JPH03123785A - シクロテトラシラン誘導体、その製造法および製造用中間体 - Google Patents
シクロテトラシラン誘導体、その製造法および製造用中間体Info
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- JPH03123785A JPH03123785A JP1263252A JP26325289A JPH03123785A JP H03123785 A JPH03123785 A JP H03123785A JP 1263252 A JP1263252 A JP 1263252A JP 26325289 A JP26325289 A JP 26325289A JP H03123785 A JPH03123785 A JP H03123785A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
- Y02P20/52—Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts
Landscapes
- Low-Molecular Organic Synthesis Reactions Using Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、置換基として電子供与性基を有する式(1)
で示される1、1−ジクロロ−1,2,2−トリメチル
−2−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシラン(以下
、ジシラン(n)と称する)、およびそれらの製造法に
関する。
−2−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシラン(以下
、ジシラン(n)と称する)、およびそれらの製造法に
関する。
本発明のシクロテトラシラン(1)およびジシラン(n
)はいずれも文献未載の化合物である。
)はいずれも文献未載の化合物である。
(従来の技術)
従来、シクロテトラシラン類の製造方法としては、−数
式(rV) (式中、RおよびR′は同一または相異っており、水素
原子、アルキル基、アリール基またはアルキル置換シリ
ル基を表わす)で示されるシクロテトラシランを製造す
る方法が知られており、RおよびR′が同一または相異
っており、メチル基、エチル基、プロピル基。
式(rV) (式中、RおよびR′は同一または相異っており、水素
原子、アルキル基、アリール基またはアルキル置換シリ
ル基を表わす)で示されるシクロテトラシランを製造す
る方法が知られており、RおよびR′が同一または相異
っており、メチル基、エチル基、プロピル基。
5ec−ブチル基、tart−ブチル基、イソブチル基
であるシクロテトラシランの製造法がオルガノメタリッ
クス(Organometallics) mum 1
41(1984)に、RおよびR′が同一で、ネオペン
チル基であるシクロテトラシランの製造法がケミストリ
イレターズ(Chemistry Letters)、
1985,1005(1985)に、RおよびR′が同
一で、トリメチルシリル基あるいはジメチルエチルシリ
ル基であるシクロテトラシランの製造法がケミストリイ
レターズ(Chemistry Letters)、1
986.1643(1986)に、Rが水素原子、R′
が2,6−ジイツプロビルフエニル基であるシクロテト
ラシランの製造法がケミストリイレターズ(Chemi
stry Letters)、■87,227(198
7)にそれぞれ開示されているが、いずれもケイ素−ケ
イ素結合よりなる四員環に置換基として電子供与性基を
導入したシクロテトラシランは見い出されていない。
であるシクロテトラシランの製造法がオルガノメタリッ
クス(Organometallics) mum 1
41(1984)に、RおよびR′が同一で、ネオペン
チル基であるシクロテトラシランの製造法がケミストリ
イレターズ(Chemistry Letters)、
1985,1005(1985)に、RおよびR′が同
一で、トリメチルシリル基あるいはジメチルエチルシリ
ル基であるシクロテトラシランの製造法がケミストリイ
レターズ(Chemistry Letters)、1
986.1643(1986)に、Rが水素原子、R′
が2,6−ジイツプロビルフエニル基であるシクロテト
ラシランの製造法がケミストリイレターズ(Chemi
stry Letters)、■87,227(198
7)にそれぞれ開示されているが、いずれもケイ素−ケ
イ素結合よりなる四員環に置換基として電子供与性基を
導入したシクロテトラシランは見い出されていない。
また、1,1.2−トリクロロ−1,2,2−トリメチ
ルジシランの2位のケイ素のみに選択的にアリール基を
導入する方法としては、本出願人が先に出願した特願昭
61−32807号(特開昭62−192389号)に
フェニル基を、特願平1−54555号にトリプルオロ
メチル置換フェニル基を導入したジシランが開示されて
いるが、4−ジメチルアミノフェニル基を導入したジシ
ランは見い出されていない。
ルジシランの2位のケイ素のみに選択的にアリール基を
導入する方法としては、本出願人が先に出願した特願昭
61−32807号(特開昭62−192389号)に
フェニル基を、特願平1−54555号にトリプルオロ
メチル置換フェニル基を導入したジシランが開示されて
いるが、4−ジメチルアミノフェニル基を導入したジシ
ランは見い出されていない。
(発明が解決すべき問題点)
従来のシクロテトラシラン類は、前述の一般式[IV]
で示されるように、ケイ素−ケイ素結合よりなる四員環
に、置換基としてアルキル基、アリール基またはアルキ
ル置換シリル基を導入したシクロテトラシランのみであ
り、本発明の如く置換基として電子供与性基を導入した
シクロテトラシランは見い出されていない。
で示されるように、ケイ素−ケイ素結合よりなる四員環
に、置換基としてアルキル基、アリール基またはアルキ
ル置換シリル基を導入したシクロテトラシランのみであ
り、本発明の如く置換基として電子供与性基を導入した
シクロテトラシランは見い出されていない。
本発明は電子供与性基である4−ジメチルアミノフェニ
ル基を有するシリル基を置換基とするシクロテトラシラ
ン〔I〕、およびその製造用中間体であるジシラン([
3を提供するものである。
ル基を有するシリル基を置換基とするシクロテトラシラ
ン〔I〕、およびその製造用中間体であるジシラン([
3を提供するものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明者らはシクロテトラシラン(1)の製造法として
、式(III) で示される1、1.2−トリクロロ−1,2,2−トリ
メチルジシラン(以下、ジシラン(I[[)と称する)
と4−ジメチルアミノフェニルマグネシウムハライド(
以下、グリニヤール試薬と称する)とを、遷移金属触媒
の存在下に反応させてジシラン(II)としたのち、ジ
シラン(II)をアルカリ金属またはアルカリ土類金属
の存在下に縮合反応させることによりシクロテトラシラ
ン(1)が得られることを見い出し、本発明を完成した
ものである。
、式(III) で示される1、1.2−トリクロロ−1,2,2−トリ
メチルジシラン(以下、ジシラン(I[[)と称する)
と4−ジメチルアミノフェニルマグネシウムハライド(
以下、グリニヤール試薬と称する)とを、遷移金属触媒
の存在下に反応させてジシラン(II)としたのち、ジ
シラン(II)をアルカリ金属またはアルカリ土類金属
の存在下に縮合反応させることによりシクロテトラシラ
ン(1)が得られることを見い出し、本発明を完成した
ものである。
乏ンラ」仁m
本発明のジシラン(II)の製造法は、ジシラン(m)
とグリニヤール試薬とを遷移金属触媒の存在下に反応さ
せることにより1選択性良くジシラン(II)が得られ
る。
とグリニヤール試薬とを遷移金属触媒の存在下に反応さ
せることにより1選択性良くジシラン(II)が得られ
る。
この反応で用いる遷移金属触媒の代表的なものとしては
、塩化第−鋼(CaC2)、ヨウ化第−綱(Cu I
)、塩化ニッケル(NiCQ、)、などの銅またはニッ
ケルのハロゲン化合物が例示されるが、これらに限定さ
れるものではない。
、塩化第−鋼(CaC2)、ヨウ化第−綱(Cu I
)、塩化ニッケル(NiCQ、)、などの銅またはニッ
ケルのハロゲン化合物が例示されるが、これらに限定さ
れるものではない。
本発明の原料であるジシラン(m)は、塩化メチルと金
属ケイ素とからジクロロメチルシランを合成するさいに
副生するジシラン留分より得られる。また、グリニヤー
ル試薬としては4−ジメチルアミノフェニルマグネシウ
ムブロマイドや4−ジメチルアミノフェニルマグネシウ
ムクロライドのような4−ジメチルアミノフェニルマグ
ネシウムハライドが用いられる。
属ケイ素とからジクロロメチルシランを合成するさいに
副生するジシラン留分より得られる。また、グリニヤー
ル試薬としては4−ジメチルアミノフェニルマグネシウ
ムブロマイドや4−ジメチルアミノフェニルマグネシウ
ムクロライドのような4−ジメチルアミノフェニルマグ
ネシウムハライドが用いられる。
本製造法における原料であるジシラン(m)とグリニヤ
ール試薬は化学当量で使用すればよいが、必ずしもこれ
に限定されるものではない。
ール試薬は化学当量で使用すればよいが、必ずしもこれ
に限定されるものではない。
本発明のジシラン(II)の最適な製造法は、ジシラン
(III)約1当量とグリニヤール試薬約1当量とを0
.01〜0.1当量の遷移金属触媒の存在下に、非プロ
トン性溶媒、たとえばn−へキサン、テトラヒドロフラ
ン、エチルエーテル、トルエン、ベンゼンなどの溶媒中
で反応させる。
(III)約1当量とグリニヤール試薬約1当量とを0
.01〜0.1当量の遷移金属触媒の存在下に、非プロ
トン性溶媒、たとえばn−へキサン、テトラヒドロフラ
ン、エチルエーテル、トルエン、ベンゼンなどの溶媒中
で反応させる。
反応温度は0〜50℃が好適であり1通常は1〜12時
間で反応は完結するが、これらの反応条件に限定されな
い1反応終了後、蒸留などの常法の精製法により精製し
、ジシラン(III)に対して70%以上の収率で高純
度のジシラン(II)が得られる。
間で反応は完結するが、これらの反応条件に限定されな
い1反応終了後、蒸留などの常法の精製法により精製し
、ジシラン(III)に対して70%以上の収率で高純
度のジシラン(II)が得られる。
シクロ−ジシラン !
本発明のシクロテトラシラン(I)の製造法は、ジシラ
ン(If)をアルカリ金属またはアルカリ土類金属の存
在下に縮合反応させるものである。
ン(If)をアルカリ金属またはアルカリ土類金属の存
在下に縮合反応させるものである。
この反応で用いるアルカリ金属としてはリチウム、ナト
リウム、カリウムなどが、アルカリ土類金属としてはマ
グネシウム、カルシウムなどが好ましく、特にリチウム
、ナトリウム、カリウムが好適である。
リウム、カリウムなどが、アルカリ土類金属としてはマ
グネシウム、カルシウムなどが好ましく、特にリチウム
、ナトリウム、カリウムが好適である。
本発明のシクロテトラシラン(1)の最適な製造法はジ
シラン〔■〕1当量に対してアルカリ金属またはアルカ
リ土類金属は最少2当量必要であり2通常は2〜3当量
用いる。縮合反応は非プロトン性溶媒、たとえば、n−
ペンタン、n−ヘキサン、ベンゼン、トルエン、テトラ
ヒドロフランなどの溶媒中で行う6反応温度は0℃以上
、反応溶媒の沸点以下で行う0反応時間は使用するアル
カリ金属またはアルカリ土類金属の種類9反応溶媒や反
応温度により変動するが1通常は1〜100時間を要す
る0反応終了後。
シラン〔■〕1当量に対してアルカリ金属またはアルカ
リ土類金属は最少2当量必要であり2通常は2〜3当量
用いる。縮合反応は非プロトン性溶媒、たとえば、n−
ペンタン、n−ヘキサン、ベンゼン、トルエン、テトラ
ヒドロフランなどの溶媒中で行う6反応温度は0℃以上
、反応溶媒の沸点以下で行う0反応時間は使用するアル
カリ金属またはアルカリ土類金属の種類9反応溶媒や反
応温度により変動するが1通常は1〜100時間を要す
る0反応終了後。
反応溶媒を除去し、必要に応じてテトラヒドロフラン−
アルコール系で再沈殿を繰り返し、更に必要に応じて再
結晶を行うなどの手段により精製して高純度のシクロテ
トラシラン(1)が得られる。
アルコール系で再沈殿を繰り返し、更に必要に応じて再
結晶を行うなどの手段により精製して高純度のシクロテ
トラシラン(1)が得られる。
(実施例)
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例1
冷却管、滴下ロート、温度計および撹拌機を備えたIQ
四つロフラスコに、1,1.2−トリクロロ−1,2,
2−トリメチルジシラン103.8g(0,5モル)。
四つロフラスコに、1,1.2−トリクロロ−1,2,
2−トリメチルジシラン103.8g(0,5モル)。
ヨウ化第−綱9.5g(0,05モル)およびエチルエ
ーテル200gを仕込み、撹拌しなから4−ジメチルア
ミノフェニルマグネシウムブロマイド90.5g(0゜
5モル)のエチルエーテル溶液を、反応温度を25〜3
0℃に保ちながら3時間を要して滴下した。
ーテル200gを仕込み、撹拌しなから4−ジメチルア
ミノフェニルマグネシウムブロマイド90.5g(0゜
5モル)のエチルエーテル溶液を、反応温度を25〜3
0℃に保ちながら3時間を要して滴下した。
滴下終了後、引続き25〜30℃で2時間撹拌を続は反
応を完結させた。反応終了後、副生じたマグネラム塩を
炉別して得た生成物の少量を、水素化アルミニウムリチ
ウムで還元し、還元生成物の1H−核磁気共鳴スペクト
ル(coco3)を測定した結果、1,1−ジクロロ−
1,2,2−トリメチル−2−(4−ジメチルアミノフ
ェニル)ジシランと1,2−ジクロロ−1,2,2−ト
リメチル−1−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシラ
ンの割合は99:1であり、すこぶる良好な選択性を示
した0次いで蒸留により精製して、1,1−ジクロロ−
1,2,21−ジメチル−2−(4−ジメチルアミノフ
ェニル)ジシラン102゜3gを得た。収率70%。
応を完結させた。反応終了後、副生じたマグネラム塩を
炉別して得た生成物の少量を、水素化アルミニウムリチ
ウムで還元し、還元生成物の1H−核磁気共鳴スペクト
ル(coco3)を測定した結果、1,1−ジクロロ−
1,2,2−トリメチル−2−(4−ジメチルアミノフ
ェニル)ジシランと1,2−ジクロロ−1,2,2−ト
リメチル−1−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシラ
ンの割合は99:1であり、すこぶる良好な選択性を示
した0次いで蒸留により精製して、1,1−ジクロロ−
1,2,21−ジメチル−2−(4−ジメチルアミノフ
ェニル)ジシラン102゜3gを得た。収率70%。
沸 点: 140〜143℃/1#5++mHgマ
ススペクトル: 291(M”) 0.75 (s、3H,C4−3i−Cjj、)■ 3 (s、6H,−N遵坦−よ)6.7〜7.
6(m*4HtKと) 実施例2 られた結晶をアセトニトリルで再結晶し、粉末状の1.
2,3.4−テトラキス−(4−ジメチルアミノフエニ
ルジメチルシリル)−1,2,3,4−テトラメチルシ
クロテトラシラン2.8gを得た。収率9.3%冷却管
、滴下ロート、温度計および撹拌機を備えた500mM
四つロフラスコをアルゴン置換したのちに、トルエン1
00gおよびナトリウム6.3g(0,274モル)を
仕込み、撹拌しながら実施例1で得た1、1−ジクロロ
−1,2,2−トリメチル−2−(4−ジメチルアミノ
フェニル)ジシラン40g(0,137モル)のトルエ
ン溶液を、反応温度を50℃以下に保ちながら1時間を
要して滴下した0滴下終了後、引続き50℃で40時間
反応する0反応終了後、室温まで冷却し、メタノール5
0gを加え、更に水150.を加えて分液する。有機層
を濃縮し、トルエンを留去した濃縮残にテトラヒドロフ
ラン16gを加え、撹拌しながらエタノール300gを
滴下し、不溶物を濾過する。濾液を室温で1昼夜放置し
、析出した結晶を濾過して取得する。得2.9 (
s、6H,−N遵連0□)6.7〜7.35(■*4H
e−!#:)マススペクトル(フィニガンマットTSQ
70):885.7(M”) 赤外吸収スペクトル: (cm−1)2960、29
10.160?、 1520.1445.1365.1
240゜1212.1114 紫外吸収スペクトル(シクロヘキサン溶媒):λwax
273.4nta、 t 11400実施例
3 実施例2のナトリウムの代わりにリチウムを用いたほか
は実施例2と同様の操作を行い、粉末状の1.2,3.
4−テトラキス−(4−ジメチルアミノフエニルジメチ
ルシリル)−1,2,3,4−テトラメチルシクロテト
ラシランを収率11.2%で得た。
ススペクトル: 291(M”) 0.75 (s、3H,C4−3i−Cjj、)■ 3 (s、6H,−N遵坦−よ)6.7〜7.
6(m*4HtKと) 実施例2 られた結晶をアセトニトリルで再結晶し、粉末状の1.
2,3.4−テトラキス−(4−ジメチルアミノフエニ
ルジメチルシリル)−1,2,3,4−テトラメチルシ
クロテトラシラン2.8gを得た。収率9.3%冷却管
、滴下ロート、温度計および撹拌機を備えた500mM
四つロフラスコをアルゴン置換したのちに、トルエン1
00gおよびナトリウム6.3g(0,274モル)を
仕込み、撹拌しながら実施例1で得た1、1−ジクロロ
−1,2,2−トリメチル−2−(4−ジメチルアミノ
フェニル)ジシラン40g(0,137モル)のトルエ
ン溶液を、反応温度を50℃以下に保ちながら1時間を
要して滴下した0滴下終了後、引続き50℃で40時間
反応する0反応終了後、室温まで冷却し、メタノール5
0gを加え、更に水150.を加えて分液する。有機層
を濃縮し、トルエンを留去した濃縮残にテトラヒドロフ
ラン16gを加え、撹拌しながらエタノール300gを
滴下し、不溶物を濾過する。濾液を室温で1昼夜放置し
、析出した結晶を濾過して取得する。得2.9 (
s、6H,−N遵連0□)6.7〜7.35(■*4H
e−!#:)マススペクトル(フィニガンマットTSQ
70):885.7(M”) 赤外吸収スペクトル: (cm−1)2960、29
10.160?、 1520.1445.1365.1
240゜1212.1114 紫外吸収スペクトル(シクロヘキサン溶媒):λwax
273.4nta、 t 11400実施例
3 実施例2のナトリウムの代わりにリチウムを用いたほか
は実施例2と同様の操作を行い、粉末状の1.2,3.
4−テトラキス−(4−ジメチルアミノフエニルジメチ
ルシリル)−1,2,3,4−テトラメチルシクロテト
ラシランを収率11.2%で得た。
2−9 (8=6H*−Nμm−1)6.5〜7.
35(m、4H,仝) マススペクトル(フィニガンマットTSQ 70):8
85.7(M”) 赤外吸収スペクトル: (c+a−”)2960、2
910.1607.1520.1445.1365.1
240゜1212.1114 紫外吸収スペクトル(シクロヘキサン溶媒)λwax
273.4Hm、 i 11400(発明の効果) 本発明は、フォトレジスト材料、有機半導体。
35(m、4H,仝) マススペクトル(フィニガンマットTSQ 70):8
85.7(M”) 赤外吸収スペクトル: (c+a−”)2960、2
910.1607.1520.1445.1365.1
240゜1212.1114 紫外吸収スペクトル(シクロヘキサン溶媒)λwax
273.4Hm、 i 11400(発明の効果) 本発明は、フォトレジスト材料、有機半導体。
非線形光学材料、光情報記憶材料などの電子材料または
ブレセラミックスとしての機能を有する新規な化合物で
あるシクロテトラシラン(I)とその新規な製造法を提
供するものである。
ブレセラミックスとしての機能を有する新規な化合物で
あるシクロテトラシラン(I)とその新規な製造法を提
供するものである。
また、その製造用中間体である新規な化合物ジシラン(
II)とその製造法を提供するもので、1.1−ジクロ
ロジシラン型であるジシラン(If)のみを選択的に得
るものである。
II)とその製造法を提供するもので、1.1−ジクロ
ロジシラン型であるジシラン(If)のみを選択的に得
るものである。
さらに、本発明の原料であるジシラン(III)は、塩
化メチルと金属ケイ素とからジクロロジメチルシランを
合成するさいに10〜20%程度副生ずるジシラン留分
より得られるが、現在このジシラン留分は未利用のまま
貯蔵または廃棄されており、本発明はかかる未利用資源
の有効利用をはかるものである。
化メチルと金属ケイ素とからジクロロジメチルシランを
合成するさいに10〜20%程度副生ずるジシラン留分
より得られるが、現在このジシラン留分は未利用のまま
貯蔵または廃棄されており、本発明はかかる未利用資源
の有効利用をはかるものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で示される1,2,3,4−テトラキス−(4−ジメチ
ルアミノフェニルジメチルシリル)−1,2,3,4−
テトラメチルシクロテトラシラン。 2、式〔II〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔II〕 で示される1,1−ジクロロ−1,2,2−トリメチル
−2−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシランを、ア
ルカリ金属またはアルカリ土類金属の存在下に縮合反応
させることを特徴とする、請求項1記載の式〔 I 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 で示される1,2,3,4−テトラキス−(4−ジメチ
ルアミノフェニルジメチルシリル)−1,2,3,4−
テトラメチルシクロテトラシランの製造法。 3、式〔II〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔II〕 で示される1,1−ジクロロ−1,2,2−トリメチル
−2−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシラン。 4、式〔III〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔III〕 で示される1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリ
メチルジシランと4−ジメチルアミノフェニルマグネシ
ウムハライドとを、遷移金属触媒の存在下に反応させる
ことを特徴とする、請求項3記載の式〔II〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔II〕 で示される1,1−ジクロロ−1,2,2−トリメチル
−2−(4−ジメチルアミノフェニル)ジシランの製造
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1263252A JPH03123785A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | シクロテトラシラン誘導体、その製造法および製造用中間体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1263252A JPH03123785A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | シクロテトラシラン誘導体、その製造法および製造用中間体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03123785A true JPH03123785A (ja) | 1991-05-27 |
Family
ID=17386889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1263252A Pending JPH03123785A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | シクロテトラシラン誘導体、その製造法および製造用中間体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03123785A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998058936A1 (fr) * | 1997-06-20 | 1998-12-30 | Hitachi, Ltd. | Nanostructure d'organosilicie et son procede de fabrication |
WO2007025565A1 (en) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device including a coupled dielectric layer and metal layer, method of fabrication thereof, and material for coupling a dielectric layer and a metal layer in a semiconductor device |
US7803719B2 (en) | 2006-02-24 | 2010-09-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device including a coupled dielectric layer and metal layer, method of fabrication thereof, and passivating coupling material comprising multiple organic components for use in a semiconductor device |
-
1989
- 1989-10-09 JP JP1263252A patent/JPH03123785A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998058936A1 (fr) * | 1997-06-20 | 1998-12-30 | Hitachi, Ltd. | Nanostructure d'organosilicie et son procede de fabrication |
WO2007025565A1 (en) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device including a coupled dielectric layer and metal layer, method of fabrication thereof, and material for coupling a dielectric layer and a metal layer in a semiconductor device |
US7803719B2 (en) | 2006-02-24 | 2010-09-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device including a coupled dielectric layer and metal layer, method of fabrication thereof, and passivating coupling material comprising multiple organic components for use in a semiconductor device |
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