JPH03126869A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明はプラスチック、例えばポリエチレン、ポリプロ
ピレン等の帯状フィルムにアルミニウム等の金属あるい
はセラミックス等の非金属を蒸着する装置に関する。

（従来の技術） 第３図は、プラスチンクフィルム等、可撓性の帯状基板
にアルミニウム等を蒸着する装置として、さきに本発明
の発明者らが発明し、特願昭６２−２７１９２３号とし
て特許出願した、連続真空蒸着装置を示す概略縦断面図
である。

この図において、（１）は帯状の蒸着基板、（２）は蒸
着室、（３）は冷却ロール、（４）は蒸着材収納容器（
るつぼ）である、（７）はケーシング、（８）はシール
ロール、（９）はシール牟反であって、これらケーシン
グ（７）、シールロール（８）およびシール仮（９）に
よって、真空シール装置（１０）が形成されている。（
１１）は上記真空シール装置（ｌＯ）によって複数段に
仕切られた減圧室であって、それぞれ真空配管（１２）
によって真空排気装置（１３）に連通している。上記蒸
着室（２）もこの真空排気装置（１３）に連通している
。

このような装置において、複数段の減圧室（１１）と蒸
着室（２）は真空排気装置（１３）によって排気され、
大気圧から蒸着室（２）内の圧力まで、圧力が段階的に
減少する。図示しない大気中の払出しリール：ら払出さ
れた帯状の基板（１）は、複数段の減圧室（１１）を経
て蒸着室（２）に至り、再び上記減圧室（１１を経て大
気中に搬出され、図示しない巻取りり・ルに巻取られる
。その間に基板（１）は、蒸着室（２）Ｆにおいて冷却
ロール（３）に巻付きながら、るっぽ（・内から蒸発す
るアルミニウム等、蒸着材の蒸気（より蒸着される。こ
のような装置によれば、Ｗ４１（１）を高速で通板でき
、生産性向上に有効である。

（発明が解決しようとするｉ！！！題〕蒸着室（２）を
大気に開放する時には、るつぼ（４）Ｑ破損を防止する
ため、その都度蒸着材を排出し、るつぼ（４）内の手入
れを行なった後、新しい蒸着杉を装填する必要がある。

ところが前記のような連続真空蒸着装置で用しられるる
つぼ（４）は長尺であって、るつぼ自体の用量が２０〜
数１０ｋｇに達するので、アルミニウム等の蒸着材を入
れたまま取上げるのは困難である。そこでまするつぼ内
の蒸着材をひしゃく状の物で汲み出した後、るつぼを取
出して手入れを行なっている。この汲み出しに長時間を
要し、その間にるつぼが酸化するので、その後の手入れ
にがなりの労力を要するばかりでなく、るつぼの寿命も
短くなる。

本発明は、この蒸着材の汲み出しに要する時間を短縮す
ることを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、前記目的を達成するために、真空排気装置に
よって排気される減圧室と蒸着室とを有し、蒸着基板を
大気中から順次上記減圧室、上記蒸着室、上記減圧室を
経て再び大気中へと走行させつつ、上記蒸着室内で蒸着
材収納容器に収納された蒸着材を蒸発させて上記蒸着基
板に真空草着を施すものにおいて、密閉でき、かつ内部
が弁を介して上記真空排気装置に連通する茎着材吸出し
容器と、一端が上記芸着材吸出し容器内に連通ずる吸出
し管と、上記吸出し管の他端を上記蒸着材収納容器内へ
出し入れする手段とを備えたことを特徴とする連続真空
蒸着装置を提案するものである。

〔作用〕

本発明は前記のとおり構成されているので、蒸着材吸出
し容器を密閉し、吸出し管の先端を蒸着材収納容器内の
蒸着材中へ挿入した後、蒸着材吸出し容器を真空排気装
置に、弁を開いて連通させれば、蒸着材収納容器内の蒸
着材が蒸着材吸出し容器内に吸出される。

〔実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示す概略縦断面図である。

この図において、前記第３図により説明した従来のもの
と同様の部分については、冗長になるのを避けるため、
同一の符号を付は詳しい説明を省略する。

ここで新しく用いる符号について記すと、（２１）は蒸
着材吸出し容器であって、ふた（２１ａ）によって密閉
でき、内部が真空配管（２２）、フレキシブルホース（
２３）、止め弁（２４）を介して真空排気装置（１３）
に連通している。（２１ｂ）はスプランシュ防止板、（
２１ｃ）は吊り具、（２５）はり−ク弁である。

（２９）はホイストフックである。（２６）は喚出し管
であって、一端が上記吸出し容器（２１）内に連通しで
いる。

（２ａ）は蒸着室（２）の底部部材で、着脱自在になっ
ている。（５）はアルミニウム等の蒸着剤、（６）は誘
導加熱装置のような加熱手段である。（１４）は水封ポ
ンプ、（１５）はルーツ式真空ポンプ（メカニカルブー
スター）　、（１６）は油拡散ポンプ、（１７）は止め
弁である。

さて、このような装置において、帯状の基板（１）を大
気中から蒸着室（２）へ、さらに再び大気中へと連続的
に走行させつつ、同基板（１）に真空蒸着を施すことは
、前εｄ食来の装置と同様である。

所定の時間（例えば１０〜２０時間）連続して蒸着を行
なった後には、るつぼ（４）内の不純物除去とるつぼ（
４）のメンテナンス、あるいはｙ着装置のメンテナンス
等のため、−旦蒸着装置を大気に開放する必要がある。

この時るつぼ（４）周辺を含む蒸着室（２）の底部部材
（２ａ）を、−旦薄着装置から切離してるつぼ（４）の
上方を開放し、アルミニウム（５）の汲み出し作業を行
なう。

吸出し容２３（２１）の上部には脱着可能な吸出し管（
２６）と吸出し容２３（２１）内を真空引する真空配管
（２２）、吸出し容器（２１）をホイスト等のフック（
２９）を引掛は移動させるための吊り具（２１ｃ）等が
設けられている。吸出し容器（２１）の上部内側の真空
配管（２２）との接続部には、吸い出したアルミニウム
のスプラッシュが真空配管（２２）内に吸い込まれるの
を防ぐため、スプラッシュ防止板（２１ｂ）が設けられ
ている。真空配管（２２）は、真空排気装置（１３）中
の水封ポンプ（１４）と、２段目の減圧室の真空排気ラ
イン（Ｉ８）の止め弁（１７）との間に設けられた枝管
（１９）および止め弁（２４）に、フレキシブルホース
（２３）で連結されている。またこのフレキシブルホー
ス（２３）を熱風から保護するために、真空配管（２２
）にはリーク弁（２５）が設けられている。

以するつぼ（４）内のアルごニウム（５）を吸い出す手
順について記す。

まず、蒸着中に１４００°Ｃ程度に保たれていたるつぼ
（４）およびアルさニウム（５）を、真空中でアルミニ
ウムが凝固しない程度の温度、例えば８００”Ｃまで冷
却した後、大気に開放し、蒸着室底部部材（２ａ）を茎
着装置から分離してるつぼ（４）上方を開放する。

次に止め弁（１７）およびリーク弁（２５）を閉し、止
め弁（２４）を開いて、水封ポンプ（１４）を起動する
。

そしてホイスト等のフック（２９）を吊り具（２１，ｃ
）に引掛け、吸出し容器（２１）を移動して、吸出し管
（２６）の先端をるつぼ（４）内のアル４ニウム溶湯（
５）内に２１　？Ｈする。そうするとるつぼ（４）内の
アルミニウムｉ８　？Ａは数秒で吸出し容器（２１）内
に吸い込まれ、吸出し容器（２１）内で凝固する。吸い
出し末期になると、アルミニウム（５）と周囲の空気と
が一緒に吸い込まれるため、フレキシブルホース（２３
）内を流れる空気温度が上昇し、フレキシブルホースが
焼損ｒる恐れがある。そこで吸い出し末期には、リーク
弁（２５）を開き室温の空気を吸い込ませて、フレキシ
ブルホース（２３）内の空気温度の上昇を防止する。

吸い出し完了後は、ホイスト等の移動手段により吸出し
容器（２１）をるつぼ（４）上方から他に移動し、るつ
ぼ（４）を図示しない取出し手段により取出すか、また
は再度アルミニウムを充填し、蒸着室底部部材（２ａ）
を蒸着装置に装着して、真空引、加熱を開始する。吸出
し容器（２１）内のアルミニウムは、凝固後に容器から
取出して、廃却もしくは再生する。

減圧室（１１）は、差圧排気によって、例えば１段目４
００Ｔｏｒｒ、２段目１５０Ｔｏｒｒ、３段目５０丁ｏ
ｒｒ、４段目５　Ｔｏｒｒ、５段目０．０２Ｔｏｒｒ、
６段目（蒸着室）１．０−’Ｔｏｒｒという具合に、順
次大気から真空へと圧力が低下していく。当然その部分
を真空排気する真空ポンプもその圧力以下の到達能力を
備えている０本実施例では２段目の真空ポンプとして水
封式ポンプ（１４）を用いているので、その到達圧力は
数１０Ｔｏｒｒとなる。そこで、２段目のポンプと２段
目の真空ラインの止め弁（１７）との間に枝管（１９）
を設け、アルミニウム吸出し容器（２１）との間を接続
すると、吸出し容器の内圧はアルミニウムを吸い込むに
充分な圧力となる。

次に吸出し容器（２Ｉ）を更に効率よく移動させるトラ
バース装置の例を第２図により説明する。この装置は、
るつぼ（４）の近傍にあって、るつぼ（４）の長手方向
に延び、上下一対となったレール（３１）と、吸出し容
器（２１）を乗せる吸出し容器受台（３２）と、その吸
出し容器受台（３２）に接続し、レール（３１）上を移
動する台車（３３〉と、レール（３１）および吸出し容
器受台（３２）を昇降させるための図示しない昇降装置
とによって構成される。このトラバース装置は図示しな
い昇降装置によりレール（３１）および吸出し容器受台
（３２）をその上限まで上昇させた状態で、ホイスト等
の移動手段を用い、吸出し容器（２Ｉ）を吸出し容器受
台（３２）に乗せる。それから図示しない昇降装置によ
って、レール（３１）とともに吸出し容器受台（３２）
および吸出し容２ｉｉ（２１）を降下させ、吸出し管（
２６）の先端をるつぼ（４）内のアルミニウム溶湯（５
）中に浸漬するのである６〔発明の効果〕 本発明によれば次の効果が得られる。

（ア）蒸着材収納容器内の蒸着材が数秒で排出されるの
で、蒸着材収納容器の焼）員が最小限に抑制され、その
後の手入が短時間で済むとともに、茄着材収納容器の寿
命が長くなる。

（イ）蒸着材吸出し容器の真空排気を、減圧室や茅着室
を排気する真空排気装置の一部を利用して行なうので、
専用の真空排気装置を設ける必要がない。したがって設
備費の増加を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略縦断面図、第２図
はこの実施例における蒸着材吸出し容器のトラバース装
置の一例を示す側面図である。第３図は従来の連続真空
蒸着装置の一例を示す概略縦断面図である。 （１）・・・基板、　　　　　　　（２）・・・蒸着室
、（２ａ）・・・蒸着室底部部材、（３）・・・冷却ロ
ール、（４）・・・蒸着材収納容器（るつぼ）、（５）
・・・薫着材（アルミニウム）、（６）・・・加熱装置
、　　　　　（７）・・・ケーシング、（８）・・・シ
ールロール、（９）・・・シール板、（］Ｏ）・・・真
空シール装置、（１１）・・・減圧室、（１２）・・・
真空配管、　　　（１３）・・・真空排気装置、（１４
）・・・水利ポンプ、（Ｉ５）・・・ルーツ式真空ポン
プ、（工６）・・・油拡散ポンプ、　（１７）・・・止
め弁（１９）・・・枝管、　　（２１）・・・（蒸着材
）吸出し容器、（２１ａ）・・・ふた、　　（２１ｂ）
・・・スプラノンユ防止仮、（２１ｃ）・・・吊り具、
　　　　（２２）・・・真空配管、（２３）・・・フレ
キシブルホース、（２４）・・・止め弁、（２５）・・
・リーク弁、　　　　（２６）・・・吸出し管、（３１
）・・・レール、　　　　（３２）・・・吸出し容器受
台、（３３）・・・台車。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　真空排気装置によって排気される減圧室と蒸着室とを
   有し、蒸着基板を大気中から順次上記減圧室、上記蒸着
   室、上記減圧室を経て再び大気中へと走行させつつ、上
   記蒸着室内で蒸着材収納容器に収納された蒸着材を蒸発
   させて上記蒸着基板に真空蒸着を施すものにおいて、密
   閉でき、かつ内部が弁を介して上記真空排気装置に連通
   する蒸着材吸出し容器と、一端が上記蒸着材吸出し容器
   内に連通する吸出し管と、上記吸出し管の他端を上記蒸
   着材収納容器内へ出し入れする手段とを備えたことを特
   徴とする連続真空蒸着装置。