JPH03137443A

JPH03137443A - クリーンベンチ

Info

Publication number: JPH03137443A
Application number: JP27533989A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Busujima; 弘樹毒島
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1989-10-23
Filing date: 1989-10-23
Publication date: 1991-06-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は半導体装置の製造や各種測定等に使用されるク
リーンベンチに関する。

（ロ）従来の技術一般に、クリーンルーム内で更にハイクラスの清浄空気
を局所的に得るにはクリーンベンチが使用される。この
クリーンベンチの作業台上には光学顕微鏡や酸化膜厚測
定装置等が置かれ、半導体装置製造中の条件設定や解析
等に使用されることが多い。

従来、この種のクリーンベンチは特開昭６１−２０５７
４１号公報等に記載されているように、フィルタ及び空
気吹き出し口が取り付けられた天井板と、作業機器を載
置して作業を行うｆｊ業台とこの作業台と天井板の間に
作業空間を形成するよう配設された背面板、側面板、及
び開閉自在の前面板と、前記フィルタを通過するよう空
気を循環させる電動ファンと、前記後面板に装着された
照明器具とを備えて構成されている。そして、空気吹き
出しから吐出された清浄な空気を前面板の開口から排出
させＩヤ業空間を通風することにより、ｆヤ業空間を清
浄に保つようにしている。

（ハ）発明が解決しようとする課題しかしながら、上記の構成において電動ファンの送風量
は、空気の排出口となる前面板の開口に関係なく一定で
あるため、前面板の開度が小さくなるに従い単位面積当
りの風速が速くなって過剰風量となり、例えば、実際の
使用頻度の高い前面板の開口高さ（１０〜１５ｃｍ）で
は、該開口からの風速が非常に速くなり、以下のような
問題が生じていた。

■作業者の腹部に強い風が当り不快なだけでなく、腹部
が冷えて腹痛等を起こし長時間の作業が困難となる。

■開口部付近の風速が速くなりすぎて、作業台上におけ
るランプの火炎の乱れや、試料の飛散が起こり作業能率
が低下する。

本発明は斯る点に鑑みなされたものであり、過剰風速に
よる作業者の不快感や腹痛等を防ぎ、また、作業台上に
おける火炎の乱れや試料の飛散を防止できるクリーンベ
ンチを提供することを目的とする。

（ニ）課題を解決するための手段本発明は、天井板、後面板、側面板、作業台及び開閉自
在の前面板にて内部に作業空間を形成してなり前記天井
板或るいは後面板に、フィルタ。

空気吹き出し口及び電動ファンを設けると共に、前記前
面板の開口を空気の排出口として前記作業空間を通風さ
せ該空間を清浄に保つクリーンベンチにおいて、前記電
動ファンを、前面板の開口面積に応じて風量が可変する
よう制御したものである。

（ホ）作用本発明のクリーンベンチは上記の構成により、前面板の
開度の如何に拘ずその開口の単位面積当りの風速が常に
一定になるように制御することができ、前記開口部で風
速が過剰にならないようにして、作業者の腹部に強い風
が当って不快感を起こしたり、また、腹部が冷えて腹痛
等を起こしたりするのを防ぎ、作業状態を良好にできる
。また開口部付近の風速が速くなりすぎるようなことは
なくなるため、作業台上におけるランプの火炎の乱れや
、試料の飛散を防止できる。

（へ）実施例以下、本発明の実施例を図面に基ずいて説明する。

１はクリーンベンチである。このクリーンベンチは、内
部にフィルタ２とこのフィルタに空気を送る電動ファン
３を有し、且つ、その下面に空気の吹き出し口４を、ま
たその上部前面に空気の吸い込み口６を形成した天井板
５と、作業機器を載置して作業を行う作業台７と、この
作業台と天井板５の間に作業空間８を形成するよう配設
された背面板９、ガラス製の側面板ｌＯ１及び同じくガ
ラス製で開閉自在の前面板１１と、前記背面板９に装着
された螢光灯１２，１２、及び殺菌灯１４１４とを備え
て構成されている。１３は天井板５前端部に装着された
プーリー、１５は天井板５上を摺動するバランサー　１
６は一端を前記前面板１１の内側下端に接続され他端を
前記プーリー１５を介してバランサー１６に接続された
ワイヤーであり、これらによって前面板１１は所定の開
度位置で保持される。１７は前記プーリー１３に接続さ
れ該プーリーの回転数を検出して前面板１１の開口部１
８の高さを検知するポテンシオメータ−である。１９は
前記ポテンシオメータ−１７で検出された値に基づいて
インバーター回路酸るいはスライダックにより電動ファ
ン３の回転速度を制御する制御装置である。即ち、電動
ファン３はポテンシオメータ−１７及び制御装置１９に
よって第３図に示す如く前面板１１の開口部１８の高さ
に比例した回転数に制御される。そして、この結果、開
口部１８から排出される空気の風速は常に一定に保たれ
ている。

このように構成されたクリーンベンチにおいて運転を開
始すると、電動ファン３が回り吸い込み口６がら空気を
吸い込むと共にフィルタ２で塵等を取り除いた後、吹き
出し口４を介して作業空間８に清浄された空気を放出す
る。この後、ｆヤ業空間８の空気は前面板１１の開口１
８から排出される。この結果、作業空間８を清浄に保っ
ている。

ここで、電動ファン３はポテンシオメータ−１７及び制
御装置１９によって前面板１１の開口部１８の高さに比
例した回転数に制御されているため前面板１１の開度の
如何に拘ず、開口部１８から排出される空気の風速を常
に一定に保つことができ、前記開口部１８で風速が過剰
になるのを防いで作業者の腹部に強い風が当って不快感
を起こしたり、また、腹部が冷えて腹痛等を起こしたり
するのを防ぐことができ、作業者の健康維持や作業能率
を良好にできる。また開口部１１付近の風速が速くなり
すぎるようなことはなくなるため、作業台７上における
ランプの火炎の乱れや、試料の飛散を防止できる。

尚、本実施例では電動ファン３や吹き出し口４を天井板
５に設けたものについて説明したが、後面板９等に設け
ても良く、これら電動ファン３等の位置や種類はこれに
限定されるものではない。

（ト）発明の効果以上のように本発明によれば、前面板の開度の如何に拘
ずその開口の単位面積当りの風速が常に一定になるよう
に制御することができ、前記開口部で風速が過剰になら
ないようにして、作業者の腹部に強い風が当って不快感
を起こしたり、また腹部が冷えて腹痛等を起こしたりす
るのを防ぐことができ、作業状態を良好にできる。また
開口部付近の風速が速くなりすぎるようなことはなくな
るため、作業台上におけるランプの火炎の乱れや試料の
飛散を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すクリーンベンチの斜視
図、第２図は第１図に示したクリーンベンチの要部説明
図、第３図は前面板の開口高さと電動ファンの回転速度
との関係を示すグラフ図である。１・・・クリーンベンチ、２・・・フィルタ、３・・・
電動ファン、４・・・吹き出し口、５・・・天井板、７
・・・作業台、８・・・作業空間、９・・・背面板、１
０・・・側面板、１１・・・前面板、１８・・・開口、
１９・・・制御装置。

Claims

【特許請求の範囲】

１、天井板、後面板、側面板、作業台及び開閉自在の前
面板にて内部に作業空間を形成してなり前記天井板或る
いは後面板に、フィルタ、空気吹き出し口及び電動ファ
ンを設けると共に、前記前面板の開口を空気の排出口と
して前記作業空間を通風させ該空間を清浄に保つクリー
ンベンチにおいて、前記電動ファンは、前面板の開口面
積に応じて風量が可変するよう制御されていることを特
徴とするクリーンベンチ。