JPS5828708A - ロングパスフイルタ− - Google Patents
ロングパスフイルタ−Info
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- JPS5828708A JPS5828708A JP12639881A JP12639881A JPS5828708A JP S5828708 A JPS5828708 A JP S5828708A JP 12639881 A JP12639881 A JP 12639881A JP 12639881 A JP12639881 A JP 12639881A JP S5828708 A JPS5828708 A JP S5828708A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はロングパスフィルターに係る。更に詳しくけ、
本発明は特異な膜構成に特徴を有する、赤外フィルター
として有用々ロングパスフィルターに関する。
本発明は特異な膜構成に特徴を有する、赤外フィルター
として有用々ロングパスフィルターに関する。
一般的に、赤外ロングパスフィルターはある特定の波長
ケ境として赤外透過率のシャープな立上りを有する。該
特定波長以上の透過領域ＶＣおける透過率ができる限り
高く、かつ該特定波長以下の不透過領域における透過率
ができるだけ低いものが、赤外ロングパスフィルターと
して優れたものといえる。
ケ境として赤外透過率のシャープな立上りを有する。該
特定波長以上の透過領域ＶＣおける透過率ができる限り
高く、かつ該特定波長以下の不透過領域における透過率
ができるだけ低いものが、赤外ロングパスフィルターと
して優れたものといえる。
従来のロング・母スフイルターの構成は基板と、高屈折
率物質層Ｈおよび低屈折率物質層りの交互多層膜、即ち
式： Ｌの光学的膜厚が層Ｈのｌであることを示す、で示され
る基本周期層とから構成されていた。しかし々から、こ
のような基本周期層のみでは基板に対する反射防止膜と
しての構成とけ々ってぃない。そのために透過域におけ
るリップルが大きくかつ透過領域ＶＣおける十分な透過
率を達成することけできなかった。
率物質層Ｈおよび低屈折率物質層りの交互多層膜、即ち
式： Ｌの光学的膜厚が層Ｈのｌであることを示す、で示され
る基本周期層とから構成されていた。しかし々から、こ
のような基本周期層のみでは基板に対する反射防止膜と
しての構成とけ々ってぃない。そのために透過域におけ
るリップルが大きくかつ透過領域ＶＣおける十分な透過
率を達成することけできなかった。
一方、特公昭５１−１４０５２号公報の開示する発明で
は、前記欠点を改善するために、三硫化アンチモン、硫
化亜鉛、臭化タリウム、塩化タリウム、フッ化鉛、−酸
化珪素およびフッ化マグネシウムのうちの任意の２種以
上の物質を屈折率の高い順序で、基本周期層上に蒸着し
ている。
は、前記欠点を改善するために、三硫化アンチモン、硫
化亜鉛、臭化タリウム、塩化タリウム、フッ化鉛、−酸
化珪素およびフッ化マグネシウムのうちの任意の２種以
上の物質を屈折率の高い順序で、基本周期層上に蒸着し
ている。
このような膜を有することにより、透過率の点ではかな
り改善されたが、リップルの点では依然として改良の余
地が残されており、特に透過率の立上りにおけるリップ
ルは基本周期層数の増大（ｍの増大）に伴って著しく大
きくなり、ロング・母スフイルターとして性能の低下が
まぬがれない。
り改善されたが、リップルの点では依然として改良の余
地が残されており、特に透過率の立上りにおけるリップ
ルは基本周期層数の増大（ｍの増大）に伴って著しく大
きくなり、ロング・母スフイルターとして性能の低下が
まぬがれない。
史に、この発明では６種もしくけそれ以上の蒸着物質を
必要とするので、製造作業も煩雑であり製造効率の低下
の原因と々っていた。
必要とするので、製造作業も煩雑であり製造効率の低下
の原因と々っていた。
そこで、本発明の目的は前記従来製品の有する諸欠点を
改善したロングパスフィルター、即チリツデルが小さく
、透過領域における透過率が良好で、透過率の立上υが
シャープで、かつ不透過領域における透過率が低いロン
グ・ぐスフイルターｆ提供することにある。本発明は、
特に、赤外用フィルターの基板として良好なケ゛ルマニ
ウムを基板とするロングパスフィルターを対象とする。
改善したロングパスフィルター、即チリツデルが小さく
、透過領域における透過率が良好で、透過率の立上υが
シャープで、かつ不透過領域における透過率が低いロン
グ・ぐスフイルターｆ提供することにある。本発明は、
特に、赤外用フィルターの基板として良好なケ゛ルマニ
ウムを基板とするロングパスフィルターを対象とする。
本発明の前記目的は、ｒルマニウム基板、ゲルマニウム
の高屈折率層（Ｈ）と硫化亜鉛またけ一酸化珪素の低屈
折率層（Ｌ）との交互層からなり、Ｌの光学的膜厚がＨ
の７であることを示す、で示される基本周期層のみから
なる従来のロングパスフィルター上に、α（、Ｈ，）な
る５層膜、およびβしなる反射防止用の単層膜を形成し
、α、β全０．７５（α（０，８５、１，６〈α〈１．
８の範囲内にすることにより達成することができる。
の高屈折率層（Ｈ）と硫化亜鉛またけ一酸化珪素の低屈
折率層（Ｌ）との交互層からなり、Ｌの光学的膜厚がＨ
の７であることを示す、で示される基本周期層のみから
なる従来のロングパスフィルター上に、α（、Ｈ，）な
る５層膜、およびβしなる反射防止用の単層膜を形成し
、α、β全０．７５（α（０，８５、１，６〈α〈１．
８の範囲内にすることにより達成することができる。
本発明のロングパスフィルターの構成において、α（４
Ｈ÷）なる５層膜は基本周期層、（於→）ｍ、と反射防
止層としてのβＬなる単層膜との適合層ともいうべきも
のであり、これによって得られるロングパスフィルター
のリップルを小さくスルコとが可能となる。
Ｈ÷）なる５層膜は基本周期層、（於→）ｍ、と反射防
止層としてのβＬなる単層膜との適合層ともいうべきも
のであり、これによって得られるロングパスフィルター
のリップルを小さくスルコとが可能となる。
本発明のロングパスフィルターの膜構成において、鮪配
適合層の光学的膜厚に係る係数α並びに反射防止層の光
学的膜厚に係る係数βの範囲はリップル、透過率に対す
る適切許容範囲であり、各々前述の範囲外ではリップル
の増大、透過率の低下’ｅ招き、ロングパスフィルター
としての性能が低下する（第７図および第８図参照）。
適合層の光学的膜厚に係る係数α並びに反射防止層の光
学的膜厚に係る係数βの範囲はリップル、透過率に対す
る適切許容範囲であり、各々前述の範囲外ではリップル
の増大、透過率の低下’ｅ招き、ロングパスフィルター
としての性能が低下する（第７図および第８図参照）。
更に、本発明においては赤外用フィルター用の蒸着物質
として生産性耐久性の面ですぐれている２種類即ちゲル
マニウムおよび硫化亜鉛または一酸化珪素のみに制限し
、フィルター製造時の蒸着操作の単純化を計ることによ
り製造効率上大きなメリットとなる。また、適合層と１
．て基本周期層と等価彦膜を利用することにより、透過
波長＠塚での透過率の改善を計ることができ、高性能な
ロングパスフィルター會得ることができる。
として生産性耐久性の面ですぐれている２種類即ちゲル
マニウムおよび硫化亜鉛または一酸化珪素のみに制限し
、フィルター製造時の蒸着操作の単純化を計ることによ
り製造効率上大きなメリットとなる。また、適合層と１
．て基本周期層と等価彦膜を利用することにより、透過
波長＠塚での透過率の改善を計ることができ、高性能な
ロングパスフィルター會得ることができる。
以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。
捷ず、第１図は比較のために示した従来の、ｒルマニウ
ム基板１と２．３．４・・・・・・４．３．２で示され
る基本周期層のみから々るロング・母スフイルターの模
式図を断面図として示すものである。
ム基板１と２．３．４・・・・・・４．３．２で示され
る基本周期層のみから々るロング・母スフイルターの模
式図を断面図として示すものである。
この種のロングパスフィルターの例としては、例えば第
１表に示すような膜構成のものを挙げることができる。
１表に示すような膜構成のものを挙げることができる。
また、その分光透過特性を第２図に示ｌまた。
第１表
第２図から明らかな如く、基本周期層のみ全便用［、た
場合にはリップルが大きく、かつ透過波長領域での透過
率も十分とけいえない。
場合にはリップルが大きく、かつ透過波長領域での透過
率も十分とけいえない。
そこで、このような構成のフィルター上に、第２図に示
すように適合層５．６．５および反射防止用単層膜７を
この順序で適用した。詳細な膜構成は第２表に示す通り
である。またがくして得られる本発明のロングパスフィ
ルターの分光透過特性全第４図に示した。本実施例にお
いて、α＝０．８５およびβ＝１．６である。
すように適合層５．６．５および反射防止用単層膜７を
この順序で適用した。詳細な膜構成は第２表に示す通り
である。またがくして得られる本発明のロングパスフィ
ルターの分光透過特性全第４図に示した。本実施例にお
いて、α＝０．８５およびβ＝１．６である。
第２表
第２図および第４図の比較から明らかな如く、本発明の
膜構成を有するロングパスフィルターにおいてはリップ
ルが小さく、かつ透過率の立上りも良好で透過率が著し
く改善されたことがわかる。
膜構成を有するロングパスフィルターにおいてはリップ
ルが小さく、かつ透過率の立上りも良好で透過率が著し
く改善されたことがわかる。
また、特公昭５１−１４０’３２号の開示するフィルタ
ーと比較しても、本発明のフィルターの方が透過率、リ
ップル両者の点で優れていることがわかる。
ーと比較しても、本発明のフィルターの方が透過率、リ
ップル両者の点で優れていることがわかる。
との美施例では高屈折率物質としてｒルマニウム？、低
屈折率物質として硫化亜鉛を使用したが、低屈折率物質
として一酸化珪素を使用ｌ−た場合にも、同様に優れた
性能を有するロングパスフィルター？得ることができる
。−例として、第３表に示スようが膜構成のロングパス
フィルター（α−〇、８、β＝１．８）の分光透過特性
を第５図に示す。
屈折率物質として硫化亜鉛を使用したが、低屈折率物質
として一酸化珪素を使用ｌ−た場合にも、同様に優れた
性能を有するロングパスフィルター？得ることができる
。−例として、第３表に示スようが膜構成のロングパス
フィルター（α−〇、８、β＝１．８）の分光透過特性
を第５図に示す。
１
第３表
２
前述のように、不透過波長領域の範囲もしくけ透過波長
領域の範囲は基本周期層を適当に組合せることにより変
えることができる。これは例えば分光学的膜厚（ｎｄ）
？異にする基本周期層を基板に適用することにより達成
される。その−例として、ゲルマニウムおよび硫化亜鉛
を使用し、第４表に示すような膜構成で光学的膜厚を異
にする５種の基本周期層を適用し、夫々α＝０．８５Ｔ
ｈよびβ＝１．６の適合層と反射防止層と全史に適用し
て、式： で示されるロングパスフィルターを形成できる。
領域の範囲は基本周期層を適当に組合せることにより変
えることができる。これは例えば分光学的膜厚（ｎｄ）
？異にする基本周期層を基板に適用することにより達成
される。その−例として、ゲルマニウムおよび硫化亜鉛
を使用し、第４表に示すような膜構成で光学的膜厚を異
にする５種の基本周期層を適用し、夫々α＝０．８５Ｔ
ｈよびβ＝１．６の適合層と反射防止層と全史に適用し
て、式： で示されるロングパスフィルターを形成できる。
その分光透過特性を第６図に示す。
この実施例においてけ全層数が８６であり、前記実施例
の全層数の３倍以上となっている。それにもかかわらず
、第６図から理解されるように、透過率の立上りが良好
で、リップルも小さく、かつ透過領域での平均透過率も
９０チ以上を達５２ している。
の全層数の３倍以上となっている。それにもかかわらず
、第６図から理解されるように、透過率の立上りが良好
で、リップルも小さく、かつ透過領域での平均透過率も
９０チ以上を達５２ している。
すなわち、本発明の新規な膜構成により、基本周期層数
の大小にかかわらず、透過率、リップル、透過率の立上
り等いずれの点においても著しく改善すれたロング／Ｉ
Ｐスフイルターを得ることができ、これらは赤外フィル
ターとして極めて優れた製品を提供する。また、蒸着物
質ｆ２種類だけで構成することができ製造上の煩雑さも
ない。
の大小にかかわらず、透過率、リップル、透過率の立上
り等いずれの点においても著しく改善すれたロング／Ｉ
Ｐスフイルターを得ることができ、これらは赤外フィル
ターとして極めて優れた製品を提供する。また、蒸着物
質ｆ２種類だけで構成することができ製造上の煩雑さも
ない。
最後に、第７図および第８図は、本発明のロンダミ４ス
フイルターにおける、適合層並びに反射防止層の分光学
的膜厚に係る係数αおよびβが適切許容値の範囲外の場
合を示す。図では特にαについてのみ示す。第７図およ
び第８図において使用した膜構成は、夫々 ４ である。ただし、いずれの場合もＨけｒルマニウムであ
り、しけ硫化亜鉛である。すなわち、第７図、第８図か
られかるように、αを０．７５〜０．８５の範囲外にし
た場合には、リップルが大きく々リロング・千スフイル
ターとしての性能が著しく低下する。図では、αについ
てのみ示したがβについても同様な結果が得られる。
フイルターにおける、適合層並びに反射防止層の分光学
的膜厚に係る係数αおよびβが適切許容値の範囲外の場
合を示す。図では特にαについてのみ示す。第７図およ
び第８図において使用した膜構成は、夫々 ４ である。ただし、いずれの場合もＨけｒルマニウムであ
り、しけ硫化亜鉛である。すなわち、第７図、第８図か
られかるように、αを０．７５〜０．８５の範囲外にし
た場合には、リップルが大きく々リロング・千スフイル
ターとしての性能が著しく低下する。図では、αについ
てのみ示したがβについても同様な結果が得られる。
第１図は基板と基本周期層のみからなる従来のロングパ
スフィルターの構成を示す模式的断面図である： 第２図は第１図の構成を有するロング・母スフイルター
の分光透過特性を示す図である；第３図は本発明のロン
グパスフィルターの構成を示す模式的断面図である； 第４図および第５図は夫々本発明の膜構成を有する２つ
の実施例の分光透過特性を示す図である：第６図は更に
別の本発明の実施例の分光透過特性を示す図である：お
よび 第７図および第８図は２つの参考例の分光透過特性を示
す図である。 第１図および第３図における各参照番号は以下の通りで
ある。 層（Ｈ）、４・・・低屈折率層（Ｌ）、５・・・低屈折
率αＬ 層（））、６・・・高屈折率層（αＨ）、７・・・反射
防止層（βＬ）。 ７
スフィルターの構成を示す模式的断面図である： 第２図は第１図の構成を有するロング・母スフイルター
の分光透過特性を示す図である；第３図は本発明のロン
グパスフィルターの構成を示す模式的断面図である； 第４図および第５図は夫々本発明の膜構成を有する２つ
の実施例の分光透過特性を示す図である：第６図は更に
別の本発明の実施例の分光透過特性を示す図である：お
よび 第７図および第８図は２つの参考例の分光透過特性を示
す図である。 第１図および第３図における各参照番号は以下の通りで
ある。 層（Ｈ）、４・・・低屈折率層（Ｌ）、５・・・低屈折
率αＬ 層（））、６・・・高屈折率層（αＨ）、７・・・反射
防止層（βＬ）。 ７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ケ・ルマニウムの基板、ゲルマニウムの高屈折率層Ｈと
硫化亜鉛または一酸化珪素の低屈折率層しとの交互層か
らなり： Ｌの光学的膜厚がＨの−であることを示す、Ｌからなる ２ で示される５層膜、および紡紀低屈折率層りからなる： βＬ で示される単層膜を有し、前記α、βけ０．７５〈α〈
０．８５．１．６〈β〈１．８なることを％ｌＬ！：ｆ
ルロンダ・やスフイルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12639881A JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12639881A JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5828708A true JPS5828708A (ja) | 1983-02-19 |
| JPH031644B2 JPH031644B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=14934159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12639881A Granted JPS5828708A (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | ロングパスフイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5828708A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039602A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | Tokyo Optical Co Ltd | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
| JPS60225803A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | Horiba Ltd | ガス分析計用多層膜干渉フイルタ |
| EP0231478A2 (de) * | 1985-12-12 | 1987-08-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Teildurchlässiges optisches Filter und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US5243458A (en) * | 1990-12-25 | 1993-09-07 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Antireflection coating for infrared light |
| CN100371742C (zh) * | 2004-08-10 | 2008-02-27 | 亚洲光学股份有限公司 | 具有四个信道的cwdm滤光片 |
| CN100460895C (zh) * | 2007-07-04 | 2009-02-11 | 中国航空工业第一集团公司第六一三研究所 | 一种锗基底零件表面的红外截止滤光膜膜系及其镀制方法 |
| CN103698831A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-02 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片 |
| CN103713345A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-09 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片 |
-
1981
- 1981-08-12 JP JP12639881A patent/JPS5828708A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039602A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-01 | Tokyo Optical Co Ltd | 遠赤外用ロングパスフイルタ− |
| JPS60225803A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | Horiba Ltd | ガス分析計用多層膜干渉フイルタ |
| EP0231478A2 (de) * | 1985-12-12 | 1987-08-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Teildurchlässiges optisches Filter und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US5243458A (en) * | 1990-12-25 | 1993-09-07 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Antireflection coating for infrared light |
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| JPH031644B2 (ja) | 1991-01-11 |
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