CN105487154A - 通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片 - Google Patents

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王继平
吕晶
胡伟琴
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Abstract

本发明公开了一种通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,包括以单晶锗为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度,适合于大范围的推广和使用。该滤光片具有以下特性:T=50%3650±50nm、4950±50nm;3750~4850nm,Tavg≥92%;3950~4700nm,T≥90%;1500~3450nm、5200~7000nm,T≤1%。

Description

通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片
技术领域
本发明涉及红外滤光片领域,尤其是一种通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片。
背景技术
红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)是通过非接触探测红外能量(热量),并将其转换为电信号,进而在显示器上生成热图像和温度值,并可以对温度值进行计算的一种检测设备。红外热成像仪(热成像仪或红外热成像仪)能够将探测到的热量精确量化或测量,使您不仅能够观察热图像,还能够对发热的故障区域进行准确识别和严格分析。
红外热成像仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键,由于各种生物所发出来的红外能量(热能)是不同的,所以在日常使用中为了观察某种特定生物的热图像,人们往往会在探测器中添加红外滤光片,通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量(热能),保证红外热成像仪的成像结果。
但是,目前的红外滤光片,其信噪比低,精度差,不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片。
为了达到上述目的,本发明所设计的一种通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,包括以单晶锗为原材料的基板,以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间,其特征是所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有380nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、123nm厚度的Ge层、644nm厚度的SiO层、129nm厚度的Ge层、185nm厚度的SiO层、245nm厚度的Ge层、575nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、157nm厚度的SiO层、242nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、512nm厚度的Ge层、583nm厚度的SiO层、434nm厚度的Ge层、922nm厚度的SiO层、346nm厚度的Ge层、1019nm厚度的SiO层、345nm厚度的Ge层、1027nm厚度的SiO层、383nm厚度的Ge层、495nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层由内向外依次排列包含有260nm厚度的Ge层、179nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、196nm厚度的ZnS层、114nm厚度的Ge层、213nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、302nm厚度的ZnS层、113nm厚度的Ge层、203nm厚度的ZnS层、176nm厚度的Ge层、242nm厚度的ZnS层、85nm厚度的Ge层、427nm厚度的ZnS层、115nm厚度的Ge层、226nm厚度的ZnS层、232nm厚度的Ge层、139nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、978nm厚度的ZnS层、410nm厚度的Ge层、950nm厚度的ZnS层、590nm厚度的Ge层、975nm厚度的ZnS层、350nm厚度的Ge层、429nm厚度的ZnS层。
上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的一种通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度,适合于大范围的推广和使用。该滤光片具有以下特性:T=50%3650±50nm、4950±50nm;3750~4850nm,Tavg≥92%;3950~4700nm,T≥90%;1500~3450nm、5200~7000nm,T≤1%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图。
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
图中:第一镀膜层1、基板2、第二镀膜层3。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1。
如图1、图2所示,本实施例描述的通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,包括以单晶锗为原材料的基板2,以Ge、SiO为第一镀膜层1和以Ge、ZnS为第二镀膜层3,且所述基板2设于第一镀膜层1与第二镀膜层3之间,其特征是所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有380nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、123nm厚度的Ge层、644nm厚度的SiO层、129nm厚度的Ge层、185nm厚度的SiO层、245nm厚度的Ge层、575nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、157nm厚度的SiO层、242nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、512nm厚度的Ge层、583nm厚度的SiO层、434nm厚度的Ge层、922nm厚度的SiO层、346nm厚度的Ge层、1019nm厚度的SiO层、345nm厚度的Ge层、1027nm厚度的SiO层、383nm厚度的Ge层、495nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层3由内向外依次排列包含有260nm厚度的Ge层、179nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、196nm厚度的ZnS层、114nm厚度的Ge层、213nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、302nm厚度的ZnS层、113nm厚度的Ge层、203nm厚度的ZnS层、176nm厚度的Ge层、242nm厚度的ZnS层、85nm厚度的Ge层、427nm厚度的ZnS层、115nm厚度的Ge层、226nm厚度的ZnS层、232nm厚度的Ge层、139nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、978nm厚度的ZnS层、410nm厚度的Ge层、950nm厚度的ZnS层、590nm厚度的Ge层、975nm厚度的ZnS层、350nm厚度的Ge层、429nm厚度的ZnS层。

Claims (1)

1.一种通过带为3600-4950nm的红外成像滤光片,包括以单晶锗为原材料的基板(2),以Ge、SiO为第一镀膜层(1)和以Ge、ZnS为第二镀膜层(3),且所述基板(2)设于第一镀膜层(1)与第二镀膜层(3)之间,其特征是所述第一镀膜层(1)由内向外依次排列包含有380nm厚度的Ge层、250nm厚度的SiO层、123nm厚度的Ge层、644nm厚度的SiO层、129nm厚度的Ge层、185nm厚度的SiO层、245nm厚度的Ge层、575nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、157nm厚度的SiO层、242nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、512nm厚度的Ge层、583nm厚度的SiO层、434nm厚度的Ge层、922nm厚度的SiO层、346nm厚度的Ge层、1019nm厚度的SiO层、345nm厚度的Ge层、1027nm厚度的SiO层、383nm厚度的Ge层、495nm厚度的SiO层;所述的第二镀膜层(3)由内向外依次排列包含有260nm厚度的Ge层、179nm厚度的ZnS层、118nm厚度的Ge层、196nm厚度的ZnS层、114nm厚度的Ge层、213nm厚度的ZnS层、91nm厚度的Ge层、302nm厚度的ZnS层、113nm厚度的Ge层、203nm厚度的ZnS层、176nm厚度的Ge层、242nm厚度的ZnS层、85nm厚度的Ge层、427nm厚度的ZnS层、115nm厚度的Ge层、226nm厚度的ZnS层、232nm厚度的Ge层、139nm厚度的ZnS层、199nm厚度的Ge层、978nm厚度的ZnS层、410nm厚度的Ge层、950nm厚度的ZnS层、590nm厚度的Ge层、975nm厚度的ZnS层、350nm厚度的Ge层、429nm厚度的ZnS层。
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