JPH0311306A - 光導波路と光ファイバの結合構造 - Google Patents
光導波路と光ファイバの結合構造Info
- Publication number
- JPH0311306A JPH0311306A JP14576889A JP14576889A JPH0311306A JP H0311306 A JPH0311306 A JP H0311306A JP 14576889 A JP14576889 A JP 14576889A JP 14576889 A JP14576889 A JP 14576889A JP H0311306 A JPH0311306 A JP H0311306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- optical waveguide
- groove
- optical
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 51
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 23
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 abstract 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、光導波路と光ファイバの結合構造に関する。
光導波路は、第４図にその一例を示したように、ＧａＡ
ｓ基板上にＧａＡｊ！Ａｓのクラッド層を、更にその上
にＧａＡｓの導波層を設けてなる光導波路基体１０の上
記導波層に線状突起部を設け、この突起部を光導波路４
となして構成したものである。
ｓ基板上にＧａＡｊ！Ａｓのクラッド層を、更にその上
にＧａＡｓの導波層を設けてなる光導波路基体１０の上
記導波層に線状突起部を設け、この突起部を光導波路４
となして構成したものである。
而して上記の光導波路と光ファイバとの従来の結合構造
は、第５図にその組立説明図を示したように、光ファイ
バ２を端面を露出して基板２１上に固定し、この基板２
１の上に先端を突出させて押え板１６を被せ、この押え
仮Ｉ６の光ファイバ２を挟む両側にガイド溝工４を設け
、−力光導波路４の基体ｌＯ側に上記ガイド溝１４と嵌
合するガイド突起１５を設け、双方を嵌合しスライドさ
せて光ファイバ２と光導波路４とを双方の端面を突き合
わせて光結合する構造のものであった。
は、第５図にその組立説明図を示したように、光ファイ
バ２を端面を露出して基板２１上に固定し、この基板２
１の上に先端を突出させて押え板１６を被せ、この押え
仮Ｉ６の光ファイバ２を挟む両側にガイド溝工４を設け
、−力光導波路４の基体ｌＯ側に上記ガイド溝１４と嵌
合するガイド突起１５を設け、双方を嵌合しスライドさ
せて光ファイバ２と光導波路４とを双方の端面を突き合
わせて光結合する構造のものであった。
〔発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記のような従来の結合構造にあっては
、光結合の為の位置合わせを光ファイバを固定載置する
基板と光導波路基体とにそれぞれ溝又は突起を設け、こ
れらを嵌合して行う為に光導波路と光ファイバとの正確
な位置決めが困難で、光軸にズレを起こし易く、更に従
来の光ファイバ７及び押え板１６からなるスペースの広
い断面矩形の溝内に固定される為に定位置に固定し難く
、このようなことから良好な光結合が得られないという
問題があった。
、光結合の為の位置合わせを光ファイバを固定載置する
基板と光導波路基体とにそれぞれ溝又は突起を設け、こ
れらを嵌合して行う為に光導波路と光ファイバとの正確
な位置決めが困難で、光軸にズレを起こし易く、更に従
来の光ファイバ７及び押え板１６からなるスペースの広
い断面矩形の溝内に固定される為に定位置に固定し難く
、このようなことから良好な光結合が得られないという
問題があった。
本発明は、かかる状況に鑑みなされたものでその目的と
するところは、高精度な光結合が容易に得られる光導波
路と光ファイバの結合構造を提供することにある。
するところは、高精度な光結合が容易に得られる光導波
路と光ファイバの結合構造を提供することにある。
即ち本発明は、基板上に少なくとも１本の直線上の■溝
が形成されており、上記■溝は光ファイバを固定する為
の■１溝と光導波路を固定する為の■２溝が同一中心線
上に連続して構成されたものであり、而して上記基板上
の■、溝と■オ溝とにそれぞれ光ファイバと光導波路と
が、双方の端面同士を光結合して固定されていることを
特徴とするものである。
が形成されており、上記■溝は光ファイバを固定する為
の■１溝と光導波路を固定する為の■２溝が同一中心線
上に連続して構成されたものであり、而して上記基板上
の■、溝と■オ溝とにそれぞれ光ファイバと光導波路と
が、双方の端面同士を光結合して固定されていることを
特徴とするものである。
本発明の結合構造においては、１枚の基板上に光ファイ
バを固定する為のＶ、溝と光導波路を固定する為の■８
溝が中心線を同じくして連続して形成され、上記ｖｌ溝
とＶ２溝の形状は、それぞれの溝に光ファイバ又は光導
波路を載置して各々の端面を突き合わせることにより、
そのままで光軸が合致するように成形されており、又上
記の各々の溝は同一基板上に形成されているので溝同士
が相互に変位するようなことがなく、依って本発明の結
合構造によれば光ファイバと光導波路との光結合が精度
よく且つ容易になされる。
バを固定する為のＶ、溝と光導波路を固定する為の■８
溝が中心線を同じくして連続して形成され、上記ｖｌ溝
とＶ２溝の形状は、それぞれの溝に光ファイバ又は光導
波路を載置して各々の端面を突き合わせることにより、
そのままで光軸が合致するように成形されており、又上
記の各々の溝は同一基板上に形成されているので溝同士
が相互に変位するようなことがなく、依って本発明の結
合構造によれば光ファイバと光導波路との光結合が精度
よく且つ容易になされる。
以下に本発明を実施例により詳細に説明する。
第１図イ〜ハは、本発明の結合構造の一実施例を示すそ
れぞれ斜視図、平面図及び側面透視図である。
れぞれ斜視図、平面図及び側面透視図である。
図において、１は単結晶のＳｔ基板、２はコア径ＬＯｎ
、外径１２５ｎのシングルモード光ファイバ、４は断面
が８−〇の光導波路で光導波路基板ｌＯに断面矩形の線
状突起部を形成したものである。
、外径１２５ｎのシングルモード光ファイバ、４は断面
が８−〇の光導波路で光導波路基板ｌＯに断面矩形の線
状突起部を形成したものである。
Ｓｉ基板ｌ上に光ファイバ２を載置する為の■。
溝３と光導波路４を載置する為のＶ２溝１３が中心線を
一致させて直線状に連続して形成され、上記■１溝３に
光ファイバ２が、又■、溝１３に光導波路４がそれぞれ
配置されており、上記光ファイバ２のコア５端面と光導
波路４の端面が上記■１溝３とＶ、溝１３の境界部分で
光軸を合わせて結合されている。
一致させて直線状に連続して形成され、上記■１溝３に
光ファイバ２が、又■、溝１３に光導波路４がそれぞれ
配置されており、上記光ファイバ２のコア５端面と光導
波路４の端面が上記■１溝３とＶ、溝１３の境界部分で
光軸を合わせて結合されている。
上記結合構造にあっては、第２図に示したように光フア
イバ２上に押え板６を被せ、これを接着剤で固着し、更
に上記押え板６と光導波路基体１０を基板１に固定具７
を左右両側から押しつけ固着して用いられる。
イバ２上に押え板６を被せ、これを接着剤で固着し、更
に上記押え板６と光導波路基体１０を基板１に固定具７
を左右両側から押しつけ固着して用いられる。
而して上記結合構造の光ファイバ２に光ビームを伝送し
たところ、光ビームは光導波路４へ効率よく伝播され良
好な光通信がなされた。
たところ、光ビームは光導波路４へ効率よく伝播され良
好な光通信がなされた。
次にＳｌ基板上に前記ｖ１溝及び■８溝を形成する方法
の一実施例を第３図イ、口を参照して説明する０図にお
いて９はレジスト膜である。
の一実施例を第３図イ、口を参照して説明する０図にお
いて９はレジスト膜である。
表面が（１００）面の単結晶のＳｔ基Ｆｉ、１上に＜１
１０＞方向に向けてＳｉ基板１の中央部迄が１６０−幅
で、その先に１６−幅の線状領域８を双方の中心線を一
致させ、Ｓｉ基板１面を貫通してマークし、次いで上記
線状領域８を残してＳｔ基板１表面をレジスト膜９によ
りマスキングしく３図イ）、次いでこれを２０°Ｃに保
持した１０％ＫＯＨ水溶液中に所定時間浸漬し１６μ幅
の線状領域が所定深さ食刻されたところでこれをｌＯ％
ＫＯＨ水溶液から引き上げ、水洗後上記食刻部分をレジ
スト膜でマスキングし、１６０Ｐａ幅の線状領域のみを
露出して再び１０％ＫＯＨ水溶液中に所定時間浸漬して
１６０ｊｗ幅の線状領域が所定深さ食刻されたところで
上記水溶液から引き上げ、水洗したのちレジスト膜９を
除去して、３１基板ｌ上に■１溝３及びｖ２溝１３を形
成した（３図口）。
１０＞方向に向けてＳｉ基板１の中央部迄が１６０−幅
で、その先に１６−幅の線状領域８を双方の中心線を一
致させ、Ｓｉ基板１面を貫通してマークし、次いで上記
線状領域８を残してＳｔ基板１表面をレジスト膜９によ
りマスキングしく３図イ）、次いでこれを２０°Ｃに保
持した１０％ＫＯＨ水溶液中に所定時間浸漬し１６μ幅
の線状領域が所定深さ食刻されたところでこれをｌＯ％
ＫＯＨ水溶液から引き上げ、水洗後上記食刻部分をレジ
スト膜でマスキングし、１６０Ｐａ幅の線状領域のみを
露出して再び１０％ＫＯＨ水溶液中に所定時間浸漬して
１６０ｊｗ幅の線状領域が所定深さ食刻されたところで
上記水溶液から引き上げ、水洗したのちレジスト膜９を
除去して、３１基板ｌ上に■１溝３及びｖ２溝１３を形
成した（３図口）。
上記において、最稠密面の（１１１）面が遅れて食刻さ
れる為、上記溝の内面には（１１１）面が露出し、その
結果基板表面の（１００）面と（１１１）面のなす角５
４．７°を傾斜角となすＶ溝が形成された。父上記のＶ
溝の深さは、Ｋ ＯＨ水溶液の濃度、温度及び上記水溶
液中への浸漬時間を予備実験により決めた所定条件に保
持することにより正確にコントロールできた。
れる為、上記溝の内面には（１１１）面が露出し、その
結果基板表面の（１００）面と（１１１）面のなす角５
４．７°を傾斜角となすＶ溝が形成された。父上記のＶ
溝の深さは、Ｋ ＯＨ水溶液の濃度、温度及び上記水溶
液中への浸漬時間を予備実験により決めた所定条件に保
持することにより正確にコントロールできた。
上記実施例では、Ｓｉ基板上に、被覆を除去した裸光フ
ァイバ部分だけを載置したが、被覆部分も載置して固定
を強化することも可能で、この場合は、Ｓｉ基板上の■
溝は、光ファイバの被覆部分を載置する溝を含め３段に
構成される。
ァイバ部分だけを載置したが、被覆部分も載置して固定
を強化することも可能で、この場合は、Ｓｉ基板上の■
溝は、光ファイバの被覆部分を載置する溝を含め３段に
構成される。
上記実施例においては、一対の光導波路と光ファイバの
結合構造について説明したが、本発明は複数対の結合構
造にも適用し得るものである。
結合構造について説明したが、本発明は複数対の結合構
造にも適用し得るものである。
以上述べたように本発明によれば、光導波路と光ファイ
バの結合が高精度に且つ容易になし得るので、工業上顕
著な効果を奏する。
バの結合が高精度に且つ容易になし得るので、工業上顕
著な効果を奏する。
第１図イ〜ハは本発明の光導波路と光ファイバの結合構
造の一実施例を示すそれぞれ斜視図、平面図及び側面透
視図、第２図は上記結合構造の光ファイバに押え板を被
せた状態及びその上に被せる蓋を示す斜視図、第３図イ
３口は上記結合構造に用いるＳｉ基板にＶ溝を形成する
方法の一実施例を示すそれぞれ平面及び側面説明図、第
４図は光導波路の一例を示す斜視図、第５図は従来の結
合構造を示す組立説明図、第６図は従来の結合構造にお
ける光ファイバの固定状態を示す断面説明図である。 ｌ・・・Ｓｉ基板、 ２・・・光ファイバ、 ３・
・・光ファイバを固定する為の■１溝、 ４・・・光導
波路、１０・・・光導波路基体、 １３・・・光導波
路を固定する為のＶ！溝。
造の一実施例を示すそれぞれ斜視図、平面図及び側面透
視図、第２図は上記結合構造の光ファイバに押え板を被
せた状態及びその上に被せる蓋を示す斜視図、第３図イ
３口は上記結合構造に用いるＳｉ基板にＶ溝を形成する
方法の一実施例を示すそれぞれ平面及び側面説明図、第
４図は光導波路の一例を示す斜視図、第５図は従来の結
合構造を示す組立説明図、第６図は従来の結合構造にお
ける光ファイバの固定状態を示す断面説明図である。 ｌ・・・Ｓｉ基板、 ２・・・光ファイバ、 ３・
・・光ファイバを固定する為の■１溝、 ４・・・光導
波路、１０・・・光導波路基体、 １３・・・光導波
路を固定する為のＶ！溝。
Claims (1)
- 基板上に少なくとも１本の直線状のＶ溝が形成されてお
り、上記り溝は光ファイバを固定する為のＶ＿１溝と光
導波路を固定する為のＶ＿２溝が同一中心線上に連続し
て構成されたものであり、而して上記基板上のＶ＿１溝
とＶ＿２溝とにそれぞれ光ファイバと光導波路とが、双
方の端面同士を光結合して固定されていることを特徴と
する光導波路と光ファイバの結合構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14576889A JPH0311306A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 光導波路と光ファイバの結合構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14576889A JPH0311306A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 光導波路と光ファイバの結合構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0311306A true JPH0311306A (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=15392715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14576889A Pending JPH0311306A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 光導波路と光ファイバの結合構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0311306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277658A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光デバイス |
| JP2016224342A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 日本電信電話株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146004A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光集積回路 |
| JPS59185306A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 光集積回路の実装法 |
| JPH02161404A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Ibiden Co Ltd | チャンネル型光導波路と光ファイバーの結合方法 |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP14576889A patent/JPH0311306A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146004A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光集積回路 |
| JPS59185306A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 光集積回路の実装法 |
| JPH02161404A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Ibiden Co Ltd | チャンネル型光導波路と光ファイバーの結合方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277658A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光デバイス |
| JP4592987B2 (ja) * | 2001-03-21 | 2010-12-08 | 古河電気工業株式会社 | 光デバイス |
| JP2016224342A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | 日本電信電話株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2696269B2 (ja) | 集積光学チップ | |
| JPH04291205A (ja) | 導波路型光デバイス | |
| JPS62500471A (ja) | 光導波管の横方向整合装置 | |
| JPH03125103A (ja) | 光フアイバと基板上の光導波路との結合装置 | |
| JPH0990171A (ja) | 多芯マイクロキャピラリとこれを用いた光導波回路と光ファイバとの接続方法 | |
| US5849204A (en) | Coupling structure for waveguide connection and process for forming the same | |
| JPH0311306A (ja) | 光導波路と光ファイバの結合構造 | |
| JPH04340507A (ja) | 光導波路部品 | |
| JPH05181036A (ja) | 光集積要素を有する光学装置及び製造方法 | |
| JPH063550A (ja) | 光ファイバーの接続部およびその製法 | |
| JPH0311305A (ja) | 光導波路と光ファイバの結合構造 | |
| JPH05134135A (ja) | 光導波路基板と光フアイバホルダとの接続方法 | |
| JPH01234806A (ja) | 光導波路装置 | |
| JPH04180004A (ja) | 光回路の接続装置 | |
| JPH0356603B2 (ja) | ||
| JP2575742Y2 (ja) | 光導波路と光ファイバの接続構造 | |
| JPH02181709A (ja) | 平面光導波路と光ファイバとの結合方法 | |
| JPS6355507A (ja) | 光コネクタフエル−ル | |
| JPH02264205A (ja) | 応急用光ファイバ及びその製造方法 | |
| JP2704094B2 (ja) | 光ファイバアレイの結合方法 | |
| JPH0519682B2 (ja) | ||
| JPH0593824A (ja) | 光コネクタ及びその製造方法 | |
| JPS63240509A (ja) | 線材位置決め部材 | |
| JPH01291204A (ja) | 導波路連結方法 | |
| JP2576344Y2 (ja) | 光導波路と光ファイバの接続構造 |