JPH03152004A

JPH03152004A - クリーンルーム内の荷保管装置

Info

Publication number: JPH03152004A
Application number: JP29061389A
Authority: JP
Inventors: Yukio Iizuka; 雪夫飯塚
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 1989-11-08
Filing date: 1989-11-08
Publication date: 1991-06-28
Anticipated expiration: 2010-10-04
Also published as: JPH0790882B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、たとえば半導体のような塵埃を啄端にきらう
製品の保管に採用されるクリーンルーム内の荀保管装置
に関するものである。

従来の技術従来、この種の装置としては、たとえば実開昭６３−６
７５０５号公報に見られる構造が提供さｎている。

すなわち従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが
開放しかつ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方に流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機
の吐出部を前記流路に連通している。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流絡内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。

発明が解決しようとする課題上記の従来形式によると、前記本体は、枠組体の外面に
複数枚の外装カバーを止めビスにより取付けて構成する
ものであり、この場合に送風機から流路内に圧入された
汚れたエアの一部が、コ（７）流路内が高圧化さｎてい
ることで外装カバーの接合部（継ぎ目）からクリーンル
ーム内に漏れることになって、周囲環境を汚すことにな
る。これを防止するために、止めビスを多くしたりコー
キングしたりするが、その場合に外観が悪く、かつ、コ
ーキング作業に多大の時間を要する。

本発明の目的とするところは、汚れたエアの漏れがなく
、しかも外観を向上し得るクリーンフレーム内の荷床管
装置を提供する点にある。

課題を解決するための手段上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷床管装置は、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方に隔壁を介してエア供給路を形成し、このエア供
給路に吐出部が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーン
エアを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記隔
壁の後方に本体外板を介してエア回収路を形成するとと
もに、このエア回収路を、前記送風機を配設した区画室
内に連通している。

作用かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタヲ通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給さｎる。したがって荷収納部内は、後面から
前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維
持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風機
に盟弓されて循環使用される。そしてエア供給路を形成
する隔壁は本体外板によりカバーさｎていることから、
接合部から汚れたクリーンエアが漏れないように止めビ
スを多くしたりコーキングしたりするなど、充分な処置
を施こしたとしても外部からは見えない。さらに送風機
の吸引力はエア回収路にも作用し、このエア回収路を陰
圧化しており、したがってエア供給路に高圧状態で滞留
している汚れたクリーンエアの一部が、万一、隔壁の接
合部から漏ｎたとしても、このクリーンエアは本体外板
から漏れることなく、吸引力によって速やかに送風機に
吸引さｎて再びエア供給路に供ｆ＆さｎする。

１はクリーンルームで、天井側からフィルタ２を通して
クリーンエア３を下吹きし、下降するクリーンエア３を
メツシュ形式の床４を通して床下に吸引するように構成
しである。５は密閉式の荷床管装置で、箱状の本体外板
６内には、上下方向に複数の収納空間７を区画形成した
荷収納部（棚）８が、前面を通路９に対向させて左右一
対に設けられる。こｎら荷収納部８は、通路９側に向い
た前面と反対側の後面とが開放さｎ、そして後面を覆う
ようにしてフィルタ１０を配設するとともに、このフィ
ルタ１０の後方で隔壁１８との間にエア供給路１１を形
成している。前記本体外板６内の下部には前記通路９側
に連通した区画室１２が形成され、この区画室１２内に
、その吐出部１３が前記エア供給路１１に連通した送風
機１４を設けている。この送風機１４の吸引部１５は区
画室１２内に開放し、前記荷収納部８を通って通路９に
流出したクリーンエア１６を、区画室１２を介して吸引
すべく、この区画室１２を形成する前面壁を多孔板１７
で形成している。そして前記隔壁１８と本体外板６との
間にエア回収路１９を形成し、このエア回収路】９を、
区画室１２の構成部材の一部である天板部材２０に形成
した貫通孔２１を通して、この区画室１２内に連通して
いる。前記通路９内には搬入吊装置Ｆｉｔ３０が設けら
れ、この搬入吊装置３０は、床レーρ３１と、この床レ
ール３１に車輪３２を介して支持案内され、かつ両荷収
納部８の前面に沿った一定経路上を走行自在な台車３３
と、この台車３３上から立設した支持枠３４と、この支
持枠３４内に配設したガイド体に案内される昇降台３５
と、この昇降台３５上に横方向移動自在に設けた受は渡
し装置３６とから構成される。片側の荷収納部８の下部
には、本体外板６の一部を切欠いて左右方向の貫通路２
５が形成され、との貫通路２５内には荷３８の入庫や出
庫を行う荷捌き装置２６が設けられる。前記荷３８は製
品を収納自在なケース形状であって、上部の両側面には
、前記受は便し装置３６が下方から保合自在な被係止突
条などが設けられる。

前記隔壁１８は本体外板６によりカバーさｎていること
から、接合部から汚ｎたクリーンエア１６が漏れないよ
うに、止めビスを多くした９コーキングしたりするなど
、充分な処置が施こさｎている。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷床管装置５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風機１４の稼動によって吐出部１３か
ら吐出される送気はエア供給路ｌｌ内を上昇し、そして
フィルタ１０を通ってクリーン度の高いクリーンエア１
６となり、荷収納部８に対して後面側から供給される。

したがって荷収納部８内は、後面から前面へと流れるク
リーンエア１６ニヨって高クリーン度が維持されている
。荷収納部８を通ったクリーンエア１６は通路９内に流
入し、その一部は開口部４９を通ってクリーンルーム１
内に流出するが、はとんどは多孔板１７を通って区画室
１２に流入して送風機１４に吸引され、循環使用さｎる
。さらに送風機１４の吸引力は区画室１２や貫通孔２１
を通してエア回収路１９に作用し、このエア回収路１９
を除圧（負圧）化している。したがってエア供給路１１
に高圧状態で滞留している汚れたクリーンエア１６の一
部が、万一、隔壁１８の接合部から漏れたとしても、こ
のクリーンエア１６は本体外板６から漏れることなく、
前述した吸引力によって貫通孔２１から区画室１２へと
速やかに流れ込み、送風機１４に吸引されたのち再びエ
ア供給路１１に供給される。

たとえば自走車により搬送されてきた入庫しようとする
荷３８は、貫通路２５を通して荷捌き装置２６に受は取
られ、そして搬入吊装置３ｏにおける台車３３の走行動
と、昇降台３５の昇降動と、受は渡し装置３６の受は渡
し動との組合せ動作によって、荷捌き装置２６から目的
とする収納空間７に納められる。

また逆作動によって、目的とする収納空間７の荷あを出
庫し得る。

発明の効果上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送気
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通るこ゛とで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前
面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持
することができる。そして荷収納部を通ったクリーンエ
アは再び送風機で吸引して循環使用することができる。

またエア供給路を形成する隔壁は本体外板によりカバー
していることから、接合部から汚ｎたクリーンエアが漏
れないように止めビスを多くしたりコーキングしたりす
るなど充分な処置を施こすことができ、そして処置部は
外から見えなめことから外観を向上できる。さらに送風
機の吸引力でエア回収路を陰圧化でき、したがって万一
、隔壁の接合部からクリーンエアが漏れたとしても速や
かに送風機で吸引して再びエア供給路に供給でき、本体
外板から漏れることはない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一５！施例を示す縦断正面図である。１・・・クリーンルーム、５・・・荷床管装置、６・・
・本体外板、８・・・荷収納部、１０・・・フィルタ、
】１・・・エア供給路、１２・・・区画室、１３・・・
吐出部、１４・・・送風機、１５・・・吸引部、１６・
・・クリーンエア、１７・・・多孔板、１８・・・隔壁
、１９・・・エア回収路、２１・・・貫通孔、２６・・
・荷捌き装置、３０・・・搬入吊装置、３６・・・受は
渡し装置、３８・・・荷。

Claims

【特許請求の範囲】

１、前面と後面とを開放した荷収納部の後面側にフィル
タを配設するとともに、このフィルタの後方に隔壁を介
してエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部が連
通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介
して吸引自在な送風機を設け、前記隔壁の後方に本体外
板を介してエア回収路を形成するとともに、このエア回
収路を、前記送風機を配設した区画室内に連通したこと
を特徴とするクリーンルーム内の荷保管装置。