CN103713344B - 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 - Google Patents
中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103713344B CN103713344B CN201310631445.5A CN201310631445A CN103713344B CN 103713344 B CN103713344 B CN 103713344B CN 201310631445 A CN201310631445 A CN 201310631445A CN 103713344 B CN103713344 B CN 103713344B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- thickness
- sio
- optical filter
- centre wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,包括以蓝宝石为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,其中心波长4580±40nm,其在航空尾气气体检测过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片的峰值透过率Tp≥80%、带宽=140±20nm,400~12000nm(除通带外),Tavg<0.5%。
Description
技术领域
本发明涉及一氧化氮气体检测滤光片领域,尤其是中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片。
背景技术
在自然界,任何物体在绝对零度(-273度)以上,都有红外谱线发出,而每种物质都有其特殊的发射或吸收特征峰。带通红外滤光片过滤、截止可见光同时允许特定的红外线通过。利用带通红外滤光片的这种允许物体的特征红外谱线透过的特性,可以探测出特定物质的存在,广泛应用于安防、环保、工业、科研等。带通红外滤光片的质量直接影响探测的精度和灵敏度。目前的NO红外光学分析仪器应用广泛,检测气体含量具体有实时、连续和可靠的特点,但是目标气体中通过NO含量低,红外特征吸收峰值较弱,检测困难,因此目前国内较多采用化学法和薄膜热敏探测法,存在检测器寿命短或成本高等问题,因此既要降低成本,又要提高探测精度在NO红外光学分析仪器中已经相当重要。就目前用于NO探测中的滤光片,检测精度不高、透过率和信噪比低,精度差,有时候出现误测的现象,不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片。
为了达到上述目的,本发明所设计的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,包括以蓝宝石为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:65nm厚度的Ge层、216nm厚度的SiO层、139nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、81nm厚度的Ge层、300nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、114nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、454nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、220nm厚度的SiO层、208nm厚度的Ge层、198nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、567nm厚度的SiO层、206nm厚度的Ge层、248nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、256nm厚度的Ge层、282nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、635nm厚度的SiO层、293nm厚度的Ge层、1264nm厚度的SiO层、273nm厚度的Ge层、1109nm厚度的SiO层、414nm厚度的Ge层和526nm厚度的SiO层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、1292nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、2583nm厚度的SiO层、409nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层和1096nm厚度的SiO层。
上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,其中心波长4580±40nm,其在航空尾气气体检测过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片的峰值透过率Tp≥80%、带宽=140±20nm,400~12000nm(除通带外),Tavg<0.5%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图;
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1:
如图1、图2所示,本实施例描述的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,包括以蓝宝石为原材料的基板2,以Ge、SiO为第一镀膜层1和以Ge、SiO为第二镀膜层3,且所述基板2位于第一镀膜层1和第二镀膜层3之间,所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有:65nm厚度的Ge层、216nm厚度的SiO层、139nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、81nm厚度的Ge层、300nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、114nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、454nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、220nm厚度的SiO层、208nm厚度的Ge层、198nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、567nm厚度的SiO层、206nm厚度的Ge层、248nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、256nm厚度的Ge层、282nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、635nm厚度的SiO层、293nm厚度的Ge层、1264nm厚度的SiO层、273nm厚度的Ge层、1109nm厚度的SiO层、414nm厚度的Ge层和526nm厚度的SiO层;所述第二镀膜层3由内向外依次排列包含有:279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、1292nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、2583nm厚度的SiO层、409nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层和1096nm厚度的SiO层。
Claims (1)
1.一种中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片,包括以蓝宝石为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,其特征是:所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:65nm厚度的Ge层、216nm厚度的SiO层、139nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、81nm厚度的Ge层、300nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、114nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、454nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、220nm厚度的SiO层、208nm厚度的Ge层、198nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、567nm厚度的SiO层、206nm厚度的Ge层、248nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、256nm厚度的Ge层、282nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、635nm厚度的SiO层、293nm厚度的Ge层、1264nm厚度的SiO层、273nm厚度的Ge层、1109nm厚度的SiO层、414nm厚度的Ge层和526nm厚度的SiO层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、1292nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、2583nm厚度的SiO层、409nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层和1096nm厚度的SiO层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310631445.5A CN103713344B (zh) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310631445.5A CN103713344B (zh) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103713344A CN103713344A (zh) | 2014-04-09 |
CN103713344B true CN103713344B (zh) | 2016-04-27 |
Family
ID=50406463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310631445.5A Active CN103713344B (zh) | 2013-11-29 | 2013-11-29 | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103713344B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104597542A (zh) * | 2014-12-07 | 2015-05-06 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 4430nm带通红外滤光敏感元件 |
CN104597544A (zh) * | 2014-12-07 | 2015-05-06 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 4700nm长波通红外滤光敏感元件 |
CN106054300B (zh) * | 2016-07-25 | 2018-06-26 | 江苏大学 | 一种co2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法 |
CN110261948B (zh) * | 2019-06-25 | 2022-01-25 | 上海格斐特传感技术有限公司 | 一种一氧化氮气体检测用红外滤光片及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN202305862U (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-04 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 10560纳米带通红外滤光片 |
CN102540308A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 东华大学 | 一种温度敏感窄带通滤光片 |
CN102590917A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 3.65微米至5微米宽带红外滤光片及其制作方法 |
CN203551824U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-16 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130188254A1 (en) * | 2008-09-08 | 2013-07-25 | National Research Council Of Canada | Thin film optical filters with an integral air layer |
-
2013
- 2013-11-29 CN CN201310631445.5A patent/CN103713344B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102540308A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 东华大学 | 一种温度敏感窄带通滤光片 |
CN202305862U (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-04 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 10560纳米带通红外滤光片 |
CN102590917A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 3.65微米至5微米宽带红外滤光片及其制作方法 |
CN203551824U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-16 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103713344A (zh) | 2014-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103713344B (zh) | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 | |
CN202472019U (zh) | 5300纳米带通红外滤光片 | |
CN202472022U (zh) | 4530纳米带通红外滤光片 | |
CN202472017U (zh) | 7350纳米带通红外滤光片 | |
CN103713347A (zh) | 通过带为7550-13900nm的红外测温滤光片 | |
CN202472020U (zh) | 4640纳米带通红外滤光片 | |
CN203551824U (zh) | 中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片 | |
CN203551827U (zh) | 通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片 | |
CN103713349B (zh) | 中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片 | |
CN203551819U (zh) | 通过带为7550-13900nm的红外测温滤光片 | |
CN204374467U (zh) | 4600nm带通红外滤光敏感元件 | |
CN204374465U (zh) | 4700nm带通红外滤光敏感元件 | |
CN103698831B (zh) | 通过带为7600-9900nm的红外测温滤光片 | |
CN104597547A (zh) | 4700nm带通红外滤光敏感元件 | |
CN202275176U (zh) | 3900纳米带通红外滤光片 | |
CN203551818U (zh) | 透过波长3700nm以上的航空尾气气体检测滤光片 | |
CN203551825U (zh) | 中心波长2700nm的航空尾气气体检测滤光片 | |
CN203551828U (zh) | 通过带为3600-4000nm的观察图形光谱天文滤光片 | |
CN203572999U (zh) | 起始通过波长5700nm的测温滤光片 | |
CN203551822U (zh) | 中心波长2230nm的水分测试滤光片 | |
CN203551821U (zh) | 观察图形光谱的天文滤光片 | |
CN203551826U (zh) | 中心波长3800nm的火焰探测滤光片 | |
CN204374474U (zh) | 4430nm带通红外滤光敏感元件 | |
CN103713348B (zh) | 观察图形光谱的天文滤光片 | |
CN203551817U (zh) | 透过波长2400nm以上的火焰探测滤光片 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Xingguo Qianjiang Economic Development Zone 503-2-101 311188 Hangzhou Road, Zhejiang Province Patentee after: Hangzhou Mai peak Polytron Technologies Inc Address before: Xingguo Qianjiang Economic Development Zone 503-2-101 311188 Hangzhou Road, Zhejiang Province Patentee before: Multi IR Optoelectronics Co., Ltd. |