CN104597541A - 通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,包括以红外石英为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度,适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件50%Cut on=3000±30nm,50%Cut on=3500±30nm,3050~3400nm,Tavg≥80%,300~6500nm(通带区域除外),Tavg≤0.1%。
Description
技术领域
本发明涉及红外滤光敏感元件领域,尤其是一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件。
背景技术
红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)是通过非接触探测红外能量(热量),并将其转换为电信号,进而在显示器上生成热图像和温度值,并可以对温度值进行计算的一种检测设备。红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)能够将探测到的热量精确量化或测量,使您不仅能够观察热图像,还能够对发热的故障区域进行准确识别和严格分析。
红外热成像仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键,由于各种生物所发出来的红外能量(热能)是不同的,所以在日常使用中为了观察某种特定生物的热图像,人们往往会在探测器中添加红外滤光敏感元件,通过红外滤光敏感元件可以使探测器只接受特定波段的红外能量(热能),保证红外热成像仪的成像结果。
但是,目前的红外滤光敏感元件,其信噪比低,精度差,不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件。
为了达到上述目的,本发明所设计的一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,包括以红外石英为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间,其特征是所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有103nm厚度的Ge层、455nm厚度的SiO层、66nm厚度的Ge层、265nm厚度的SiO层、189nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、141nm厚度的Ge层、145nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、397nm厚度的SiO层、180nm厚度的Ge层、463nm厚度的SiO层、108nm厚度的Ge层、161nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、437nm厚度的SiO层、231nm厚度的Ge层、613nm厚度的SiO层、339nm厚度的Ge层、494nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、649nm厚度的SiO层、324nm厚度的Ge层、516nm厚度的SiO层、234nm厚度的Ge层、813nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层由内向外依次排列包含有75nm厚度的Ge层、203nm厚度的SiO层、72nm厚度的Ge层、102nm厚度的SiO层、90nm厚度的Ge层、191nm厚度的SiO层、51nm厚度的Ge层、160nm厚度的SiO层、75nm厚度的Ge层、197nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、79nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、130nm厚度的Ge层、252nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、206nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、534nm厚度的SiO层。
上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度,适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件50%Cut on=3000±30nm,50%Cut on=3500±30nm,3050~3400nm,Tavg≥80%,300~6500nm(通带区域除外),Tavg≤0.1%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图。
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
图中:第一镀膜层1、基板2、第二镀膜层3。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1。
如图1和图2所示,本实施例描述的一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,包括以红外石英为原材料的基板2,以Ge、SiO为第一镀膜层1和以Ge、SiO为第二镀膜层3,且所述基板2设于第一镀膜层1与第二镀膜层3之间,所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有103nm厚度的Ge层、455nm厚度的SiO层、66nm厚度的Ge层、265nm厚度的SiO层、189nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、141nm厚度的Ge层、145nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、397nm厚度的SiO层、180nm厚度的Ge层、463nm厚度的SiO层、108nm厚度的Ge层、161nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、437nm厚度的SiO层、231nm厚度的Ge层、613nm厚度的SiO层、339nm厚度的Ge层、494nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、649nm厚度的SiO层、324nm厚度的Ge层、516nm厚度的SiO层、234nm厚度的Ge层、813nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层3由内向外依次排列包含有75nm厚度的Ge层、203nm厚度的SiO层、72nm厚度的Ge层、102nm厚度的SiO层、90nm厚度的Ge层、191nm厚度的SiO层、51nm厚度的Ge层、160nm厚度的SiO层、75nm厚度的Ge层、197nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、79nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、130nm厚度的Ge层、252nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、206nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、534nm厚度的SiO层。
Claims (1)
1.一种通过带为3000-3500nm的红外滤光敏感元件,包括以红外石英为原材料的基板(2),以Ge、SiO为第一镀膜层(1)和以Ge、SiO为第二镀膜层(3),且所述基板(2)设于第一镀膜层(1)与第二镀膜层(3)之间,其特征是所述第一镀膜层(1)由内向外依次排列包含有103nm厚度的Ge层、455nm厚度的SiO层、66nm厚度的Ge层、265nm厚度的SiO层、189nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、141nm厚度的Ge层、145nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、397nm厚度的SiO层、180nm厚度的Ge层、463nm厚度的SiO层、108nm厚度的Ge层、161nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、437nm厚度的SiO层、231nm厚度的Ge层、613nm厚度的SiO层、339nm厚度的Ge层、494nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、649nm厚度的SiO层、324nm厚度的Ge层、516nm厚度的SiO层、234nm厚度的Ge层、813nm厚度的SiO层、219nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层(3)由内向外依次排列包含有75nm厚度的Ge层、203nm厚度的SiO层、72nm厚度的Ge层、102nm厚度的SiO层、90nm厚度的Ge层、191nm厚度的SiO层、51nm厚度的Ge层、160nm厚度的SiO层、75nm厚度的Ge层、197nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、79nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、130nm厚度的Ge层、252nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、206nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、534nm厚度的SiO层。
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