JPH0310757A - ディスク研摩装置 - Google Patents

ディスク研摩装置

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JPH0310757A
JPH0310757A JP14206289A JP14206289A JPH0310757A JP H0310757 A JPH0310757 A JP H0310757A JP 14206289 A JP14206289 A JP 14206289A JP 14206289 A JP14206289 A JP 14206289A JP H0310757 A JPH0310757 A JP H0310757A
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JP
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disk
disc
pressure roller
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pressurizing roller
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JP14206289A
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Yoshio Morita
森田 宜夫
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁気ディスク等からなるディスクの表面を研
摩加工するために用いられるディスク研摩装置に関する
ものである。
[従来の技術1 磁気ディスクの製造工程の中には、テクスチャ工程が含
まれるが、このテクスチャ加工は、研摩テープを用いて
ディスクの表面に微細な溝を形成するものである。かか
るテクスチャ加工は、ディスクを回転軸に装着し、該回
転軸によりディスクを回転させる間にその両面に研摩テ
ープを当接させて、該研摩テープを送りながら研摩する
ようにして行われる。そして、研摩テープはディスクの
記録面の幅全体を覆うことかできるものを用い、ディス
クの全面を同時に研摩加工するようにしている。
このために、第5図に示したように、スピンドルSに装
着したディスクDに対して研摩テープTを押し付ける加
圧ローラRが用いられる。そして、この加圧ローラRを
支持アームAに回転自在に取り付けて、該支持アームA
を平行板ばねLに装着し、この平行板ばねLによって、
加圧ローラRのディスクDへの当接部の軸線方向に均一
な押圧力を作用させて、研摩テープTをディスクDの内
局から外周に至るまでの幅方向の全体に均等な力で押し
当てるようにしている。加圧ローラRによる研摩テープ
Tのディス90表面への押し付は力か均一となるように
調整するために、支持アームAは支点Pにおいて平行板
ばねLに連結されている。
さらに、支持アームAの両側には傾斜調整ねじB、Bか
設けられており、該傾斜調整ねじBを適宜螺出入するこ
とにより、加圧ローラRの軸線XXがディスクDの表面
に対して平行となるように調整することができるように
なっている。
【発明が解決しようとする課題1 ところて、前述した従来技術のように、ディスクに対す
る加圧ローラの押し付は力を内周側から外周側に至るま
ての全体を均一にすると、ディスクの内周側と外周側と
で、1回転当りにおける研摩テープの接触面積に差があ
るために、内周側の加工密度が高く、外周側の方の研摩
加工の密度が低くなり、全体として研摩加工の精度が不
均一となる。
かかる加工の不均一さを防止するためには、支持アーム
の両側に設けた一対の傾斜調整ねじの突出長さに差を持
たせることによって、加圧ローラを傾斜させるようにす
ることか考えられる。このようにすれば、ディスクに対
する押し付は力を内周側と外周側との間に差を持たせる
ことができ、ディスクの外周面側に対する研摩テープの
接触面積の方を内周側のそれより接触面積を大きく取る
ようにすることかできるようになって、ディスクにおけ
る半径方向全体に均一な研摩加工が可能となる。
然るに、前述した従来技術は、加圧ローラRを支持する
支持アームAは支点Pを中心として揺動せしめられるよ
うになっているので、第6図から明らかなように、加圧
ローラRを実線で示したようにディスクDに対して平行
な状態から仮想線で示したように傾斜させると、該加圧
ローラRのディスクDの表面に対する接触面かΔα分た
け半径方向に位置ずれを起すことになる。
ここで、近年においては、ディスクにおける情報記録容
量の増加を図るために、該ディスクの最内周から最外周
に至る広い幅を記録エリアとして利用する傾向にあり、
このためディスクの最内周から最外周に至る表面全体を
均一に加工することが望まれるようになってきている。
然るに、前述した従来技術の構造の研摩装置により、加
圧ローラを傾斜させると、該加圧ローラのディスクに対
する接触面がディスクの半径方向に位置ずれが生じるこ
とになり、該ディスクの表面全体、特にスピンドルへの
装着部に近い部分に加工むらか生じるという不都合があ
る。
本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ディスクの最内周部から最外周部
までの全体を均一に加工することかできるようにしたデ
ィスク研摩装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 前述した目的を達成するために、本発明は、研摩テープ
をディスクに押し付けるための加圧ローラを、固定ブロ
ックに形成したガイド面に沿ってスライドする傾動ブロ
ックに装着し、前記ガイド面を前記加圧ローラのディス
クの半径方向における中間部を中心として所定の半径を
有する円弧状に形成することにより、前記加圧ローラを
その中間部を支点としてディスク面に向けて傾動可能と
する構成としたことをその特徴とするものである。
(作用1 このように構成することによって、加圧ローラをディス
クの表面に平行な状態から傾けたときに、この加圧ロー
ラのディスク表面への当接面か該ディスクの半径方向に
位置ずれするおそれがなくなる。従って、該ディスクの
最内周面から最外周面に至るまでの全体を研摩加工する
ことができるようになると共に、ディスクの外周側に対
する圧接力か内周側より大きくなって、研摩テープのデ
ィスクに対する当接面の形状がほぼ扇形となり、ディス
クの表面全体を均一に研摩加工することができる。
[実施例1 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
まず、第1図に本発明のディスク研摩装置の基本構成を
示す。
同図に3いて、1はディスクを示し、該ディスク1はス
ピンドル2に装架されて、高速で回転せしめられる。そ
して、このディスク1か回転している間に、研摩テープ
3を加圧ローラ4によって押し付けて、該研摩テープ3
に送りをかけることによって、該ディスク1の表面の研
摩加工を行うことができるようになっている。
ここで、加圧ローラ4は、ゴムローラ等のように弾性体
からなるものて5その軸線方向には回転軸5が゛挿通さ
れており、該回転軸5の両端は支持アーム6に取り付け
られている。この支持アーム6は、傾動ブロック7にボ
ルト8によって固定されており、この傾動ブロック7は
固定ブロック9に円弧状に形成したガイド面10を介し
て連結されて、該傾動ブロック7はディスク1に直交す
る方向に揺動せしめられるようになっている。そして、
このガイド面10の曲面は、加圧ローラ4におけるディ
スク1への当接縁立の中心位置0を中心とした半径rの
円弧となっている。
このように構成することにより、傾動ブロック7をガイ
ド部10に沿って固定ブロック9上を移動させると、加
圧ローラ4のディスク1への当接縁立は円弧中心0を中
心として該ディスク1の板厚方向に傾動せしめられるこ
とになる。この結果、加圧ローラ4の全体がディスク1
の半径方向に位置ずれを起すことがない、然るに、加圧
ローラ4の当接線の長さが変化することになるが、この
変化量は傾動角がある程度小さければ、殆ど無視し得る
程度のものとなる。
この結果、第2図から明らかなように、傾動ブロック7
を、加圧ローラ4のディスク1に対して平行な状態にす
ると、該加圧ローラ4による研摩テープ3のディスク1
へのち接面は、領域イで示したように、短冊状となるの
に対して、加圧ローラ4における外周側の当接面が該デ
ィスク1に向くように傾動させると、加圧ローラ4のデ
ィスク1への押し付は力は外周面側が大きくなって、研
摩テープ3は領域口で示したように、はぼ扇形でディス
ク1に当接して、内周側から外周側に向けて研摩テープ
3の接触゛面積が直線的に増大することになる。
従って、傾動ブロック7の傾動角度を調整することによ
って、ディスク1が1回転する間における研摩テープ3
のディスク1に対する接触面績は内周側から外周側に至
るまでほぼ均一化させることができ、ディスク1全体を
均一に研摩加工することができるようになる。しかも、
加圧ローラ4を傾動させても、該加圧ローラ4による研
摩テープ3のディスク1への接触部は半径方向に殆ど位
置ずれすることかないので、該ディスク1の最内周部か
ら最外周部までの全域にわたって研摩加工を施すことが
できるようになる。
次に、第3図及び第4図に前述した基本構成を用いた装
置構成の一具体例を示す。
同図において、11は研摩テープ、12は該研摩テープ
をディスク1に押し付けるための加圧ローラをそれぞれ
示し、該加圧ローラ12の回転軸12aはコ字状に形成
した支持アーム13に取り付けられている。そして、該
支持アーム13には延長部13aか連設されており、該
延長部13aはディスクlに対して近接・離間する方向
に変位可能なスライドブロック14にボルトI5により
固定されている。このスライドブロック14には凹部1
6が形成されており、平行板ばね17かこの凹部16に
係合されて、スライドフロック14をディスクに近接す
る方向に力を作用させて、加圧ローラ12にディスク1
への圧接力を作用させることかできるように構成されて
いる。
スライドブロック14をディスク1の表面に対して近接
・離間する方向に押動するために、ガイドレール19が
設けられており、該ガイドレール19は傾動ブロック2
0に取り付けられている。この傾動ブロック20には凸
状の円弧部20aが形成されており、該円弧部20aは
固定ブロック21に設けた凹状の円弧部21aに円弧状
のガイド面を構成する軸受22、22によって連結され
ている。これにより、傾動ブロック20はディスク1の
板厚方向に揺動せしめられるようになっている。そして
、この傾動ブロック20の傾動中心は、第1図において
説明したように、加圧ローラ12のディスク1への当接
線の中心となっている。
さらに、傾動ブロック20を傾動させるために、固定ブ
ロック21にはねじ軸23か、その幅方向に設けられて
おり、該ねじ軸23の一端には調整つまみ23aが取り
付けられている。そして、傾動ブロック20側には、こ
のねじ軸23に螺合するつオームギヤ24が設けられて
いる。従って、調整つまみ23aを手動操作等によって
回転させることにより、傾動ブロック20を第4図に矢
印で示した方向に傾動させることができるようになり、
この結果、該傾動ブロック20に連結した加圧ローラ1
2を傾動させることができるように構゛成されている。
なお、該傾動ブロック18を所望の傾動位置に固定する
には、ねじ軸23に摩擦ブレーキを設けたり、固定ボル
ト等を用いたりすればよい。
このように構成することによって、調整つまみ23aを
操作して、傾動ブロック20を固定ブロック21に対し
て傾動させることによって、加圧ローラ12をディスク
1に対して傾けるようにして、該ディスクの内周面側と
外周面側とて該加圧ローラ12による研摩テープ11の
押し付は力を変化させることにより研摩テープ11のデ
ィスク1の半径方向における接触面積を変化させること
かでき、この結果、該ディスク1の全面を均一に研摩加
工することかできるようになる。
しかも、このように加圧ローラ12を傾けても、そのデ
ィスク1への接触面が該ディスクの半径方向に位置ずれ
するのを極力防止することができるようになるので、こ
のディスク1の最内周側から最外周側に至るまで加工を
施すことかできるようになり、ディスク1の表面を記録
エリアとして最大限に利用することができることになる
[発明の効果1 以上説明したように、本発明によれば、加圧ローラを、
円弧状のガイド面を有する固定ブロックのガイド部に沿
って円弧運動する傾動ブロックに装着し、固定ブロック
のガイド部を加圧ローラのディスクの半径方向における
中間部分を中心として所定の半径を有する円弧となるよ
うに構成したのて、加圧ローラを傾動させて、ディスク
表面に対する研摩テープの押し付は面積を内周側では狭
く、外周側では広くなるようにほぼ扇形となして、該デ
ィスクの表面全体を均一に加工することかでき、しかも
この加圧ローラを傾動させたときに、そのディスクへの
当接面が該ディスクの半径方向に位置ずれするおそれは
殆どなく、従って、該ディスクの最内周面から最外周面
に至るまでの全体を研摩加工することかてきるようにな
る等の諸効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の基本構成を示す説明図、第2図は研摩
テープのディスクへの当接部の形状を示す説明図、第3
図はディスク研摩装置の一具体例を示す外観図、第4図
は第3図の一部破断図、第5図は従来技術のディスク研
摩装置の構成説明図、第6図は第5図の作用説明図であ
る。 1、ディスク、2ニスピンドル、:l、11:研摩テー
プ、 4 、12:加圧ローラ、” + 12a :回
転軸、6,13二支持アーム、7.20+傾動ブロツク
、9,21:固定ツロツク、10ニガイド部、22:軸
受、23コねじ軸、23a : ajI整つまみ、24
:つオームギヤ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 回転軸にディスクを装着し、このディスクの表面に加圧
    ローラにより研摩テープを押し付けることにより該ディ
    スクの表面を研摩するものにおいて、前記加圧ローラを
    、固定ブロックに形成したガイド面に沿ってスライドす
    る傾動ブロックに装着し、前記ガイド面を前記加圧ロー
    ラのディスクの半径方向における中間部を中心として所
    定の半径を有する円弧状に形成することにより、前記加
    圧ローラをその中間部を支点としてディスク面に向けて
    傾動可能とする構成としたことを特徴とするディスク研
    摩装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102059632A (zh) * 2010-09-23 2011-05-18 佛山市科润达机械有限公司 一种用于砂边机的调节式压模块
JP2011110643A (ja) * 2009-11-26 2011-06-09 Takatori Corp ワイヤソー
WO2011096292A1 (ja) * 2010-02-05 2011-08-11 株式会社ブイ・テクノロジー 研磨ヘッド及び研磨装置
JP2014065094A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Ebara Corp 研磨方法
JP5686331B1 (ja) * 2014-05-09 2015-03-18 林 武男 電動マッサージ器

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WO2011096292A1 (ja) * 2010-02-05 2011-08-11 株式会社ブイ・テクノロジー 研磨ヘッド及び研磨装置
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JP2014065094A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Ebara Corp 研磨方法
JP5686331B1 (ja) * 2014-05-09 2015-03-18 林 武男 電動マッサージ器

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