JPH03158456A - 積層体 - Google Patents
積層体Info
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- JPH03158456A JPH03158456A JP1293853A JP29385389A JPH03158456A JP H03158456 A JPH03158456 A JP H03158456A JP 1293853 A JP1293853 A JP 1293853A JP 29385389 A JP29385389 A JP 29385389A JP H03158456 A JPH03158456 A JP H03158456A
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は透明かつ耐熱性プラスチックフィルムにおいて
、その接着性を向上させた積層体に関す〔従来の技術お
よびその課題〕 透明性に優れ、しかも耐熱性の点でも１８０°Ｃ以上の
耐熱性を有するプラスチックフィルムとして、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォンなどが開
発されているが、これらのプラスチックスフィルムを貼
り合わせる場合、あるいは対象物を接着する場合などに
おいて、その接着性に大きな問題があり、適当な接着剤
が見出されていない現状にある。したがって、これら耐
熱性フィルムを半導体素子などの支持基板として使用す
る際に大きな障害となっていた。
、その接着性を向上させた積層体に関す〔従来の技術お
よびその課題〕 透明性に優れ、しかも耐熱性の点でも１８０°Ｃ以上の
耐熱性を有するプラスチックフィルムとして、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォンなどが開
発されているが、これらのプラスチックスフィルムを貼
り合わせる場合、あるいは対象物を接着する場合などに
おいて、その接着性に大きな問題があり、適当な接着剤
が見出されていない現状にある。したがって、これら耐
熱性フィルムを半導体素子などの支持基板として使用す
る際に大きな障害となっていた。
一般にポリオレフィン系の樹脂に対する接着剤がないこ
とが知られているが、これらのフィルムに接着機能を持
たせる方法として、フィルム表面をコロナ放電処理など
による表面修飾により接着性を向上させる方法が公知で
ある。しかしながら、これにの処理方法は、ポリエーテ
ルエーテルケトンやポリエーテルスルフォンなどの透明
耐熱性フィルムに対しては、十分な効果を発現していな
い０本発明者らは、プラスチックフィルム上に種々の無
機系材料をコーティングする研究を行った際に、ある種
の金属酸化物がこれらの耐熱性プラスチックフィルムに
良好な密着強度で形成できることを見出し、本発明に到
った。
とが知られているが、これらのフィルムに接着機能を持
たせる方法として、フィルム表面をコロナ放電処理など
による表面修飾により接着性を向上させる方法が公知で
ある。しかしながら、これにの処理方法は、ポリエーテ
ルエーテルケトンやポリエーテルスルフォンなどの透明
耐熱性フィルムに対しては、十分な効果を発現していな
い０本発明者らは、プラスチックフィルム上に種々の無
機系材料をコーティングする研究を行った際に、ある種
の金属酸化物がこれらの耐熱性プラスチックフィルムに
良好な密着強度で形成できることを見出し、本発明に到
った。
すなわち、本発明は、
透明な酸化物層を表面に形成し、表面の接着特性を向上
させたことを特徴とする透明耐熱性プラスチックフィル
ム積層体、である。
させたことを特徴とする透明耐熱性プラスチックフィル
ム積層体、である。
すなわち、この種の接着性の乏しいプラスチックフィル
ム、特にポリエーテルエーテルケトンやポリエーテルス
ルフォンなどの透明耐熱性フィルムの接着性に関しては
、ある種の金属酸化膜層をフィルム表面にコーティング
す・ることで、本質的には接着性能を持たないプラスチ
ックフィルムの接着性を飛躍的に向上させ、フィルム同
志の接着や他の対象物との接着を可能とすることができ
たのである。より詳しくは、透明かつ耐熱性のプラスチ
ックフィルム、特にポリエーテルエーテルケトンおよび
ポリエーテルスルフォン上にシリコン、アルミニウム、
ジルコニウム、チタンから選ばれた金属元素の透明な酸
化物層を形成することによってポリエステル系、アクリ
ル系、エポキシ系などの熱硬化型および光、電子線硬化
型の接着剤に対する接着性の向上を実現したものである
。
ム、特にポリエーテルエーテルケトンやポリエーテルス
ルフォンなどの透明耐熱性フィルムの接着性に関しては
、ある種の金属酸化膜層をフィルム表面にコーティング
す・ることで、本質的には接着性能を持たないプラスチ
ックフィルムの接着性を飛躍的に向上させ、フィルム同
志の接着や他の対象物との接着を可能とすることができ
たのである。より詳しくは、透明かつ耐熱性のプラスチ
ックフィルム、特にポリエーテルエーテルケトンおよび
ポリエーテルスルフォン上にシリコン、アルミニウム、
ジルコニウム、チタンから選ばれた金属元素の透明な酸
化物層を形成することによってポリエステル系、アクリ
ル系、エポキシ系などの熱硬化型および光、電子線硬化
型の接着剤に対する接着性の向上を実現したものである
。
以下、本発明の構成要件をさらに詳細に説明する。
本発明における金属酸化膜層はシリコン、アルミニウム
、チタン、ジルコニウムなど対応する金属を酸素雰囲気
下で真空蒸着法あるいはスパッタリング法等を適用する
ことにより形成することができる。また各々の金属酸化
物を用いた場合にも高周波スパッタリング法によっても
形成することができる。さらに、金属アルコキシドある
いは関連の有機金属化合物の塗布およびその後の加水分
解や熱分解反応によっても、またシラン等の気相からの
化学気相堆積法などによっても有効な金属酸化物層を形
成することができる。
、チタン、ジルコニウムなど対応する金属を酸素雰囲気
下で真空蒸着法あるいはスパッタリング法等を適用する
ことにより形成することができる。また各々の金属酸化
物を用いた場合にも高周波スパッタリング法によっても
形成することができる。さらに、金属アルコキシドある
いは関連の有機金属化合物の塗布およびその後の加水分
解や熱分解反応によっても、またシラン等の気相からの
化学気相堆積法などによっても有効な金属酸化物層を形
成することができる。
酸化物層の厚みは特に限定を要するものではなく、酸化
物薄膜の膜厚はフィルム表面を覆うに十分な膜厚であれ
ば接着剤との密着性は向上する。
物薄膜の膜厚はフィルム表面を覆うに十分な膜厚であれ
ば接着剤との密着性は向上する。
したがって１００人程度の膜厚の薄膜を形成しただけで
も接着剤との接着性は向上し、実用上の問題はない、た
だし、膜厚が厚すぎるとフィルムの光学的透過率の低下
が生じ、透明性の損傷やフィルムのフレキシビリティの
低下や酸化物層の剥離などの問題を招くことになる。ま
た膜厚があまり薄く５０人未満では膜の緻密化などにも
よるが、接着性の低下を引き起こすことになり、これ以
上、好ましくは１００Å以上であることがより好ましい
、さらに好ましくは２００−２０００人であ、る。
も接着剤との接着性は向上し、実用上の問題はない、た
だし、膜厚が厚すぎるとフィルムの光学的透過率の低下
が生じ、透明性の損傷やフィルムのフレキシビリティの
低下や酸化物層の剥離などの問題を招くことになる。ま
た膜厚があまり薄く５０人未満では膜の緻密化などにも
よるが、接着性の低下を引き起こすことになり、これ以
上、好ましくは１００Å以上であることがより好ましい
、さらに好ましくは２００−２０００人であ、る。
本発明で用いる基材のプラスチックスフィルムとしては
ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォン
がある。またこれらの共重合体や混合体であっても、そ
の透明性、耐熱性に大きな差はなく、いずれの場合も本
発明の範囲に含まれるものである。その厚みは特に限定
するものではないが、ｌＯ〜１００００μ−程度である
。
ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォン
がある。またこれらの共重合体や混合体であっても、そ
の透明性、耐熱性に大きな差はなく、いずれの場合も本
発明の範囲に含まれるものである。その厚みは特に限定
するものではないが、ｌＯ〜１００００μ−程度である
。
〔実施例１〕
厚さ５０乃至１００μｍのポリエーテルエーテルケトン
およびポリエーテルスルフォンの各フィルムに厚さ１０
００人の金属酸化膜層を二酸化ケイ素、酸化アルミニウ
ム、酸化チタン、酸化ジルコニウムの各ターゲットを用
い、アルゴンガスによる高周波スパッタリング法で形成
した。これらのフィルム積層体に紫外線硬化型の接着剤
（商品名アロエックスＵＶ−３１００、東亜合成化学工
業（株）製）にてシリコンウェハーとの接着性を試験し
たところ剥離現象も起こらず、またシリコンウェハーの
接着もできた。この際フィルムとシリコンウェハーとの
密着強度はすべて０．５Ｋｇ／ ｃ ｍ以上であった。
およびポリエーテルスルフォンの各フィルムに厚さ１０
００人の金属酸化膜層を二酸化ケイ素、酸化アルミニウ
ム、酸化チタン、酸化ジルコニウムの各ターゲットを用
い、アルゴンガスによる高周波スパッタリング法で形成
した。これらのフィルム積層体に紫外線硬化型の接着剤
（商品名アロエックスＵＶ−３１００、東亜合成化学工
業（株）製）にてシリコンウェハーとの接着性を試験し
たところ剥離現象も起こらず、またシリコンウェハーの
接着もできた。この際フィルムとシリコンウェハーとの
密着強度はすべて０．５Ｋｇ／ ｃ ｍ以上であった。
〔実施例２〕
１１００ｔＩのポリエーテルエーテルケトンおよびポリ
エーテルスルフォンにテトラブチルチタネートのアルコ
ール溶液を用い、ゾルゲル法にて５００人のチタン酸化
膜層を形成した。これらのフィルムにアロエックスＵＶ
−３１００を用いシリコンウェハーとの接着性を調べた
ところ、剥離現象もなく０．５Ｋｇ／ｃｍ以上の密着強
度が得られた。
エーテルスルフォンにテトラブチルチタネートのアルコ
ール溶液を用い、ゾルゲル法にて５００人のチタン酸化
膜層を形成した。これらのフィルムにアロエックスＵＶ
−３１００を用いシリコンウェハーとの接着性を調べた
ところ、剥離現象もなく０．５Ｋｇ／ｃｍ以上の密着強
度が得られた。
５０および１００μｍのポリエーテルエーテルケトンお
よびポリエーテルスルフォンのフィルムに直接アロニッ
クスＵＶ−３１００を用いたところ容易に接着剤の剥離
現象が起こり接着剤としての機能が発揮されなかった。
よびポリエーテルスルフォンのフィルムに直接アロニッ
クスＵＶ−３１００を用いたところ容易に接着剤の剥離
現象が起こり接着剤としての機能が発揮されなかった。
耐熱性を有する透明なプラスチックであるポリエーテル
エーテルケトンおよびポリエーテルスルフォンフィルム
を本発明で規定する金属の酸化物薄膜層でコーティング
することで表面の接着特性が飛躍的に向上し、市販の接
着剤を用いた接着加工が可能になり、この種の基材の応
用性が大きく拡大することが確認された。
エーテルケトンおよびポリエーテルスルフォンフィルム
を本発明で規定する金属の酸化物薄膜層でコーティング
することで表面の接着特性が飛躍的に向上し、市販の接
着剤を用いた接着加工が可能になり、この種の基材の応
用性が大きく拡大することが確認された。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）透明な酸化物層を表面に形成し、表面の接着特性を
向上させたことを特徴とする透明耐熱性プラスチックフ
ィルム積層体。 ２）透明な酸化物がシリコン、チタン、ジルコニウム、
アルミニウムから選ばれた酸化物である請求項１記載の
透明耐熱性プラスチックフィルム積層体。 ３）プラスチックフィルムがポリエーテルエーテルケト
ンおよびポリエーテルスルフォンから選ばれたものから
なる透明かつ耐熱性プラスチックフィルムである請求項
１記載の耐熱性プラスチックフィルム積層体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293853A JPH03158456A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293853A JPH03158456A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 積層体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03158456A true JPH03158456A (ja) | 1991-07-08 |
Family
ID=17800004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1293853A Pending JPH03158456A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03158456A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013541181A (ja) * | 2010-08-18 | 2013-11-07 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 発光ダイオードアセンブリおよび熱制御ブランケット、ならびにそれに関する方法 |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP1293853A patent/JPH03158456A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013541181A (ja) * | 2010-08-18 | 2013-11-07 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 発光ダイオードアセンブリおよび熱制御ブランケット、ならびにそれに関する方法 |
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