、第１の治具部材の歪に対
応して歪む。これにより、第１の治具部材に固定した後
に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し得る。
【００１８】歪発生機構が可動部材と、駆動部材とを含
み、可動部材が本体部分に移動可能に取り付けられ、駆
動部材が本体部分に取り付けられ外部操作に基づいて可
動部材を移動させる構造の場合は、簡単な構造で、治具
に固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し
得る。
み、可動部材が本体部分に移動可能に取り付けられ、駆
動部材が本体部分に取り付けられ外部操作に基づいて可
動部材を移動させる構造の場合は、簡単な構造で、治具
に固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し
得る。
【００１９】第１の治具部材が少なくとも第２の治具部
材と接触する一面に開口する穴を有しており、第２の治
具部材に備えられる可動部材の突起が穴に挿入される構
造の場合は、第１の治具部材と第２の治具部材との組み
合わせが簡単になる。
材と接触する一面に開口する穴を有しており、第２の治
具部材に備えられる可動部材の突起が穴に挿入される構
造の場合は、第１の治具部材と第２の治具部材との組み
合わせが簡単になる。
【００２０】駆動部材がネジ体を含んでおり、ネジ体の
一端が可動部材に結合され、中間部が本体部分にネジ結
合され、他端が本体部分の外部に導かれている構造の場
合は、外部に導かれているネジ体の他端部に回転力を加
え、第２の治具部材とネジ体との間のねじ結合に基づ
き、ネジ体に軸方向の直線運動を与え、可動部材を進退
させ、それによって第１の治具部材に歪を与えて、治具
に固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し
得る。このため、歪修正操作が簡単になる。
一端が可動部材に結合され、中間部が本体部分にネジ結
合され、他端が本体部分の外部に導かれている構造の場
合は、外部に導かれているネジ体の他端部に回転力を加
え、第２の治具部材とネジ体との間のねじ結合に基づ
き、ネジ体に軸方向の直線運動を与え、可動部材を進退
させ、それによって第１の治具部材に歪を与えて、治具
に固定した後に生じたヘッドピース集合体の歪を修正し
得る。このため、歪修正操作が簡単になる。
【００２１】ピンを含み、ピンが第１の治具部材及び第
２の治具部材の間に配置されて両者間の位置決めを行う
構造の場合は、第１の治具部材及び第２の治具部材を所
定位置に簡単、かつ、確実に位置決めすることができ
る。
２の治具部材の間に配置されて両者間の位置決めを行う
構造の場合は、第１の治具部材及び第２の治具部材を所
定位置に簡単、かつ、確実に位置決めすることができ
る。
【００２２】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いるので、治具に固定した後に生じたヘッドピ
ース集合体の歪を、簡単、かつ、確実に修正し得る。
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いるので、治具に固定した後に生じたヘッドピ
ース集合体の歪を、簡単、かつ、確実に修正し得る。
【００２３】
【実施例】図１は本発明に係るヘッドピース集合体加工
用治具の分解斜視図、図２は図１に示したヘッドピース
集合体加工用治具の使用状態における斜視図、図３は図
２のＡ３ーＡ３線上における断面図である。本発明に係
るヘッドピース集合体加工用治具は、第１の治具部材１
００と、第２の治具部材２００とを含んでいる。第１の
治具部材１００及び第２の治具部材２００は鉄やステン
レス等で構成される。ヘッドピース集合体Ｈは、一方向
に薄膜磁気ヘッド要素を単列または複数列配列してバー
状に形成されている。ヘッドピース集合体Ｈの製造方及
び構造は周知であり、後で詳細に説明する。
用治具の分解斜視図、図２は図１に示したヘッドピース
集合体加工用治具の使用状態における斜視図、図３は図
２のＡ３ーＡ３線上における断面図である。本発明に係
るヘッドピース集合体加工用治具は、第１の治具部材１
００と、第２の治具部材２００とを含んでいる。第１の
治具部材１００及び第２の治具部材２００は鉄やステン
レス等で構成される。ヘッドピース集合体Ｈは、一方向
に薄膜磁気ヘッド要素を単列または複数列配列してバー
状に形成されている。ヘッドピース集合体Ｈの製造方及
び構造は周知であり、後で詳細に説明する。
【００２４】第１の治具部材１００は、ヘッドピース集
合体Ｈを接着する取付面１０１を有している。
合体Ｈを接着する取付面１０１を有している。
【００２５】第２の治具部材２００は、本体部分２０１
と、歪発生機構２０２とを含んでいる。本体部分２０１
は第１の治具部材１００に結合されている。歪発生機構
２０２は本体部分２０１に備えられ、第１の治具部材１
００に歪Ｆ１またはＦ２を生じさせる。
と、歪発生機構２０２とを含んでいる。本体部分２０１
は第１の治具部材１００に結合されている。歪発生機構
２０２は本体部分２０１に備えられ、第１の治具部材１
００に歪Ｆ１またはＦ２を生じさせる。
【００２６】上述のように、第１の治具部材１００は、
ヘッドピース集合体Ｈを接着する取付面１０１を有して
いるから、バー状に形成されたヘッドピース集合体Ｈ
は、第１の治具部材１００の取付面１０１に接着し、こ
の状態で研磨加工等に付することができる。接着に当た
っては、瞬間接着剤等、従来より知られている接着剤を
用いることができる。このとき、セラミック構造体でな
るヘッドピース集合体Ｈと、鉄やステンレス等でなる第
１の治具１００とでは、熱膨張係数が異なるため、両者
の熱膨張係数の差に起因してヘッドピース集合体Ｈに歪
を発生し、ヘッドピース集合体Ｈに湾曲や曲りを生じる
ことがある。ヘッドピース集合体Ｈの湾曲、曲がりはヘ
ッドピース集合体Ｈを第１の治具部材１００に取り付け
る接着剤の硬化収縮力によっても発生する。
ヘッドピース集合体Ｈを接着する取付面１０１を有して
いるから、バー状に形成されたヘッドピース集合体Ｈ
は、第１の治具部材１００の取付面１０１に接着し、こ
の状態で研磨加工等に付することができる。接着に当た
っては、瞬間接着剤等、従来より知られている接着剤を
用いることができる。このとき、セラミック構造体でな
るヘッドピース集合体Ｈと、鉄やステンレス等でなる第
１の治具１００とでは、熱膨張係数が異なるため、両者
の熱膨張係数の差に起因してヘッドピース集合体Ｈに歪
を発生し、ヘッドピース集合体Ｈに湾曲や曲りを生じる
ことがある。ヘッドピース集合体Ｈの湾曲、曲がりはヘ
ッドピース集合体Ｈを第１の治具部材１００に取り付け
る接着剤の硬化収縮力によっても発生する。
【００２７】第２の治具部材２００は、本体部分２０１
と、歪発生機構２０２とを含んでいて、本体部分２０１
は第１の治具部材１００に結合され、歪発生機構２０２
は本体部分２０１に備えられ、第１の治具部材１００に
歪Ｆ１またはＦ２を生じさせる。このため、第１の治具
部材１００に接着されているヘッドピース集合体Ｈも、
第１の治具部材１００の歪Ｆ１またはＦ２に対応して歪
む。これにより、治具に固定した後に生じたヘッドピー
ス集合体Ｈの歪が修正される。
と、歪発生機構２０２とを含んでいて、本体部分２０１
は第１の治具部材１００に結合され、歪発生機構２０２
は本体部分２０１に備えられ、第１の治具部材１００に
歪Ｆ１またはＦ２を生じさせる。このため、第１の治具
部材１００に接着されているヘッドピース集合体Ｈも、
第１の治具部材１００の歪Ｆ１またはＦ２に対応して歪
む。これにより、治具に固定した後に生じたヘッドピー
ス集合体Ｈの歪が修正される。
【００２８】好ましくは、歪発生機構２０２は、取付面
１０１に対して正の歪Ｆ１と、負の歪Ｆ２を生じさせ
る。これにより、ヘッドピース集合体Ｈの両方向の歪を
修正できるようになる。
１０１に対して正の歪Ｆ１と、負の歪Ｆ２を生じさせ
る。これにより、ヘッドピース集合体Ｈの両方向の歪を
修正できるようになる。
【００２９】図示の第１の治具部材１００は、一面に幅
方向及び長さ方向を仮想したとき、取付面１０１が幅方
向の一側面に位置しており、第２の治具部材２００は本
体部分２０１の一面が第１の治具部材１００の厚み方向
の一面に面接触している。これにより、第１の治具部材
１００と第２の治具部材２００とが厚み方向の面を介し
て安定に面結合すると共に、厚み方向の面に対して直交
する幅方向の側面に設けられた取付面１０１に歪Ｆ１ま
たはＦ２を生じさせる治具が得られる。
方向及び長さ方向を仮想したとき、取付面１０１が幅方
向の一側面に位置しており、第２の治具部材２００は本
体部分２０１の一面が第１の治具部材１００の厚み方向
の一面に面接触している。これにより、第１の治具部材
１００と第２の治具部材２００とが厚み方向の面を介し
て安定に面結合すると共に、厚み方向の面に対して直交
する幅方向の側面に設けられた取付面１０１に歪Ｆ１ま
たはＦ２を生じさせる治具が得られる。
【００３０】歪発生機構２０２は、好ましくは、可動部
材２０３と、駆動部材２０４とを含んでいる。可動部材
２０３は本体部分２０１に移動可能に取り付けられ、駆
動部材２０４は本体部分２０１に取り付けられ、外部操
作に基づいて可動部材２０３を移動させる。これによ
り、簡単な構造で、第１の治具部材１００に固定した後
に生じたヘッドピース集合体Ｈの歪を修正し得る。可動
部材２０３は第２の治具部材２００に設けられた案内溝
２０５内に収納され、この案内溝２０５内において移動
する。
材２０３と、駆動部材２０４とを含んでいる。可動部材
２０３は本体部分２０１に移動可能に取り付けられ、駆
動部材２０４は本体部分２０１に取り付けられ、外部操
作に基づいて可動部材２０３を移動させる。これによ
り、簡単な構造で、第１の治具部材１００に固定した後
に生じたヘッドピース集合体Ｈの歪を修正し得る。可動
部材２０３は第２の治具部材２００に設けられた案内溝
２０５内に収納され、この案内溝２０５内において移動
する。
【００３１】第１の治具部材１００は少なくとも第２の
治具部材２００と接触する一面に開口する穴１０２を有
している。可動部材２０３は突起２０６を有しており、
突起２０６が穴１０２に挿入される。この構造により、
第１の治具部材１００と第２の治具部材２００との組み
合わせが簡単になる。
治具部材２００と接触する一面に開口する穴１０２を有
している。可動部材２０３は突起２０６を有しており、
突起２０６が穴１０２に挿入される。この構造により、
第１の治具部材１００と第２の治具部材２００との組み
合わせが簡単になる。
【００３２】更に具体的には、駆動部材２０４は、ネジ
体２０７を含んでいる。ネジ体２０７は一端が可動部材
２０３に結合され、中間部が本体部分２０１にネジ結合
され、他端が本体部分２０１の外部に導かれている。こ
の構造によれば、外部に導かれているネジ体２０７の他
端部に矢印ａ１またはａ２の方向回転力を加え、第２の
治具部材２００とネジ体２０７との間のねじ結合に基づ
き、ネジ体２０７に軸方向の直線運動を与え、可動部材
２０３を進退させ、それによって第１の治具部材１００
に歪を与えて、治具に固定した後に生じたヘッドピース
集合体Ｈの歪を修正し得る。このため、歪修正操作が簡
単になる。
体２０７を含んでいる。ネジ体２０７は一端が可動部材
２０３に結合され、中間部が本体部分２０１にネジ結合
され、他端が本体部分２０１の外部に導かれている。こ
の構造によれば、外部に導かれているネジ体２０７の他
端部に矢印ａ１またはａ２の方向回転力を加え、第２の
治具部材２００とネジ体２０７との間のねじ結合に基づ
き、ネジ体２０７に軸方向の直線運動を与え、可動部材
２０３を進退させ、それによって第１の治具部材１００
に歪を与えて、治具に固定した後に生じたヘッドピース
集合体Ｈの歪を修正し得る。このため、歪修正操作が簡
単になる。
【００３３】更に、実施例に示す治具は、ピン２０８を
含み、ピン２０８が第１の治具部材１００及び第２の治
具部材２００の間に配置されて両者間の位置決めを行
う。この構造によれば、第１の治具部材１００及び第２
の治具部材２００を所定位置に簡単、かつ、確実に位置
決めすることができる。図は、ピン２０８が第２の治具
部材２００に一体的に設けられ、これらのピン２０８を
第１の治具部材１００に設けられた孔１０３に挿入して
位置決めする構造を開示しているが、ピン２０８を第１
の治具部材１００に設ける構造であってもよい。
含み、ピン２０８が第１の治具部材１００及び第２の治
具部材２００の間に配置されて両者間の位置決めを行
う。この構造によれば、第１の治具部材１００及び第２
の治具部材２００を所定位置に簡単、かつ、確実に位置
決めすることができる。図は、ピン２０８が第２の治具
部材２００に一体的に設けられ、これらのピン２０８を
第１の治具部材１００に設けられた孔１０３に挿入して
位置決めする構造を開示しているが、ピン２０８を第１
の治具部材１００に設ける構造であってもよい。
【００３４】第１の治具部材１００及び第２の治具部材
２００は、両者の間に付着された接着剤３０１〜３０５
（図２参照）によって一体的に結合する。接着剤３０１
〜３０５は好ましくは瞬間接着剤である。第２の治具部
材２００は第１の治具部材１００との間の接着に関わら
ず、剥離できるようにするため、剥離用孔２０９を有す
る。第２の治具部材２００の下面側から剥離用孔２０９
にネジ等を結合させて第１の治具部材１００を押し上
げ、両者を剥離させる。更に、第１の治具部材１００は
ヘッドピース集合体Ｈから各磁気ヘッド要素を切断する
時の切断刃に対する逃げとなる溝１０４を有する。
２００は、両者の間に付着された接着剤３０１〜３０５
（図２参照）によって一体的に結合する。接着剤３０１
〜３０５は好ましくは瞬間接着剤である。第２の治具部
材２００は第１の治具部材１００との間の接着に関わら
ず、剥離できるようにするため、剥離用孔２０９を有す
る。第２の治具部材２００の下面側から剥離用孔２０９
にネジ等を結合させて第１の治具部材１００を押し上
げ、両者を剥離させる。更に、第１の治具部材１００は
ヘッドピース集合体Ｈから各磁気ヘッド要素を切断する
時の切断刃に対する逃げとなる溝１０４を有する。
【００３５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いる。ヘッドピース集合体の製造方法及び構造
は公知である。その一例を図４〜図８に示す。
は、ヘッドピース集合体加工工程を含んでおり、ヘッド
ピース集合体加工工程は上述した本発明に係る治具の何
れかを用いる。ヘッドピース集合体の製造方法及び構造
は公知である。その一例を図４〜図８に示す。
【００３６】まず、図４に示すように、基体１ａ上に多
数の薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍを格子状に配列
したウエハー１を製造する。薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１
〜Ｑｎｍは、通常、その形成領域が４角状となるよう
に、ウエハー１上に形成される。
数の薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍを格子状に配列
したウエハー１を製造する。薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１
〜Ｑｎｍは、通常、その形成領域が４角状となるよう
に、ウエハー１上に形成される。
【００３７】次に、薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍ
を含むヘッドピース集合体Ｈを、切断によって取出す。
この工程は、通常、図５に示すように、ウエハー１内の
薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍの形成領域の外側に
生じる円弧部分（耳）を切断によって除去し、四角形状
のウエハー１を得た後、この４角形状ウエハー１から、
図６に示すように、ヘッドピース集合体Ｈを切断する工
程として実行される。
を含むヘッドピース集合体Ｈを、切断によって取出す。
この工程は、通常、図５に示すように、ウエハー１内の
薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍの形成領域の外側に
生じる円弧部分（耳）を切断によって除去し、四角形状
のウエハー１を得た後、この４角形状ウエハー１から、
図６に示すように、ヘッドピース集合体Ｈを切断する工
程として実行される。
【００３８】図７及び図８は図４〜図６の工程を経て取
出されたヘッドピース集合体Ｈを示している。図７及び
図８に示されるように、ヘッドピース集合体Ｈの薄膜磁
気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑ１ｍは同一の切断面ｈ１または
ｈ２に対して同一の方向性を有している。
出されたヘッドピース集合体Ｈを示している。図７及び
図８に示されるように、ヘッドピース集合体Ｈの薄膜磁
気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑ１ｍは同一の切断面ｈ１または
ｈ２に対して同一の方向性を有している。
【００３９】ウエハー１は、例えばＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣ等
のセラミック構造体で構成されていて、薄膜磁気ヘッド
素子Ｑ１１〜Ｑｎｍは、Ａｌ2Ｏ3等の絶縁膜を介して、
ウエハー１の１面側に形成されている。
のセラミック構造体で構成されていて、薄膜磁気ヘッド
素子Ｑ１１〜Ｑｎｍは、Ａｌ2Ｏ3等の絶縁膜を介して、
ウエハー１の１面側に形成されている。
【００４０】薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍは、周
知のように、ＩＣ製造テクノロジーと同様の、フォトリ
ソグラフィを主体とした高精度パターン形成技術によっ
て形成される。図９は薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎ
ｍに含まれる薄膜電磁変換素子の平面拡大部分破断面
図、図１０は同じく図９のＡ１２ーＡ１２線上における
断面図を示している。図９及び図１０は異なるスケール
で示されている。図９に示すように、薄膜磁気ヘッド素
子Ｑ１１〜Ｑｎｍは薄膜電磁変換素子Ｍ１を有してい
る。Ｅ１は取り出し電極であり、これらは薄膜電磁変換
素子Ｍ１に電気的に導通している。薄膜電磁変換素子Ｍ
１は、図示では２個であるが、１個または３個以上備え
られることもある。次に図９及び図１０において、ウエ
ハー１はＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣでなる基体１ａの表面にＡｌ
2Ｏ3でなる絶縁膜１ｂを被着させ、この絶縁膜１ｂの上
に、薄膜電磁変換素子Ｍ１を形成してある。薄膜電磁変
換素子Ｍ１は下部磁性膜２、ギャップ膜３、上部磁性膜
４、コイル膜５及び層間絶縁膜６の薄膜積層構造を有
し、全体をＡｌ2Ｏ3等の保護膜７によって被覆した構造
となっている。
知のように、ＩＣ製造テクノロジーと同様の、フォトリ
ソグラフィを主体とした高精度パターン形成技術によっ
て形成される。図９は薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎ
ｍに含まれる薄膜電磁変換素子の平面拡大部分破断面
図、図１０は同じく図９のＡ１２ーＡ１２線上における
断面図を示している。図９及び図１０は異なるスケール
で示されている。図９に示すように、薄膜磁気ヘッド素
子Ｑ１１〜Ｑｎｍは薄膜電磁変換素子Ｍ１を有してい
る。Ｅ１は取り出し電極であり、これらは薄膜電磁変換
素子Ｍ１に電気的に導通している。薄膜電磁変換素子Ｍ
１は、図示では２個であるが、１個または３個以上備え
られることもある。次に図９及び図１０において、ウエ
ハー１はＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣでなる基体１ａの表面にＡｌ
2Ｏ3でなる絶縁膜１ｂを被着させ、この絶縁膜１ｂの上
に、薄膜電磁変換素子Ｍ１を形成してある。薄膜電磁変
換素子Ｍ１は下部磁性膜２、ギャップ膜３、上部磁性膜
４、コイル膜５及び層間絶縁膜６の薄膜積層構造を有
し、全体をＡｌ2Ｏ3等の保護膜７によって被覆した構造
となっている。
【００４１】下部磁性膜２及び上部磁性膜４はギャップ
膜３を介して対向するポール部２１、４１と、ポール部
２１、４１に連続するヨーク部２２、４２とを有してい
る。上部磁性膜４のポール部４１はセラミック構造体で
あるウエハー１の面に対して実質的に平行となるように
形成された先端部領域４１１の後方に、ウエハー１の面
から離れる方向に立ち上がる変位領域４１２を有し、変
位領域４１２を経てヨーク４２に連なっている。ポール
部４１の先端から変位開始点Ｙまでの深さＴＨがスロー
トハイトである。ヨーク２２及びヨーク４２は後方領域
で磁気回路を完成するように結合されている。
膜３を介して対向するポール部２１、４１と、ポール部
２１、４１に連続するヨーク部２２、４２とを有してい
る。上部磁性膜４のポール部４１はセラミック構造体で
あるウエハー１の面に対して実質的に平行となるように
形成された先端部領域４１１の後方に、ウエハー１の面
から離れる方向に立ち上がる変位領域４１２を有し、変
位領域４１２を経てヨーク４２に連なっている。ポール
部４１の先端から変位開始点Ｙまでの深さＴＨがスロー
トハイトである。ヨーク２２及びヨーク４２は後方領域
で磁気回路を完成するように結合されている。
【００４２】薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎｍのそれ
ぞれは、図９に示すように、加工マーク８を有してい
る。加工マーク８は、薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎ
ｍのそれぞれにおいて、スロートハイトＴＨを定める基
準となる変位開始点Ｙに対して、所定の位置関係となる
ように付されている。
ぞれは、図９に示すように、加工マーク８を有してい
る。加工マーク８は、薄膜磁気ヘッド素子Ｑ１１〜Ｑｎ
ｍのそれぞれにおいて、スロートハイトＴＨを定める基
準となる変位開始点Ｙに対して、所定の位置関係となる
ように付されている。
【００４３】上述のようにして得られたヘッドピース集
合体Ｈの両切断面ｈ１及びｈ２のうちの一面ｈ１を、図
１〜図３に示したように、第１の治具部材１００に瞬間
接着剤等を用いて取り付ける。取り付け後に、ヘッドピ
ース集合体Ｈの真直度を測定しておくとよい。
合体Ｈの両切断面ｈ１及びｈ２のうちの一面ｈ１を、図
１〜図３に示したように、第１の治具部材１００に瞬間
接着剤等を用いて取り付ける。取り付け後に、ヘッドピ
ース集合体Ｈの真直度を測定しておくとよい。
【００４４】次に、第１の治具部材１００を第２の治具
部材２００へセットし、歪発生機構を操作する。歪み発
生機構の調整方向は、補正前ＴＨカーブを修正する方向
である。
部材２００へセットし、歪発生機構を操作する。歪み発
生機構の調整方向は、補正前ＴＨカーブを修正する方向
である。
【００４５】図１１及び図１２は補正前ＴＨカーブと、
補正後ＴＨカーブの実測データを示す図である。曲線Ｌ
１、Ｌ３は補正前ＴＨカーブ特性、曲線Ｌ２、Ｌ４は補
正後ＴＨカーブ特性である。これらの比較から明らかな
ように、本発明に係る治具によれば、ＴＨカーブを著し
く改善できる。
補正後ＴＨカーブの実測データを示す図である。曲線Ｌ
１、Ｌ３は補正前ＴＨカーブ特性、曲線Ｌ２、Ｌ４は補
正後ＴＨカーブ特性である。これらの比較から明らかな
ように、本発明に係る治具によれば、ＴＨカーブを著し
く改善できる。
【００４６】次に、第１の治具部材１００と第２の治具
部材２００との間に瞬間接着剤等の接着剤３０１〜３０
５（図２参照）を付着させて、両者を固定する。接着剤
３０１〜３０５はむらを生じないように、少量だけ均等
に付与する。
部材２００との間に瞬間接着剤等の接着剤３０１〜３０
５（図２参照）を付着させて、両者を固定する。接着剤
３０１〜３０５はむらを生じないように、少量だけ均等
に付与する。
【００４７】次に、ヘッドピース集合体の真直度を再度
測定して、ＴＨカーブがヘッドピース集合体の全長に渡
って、均一化されていることを確認する。
測定して、ＴＨカーブがヘッドピース集合体の全長に渡
って、均一化されていることを確認する。
【００４８】次に、取付面ｈ１と対向する他面ｈ２に研
磨加工を施す。研磨加工は研削加工を含むことがある。
ヘッドピース集合体Ｈの研磨は、特開平１ー１５３２６
４号公報、特開平１ー１５３２６５号公報等に開示され
た技術を適用して実行できる。これらの公知文献に記載
された研磨装置は回転体を含み、この回転体は、例えば
スズ等の軟質金属部材を用いて円板状に形成された研磨
部材の背面に、例えばステンレス等の金属材料によって
円板状に形成された支持部材を、接着剤によって一体的
に面接合させてある。支持部材は、機械的強度の不充分
な研磨部材を支持するために設けられている。研磨に当
っては、回転体を面回転させ、かつ、研磨部材の表面に
ダイヤモンド粒子等を含む研磨材を供給しながら、研磨
部材の表面にヘッドピース集合体Ｈの研磨面を接触させ
る。治具は回転半径方向に平行移動させ、研磨部材の表
面の全面で研磨が行なわれるようにする。治具及びヘッ
ドピース集合体Ｈは自転が加えられる。
磨加工を施す。研磨加工は研削加工を含むことがある。
ヘッドピース集合体Ｈの研磨は、特開平１ー１５３２６
４号公報、特開平１ー１５３２６５号公報等に開示され
た技術を適用して実行できる。これらの公知文献に記載
された研磨装置は回転体を含み、この回転体は、例えば
スズ等の軟質金属部材を用いて円板状に形成された研磨
部材の背面に、例えばステンレス等の金属材料によって
円板状に形成された支持部材を、接着剤によって一体的
に面接合させてある。支持部材は、機械的強度の不充分
な研磨部材を支持するために設けられている。研磨に当
っては、回転体を面回転させ、かつ、研磨部材の表面に
ダイヤモンド粒子等を含む研磨材を供給しながら、研磨
部材の表面にヘッドピース集合体Ｈの研磨面を接触させ
る。治具は回転半径方向に平行移動させ、研磨部材の表
面の全面で研磨が行なわれるようにする。治具及びヘッ
ドピース集合体Ｈは自転が加えられる。
【００４９】図示されたヘッドピース集合体Ｈは１列の
磁気ヘッド要素を有するだけであるが、それ以上の列数
であってもよいのである。また、実施例では、１つの磁
気ヘッド要素が２つの薄膜磁気ヘッド素子を含む例を示
したが、１つの素子だけを有する構造であってもよい。
更に、媒体対向面側にレールを有するタイプのものに
も、レールを有しないタイプのものにも適用できる。更
に、誘導型電磁変換素子と共に、磁気抵抗効果素子を用
いた薄膜磁気ヘッドにも適用できる。
磁気ヘッド要素を有するだけであるが、それ以上の列数
であってもよいのである。また、実施例では、１つの磁
気ヘッド要素が２つの薄膜磁気ヘッド素子を含む例を示
したが、１つの素子だけを有する構造であってもよい。
更に、媒体対向面側にレールを有するタイプのものに
も、レールを有しないタイプのものにも適用できる。更
に、誘導型電磁変換素子と共に、磁気抵抗効果素子を用
いた薄膜磁気ヘッドにも適用できる。
【００５０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
効果を得ることができる。 （ａ）ヘッドピース集合体の湾曲及び曲りに起因するス
ロートハイトの変動を防止し得るヘッドピース集合体加
工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するを提
供することができる。 （ｂ）治具に固定した後に生じたヘッドピース集合体の
歪を修正し得るヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜
磁気ヘッドの製造方法を提供するを提供できる。
効果を得ることができる。 （ａ）ヘッドピース集合体の湾曲及び曲りに起因するス
ロートハイトの変動を防止し得るヘッドピース集合体加
工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供するを提
供することができる。 （ｂ）治具に固定した後に生じたヘッドピース集合体の
歪を修正し得るヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜
磁気ヘッドの製造方法を提供するを提供できる。
【図１】本発明に係るヘッドピース集合体加工用治具の
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図２】図１に示したヘッドピース集合体加工用治具の
使用状態における斜視図である。
使用状態における斜視図である。
【図３】図２のＡ３ーＡ３線上における断面図である。
【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に含ま
れる工程を示す図である。
れる工程を示す図である。
【図５】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に含ま
れる工程を示す図である。
れる工程を示す図である。
【図６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に含ま
れる工程を示す図である。
れる工程を示す図である。
【図７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に含ま
れる工程を示す図である。
れる工程を示す図である。
【図８】ヘッドピース集合体の部分拡大図である。
【図９】薄膜磁気ヘッド素子の平面拡大部分破断面図で
ある。
ある。
【図１０】図９のＡ１２ーＡ１２線上における断面図で
ある。
ある。
【図１１】補正前ＴＨカーブと、補正後ＴＨカーブの実
測データを示す図である。
測データを示す図である。
【図１２】補正前ＴＨカーブと補正後ＴＨカーブの実測
データを示す図である。
データを示す図である。
１００ 第１の治具部材 ２００ 第２の治具部材 Ｑ11〜Ｑnm 薄膜磁気ヘッド要素 Ｈ ヘッドピース集合体
Claims (7)
- 【請求項１】 第１の治具部材と、第２の治具部材、位
置決め手段と、歪発生手段とを含み、ヘッドピース集合
体の加工に用いられる治具であって、 前記第１の治具部材は、前記ヘッドピース集合体を搭載
し得る取付面を有しており、 前記第２の治具部材は、前記第１の治具部材の一面と重
ね合わされる一面を有しており、 前記位置決め手段は、前記第１の治具部材の一面と前記
第２の治具部材の前記一面とを重ね合わせた状態で、前
記第１の治具部材を、前記第２の治具部材の上に位置決
めし、前記位置決めは、前記一面に対して平行で、か
つ、前記取付面に対して直交する平面で、前記第１の治
具部材を歪ませることができるようになされ、 前記歪発生手段は、前記第２の治具部材に備えられ、前
記第１の治具部材を、前記一面に対して平行で、かつ、
前記取付面に対して実質的に直交する平面で歪ませるこ
とができる ヘッドピース集合体加工用治具。 - 【請求項２】 請求項１に記載されたヘッドピース集合
体加工用治具であって、 前記歪発生手段は、前記取付面に対して正負の歪を生じ
させるヘッドピース集合体加工用治具。 - 【請求項３】 請求項１に記載されたヘッドピース集合
体加工用治具であって、 前記歪発生手段は、可動部材と、駆動部材とを含んでお
り、 前記可動部材は、前記第２の治具部材に移動可能に取り
付けられ、移動動作により前記第１の治具部材に歪を生
じさせるための力を加えるものであり、 前記駆動部材は、前記第２の治具部材に取り付けられ、
前記可動部材を駆動する ヘッドピース集合体加工用治
具。 - 【請求項４】 請求項３に記載されたヘッドピース集合
体加工用治具であっ て、 前記第１の治具部材は、前記一面に開口する穴を有して
おり、 前記可動部材は、突起を含み、前記突起が前記穴に挿入
されている ヘッドピース集合体加工用治具。 - 【請求項５】 請求項３に記載されたヘッドピース集合
体加工用治具であって、 前記駆動部材は、ネジ体を含んでおり、前記ネジ体は一
端が前記可動部材に結合され、中間部が前記本体部分に
ネジ結合され、他端が前記本体部分の外部に導かれてい
る ヘッドピース集合体加工用治具。 - 【請求項６】 請求項１に記載されたヘッドピース集合
体加工用治具であって、 前記位置決め手段は、ピンを含み、前記ピンが前記第１
の治具部材及び前記第２の治具部材の間に配置されてい
る ヘッドピース集合体加工用治具。 - 【請求項７】 ヘッドピース集合体加工工程を含む薄膜
磁気ヘッドの製造方法であって、 ヘッドピース集合体加工工程では、請求項１乃至６の何
れかに記載された治具が用いられる薄膜磁気ヘッドの製
造方法。
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