CN103713345B - 通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片 - Google Patents
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Abstract
本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,该通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片50%Cut?on=7.6±0.05um,50%Cut?off=9.3±0.05um;1500~7100nm、9800~14000nm?T≤3%;8000~9000nm?T≥88%、7700~9200nm?Tavg≥90%。
Description
技术领域
本发明涉及红外滤光片领域,尤其是一种通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片。
背景技术
红外测温仪由光学系统、探测器、信号放大器及信号处理、显示输出等部分组成。光学系统汇聚其视场内的目标红外能量(热量),视场的大小由测温仪的光学零件及其位置确定。红外能量聚焦在探测器上并转变为相应的电信号。该信号经过放大器和信号处理电路,并按照仪器内的算法和目标发射率校正后转变为被测目标的温度值。
红外测温仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键,由于各种生物所发出来的红外能量(热量)是不同的,所以在日常使用中为了观察某种特定生物的温度值,人们往往会在探测器中添加红外滤光片,通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量,保证红外测温仪的测温结果,用于测温和成像。
但是,目前的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,其信噪比低,精度差,不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片。
为了达到上述目的,本发明所设计的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。
上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,其在温度测量过程中,可大大的提高信噪比,提高测试精准度。该滤光片50%Cuton=7.6±0.05um,50%Cutoff=9.3±0.05um;1500~7100nm、9800~14000nmT≤3%;8000~9000nmT≥88%、7700~9200nmTavg≥90%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图;
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1:
如图1、图2所示,本实施例描述的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板2,以Ge、ZnS为第一镀膜层1和以Ge、ZnS为第二镀膜层3,且所述基板2位于第一镀膜层1和第二镀膜层3之间,所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有:192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层3由内向外依次排列包含有:699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。
Claims (1)
1.一种通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片,包括以Ge为原材料的基板,以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层,且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间,其特征是:所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有:192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层;所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有:699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102540308A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 东华大学 | 一种温度敏感窄带通滤光片 |
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Family Cites Families (2)
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102540308A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 东华大学 | 一种温度敏感窄带通滤光片 |
CN202305862U (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-04 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 10560纳米带通红外滤光片 |
CN203572994U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-30 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片 |
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