JPH031644B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH031644B2 JPH031644B2 JP12639881A JP12639881A JPH031644B2 JP H031644 B2 JPH031644 B2 JP H031644B2 JP 12639881 A JP12639881 A JP 12639881A JP 12639881 A JP12639881 A JP 12639881A JP H031644 B2 JPH031644 B2 JP H031644B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pass filter
- layer
- long
- refractive index
- transmittance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 46
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 7
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 20
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 14
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 8
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 229940007424 antimony trisulfide Drugs 0.000 description 1
- NVWBARWTDVQPJD-UHFFFAOYSA-N antimony(3+);trisulfide Chemical compound [S-2].[S-2].[S-2].[Sb+3].[Sb+3] NVWBARWTDVQPJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YAFKGUAJYKXPDI-UHFFFAOYSA-J lead tetrafluoride Chemical compound F[Pb](F)(F)F YAFKGUAJYKXPDI-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- GBECUEIQVRDUKB-UHFFFAOYSA-M thallium monochloride Chemical compound [Tl]Cl GBECUEIQVRDUKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M thallium(i) bromide Chemical compound [Tl]Br PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
本発明はロングパスフイルターに係る。更に詳
しくは、本発明は特異な膜構成に特徴を有する、
赤外フイルターとして有用なロングパスフイルタ
ーに関する。 一般的に、赤外ロングパスフイルターはある特
定の波長を境として赤外透過率のシヤープな立上
りを有する。該特定波長上の透過領域における透
過率ができる限り高く、かつ該特定波長以下の不
透過領域における透過率ができるだけ低いもの
が、赤外ロングパスフイルターとして優れたもの
といえる。 従来のロングパスフイルターの構成は基板と、
高屈折率物質層Ｈおよび低屈折率物質層Ｌの交互
多層膜、即ち式： （Ｌ／２ＨＬ／２）m ただしｍは少なくとも１の整数であり、Ｌ／２は 層Ｌの光学的膜厚が層Ｈの１／２であることを示す、 で示される基本周期層とから構成されていた。し
かしながら、このような基本周期層のみでは基板
に対する反射防止膜としての構成とはなつていな
い。そのために透過域におけるリツプルが大きく
かつ透過領域における十分な透過率を達成するこ
とはできなかつた。 一方、特公昭51−14032号公報の開示する発明
では、前記欠点を改善するために、三硫化アンチ
モン、硫化亜鉛、臭化タリウム、塩化タリウム、
フツ化鉛、一酸化珪素およびフツ化マグネシウム
のうちの任意の２種以上の物質を屈折率の高い順
序で、基本周期層上に蒸着している。 このような膜を有することにより、透過率の点
ではかなり改善されたが、リツプルの点では依然
として改良の余地が残されており、特に透過率の
立上りにおけるリツプルは基本周期層数の増大
（ｍの増大）に伴つて著しく大きくなり、ロング
パスフイルターとして性能の低下がまぬがれな
い。更に、この発明では３種もしくはそれ以上の
蒸着物質を必要とするので、製造作業も煩雑であ
り製造効率の低下の原因となつていた。 そこで、本発明の目的は前記従来製品の有する
諸欠点を改善したロングパスフイルター、即ちリ
ツプルが小さく、透過領域における透過率が良好
で、透過率の立上りがシヤープで、かつ不透過領
域における透過率が低いロングパスフイルターを
提供するこことにある。本発明は、特に、赤外用
フイルターの基板として良好なゲルマニウムを基
板とするロングパスフイルターを対象とする。 本発明の前記目的は、ゲルマニウム基板、ゲル
マニウムの高屈折率層(H)と硫化亜鉛または一酸化
珪素の低屈折率層(L)との交互層からなり、 （Ｌ／２ＨＬ／２）m ただし、ｍは少なくとも１の整数であり、Ｌ／２ はＬの光学的膜厚がＨの１／２であることを示す、 で示される基本周期層のみからなる従来のロング
パスフイルター上に、α（Ｌ／２ＨＬ／２）なる３膜厚
、 およびβLなる反射防止用の単層膜を形成し、α，
βを0.75≦α≦0.85、1.6≦α≦1.8の範囲内にす
ることにより達成することができる。 本発明のロングパスフイルターの構成におい
て、α（Ｌ／２ＨＬ／２）なる３層膜は基本周期層、 （Ｌ／２ＨＬ／２）m、と反射防止層としてのβLなる単
層 膜との適合層ともいうべきものであり、これによ
つて得られるロングパスフイルターのリツプルを
小さくすることが可能となる。 本発明のロングパスフイルターの膜構成におい
て、前記適合層の光学的膜厚に係る係数α並びに
反射防止層の光学的膜厚に係る係数βの範囲はリ
ツプル、透過率に対する適切許容範囲であり、
各々前述の範囲外ではリツプルの増大、透過率の
低下を招き、ロングパスフイルターとしての性能
が低下する（第７図および第８図参照）。 更に、本発明においては赤外用フイルター用の
蒸着物質として生産性耐久性の面ですぐれている
２種類即ちゲルマニウムおよび硫化亜鉛または一
酸化珪素のみに制限し、フイルター製造時の蒸着
操作の単純化を計ることにより製造効率上大きな
メリツトとなる。また、適合層として基本周期層
と等価な膜を利用することにより、透過波長領域
での透過率の改善を計ることができ、高性能なロ
ングパスフイルターを得ることができる。 以下実施例により本発明を更に具体的に説明す
る。 まず、第１図は比較のために示した従来の、ゲ
ルマニウム基板１と２，３，４……４，３，２で
示される基本周期層のみからなるロングパスフイ
ルターの模式図を断面図として示すものである。
この種のロングパスフイルターの例としては、例
えば第１表に示すような膜構成のものを挙げるこ
とができる。また、その分光透過特性を第２図に
示した。
しくは、本発明は特異な膜構成に特徴を有する、
赤外フイルターとして有用なロングパスフイルタ
ーに関する。 一般的に、赤外ロングパスフイルターはある特
定の波長を境として赤外透過率のシヤープな立上
りを有する。該特定波長上の透過領域における透
過率ができる限り高く、かつ該特定波長以下の不
透過領域における透過率ができるだけ低いもの
が、赤外ロングパスフイルターとして優れたもの
といえる。 従来のロングパスフイルターの構成は基板と、
高屈折率物質層Ｈおよび低屈折率物質層Ｌの交互
多層膜、即ち式： （Ｌ／２ＨＬ／２）m ただしｍは少なくとも１の整数であり、Ｌ／２は 層Ｌの光学的膜厚が層Ｈの１／２であることを示す、 で示される基本周期層とから構成されていた。し
かしながら、このような基本周期層のみでは基板
に対する反射防止膜としての構成とはなつていな
い。そのために透過域におけるリツプルが大きく
かつ透過領域における十分な透過率を達成するこ
とはできなかつた。 一方、特公昭51−14032号公報の開示する発明
では、前記欠点を改善するために、三硫化アンチ
モン、硫化亜鉛、臭化タリウム、塩化タリウム、
フツ化鉛、一酸化珪素およびフツ化マグネシウム
のうちの任意の２種以上の物質を屈折率の高い順
序で、基本周期層上に蒸着している。 このような膜を有することにより、透過率の点
ではかなり改善されたが、リツプルの点では依然
として改良の余地が残されており、特に透過率の
立上りにおけるリツプルは基本周期層数の増大
（ｍの増大）に伴つて著しく大きくなり、ロング
パスフイルターとして性能の低下がまぬがれな
い。更に、この発明では３種もしくはそれ以上の
蒸着物質を必要とするので、製造作業も煩雑であ
り製造効率の低下の原因となつていた。 そこで、本発明の目的は前記従来製品の有する
諸欠点を改善したロングパスフイルター、即ちリ
ツプルが小さく、透過領域における透過率が良好
で、透過率の立上りがシヤープで、かつ不透過領
域における透過率が低いロングパスフイルターを
提供するこことにある。本発明は、特に、赤外用
フイルターの基板として良好なゲルマニウムを基
板とするロングパスフイルターを対象とする。 本発明の前記目的は、ゲルマニウム基板、ゲル
マニウムの高屈折率層(H)と硫化亜鉛または一酸化
珪素の低屈折率層(L)との交互層からなり、 （Ｌ／２ＨＬ／２）m ただし、ｍは少なくとも１の整数であり、Ｌ／２ はＬの光学的膜厚がＨの１／２であることを示す、 で示される基本周期層のみからなる従来のロング
パスフイルター上に、α（Ｌ／２ＨＬ／２）なる３膜厚
、 およびβLなる反射防止用の単層膜を形成し、α，
βを0.75≦α≦0.85、1.6≦α≦1.8の範囲内にす
ることにより達成することができる。 本発明のロングパスフイルターの構成におい
て、α（Ｌ／２ＨＬ／２）なる３層膜は基本周期層、 （Ｌ／２ＨＬ／２）m、と反射防止層としてのβLなる単
層 膜との適合層ともいうべきものであり、これによ
つて得られるロングパスフイルターのリツプルを
小さくすることが可能となる。 本発明のロングパスフイルターの膜構成におい
て、前記適合層の光学的膜厚に係る係数α並びに
反射防止層の光学的膜厚に係る係数βの範囲はリ
ツプル、透過率に対する適切許容範囲であり、
各々前述の範囲外ではリツプルの増大、透過率の
低下を招き、ロングパスフイルターとしての性能
が低下する（第７図および第８図参照）。 更に、本発明においては赤外用フイルター用の
蒸着物質として生産性耐久性の面ですぐれている
２種類即ちゲルマニウムおよび硫化亜鉛または一
酸化珪素のみに制限し、フイルター製造時の蒸着
操作の単純化を計ることにより製造効率上大きな
メリツトとなる。また、適合層として基本周期層
と等価な膜を利用することにより、透過波長領域
での透過率の改善を計ることができ、高性能なロ
ングパスフイルターを得ることができる。 以下実施例により本発明を更に具体的に説明す
る。 まず、第１図は比較のために示した従来の、ゲ
ルマニウム基板１と２，３，４……４，３，２で
示される基本周期層のみからなるロングパスフイ
ルターの模式図を断面図として示すものである。
この種のロングパスフイルターの例としては、例
えば第１表に示すような膜構成のものを挙げるこ
とができる。また、その分光透過特性を第２図に
示した。
【表】
【表】
第２図から明らかな如く、基本周期層のみを使
用した場合にはリツプルが大きく、かつ透過波長
領域での透過率も十分とはいえない。 そこで、このような構成のフイルター上に、第
２図に示すように適合層５，６，５および反射防
止用単層膜７をこの順序で適用した。詳細な膜構
成は第２表に示す通りである。またかくして得ら
れる本発明のロングパスフイルターの分光透過特
性を第４図に示した。本実施例において、α＝
0.85およびβ＝1.6である。
用した場合にはリツプルが大きく、かつ透過波長
領域での透過率も十分とはいえない。 そこで、このような構成のフイルター上に、第
２図に示すように適合層５，６，５および反射防
止用単層膜７をこの順序で適用した。詳細な膜構
成は第２表に示す通りである。またかくして得ら
れる本発明のロングパスフイルターの分光透過特
性を第４図に示した。本実施例において、α＝
0.85およびβ＝1.6である。
【表】
【表】
第２図および第４図の比較から明らかな如く、
本発明の膜構成を有するロングパスフイルターに
おいてはリツプルが小さく、かつ透過率の立上り
も良好で透過率が著しく改善されたことがわか
る。 また、特公昭51−14032号の開示するフイルタ
ーと比較しても、本発明のフイルターの方が透過
率、リツプル両者の点で優れていることがわか
る。 この実施例では高屈折率物質としてゲルマニウ
ムを、低屈折率物質として硫化亜鉛を使用した
が、低屈折率物質として一酸化珪素を使用した場
合にも、同様に優れた性能を有するロングパスフ
イルターを得ることができる。一例として、第３
表に示すような膜構成のロングパスフイルター
（α＝0.8、β＝1.8）の分光透過特性を第５図に
示す。
本発明の膜構成を有するロングパスフイルターに
おいてはリツプルが小さく、かつ透過率の立上り
も良好で透過率が著しく改善されたことがわか
る。 また、特公昭51−14032号の開示するフイルタ
ーと比較しても、本発明のフイルターの方が透過
率、リツプル両者の点で優れていることがわか
る。 この実施例では高屈折率物質としてゲルマニウ
ムを、低屈折率物質として硫化亜鉛を使用した
が、低屈折率物質として一酸化珪素を使用した場
合にも、同様に優れた性能を有するロングパスフ
イルターを得ることができる。一例として、第３
表に示すような膜構成のロングパスフイルター
（α＝0.8、β＝1.8）の分光透過特性を第５図に
示す。
【表】
【表】
前述のように、不透過波長領域の範囲もしくは
透過波長領域の範囲は基本周期層を適当に組合せ
ることにより変えることができる。これは例えば
分光学的膜厚（nd）を異にする基本周期層を基
板に適用することにより達成される。その一例と
して、ゲルマニウムおよび硫化亜鉛を使用し、第
４表に示すような膜構成で光学的膜厚を異にする
５種の基本周期層を適用し、夫々α＝0.85および
β＝1.6の適合層と反射防止層とを更に適用して、
式： Ge〔0.3（Ｌ／２ＨＬ／２）8〔0.42（Ｌ／２ＨＬ／
２）〕6〔0.54 （Ｌ／２ＨＬ／２）〕7 〔0.72（Ｌ／２ＨＬ／２）〕7〔0.85（Ｌ／２ＨＬ
／２）〕（Ｌ／２Ｈ Ｌ／２）8 〔0.85（Ｌ／２ＨＬ／２）〕〔1.6L）air で示されるロングパスフイルターを形成できる。
その分光透過特性を第６図に示す。
透過波長領域の範囲は基本周期層を適当に組合せ
ることにより変えることができる。これは例えば
分光学的膜厚（nd）を異にする基本周期層を基
板に適用することにより達成される。その一例と
して、ゲルマニウムおよび硫化亜鉛を使用し、第
４表に示すような膜構成で光学的膜厚を異にする
５種の基本周期層を適用し、夫々α＝0.85および
β＝1.6の適合層と反射防止層とを更に適用して、
式： Ge〔0.3（Ｌ／２ＨＬ／２）8〔0.42（Ｌ／２ＨＬ／
２）〕6〔0.54 （Ｌ／２ＨＬ／２）〕7 〔0.72（Ｌ／２ＨＬ／２）〕7〔0.85（Ｌ／２ＨＬ
／２）〕（Ｌ／２Ｈ Ｌ／２）8 〔0.85（Ｌ／２ＨＬ／２）〕〔1.6L）air で示されるロングパスフイルターを形成できる。
その分光透過特性を第６図に示す。
【表】
【表】
この実施例においては全層数が86であり、前記
実施例の全層数の３倍以上となつている。それに
もかかわらず、第６図から理解されるように、透
過率の立上りが良好で、リツプルも小さく、かつ
透過領域での平均透過率も90％以上を達成してい
る。 すなわち、本発明の新規な膜構成により、基本
周期層数の大小にかかわらず、透過率、リツプ
ル、透過率の立上り等いずれの点においても著し
く改善されたロングパスフイルターを得ることが
でき、これらは赤外フイルターとして極めて優れ
た製品を提供する。また、蒸着物質を２種類だけ
で構成することができ製造上の煩雑さもない。 最後に、第７図および第８図は、本発明のロン
グパスフイルターにおける、適合層並びに反射防
止層の分光学的膜厚に係る係数αおよびβが適切
許容値の範囲外の場合を示す。図では特にαにつ
いてのみ示す。第７図および第８図において使用
した膜構成は、夫々 （Ｌ／２ＨＬ／２）10〔0.7（Ｌ／２ＨＬ／２）〕（1
.6L）および （Ｌ／２ＨＬ／２）10〔0.9（Ｌ／２ＨＬ／２）〕（1
.6L） である。ただし、いずれの場合もＨはゲルマニウ
ムであり、Ｌは硫化亜鉛である。すなわち、第７
図、第８図からわかるように、αを0.75〜0.85の
範囲外にした場合には、リツプルが大きくなりロ
ングパスフイルターとしての性能が著しく低下す
る。図では、αについてのみ示したがβについて
も同様な結果が得られる。
実施例の全層数の３倍以上となつている。それに
もかかわらず、第６図から理解されるように、透
過率の立上りが良好で、リツプルも小さく、かつ
透過領域での平均透過率も90％以上を達成してい
る。 すなわち、本発明の新規な膜構成により、基本
周期層数の大小にかかわらず、透過率、リツプ
ル、透過率の立上り等いずれの点においても著し
く改善されたロングパスフイルターを得ることが
でき、これらは赤外フイルターとして極めて優れ
た製品を提供する。また、蒸着物質を２種類だけ
で構成することができ製造上の煩雑さもない。 最後に、第７図および第８図は、本発明のロン
グパスフイルターにおける、適合層並びに反射防
止層の分光学的膜厚に係る係数αおよびβが適切
許容値の範囲外の場合を示す。図では特にαにつ
いてのみ示す。第７図および第８図において使用
した膜構成は、夫々 （Ｌ／２ＨＬ／２）10〔0.7（Ｌ／２ＨＬ／２）〕（1
.6L）および （Ｌ／２ＨＬ／２）10〔0.9（Ｌ／２ＨＬ／２）〕（1
.6L） である。ただし、いずれの場合もＨはゲルマニウ
ムであり、Ｌは硫化亜鉛である。すなわち、第７
図、第８図からわかるように、αを0.75〜0.85の
範囲外にした場合には、リツプルが大きくなりロ
ングパスフイルターとしての性能が著しく低下す
る。図では、αについてのみ示したがβについて
も同様な結果が得られる。
第１図は基板と基本周期層のみからなる従来の
ロングパスフイルターの構成を示す模式的断面図
である；第２図は第１図の構成を有するロングパ
スフイルターの分光透過特性を示す図である；第
３図は本発明のロングパスフイルターの構成を示
す模式的断面図である；第４図および第５図は
夫々本発明の膜構成を有する２つの実施例の分光
透過特性を示す図である；第６図は更に別の本発
明の実施例の分光透過特性を示す図である；およ
び第７図および第８図は２つの参考例の分光透過
特性を示す図である。第１図および第３図におけ
る各参照番号は以下の通りである。 １……基板、２……低屈折率層（Ｌ／２）、３…… 高屈折率層(H)、４……低屈折率層(L)、５……低屈
折率層（αL／２）、６……高屈折率層（αH）、７… …反射防止層（βL）。
ロングパスフイルターの構成を示す模式的断面図
である；第２図は第１図の構成を有するロングパ
スフイルターの分光透過特性を示す図である；第
３図は本発明のロングパスフイルターの構成を示
す模式的断面図である；第４図および第５図は
夫々本発明の膜構成を有する２つの実施例の分光
透過特性を示す図である；第６図は更に別の本発
明の実施例の分光透過特性を示す図である；およ
び第７図および第８図は２つの参考例の分光透過
特性を示す図である。第１図および第３図におけ
る各参照番号は以下の通りである。 １……基板、２……低屈折率層（Ｌ／２）、３…… 高屈折率層(H)、４……低屈折率層(L)、５……低屈
折率層（αL／２）、６……高屈折率層（αH）、７… …反射防止層（βL）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ゲルマニウムの基板、ゲルマニウムの高屈折
率層Ｈと硫化亜鉛または一酸化珪素の低屈折率層
Ｌとの交互層からなり： （Ｌ／２ＨＬ／２）m ただし、ｍは少なくとも１の整数であり、Ｌ／２ はＬの光学的膜厚がＨの１／２であることを示す、 で示される基本周期層を有するロングパスフイル
ターにおいて、前記高屈折率層Ｈと前記低屈折率
層Ｌからなる； α（Ｌ／２ＨＬ／２） で示される３膜層、および前記低屈折率層Ｌから
なる： βL で示される単層膜を有し、前記α、βは0.75≦α
≦0.85、1.6≦β≦1.8となることを特徴とするロ
ングパスフイルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12639881A JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12639881A JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828708A JPS5828708A (ja) | 1983-02-19 |
| JPH031644B2 true JPH031644B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=14934159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12639881A Granted JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828708A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039602A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | Tokyo Optical Co Ltd | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
| JPS60225803A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | Horiba Ltd | ガス分析計用多層膜干渉フイルタ |
| DE3543812A1 (de) * | 1985-12-12 | 1987-06-19 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum herstellen eines teildurchlaessigen optischen koerpers und durch das verfahren hergestellter optischer koerper |
| JP3249992B2 (ja) * | 1990-12-25 | 2002-01-28 | ミノルタ株式会社 | シリコン基板またはゲルマニウム基板用反射防止膜 |
| CN100371742C (zh) * | 2004-08-10 | 2008-02-27 | 亚洲光学股份有限公司 | 具有四个信道的cwdm滤光片 |
| CN100460895C (zh) * | 2007-07-04 | 2009-02-11 | 中国航空工业第一集团公司第六一三研究所 | 一种锗基底零件表面的红外截止滤光膜膜系及其镀制方法 |
| CN103698831B (zh) * | 2013-11-29 | 2016-04-27 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片 |
| CN103713345B (zh) * | 2013-11-29 | 2016-03-30 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片 |
-
1981
- 1981-08-12 JP JP12639881A patent/JPS5828708A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5828708A (ja) | 1983-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0685002B2 (ja) | プラスチツク光学部品の反射防止膜 | |
| JPH031644B2 (ja) | ||
| JP4065530B2 (ja) | 反射防止膜、該反射防止膜を有する光学素子及び光学系 | |
| JP3624082B2 (ja) | 反射防止膜及びその製造方法 | |
| JPS5860701A (ja) | 反射防止膜 | |
| JPH031645B2 (ja) | ||
| JP4171362B2 (ja) | 反射防止膜付き透明基板 | |
| JP2724563B2 (ja) | 多層膜干渉フィルタ | |
| EP0024876B1 (en) | Semiconductor stripe filter | |
| JPH07111482B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JP5066644B2 (ja) | 多層膜ｎｄフィルター | |
| JPH052101A (ja) | 光学部品 | |
| JP2003043245A (ja) | 光学フィルター | |
| JPH0756004A (ja) | 導電性反射防止膜 | |
| JP3550894B2 (ja) | 反射防止膜 | |
| JP2002277606A (ja) | 反射防止膜及び光学素子 | |
| JP2746602B2 (ja) | 分光フイルター | |
| JPH03215803A (ja) | 帯域フィルター | |
| JPH0419521B2 (ja) | ||
| JPS5917502A (ja) | ゲルマニユウム基板の赤外反射防止膜 | |
| JPH0395502A (ja) | 炎センサ用フィルタ | |
| JPS61190853A (ja) | 白熱電球 | |
| JPH0213761B2 (ja) | ||
| JPH0720301A (ja) | 反射防止膜 |