CN103698831A - 通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片 - Google Patents
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Abstract
本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片50%Cut on=7.6±0.05um,50%Cut off=9.9±0.05um;1500~7100nm、10300~12000nm T≤3%;8000~9500nm T≥88%;7700~9700nm Tavg≥90%。
Description
技术领域
本发明涉及红外滤光片领域,尤其是一种通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片。
背景技术
红外测温仪由光学系统、探测器、信号放大器及信号处理、显示输出等部分组成。光学系统汇聚其视场内的目标红外能量(热量),视场的大小由测温仪的光学零件及其位置确定。红外能量聚焦在探测器上并转变为相应的电信号。该信号经过放大器和信号处理电路,并按照仪器内的算法和目标发射率校正后转变为被测目标的温度值。
红外测温仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键,由于各种生物所发出来的红外能量(热量)是不同的,所以在日常使用中为了观察某种特定生物的温度值,人们往往会在探测器中添加红外滤光片,通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量,保证红外测温仪的测温结果,用于测温和成像。
但是,目前的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,其信噪比低,精度差,不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片。
为了达到上述目的,本发明所设计的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:142nm厚度的Ge层、250nm厚度的ZnS层、175nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、220nm厚度的ZnS层、119nm厚度的Ge层、341nm厚度的ZnS层、185nm厚度的Ge层、275nm厚度的ZnS层、188nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、163nm厚度的Ge层、288nm厚度的ZnS层、282nm厚度的Ge层、335nm厚度的ZnS层、369nm厚度的Ge层、243nm厚度的ZnS层、285nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、323nm 厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、363nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、693nm厚度的ZnS层、169nm厚度的Ge层、656nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、299nm厚度的Ge层、669nm厚度的ZnS层、317nm厚度的Ge层、602nm厚度的ZnS层、388nm厚度的Ge层、783nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、739nm厚度的ZnS层、464nm厚度的Ge层和1078nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:178nm厚度的Ge层、1686nm厚度的ZnS层、981nm厚度的Ge层、283nm厚度的ZnS层、693nm厚度的Ge层、1795nm厚度的ZnS层、613nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、1149nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、760nm厚度的Ge层、304nm厚度的ZnS层、1225nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、684nm厚度的Ge层、1786nm厚度的ZnS层、656nm厚度的Ge层、337nm厚度的ZnS层、922nm厚度的Ge层和720nm厚度的ZnS层。
上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片50%Cut on=7.6±0.05um,50%Cut off=9.9±0.05um;1500~7100nm、10300~12000nm T≤3%;8000~9500nm T≥88%;7700~9700nm Tavg≥90%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图;
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1:
如图1、图2所示,本实施例描述的通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板2,以Ge、ZnS为第一镀膜层1和以Ge、ZnS为第二镀膜层3,且所述基板2位于第一镀膜层1和第二镀膜层3之间,所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有:142nm厚度的Ge层、250nm厚度的ZnS层、175nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、220nm厚度的ZnS层、119nm厚度的Ge层、341nm厚度 的ZnS层、185nm厚度的Ge层、275nm厚度的ZnS层、188nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、163nm厚度的Ge层、288nm厚度的ZnS层、282nm厚度的Ge层、335nm厚度的ZnS层、369nm厚度的Ge层、243nm厚度的ZnS层、285nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、323nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、363nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、693nm厚度的ZnS层、169nm厚度的Ge层、656nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、299nm厚度的Ge层、669nm厚度的ZnS层、317nm厚度的Ge层、602nm厚度的ZnS层、388nm厚度的Ge层、783nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、739nm厚度的ZnS层、464nm厚度的Ge层和1078nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层3由内向外依次排列包含有:178nm厚度的Ge层、1686nm厚度的ZnS层、981nm厚度的Ge层、283nm厚度的ZnS层、693nm厚度的Ge层、1795nm厚度的ZnS层、613nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、1149nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、760nm厚度的Ge层、304nm厚度的ZnS层、1225nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、684nm厚度的Ge层、1786nm厚度的ZnS层、656nm厚度的Ge层、337nm厚度的ZnS层、922nm厚度的Ge层和720nm厚度的ZnS层。
Claims (1)
1.一种通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,其特征是:所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:142nm厚度的Ge层、250nm厚度的ZnS层、175nm厚度的Ge层、223nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、220nm厚度的ZnS层、119nm厚度的Ge层、341nm厚度的ZnS层、185nm厚度的Ge层、275nm厚度的ZnS层、188nm厚度的Ge层、344nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、314nm厚度的ZnS层、163nm厚度的Ge层、288nm厚度的ZnS层、282nm厚度的Ge层、335nm厚度的ZnS层、369nm厚度的Ge层、243nm厚度的ZnS层、285nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、323nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、363nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、693nm厚度的ZnS层、169nm厚度的Ge层、656nm厚度的ZnS层、283nm厚度的Ge层、685nm厚度的ZnS层、299nm厚度的Ge层、669nm厚度的ZnS层、317nm厚度的Ge层、602nm厚度的ZnS层、388nm厚度的Ge层、783nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、739nm厚度的ZnS层、464nm厚度的Ge层和1078nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:178nm厚度的Ge层、1686nm厚度的ZnS层、981nm厚度的Ge层、283nm厚度的ZnS层、693nm厚度的Ge层、1795nm厚度的ZnS层、613nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、1149nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、760nm厚度的Ge层、304nm厚度的ZnS层、1225nm厚度的Ge层、591nm厚度的ZnS层、684nm厚度的Ge层、1786nm厚度的ZnS层、656nm厚度的Ge层、337nm厚度的ZnS层、922nm厚度的Ge层和720nm厚度的ZnS层。
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