JPH063550A - 光ファイバーの接続部およびその製法 - Google Patents
光ファイバーの接続部およびその製法Info
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- JPH063550A JPH063550A JP16611992A JP16611992A JPH063550A JP H063550 A JPH063550 A JP H063550A JP 16611992 A JP16611992 A JP 16611992A JP 16611992 A JP16611992 A JP 16611992A JP H063550 A JPH063550 A JP H063550A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- face
- end faces
- optical fibers
- core
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバ−を接続する場合、その接続用端
面からの反射戻り光を防ぎ、光伝送損失の低下を殆ど生
じない光ファイバ−の接続部およびその製法の提供。 【構成】 コア部1の端面1aを含む光ファイバ−6の
接続用端面においてその接続用端面は全体的に光ファイ
バ−の軸線方向に対して略垂直面に形成され、上記コア
部1の端面1aのみが上記垂直面に対して傾斜面に形成
されていることを特徴とする光ファイバ−の接続部4。
面からの反射戻り光を防ぎ、光伝送損失の低下を殆ど生
じない光ファイバ−の接続部およびその製法の提供。 【構成】 コア部1の端面1aを含む光ファイバ−6の
接続用端面においてその接続用端面は全体的に光ファイ
バ−の軸線方向に対して略垂直面に形成され、上記コア
部1の端面1aのみが上記垂直面に対して傾斜面に形成
されていることを特徴とする光ファイバ−の接続部4。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバーの端部同
士を接続するための光ファイバーの接続部およびその製
法に関するものである。
士を接続するための光ファイバーの接続部およびその製
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、情報通信システムにおいて、通信
用ケーブルとして光ファイバーが賞用されており、この
ような光ファイバーは長距離にわたって敷設されるた
め、光ファイバー同士を接続したり、他の機器等に接続
したりして用いられている。そして、このような光ファ
イバーの接続には、従来から光ファイバーの端部に図1
0のようにフェルール3からなるコネクター4を設けて
行われている。なお、図10において、1はコア部であ
り、2はクラッド部であり、6は上記コア部1およびク
ラッド部2からなる光ファイバーである。また、10は
コア部1およびクラッド部2を被覆する保護層である。
用ケーブルとして光ファイバーが賞用されており、この
ような光ファイバーは長距離にわたって敷設されるた
め、光ファイバー同士を接続したり、他の機器等に接続
したりして用いられている。そして、このような光ファ
イバーの接続には、従来から光ファイバーの端部に図1
0のようにフェルール3からなるコネクター4を設けて
行われている。なお、図10において、1はコア部であ
り、2はクラッド部であり、6は上記コア部1およびク
ラッド部2からなる光ファイバーである。また、10は
コア部1およびクラッド部2を被覆する保護層である。
【0003】このコネクターの接続に関し、従来は図1
0のようにコネクターの接続用端面およびその端面に露
呈している光ファイバーの接続用端面を垂直面(光ファ
イバーの軸方向に対して垂直)に形成し、一方および他
方の光ファイバーの上記垂直面どうしを突き合わせ接合
していた。この場合、コネクターの接続用端面は垂直面
になっていることから加工の際に精度を出しやすく、相
互に密着させやすい。しかしながら、光ファイバーの接
続用端面では、それらを密着させたつもりでも微小な空
気層が生じるのであり、これは本質的に防ぎ切れない。
そのため、この空気層の存在により光ファイバー中を伝
送されてきた光の一部が上記光ファイバーの接続用端面
において、光ファイバーと空気層との屈折率の差により
反射され、光ファイバー中を逆方向に走行するという反
射戻り光が生じ、光源に雑音として影響したり、光伝送
損失が大きくなる。
0のようにコネクターの接続用端面およびその端面に露
呈している光ファイバーの接続用端面を垂直面(光ファ
イバーの軸方向に対して垂直)に形成し、一方および他
方の光ファイバーの上記垂直面どうしを突き合わせ接合
していた。この場合、コネクターの接続用端面は垂直面
になっていることから加工の際に精度を出しやすく、相
互に密着させやすい。しかしながら、光ファイバーの接
続用端面では、それらを密着させたつもりでも微小な空
気層が生じるのであり、これは本質的に防ぎ切れない。
そのため、この空気層の存在により光ファイバー中を伝
送されてきた光の一部が上記光ファイバーの接続用端面
において、光ファイバーと空気層との屈折率の差により
反射され、光ファイバー中を逆方向に走行するという反
射戻り光が生じ、光源に雑音として影響したり、光伝送
損失が大きくなる。
【0004】この欠点を解消するため、図9のように接
合すべきコネクターの接続用端面を光ファイバーの接続
用端面を含んで斜面に研磨し、先に述べた空気層の存在
で生じる反射した光を図示のようにクラッド2へ逃が
し、反射戻り光による光源への雑音を少なくする技術が
提案された。なお、図9において、図10と同一部分に
は同一の符号を付している。また、θは、接続用端面の
傾斜角度である。
合すべきコネクターの接続用端面を光ファイバーの接続
用端面を含んで斜面に研磨し、先に述べた空気層の存在
で生じる反射した光を図示のようにクラッド2へ逃が
し、反射戻り光による光源への雑音を少なくする技術が
提案された。なお、図9において、図10と同一部分に
は同一の符号を付している。また、θは、接続用端面の
傾斜角度である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記提案は反射戻り光
を少なくする点では充分である。しかしながら、斜面に
研磨する場合、一方の光ファイバーのコネクターの接続
用端面(光ファイバーの接続用端面も含まれている)の
傾斜角度にぴったりと合うように、他方の光ファイバー
のコネクターの接続用端面を研磨することは困難であ
り、上記一方および他方のコネクターの接続用端面を突
き合わせ接合すると、かなりの隙間を生じるという施工
上の難点が生じる。すなわち、実際の施工では、一方お
よび他方のコネクターの接続用端面間の空隙が大きくな
り、光伝送損失が低下する。また、端面の傾斜角度を一
致させても、微小な空気層の存在により平行な両端面間
で多重反射を生じ、これが再びコアに戻り反射戻り光と
なる場合がある。
を少なくする点では充分である。しかしながら、斜面に
研磨する場合、一方の光ファイバーのコネクターの接続
用端面(光ファイバーの接続用端面も含まれている)の
傾斜角度にぴったりと合うように、他方の光ファイバー
のコネクターの接続用端面を研磨することは困難であ
り、上記一方および他方のコネクターの接続用端面を突
き合わせ接合すると、かなりの隙間を生じるという施工
上の難点が生じる。すなわち、実際の施工では、一方お
よび他方のコネクターの接続用端面間の空隙が大きくな
り、光伝送損失が低下する。また、端面の傾斜角度を一
致させても、微小な空気層の存在により平行な両端面間
で多重反射を生じ、これが再びコアに戻り反射戻り光と
なる場合がある。
【0006】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、光ファイバーを接続する場合、その接続用端面
からの反射戻り光および多重反射を防ぎ、光伝送損失の
低下を殆ど生じない光ファイバーの接続部およびその製
法の提供を目的とする。
もので、光ファイバーを接続する場合、その接続用端面
からの反射戻り光および多重反射を防ぎ、光伝送損失の
低下を殆ど生じない光ファイバーの接続部およびその製
法の提供を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、コア部の端面を含む光ファイバーの接続
用端面においてその接続用端面は全体的に光ファイバー
の軸線方向に対して略垂直面に形成され、上記コア部の
端面のみが上記垂直面に対して傾斜面に形成されている
光ファイバーの接続部を第1の要旨とし、接続部用端面
が全体的に光ファイバーの軸線方向に対して略垂直面に
形成された光ファイバーを準備し、その接続用端面にレ
ジスト膜を形成し、その状態で上記光ファイバーの上記
接続用端面と反対側の端面からその光ファイバーに光を
入れて露光した後、焼付け現像することにより上記接続
用端面に光ファイバーのコア部分のみが露呈した状態の
マスキング膜を形成し、ついで、上記露呈したコア部の
端面に対して相対的に斜めにエッチングすることによ
り、上記コア部の端面を上記垂直面に対して傾斜してい
る傾斜面に形成することを特徴とする光ファイバーの接
続部の製法を第2の要旨とする。
め、本発明は、コア部の端面を含む光ファイバーの接続
用端面においてその接続用端面は全体的に光ファイバー
の軸線方向に対して略垂直面に形成され、上記コア部の
端面のみが上記垂直面に対して傾斜面に形成されている
光ファイバーの接続部を第1の要旨とし、接続部用端面
が全体的に光ファイバーの軸線方向に対して略垂直面に
形成された光ファイバーを準備し、その接続用端面にレ
ジスト膜を形成し、その状態で上記光ファイバーの上記
接続用端面と反対側の端面からその光ファイバーに光を
入れて露光した後、焼付け現像することにより上記接続
用端面に光ファイバーのコア部分のみが露呈した状態の
マスキング膜を形成し、ついで、上記露呈したコア部の
端面に対して相対的に斜めにエッチングすることによ
り、上記コア部の端面を上記垂直面に対して傾斜してい
る傾斜面に形成することを特徴とする光ファイバーの接
続部の製法を第2の要旨とする。
【0008】
【作用】すなわち、図4に示すように、光ファイバー6
から光ファイバー6′に向かって走行する光は、光ファ
イバー6,6′の接続用端面間が接近していることによ
り、その大部分が光ファイバー6′内に入る。しかし、
光ファイバー6,6′の接続用端面間に存在する微小な
空気層によりその一部が反射光となるのであるが、その
反射光は、図4に示すように、光ファイバー6のコア部
1の端面1aが傾斜面となっていることにより、クラッ
ド側へ放出される。したがって、反射光が上記端面1a
からコア部1内に戻り逆方向に走行するという事態を生
じない。
から光ファイバー6′に向かって走行する光は、光ファ
イバー6,6′の接続用端面間が接近していることによ
り、その大部分が光ファイバー6′内に入る。しかし、
光ファイバー6,6′の接続用端面間に存在する微小な
空気層によりその一部が反射光となるのであるが、その
反射光は、図4に示すように、光ファイバー6のコア部
1の端面1aが傾斜面となっていることにより、クラッ
ド側へ放出される。したがって、反射光が上記端面1a
からコア部1内に戻り逆方向に走行するという事態を生
じない。
【0009】また、図3および図4に示すように、接続
部の端面同士を接合する場合、コア軸芯を合わせること
については規制を受けるが、該軸を中心とする回転方向
については任意に設定されるため、一般にコア部1の端
面1aとコア部1′の端面1a′は接続面を中心として
左右対称とならず、コア端面1aから空気層に出た光の
もう一方の端面1a′における反射光もクラッド側へ放
出され多重反射を生じない。
部の端面同士を接合する場合、コア軸芯を合わせること
については規制を受けるが、該軸を中心とする回転方向
については任意に設定されるため、一般にコア部1の端
面1aとコア部1′の端面1a′は接続面を中心として
左右対称とならず、コア端面1aから空気層に出た光の
もう一方の端面1a′における反射光もクラッド側へ放
出され多重反射を生じない。
【0010】つぎに、本発明を実施例にもとづいて詳細
に説明する。
に説明する。
【0011】
【実施例1】まず、光ファイバーの接続部の実施例につ
いて説明する。図1および図2は、本発明の光ファイバ
ーの接続部の一実施例を示している。図において、1は
石英からなる線状のコア部で、その外周にクラッド部2
が、さらにその外周にコア部1およびクラッド部2を被
覆する保護層10,10′が形成されている。このコア
部1とクラッド部2とで光ファイバー6,6′が、形成
されている。3,3′は、光ファイバー6,6′の端部
に設けられた略円筒状のフェルールであり、コネクター
4,4′を形成する。このコネクター4,4′の先端端
面は,光ファイバー6,6′の軸線方向に対して垂直面
に研磨されている。そして、この垂直面に、光ファイバ
ー6,6′の接続用端面6a,6a′が露呈している。
この接続用端面6a,6a′において、各端面6a,6
a′は、合体的に垂直面に形成され、コア部1の端面1
a,1a′のみが、図2および図3に示すように傾斜面
(角度θ,θ′=5°)に形成されている。そして、両
傾斜面中心間の空隙は0.8μmに設定されている。な
お、5はフェルール3,3′の軸合わせ用のスリーブで
ある。
いて説明する。図1および図2は、本発明の光ファイバ
ーの接続部の一実施例を示している。図において、1は
石英からなる線状のコア部で、その外周にクラッド部2
が、さらにその外周にコア部1およびクラッド部2を被
覆する保護層10,10′が形成されている。このコア
部1とクラッド部2とで光ファイバー6,6′が、形成
されている。3,3′は、光ファイバー6,6′の端部
に設けられた略円筒状のフェルールであり、コネクター
4,4′を形成する。このコネクター4,4′の先端端
面は,光ファイバー6,6′の軸線方向に対して垂直面
に研磨されている。そして、この垂直面に、光ファイバ
ー6,6′の接続用端面6a,6a′が露呈している。
この接続用端面6a,6a′において、各端面6a,6
a′は、合体的に垂直面に形成され、コア部1の端面1
a,1a′のみが、図2および図3に示すように傾斜面
(角度θ,θ′=5°)に形成されている。そして、両
傾斜面中心間の空隙は0.8μmに設定されている。な
お、5はフェルール3,3′の軸合わせ用のスリーブで
ある。
【0012】その結果、光ファイバー6から光ファイバ
ー6′に向かって走行する光は、先に述べたように、光
ファイバー6,6′の接続用端面間が接近していること
により、その大部分が光ファイバー6′内に入る。しか
し、光ファイバー6,6′の接続用端面間に存在する微
小な空気層によりその一部が反射光となるのであるが、
その反射光は、図4に示すように、光ファイバー6のコ
ア部1の端面1aが傾斜面となっていることにより、ク
ラッドへ放出される。したがって、反射光が上記端面1
aからコア部1内に入り逆方向に走行するという事態を
生じない。
ー6′に向かって走行する光は、先に述べたように、光
ファイバー6,6′の接続用端面間が接近していること
により、その大部分が光ファイバー6′内に入る。しか
し、光ファイバー6,6′の接続用端面間に存在する微
小な空気層によりその一部が反射光となるのであるが、
その反射光は、図4に示すように、光ファイバー6のコ
ア部1の端面1aが傾斜面となっていることにより、ク
ラッドへ放出される。したがって、反射光が上記端面1
aからコア部1内に入り逆方向に走行するという事態を
生じない。
【0013】また、図3および図4に示すように、コネ
クター4とコネクター4′の端面同士を接合する場合、
スリーブにより両コネクターの軸芯を合わせることにつ
いては規制を受けるが、長軸を中心とする回転方向につ
いては任意に設定されるため、一般にコア部1の端面1
aとコア部1′の端面1a′は接続面を中心として左右
対称にならず、コア端面1aから空気層に出た光のもう
一方の端面1a′における反射光もクラッド側へ放出さ
れ多重反射を生じない。
クター4とコネクター4′の端面同士を接合する場合、
スリーブにより両コネクターの軸芯を合わせることにつ
いては規制を受けるが、長軸を中心とする回転方向につ
いては任意に設定されるため、一般にコア部1の端面1
aとコア部1′の端面1a′は接続面を中心として左右
対称にならず、コア端面1aから空気層に出た光のもう
一方の端面1a′における反射光もクラッド側へ放出さ
れ多重反射を生じない。
【0014】
【実施例2】実施例1において、コア部1の端面1a,
1a′の傾斜角度θ,θ′をそれぞれ8°に変えるとと
もに、傾斜面中心間の空隙を1.4μmと広くした。そ
れ以外は実施例1と同様の接続部を得た。
1a′の傾斜角度θ,θ′をそれぞれ8°に変えるとと
もに、傾斜面中心間の空隙を1.4μmと広くした。そ
れ以外は実施例1と同様の接続部を得た。
【0015】上記実施例1および2の接続部の性能につ
いて、比較例(図9のもの)と対比して表1に示した。
いて、比較例(図9のもの)と対比して表1に示した。
【0016】
【表1】 表1より実施例品がいずれも優れた性能を有しているこ
とがわかる。なお表1において、ロスは光伝送損失であ
り、反射は生じる反射光の光パワーを示している。な
お、上記実施例は接続する両コア部1,1′の端面1
a,1a′が平行でない接続部を示しているが、図8に
示すように、上記端面1a,1a′が平行であってもよ
い。
とがわかる。なお表1において、ロスは光伝送損失であ
り、反射は生じる反射光の光パワーを示している。な
お、上記実施例は接続する両コア部1,1′の端面1
a,1a′が平行でない接続部を示しているが、図8に
示すように、上記端面1a,1a′が平行であってもよ
い。
【0017】つぎに、本発明の上記光ファイバーの接続
部の製法について説明する。
部の製法について説明する。
【0018】
【実施例3】まず、端部にコネクター4,4′がそれぞ
れ設けられている光ファイバー6,6′の軸方向に対し
て垂直面に研磨する。つぎに、コネクター4,4′の端
面垂直面に、図5に示すように粘度10cpのポジ型レ
ジスト液を塗工し、厚み2μmのレジスト膜7を形成す
る。つぎに、光ファイバー6,6′の反対側の端面から
矢印Aのように光を入れ、露光時間を2〜10分とす
る。この後、常法に従い焼付け現像すると、レジスト膜
7の露光部分(コア部1に対応する部分)のみが流さ
れ、露光されていない部分が焼付け現像膜(マスキング
膜)として残る。この場合、図6に示すように、例えば
露光時間を10分としたとき、コア部1に対応する部分
のレジスト膜が円形に除去され、除去跡の円形穴部7a
がじょうご状(角度α)に形成される。つぎに、上記円
形穴部7aが形成されたコネクター4,4′をそれぞれ
図7に示すように、ドライエッチング装置(図示せず)
の支持電極9に接続用端面が鉛直線に対し5度(実施例
1)ないし8度(実施例2)の角度になるように固定
し、CF4 +H2 ガスを用い矢印Bのようにドライエッ
チングし、コア部1の端面のみを選択的にエッチング
(異方エッチング)し、コア部1の端面1aを傾斜角θ
がそれぞれ5度(実施例1)ないし8度(実施例2)の
傾斜面に形成した。つぎに、剥離液を用い、残存するレ
ジスト7を除去し、目的とする光ファイバーの接続部を
得た。
れ設けられている光ファイバー6,6′の軸方向に対し
て垂直面に研磨する。つぎに、コネクター4,4′の端
面垂直面に、図5に示すように粘度10cpのポジ型レ
ジスト液を塗工し、厚み2μmのレジスト膜7を形成す
る。つぎに、光ファイバー6,6′の反対側の端面から
矢印Aのように光を入れ、露光時間を2〜10分とす
る。この後、常法に従い焼付け現像すると、レジスト膜
7の露光部分(コア部1に対応する部分)のみが流さ
れ、露光されていない部分が焼付け現像膜(マスキング
膜)として残る。この場合、図6に示すように、例えば
露光時間を10分としたとき、コア部1に対応する部分
のレジスト膜が円形に除去され、除去跡の円形穴部7a
がじょうご状(角度α)に形成される。つぎに、上記円
形穴部7aが形成されたコネクター4,4′をそれぞれ
図7に示すように、ドライエッチング装置(図示せず)
の支持電極9に接続用端面が鉛直線に対し5度(実施例
1)ないし8度(実施例2)の角度になるように固定
し、CF4 +H2 ガスを用い矢印Bのようにドライエッ
チングし、コア部1の端面のみを選択的にエッチング
(異方エッチング)し、コア部1の端面1aを傾斜角θ
がそれぞれ5度(実施例1)ないし8度(実施例2)の
傾斜面に形成した。つぎに、剥離液を用い、残存するレ
ジスト7を除去し、目的とする光ファイバーの接続部を
得た。
【0019】
【発明の効果】以上のように、本発明の光ファイバーの
接続部は、その接続用端面が全体的に光ファイバーの軸
線方向に対して略垂直面に形成されている。したがっ
て、施工が容易であり、従来例のように、一方および他
方の接続用端面をそれぞれ対応する傾斜面にするときに
生じる突き合わせ部の空隙が生じない。その結果、突き
合わせ部に生じる空気層の厚みを小さくできるようにな
り、光伝送損失が低くなる。そのうえ、本発明では、上
記接続用端面のうち、コア部の端面のみを傾斜面に形成
している。その結果、光ファイバーを走行してきた光
は、コア部の端面において、その一部が反射光となって
も、その反射光は、上記傾斜面の作用によりクラッドへ
出てしまう。また、接続部の端面同士の接合において、
コア部長軸を中心とする回転方向については任意に位置
決めされるため、両コア部端面の傾斜方向も相互にラン
ダムとなり、多重反射による戻り光も生じない。そのた
め、上記反射光が光ファイバー中を逆方向へ走行し、光
源に雑音を与えるということがなくなる。
接続部は、その接続用端面が全体的に光ファイバーの軸
線方向に対して略垂直面に形成されている。したがっ
て、施工が容易であり、従来例のように、一方および他
方の接続用端面をそれぞれ対応する傾斜面にするときに
生じる突き合わせ部の空隙が生じない。その結果、突き
合わせ部に生じる空気層の厚みを小さくできるようにな
り、光伝送損失が低くなる。そのうえ、本発明では、上
記接続用端面のうち、コア部の端面のみを傾斜面に形成
している。その結果、光ファイバーを走行してきた光
は、コア部の端面において、その一部が反射光となって
も、その反射光は、上記傾斜面の作用によりクラッドへ
出てしまう。また、接続部の端面同士の接合において、
コア部長軸を中心とする回転方向については任意に位置
決めされるため、両コア部端面の傾斜方向も相互にラン
ダムとなり、多重反射による戻り光も生じない。そのた
め、上記反射光が光ファイバー中を逆方向へ走行し、光
源に雑音を与えるということがなくなる。
【0020】
【図1】この発明の一実施例の構成を示す接続部の断面
図である。
図である。
【図2】上記接続部の断面図の拡大図である。
【図3】図2の円内の拡大図である。
【図4】この発明の一実施例の反射戻り光の概念図であ
る。
る。
【図5】コア端面のみに角度をもたせるための製法手順
を示す図である。
を示す図である。
【図6】コア端面のみに角度をもたせるための製法手順
を示す図である。
を示す図である。
【図7】コア端面のみに角度をもたせるための製法手順
を示す図である。
を示す図である。
【図8】他の実施例の構成を示す断面図である。
【図9】従来例の反射戻り光の概念図である。
【図10】従来例の構成を示す接続部の断面図である。
1,1′ コア部 1a,1a′ コア部の端面 4,4′ コネクター(接続部含む) 6,6′ 光ファイバー 6a,6a′ 光ファイバーの接続用端面 7 レジスト膜
Claims (2)
- 【請求項1】 コア部の端面を含む光ファイバーの接続
用端面においてその接続用端面は全体的に光ファイバー
の軸線方向に対して略垂直面に形成され、上記コア部の
端面のみが上記垂直面に対して傾斜面に形成されている
ことを特徴とする光ファイバーの接続部。 - 【請求項2】 接続部用端面が全体的に光ファイバーの
軸線方向に対して略垂直面に形成された光ファイバーを
準備し、その接続用端面にレジスト膜を形成し、その状
態で上記光ファイバーの上記接続用端面と反対側の端面
からその光ファイバーに光を入れて露光した後、焼付け
現像することにより上記接続用端面に光ファイバーのコ
ア部分のみが露呈した状態のマスキング膜を形成し、つ
いで、上記露呈したコア部の端面に対して相対的に斜め
にエッチングすることにより、上記コア部の端面を上記
垂直面に対して傾斜している傾斜面に形成することを特
徴とする光ファイバーの接続部の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16611992A JPH063550A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光ファイバーの接続部およびその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16611992A JPH063550A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光ファイバーの接続部およびその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH063550A true JPH063550A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15825387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16611992A Pending JPH063550A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | 光ファイバーの接続部およびその製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH063550A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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