CN202305862U - 10560纳米带通红外滤光片 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种10560纳米带通红外滤光片，以Ge为原材料的基板、以Ge和ZnS为镀膜材料的第一镀膜层和第二镀膜层，所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是第一镀膜层包含从内向外依次排列的厚度不同的Ge层和ZnS层，所述Ge层和ZnS层交互排列；第一镀膜层包含从内向外依次排列的厚度不同的Ge层和ZnS层，所述Ge层和ZnS层交互排列。本实用新型得到的10560纳米带通红外滤光片，实现中心波长定位在10560±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了信噪比，且灵敏度可达0.1ppm，能有效的检测SF₆，使得机器能正常运转，同时也对工人的安全有所保障。

Description

10560纳米带通红外滤光片

技术领域

本实用新型涉及一种滤光片，特别是10560纳米带通红外滤光片。 

背景技术

当前SF₆气体在工业中应用普遍，如：冷冻工业作为致冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间；电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料；采矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。如果SF₆中混杂低氟化硫、氟化氢，特别是十氟化硫时，则毒性增强。在现有的工业生产中，为了保证生产进度，保护工人安全，通常会对SF₆是否外泄进行检测。现对SF₆的检测大多是通过红外原理(经X 过滤光片)，而SF₆的吸收波长为10560纳米，而且灵敏度要求0.1ppm， 

但是，目前用于SF₆测量的10560纳米带通红外滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。 

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种峰值透过率高，能极大的提高信噪比，有效检测SF₆的10560纳米带通红外滤光片。 

为了实现上述目的，本实用新型所设计的10560纳米带通红外滤光片，包括以Ge为原材料的基板、以Ge和ZnS为镀膜材料的第一镀膜层和第二镀膜层，所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是第一镀膜层包含从内向外依次排列的厚度为611nm的Ge层、厚度为621nm的ZnS层、厚度为320nm的Ge层、厚度为950nm的ZnS层、厚度为433nm的Ge层、厚度为957nm的ZnS层、厚度为417nm的Ge层、厚度为907nm的ZnS层、厚度为420nm的Ge层、厚度为822nm的ZnS层、厚度为491nm的Ge层、厚度为783nm的ZnS层、厚度为396nm的Ge层、厚度为736nm的ZnS层、厚度为318nm的Ge层、 厚度为535nm的ZnS层、厚度为291nm的Ge层、厚度为465nm的ZnS层、厚度为379nm的Ge层、厚度为733nm的ZnS层、厚度为315nm的Ge层、厚度为499nm的ZnS层、厚度为243nm的Ge层、厚度为523nm的ZnS层、厚度为283nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为176nm的Ge层、厚度为356nm的ZnS层、厚度为341nm的Ge层、厚度为364nm的ZnS层、厚度为260nm的Ge层、厚度为372nm的ZnS层、厚度为123nm的Ge层、厚度为251nm的ZnS层、厚度为225nm的Ge层、厚度为305nm的ZnS层、厚度为164nm的Ge层、厚度为387nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为536nm的Ge层、厚度为317nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层以及厚度为940nm的ZnS层；第二镀膜层包含从内向外依次排列的厚度为250nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1061nm的ZnS层、厚度为413nm的Ge层以及厚度为4081nm的ZnS层。 

上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。 

本实用新型得到的10560纳米带通红外滤光片，实现中心波长定位在10560±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了信噪比，且灵敏度可达0.1ppm，能有效的检测SF₆，使得机器能正常运转，同时也对工人的安全有所保障。 

附图说明

图1是实施例的整体结构示意图； 

图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。 

图中：基板1、第一镀膜层2、第二镀膜层3。 

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 

实施例： 

如图1所示，本实施列提供的10560纳米带通红外滤光片，包括以Ge为原材料的基板1、以Ge和ZnS为镀膜材料的第一镀膜层2和第二镀膜层3，所述基板1位于第一镀膜层2和第二镀膜层3之间，第一镀膜层2包含从内向外依次排列的厚度为611nm的Ge层、厚度为621nm的ZnS层、厚度为320nm的Ge层、厚度为950nm的ZnS层、厚度为433nm的Ge层、厚度为957nm的ZnS层、厚度为417nm的Ge层、厚度为907nm的ZnS层、厚度为420nm的Ge层、厚度为822nm的ZnS层、厚度为491nm的Ge层、厚度为783nm的ZnS层、厚度为396nm的Ge层、厚度为736nm的ZnS层、厚度为318nm的Ge层、厚度为535nm的ZnS层、厚度为291nm的Ge层、厚度为465nm的ZnS层、厚度为379nm的Ge层、厚度为733nm的ZnS层、厚度为315nm的Ge层、厚度为499nm的ZnS层、厚度为243nm的Ge层、厚度为523nm的ZnS层、厚度为283nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为176nm的Ge层、厚度为356nm的ZnS层、厚度为341nm的Ge层、厚度为364nm的ZnS层、厚度为260nm的Ge层、厚度为372nm的ZnS层、厚度为123nm的Ge层、厚度为251nm的ZnS层、厚度为225nm的Ge层、厚度为305nm的ZnS层、厚度为164nm的Ge层、厚度为387nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为536nm的Ge层、厚度为317nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层以及厚度为940nm的ZnS层；第二镀膜层3包含从内向外依次排列的厚度为250nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1061nm的ZnS层、厚度为413nm的Ge 层以及厚度为4081nm的ZnS层。 

本实施提供的10530纳米带通红外滤光片，其实测曲线如图2所示，能实现中心波长定位为10530±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％。 

Claims (1)

1.一种10560纳米带通红外滤光片，包括以Ge为原材料的基板(1)、以Ge和ZnS为镀膜材料的第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3)，所述基板(1)位于第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3)之间，其特征是第一镀膜层(2)包含从内向外依次排列的厚度为611nm的Ge层、厚度为621nm的ZnS层、厚度为320nm的Ge层、厚度为950nm的ZnS层、厚度为433nm的Ge层、厚度为957nm的ZnS层、厚度为417nm的Ge层、厚度为907nm的ZnS层、厚度为420nm的Ge层、厚度为822nm的ZnS层、厚度为491nm的Ge层、厚度为783nm的ZnS层、厚度为396nm的Ge层、厚度为736nm的ZnS层、厚度为318nm的Ge层、厚度为535nm的ZnS层、厚度为291nm的Ge层、厚度为465nm的ZnS层、厚度为379nm的Ge层、厚度为733nm的ZnS层、厚度为315nm的Ge层、厚度为499nm的ZnS层、厚度为243nm的Ge层、厚度为523nm的ZnS层、厚度为283nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为176nm的Ge层、厚度为356nm的ZnS层、厚度为341nm的Ge层、厚度为364nm的ZnS层、厚度为260nm的Ge层、厚度为372nm的ZnS层、厚度为123nm的Ge层、厚度为251nm的ZnS层、厚度为225nm的Ge层、厚度为305nm的ZnS层、厚度为164nm的Ge层、厚度为387nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层、厚度为377nm的ZnS层、厚度为536nm的Ge层、厚度为317nm的ZnS层、厚度为158nm的Ge层以及厚度为940nm的ZnS层；第二镀膜层(3)包含从内向外依次排列的厚度为250nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为2356nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1178nm的ZnS层、厚度为624nm的Ge层、厚度为1061nm的ZnS层、厚度为413nm的Ge层以及厚度为4081nm的ZnS层。 

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