JPS58181561A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS58181561A JPS58181561A JP6591582A JP6591582A JPS58181561A JP S58181561 A JPS58181561 A JP S58181561A JP 6591582 A JP6591582 A JP 6591582A JP 6591582 A JP6591582 A JP 6591582A JP S58181561 A JPS58181561 A JP S58181561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- air bearing
- polishing
- tape
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
- B24B21/04—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor for grinding plane surfaces
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ディスクの表面を研磨する研磨装置に関す
るものである。
るものである。
磁気ディスクとして、例えば厚さ７５μｍ程度のポリエ
ステルフィルムの表裏に磁性塗料を塗布し、厚さ１〜３
μｍ程度の磁性層を形成したものがある。このようなフ
レキシブルな磁気ディスクは、その電磁変換特性を安定
化するために、その表面にある微細な突起を除去して平
滑にする必要があり、磁気ディスクを回転せしめた状態
で研磨テープ金押しあてる方法が一般的であった。
ステルフィルムの表裏に磁性塗料を塗布し、厚さ１〜３
μｍ程度の磁性層を形成したものがある。このようなフ
レキシブルな磁気ディスクは、その電磁変換特性を安定
化するために、その表面にある微細な突起を除去して平
滑にする必要があり、磁気ディスクを回転せしめた状態
で研磨テープ金押しあてる方法が一般的であった。
その一方法として、磁気ディスクを円板状のターンテー
ブルに固定し研磨する方法、また他の方法として回転せ
しめた磁気ディスクを表裏から研磨テープおよびフェル
トなど適当な材質の摺接体ではさんで研磨する方法など
がある。しかし、これらの方法は研磨テープを磁気ディ
スク表面に押しあてる圧力の調整が非常に難しく、〜圧
力不足の場合には研磨不十分となり、逆に、圧力過大の
場合には深い研磨傷がつくという問題があった。また、
ターンテーブルや摺接体の材質や状態によっても表面の
研磨の仕上り状態が左右されるばかりでなく、その選択
が不適当であると裏面に形成されている磁性層を損傷す
るという問題があった。
ブルに固定し研磨する方法、また他の方法として回転せ
しめた磁気ディスクを表裏から研磨テープおよびフェル
トなど適当な材質の摺接体ではさんで研磨する方法など
がある。しかし、これらの方法は研磨テープを磁気ディ
スク表面に押しあてる圧力の調整が非常に難しく、〜圧
力不足の場合には研磨不十分となり、逆に、圧力過大の
場合には深い研磨傷がつくという問題があった。また、
ターンテーブルや摺接体の材質や状態によっても表面の
研磨の仕上り状態が左右されるばかりでなく、その選択
が不適当であると裏面に形成されている磁性層を損傷す
るという問題があった。
本発明はこのような問題点を解消した磁気ディスクの研
磨装置を提供するものであり、回転する磁気ディスクに
かかる研磨テープの圧力を空気軸受を用い、外周部が円
錐台形状に加工された回転部で支えるようにしたことを
特徴とするものである０ 空気軸受は回転部と固定部との摩擦が極めて小さいため
微小な力により回転し、かつ高速回転にも追随が可能で
あシ、しかも焼付が起る心配がない。まだ、加えられる
圧力によって若干の偏位をする余地があるので、過大な
圧力を吸収することができるなどの特長をもっている。
磨装置を提供するものであり、回転する磁気ディスクに
かかる研磨テープの圧力を空気軸受を用い、外周部が円
錐台形状に加工された回転部で支えるようにしたことを
特徴とするものである０ 空気軸受は回転部と固定部との摩擦が極めて小さいため
微小な力により回転し、かつ高速回転にも追随が可能で
あシ、しかも焼付が起る心配がない。まだ、加えられる
圧力によって若干の偏位をする余地があるので、過大な
圧力を吸収することができるなどの特長をもっている。
空気軸受の回転部は磁気ディスクに接触するとき、わず
かな摩擦力により、その回転によく追随するので、摺接
により磁気ディスクの表面に設けられた薄い磁性膜を損
傷することなしに、研磨テープの圧力を支えることがで
きる。また磁気ディスクを回転させた場合、内周と外周
とで周速が異なるだめ、これと接触する空気軸受の回転
部の形状も、円筒形よシも 円錐台形状のほうが好まし
い。特に回転部と磁気ディスクとの接触部分の周速に完
全に対応させた寸法の円錐台形状の回転部を用いれば、
接触部分におけるスリップを最小にすることが出来磁性
膜の損傷を防止する上で理想的である。
かな摩擦力により、その回転によく追随するので、摺接
により磁気ディスクの表面に設けられた薄い磁性膜を損
傷することなしに、研磨テープの圧力を支えることがで
きる。また磁気ディスクを回転させた場合、内周と外周
とで周速が異なるだめ、これと接触する空気軸受の回転
部の形状も、円筒形よシも 円錐台形状のほうが好まし
い。特に回転部と磁気ディスクとの接触部分の周速に完
全に対応させた寸法の円錐台形状の回転部を用いれば、
接触部分におけるスリップを最小にすることが出来磁性
膜の損傷を防止する上で理想的である。
次に、フレキシブル磁気ディスクは回転時において完全
に平坦な状態を保つことは困難であり、このため、磁気
ディスクを支える物体が磁気ディスク面の変動に追随し
ないと、研磨テープの接触圧が一時的に過大になシ、深
い研磨傷をつける原因となっていた。この場合、空気軸
受を用いると、その回転部が圧力変動によく追随して偏
位する余地があるためこのような問題はなく、良好な研
磨状態を保つことが出来る。なお空気軸受の特性は固定
部と回転部との間隙長および空気噴出孔の位置と数、空
気圧などによって大幅に変えることが出来るので、その
場合に応じて最適条件を選ぶことが可能である。
に平坦な状態を保つことは困難であり、このため、磁気
ディスクを支える物体が磁気ディスク面の変動に追随し
ないと、研磨テープの接触圧が一時的に過大になシ、深
い研磨傷をつける原因となっていた。この場合、空気軸
受を用いると、その回転部が圧力変動によく追随して偏
位する余地があるためこのような問題はなく、良好な研
磨状態を保つことが出来る。なお空気軸受の特性は固定
部と回転部との間隙長および空気噴出孔の位置と数、空
気圧などによって大幅に変えることが出来るので、その
場合に応じて最適条件を選ぶことが可能である。
次に、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の研磨装置の概
略構成を示す正面図と側面図であり、図において、１は
研磨すべき磁気ディスクであって、回転可能な軸部２の
上面に固定治具３により固定され回転するようになって
いる。４は研磨テープであり、巻出し９巻取りリール５
，６により徐々に移動する。貰た７はガイドロールであ
る。８は表面をフェルト等の弾性体で被覆しだパッドロ
ーラーであり、垂直方向に移動させることが出来、パッ
ド閃−ラー表面に沿わせた研磨テープ４を磁気ディスク
１の表面に軽く接触させて表面研磨を行なう。９はこの
接触部分を磁気ディスク１の裏側から支えるために設け
られた空気軸受の回転部であり、固定部１ｏのまわシに
回転しうる。なお、空気軸受が設けられる位置は磁気デ
ィスク１と研磨テープ４０゛接触部の真下で、円錐台形
状をしだ回転部９と磁気ディスク１の裏面との接触が、
磁気ディスク１の半径方向と一致するように設けられる
。
る。第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の研磨装置の概
略構成を示す正面図と側面図であり、図において、１は
研磨すべき磁気ディスクであって、回転可能な軸部２の
上面に固定治具３により固定され回転するようになって
いる。４は研磨テープであり、巻出し９巻取りリール５
，６により徐々に移動する。貰た７はガイドロールであ
る。８は表面をフェルト等の弾性体で被覆しだパッドロ
ーラーであり、垂直方向に移動させることが出来、パッ
ド閃−ラー表面に沿わせた研磨テープ４を磁気ディスク
１の表面に軽く接触させて表面研磨を行なう。９はこの
接触部分を磁気ディスク１の裏側から支えるために設け
られた空気軸受の回転部であり、固定部１ｏのまわシに
回転しうる。なお、空気軸受が設けられる位置は磁気デ
ィスク１と研磨テープ４０゛接触部の真下で、円錐台形
状をしだ回転部９と磁気ディスク１の裏面との接触が、
磁気ディスク１の半径方向と一致するように設けられる
。
第２図は空気軸受の回転部９と固定部１０の構造を示す
断面図であり、多数の小孔群１１より噴出された空気が
可動、固定両部間の狭い間隙を通過する際に示す粘性に
より、極めて良好な潤滑が保たれるものである。なお、
空気軸受の回転部は軽いプラスチックなどの材質が適当
であるが、摩擦による帯電によって、研磨によυ発生し
た微粒子が付着する場合には、帯電性が除かれた導電性
プラスチックを用いることが推奨される。
断面図であり、多数の小孔群１１より噴出された空気が
可動、固定両部間の狭い間隙を通過する際に示す粘性に
より、極めて良好な潤滑が保たれるものである。なお、
空気軸受の回転部は軽いプラスチックなどの材質が適当
であるが、摩擦による帯電によって、研磨によυ発生し
た微粒子が付着する場合には、帯電性が除かれた導電性
プラスチックを用いることが推奨される。
次に、このような構成を有する本発明の研磨装置により
得られる効果を、従来のように磁気ディスクをターンテ
ーブルに固定して研磨する方法と比較して次表に示す。
得られる効果を、従来のように磁気ディスクをターンテ
ーブルに固定して研磨する方法と比較して次表に示す。
いずれの場合も平均粒径３μのホワイトアランダム砥粒
を用いた ４０００研磨テープを１町働の速さで送υな
がら、３インチフロッピーディスクｆ１０００回転／秒
で回転させた状態で表面研磨を行なったものであシ、表
面粗さを中心線平均粗さであられしたものである。
を用いた ４０００研磨テープを１町働の速さで送υな
がら、３インチフロッピーディスクｆ１０００回転／秒
で回転させた状態で表面研磨を行なったものであシ、表
面粗さを中心線平均粗さであられしたものである。
上記表より明らかなように、本発明においては円周方向
、直径方向ともに良好な研磨状態が得られた力〈従来例
では研磨方向に沿って明かな研磨傷が見られ、このため
特に直径方向の表面粗さが大きくなっていることがわか
る。
、直径方向ともに良好な研磨状態が得られた力〈従来例
では研磨方向に沿って明かな研磨傷が見られ、このため
特に直径方向の表面粗さが大きくなっていることがわか
る。
本発明はまた磁気ディスクの表裏両面を同時に研磨する
場合にも適用でき、この場合には第１図の研磨機構を２
組使用し、表裏異った位置においてこれらを同時に操作
すればよい。なお研磨すべき磁気ディスクの半径が研磨
テープの幅よりも大なる場合には、磁気ディスクの半径
方向に研磨テープおよびパッドロールを移動させる機構
を設ければよい。また本発明において研磨テープを徐々
に移動させるのは、テープ目詰シによる悪影響を避ける
ためであるが、研磨が目詰りが起らぬ程度の短時間に終
了する場合には断続的なテープ送シであっても支障ない
。また、研磨テープを磁気ディスクに押′しあてる方法
も、第１図のようなパッドローラーを用いるものに限定
されるものではなく、他の方法においても同様に本発明
を適用することができる。
場合にも適用でき、この場合には第１図の研磨機構を２
組使用し、表裏異った位置においてこれらを同時に操作
すればよい。なお研磨すべき磁気ディスクの半径が研磨
テープの幅よりも大なる場合には、磁気ディスクの半径
方向に研磨テープおよびパッドロールを移動させる機構
を設ければよい。また本発明において研磨テープを徐々
に移動させるのは、テープ目詰シによる悪影響を避ける
ためであるが、研磨が目詰りが起らぬ程度の短時間に終
了する場合には断続的なテープ送シであっても支障ない
。また、研磨テープを磁気ディスクに押′しあてる方法
も、第１図のようなパッドローラーを用いるものに限定
されるものではなく、他の方法においても同様に本発明
を適用することができる。
以上の説明から明らかなように、本発明にかかる研磨装
置は、空気軸受を用して磁気ディスクにかかる研磨テー
プの接触圧を支えるようにしたものであり、研磨すべき
表面に過大な力がかかるのを抑え、表面粗さが小さく、
研磨の方向性が少ない、表裏とも良好な仕上りの磁気デ
ィスクを製造することが可能となるため、その産業上の
価値は大なるものがある。
置は、空気軸受を用して磁気ディスクにかかる研磨テー
プの接触圧を支えるようにしたものであり、研磨すべき
表面に過大な力がかかるのを抑え、表面粗さが小さく、
研磨の方向性が少ない、表裏とも良好な仕上りの磁気デ
ィスクを製造することが可能となるため、その産業上の
価値は大なるものがある。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明にかかる研磨装置の
概略構成を示す正面図および側面図、第２図は本発明に
用いる空気軸受の一例を示す断面図である。 １・・・・・・磁気ディスク、２・命・・・・軸部、３
・・・・・・固定治具、４・・・・・・研磨テープ、６
・・・・・・巻出しり一ノへ＠ ＊＊ｅ＊＊・巻取シリ
ール、７ ＩＩ＠１１＠１１＠ガイトローノへ ８・・
・・・・パッドローラー、９１１＋＋６＠＠４気軸受の
回転部、１ｏ・・・用空気軸受の固定部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
９ （（Ｌ） （ｆ）ノ
第２図
概略構成を示す正面図および側面図、第２図は本発明に
用いる空気軸受の一例を示す断面図である。 １・・・・・・磁気ディスク、２・命・・・・軸部、３
・・・・・・固定治具、４・・・・・・研磨テープ、６
・・・・・・巻出しり一ノへ＠ ＊＊ｅ＊＊・巻取シリ
ール、７ ＩＩ＠１１＠１１＠ガイトローノへ ８・・
・・・・パッドローラー、９１１＋＋６＠＠４気軸受の
回転部、１ｏ・・・用空気軸受の固定部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
９ （（Ｌ） （ｆ）ノ
第２図
Claims (2)
- （１）磁気ディスクを保持し得る回転可能な軸部と、こ
の軸部上に保持された磁気ディスクの一方の主面側に配
設された表面を弾性体で被覆したパッドローラーと、こ
のパッドローラーに接し、かつ移動可能に配設された研
磨テープと、前記磁気ディスクの他方の主面側で前記バ
ットローラーと対向する位置に配設され、外周部が円錐
台形状に加工された回転部を有する空気軸受を備え、前
記空気軸受の回転部の回転軸が前記軸部の回転部とほぼ
交わるように配設すると共に、前記バットローラーと前
記空気軸受の回転部によって前記磁気ディスクを挾み、
前記研磨テープを前記軸部により回転せられる前記磁気
ディスクに接触させて前記磁気ディスクの表面を研磨す
るように構成したことを特徴とする研磨装置 - （２）空気軸受の回転部を帯電性を防止したプラスチッ
クで形成したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6591582A JPS58181561A (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6591582A JPS58181561A (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58181561A true JPS58181561A (ja) | 1983-10-24 |
Family
ID=13300740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6591582A Pending JPS58181561A (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58181561A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4956944A (en) * | 1987-03-19 | 1990-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US4974368A (en) * | 1987-03-19 | 1990-12-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US4993190A (en) * | 1987-03-19 | 1991-02-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US5157878A (en) * | 1987-03-19 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing method with error correction |
-
1982
- 1982-04-19 JP JP6591582A patent/JPS58181561A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4956944A (en) * | 1987-03-19 | 1990-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US4974368A (en) * | 1987-03-19 | 1990-12-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US4993190A (en) * | 1987-03-19 | 1991-02-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
| US5157878A (en) * | 1987-03-19 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing method with error correction |
| US5347763A (en) * | 1987-03-19 | 1994-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus |
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