JP2653126B2 - ディスク研摩装置 - Google Patents
ディスク研摩装置Info
- Publication number
- JP2653126B2 JP2653126B2 JP24426088A JP24426088A JP2653126B2 JP 2653126 B2 JP2653126 B2 JP 2653126B2 JP 24426088 A JP24426088 A JP 24426088A JP 24426088 A JP24426088 A JP 24426088A JP 2653126 B2 JP2653126 B2 JP 2653126B2
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- Japan
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- polishing
- polishing tape
- guide
- disk
- tape
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク，光ディスク等のように円環
状に形成した記録媒体を構成するディスクの表面を研摩
加工するための、ディスク研摩装置に関するものであ
る。
状に形成した記録媒体を構成するディスクの表面を研摩
加工するための、ディスク研摩装置に関するものであ
る。
［従来の技術］ 磁気ディスクは、アルミニウム等の金属円盤からなる
ハードディスク基板の表面に磁気記録膜を形成してなる
もので、その製造工程においては、記録膜の塗布の前及
び後に表面を研摩加工する必要がある。このために、デ
ィスク研摩装置が用いられるが、このディスク研摩装置
としては、片面が研摩面となった研摩テープを用い、こ
の研摩テープを供給リールから繰り出して、加圧ローラ
によってこの研摩面をディスクの表面に摺接させること
によって、該ディスク表面の研摩を行って、巻取リール
に巻き取るようにしている。そして、供給リールから加
圧ローラを経て巻取リールに至る研摩テープの走行経路
において、該研摩テープをガイドするために、適宜の位
置にガイドローラを設置するようにしている。
ハードディスク基板の表面に磁気記録膜を形成してなる
もので、その製造工程においては、記録膜の塗布の前及
び後に表面を研摩加工する必要がある。このために、デ
ィスク研摩装置が用いられるが、このディスク研摩装置
としては、片面が研摩面となった研摩テープを用い、こ
の研摩テープを供給リールから繰り出して、加圧ローラ
によってこの研摩面をディスクの表面に摺接させること
によって、該ディスク表面の研摩を行って、巻取リール
に巻き取るようにしている。そして、供給リールから加
圧ローラを経て巻取リールに至る研摩テープの走行経路
において、該研摩テープをガイドするために、適宜の位
置にガイドローラを設置するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］ ここで、加圧ローラの上流側に設置されるガイドロー
ラに研摩テープの研摩面を直接摺接させると、該ガイド
ローラが摩耗して、この摩耗粉が研摩面に付着したまま
ディスクに当接せしめられることになって、該ディスク
の表面を損傷させるという不都合が生じるために、ガイ
ドローラには研摩テープの裏面を当接させるようにして
ガイドしなければならない。然るに、この研摩テープの
裏面側のみをガイドするようにした場合には、ガイドロ
ーラに研摩テープの接触面積を十分に取ることができな
くなる。このようにガイドローラに対する研摩テープの
接触面積が小さいと、作業中に該ガイドローラから研摩
テープが外れるという欠点がある。
ラに研摩テープの研摩面を直接摺接させると、該ガイド
ローラが摩耗して、この摩耗粉が研摩面に付着したまま
ディスクに当接せしめられることになって、該ディスク
の表面を損傷させるという不都合が生じるために、ガイ
ドローラには研摩テープの裏面を当接させるようにして
ガイドしなければならない。然るに、この研摩テープの
裏面側のみをガイドするようにした場合には、ガイドロ
ーラに研摩テープの接触面積を十分に取ることができな
くなる。このようにガイドローラに対する研摩テープの
接触面積が小さいと、作業中に該ガイドローラから研摩
テープが外れるという欠点がある。
本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところは、研摩テープのガイドローラに対
する接触面積を十分に取ることができるようにしたディ
スク研摩装置を提供することにある。
の目的とするところは、研摩テープのガイドローラに対
する接触面積を十分に取ることができるようにしたディ
スク研摩装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、研摩テー
プの走行経路における加圧ローラの上流側にガイドロー
ラを設けて、該ガイドローラに前記研摩テープの裏面を
摺接させると共に、該研摩テープを前記ガイドローラに
巻き付く方向にガイドするために、該ガイドローラの上
流側に該研摩テープの研摩面に向けてエアを吹き付ける
非接触方向転換用ガイドを設ける構成としたことをその
特徴とするものである。
プの走行経路における加圧ローラの上流側にガイドロー
ラを設けて、該ガイドローラに前記研摩テープの裏面を
摺接させると共に、該研摩テープを前記ガイドローラに
巻き付く方向にガイドするために、該ガイドローラの上
流側に該研摩テープの研摩面に向けてエアを吹き付ける
非接触方向転換用ガイドを設ける構成としたことをその
特徴とするものである。
［作用］ 研摩テープの方向転換用ガイドを設けることによっ
て、供給リールから繰り出される研摩テープの走行経路
を任意の方向に方向転換させることができるようにな
る。従って、該研摩テープのガイドローラへの巻き付け
角度を大きく取ることができるようになって、その間の
接触面積が大きくなり、該ガイドローラからみだりに逸
脱するようなことはない。しかも、研摩テープは方向転
換用ガイドと非接触な状態に保持されているので、摩耗
粉等の異物が研摩テープにおける研摩面に付着するおそ
れはなく、ディスクの表面を損傷させるような不都合を
生じない。
て、供給リールから繰り出される研摩テープの走行経路
を任意の方向に方向転換させることができるようにな
る。従って、該研摩テープのガイドローラへの巻き付け
角度を大きく取ることができるようになって、その間の
接触面積が大きくなり、該ガイドローラからみだりに逸
脱するようなことはない。しかも、研摩テープは方向転
換用ガイドと非接触な状態に保持されているので、摩耗
粉等の異物が研摩テープにおける研摩面に付着するおそ
れはなく、ディスクの表面を損傷させるような不都合を
生じない。
［実施例］ 以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明す
る。
る。
図面において、１はディスクを示し、該ディスク１は
図示しない回転軸に装着されて、回転駆動せしめられる
ようになっている。そして、このディスク１の回転中
に、該ディスク１の表面に研摩テープ２を摺接させるこ
とによって、該ディスク１の表面を研摩加工することが
できるようになっている。
図示しない回転軸に装着されて、回転駆動せしめられる
ようになっている。そして、このディスク１の回転中
に、該ディスク１の表面に研摩テープ２を摺接させるこ
とによって、該ディスク１の表面を研摩加工することが
できるようになっている。
この研摩テープ２は、供給リール３に巻回して設けら
れており、該供給リール３から繰り出される研摩テープ
２は所定の走行経路に沿ってガイドされて、巻取リール
４に巻き取られるが、この間における研摩テープ２の走
行経路の途中位置に該研摩テープ２をディスク１の表面
に押し付けるための加圧ローラ５が設けられている。そ
して、該加圧ローラ５の上流側、即ち供給リール３と加
圧ローラ５との間のテープ走行経路、及び加圧ローラ５
の下流側、即ち該加圧ローラ５と巻取リール４との間の
テープ走行経路には、それぞれ研摩テープ２をガイドす
るガイド部材が設けられている。
れており、該供給リール３から繰り出される研摩テープ
２は所定の走行経路に沿ってガイドされて、巻取リール
４に巻き取られるが、この間における研摩テープ２の走
行経路の途中位置に該研摩テープ２をディスク１の表面
に押し付けるための加圧ローラ５が設けられている。そ
して、該加圧ローラ５の上流側、即ち供給リール３と加
圧ローラ５との間のテープ走行経路、及び加圧ローラ５
の下流側、即ち該加圧ローラ５と巻取リール４との間の
テープ走行経路には、それぞれ研摩テープ２をガイドす
るガイド部材が設けられている。
ここで、ディスク１に対して円滑に研摩加工を行うに
は、研摩テープ２は該ディスク１に対して出来るだけ平
行な状態でディスク１に当接させる必要がある。このた
めに、加圧ローラ５の前後位置には、ガイドローラ6,7
を設けて、研摩テープ２のディスク１への接触角を可及
的に小さくするようにしている。
は、研摩テープ２は該ディスク１に対して出来るだけ平
行な状態でディスク１に当接させる必要がある。このた
めに、加圧ローラ５の前後位置には、ガイドローラ6,7
を設けて、研摩テープ２のディスク１への接触角を可及
的に小さくするようにしている。
下流側のテープ走行経路においては、研摩テープ２の
表裏いずれの面にガイド部材を当接させるようにして
も、格別支障を来たさないので、研摩テープ２の送りを
行うための駆動ローラ8a及び押し付けローラ8bからなる
送りローラ８は、当該下流側テープ走行経路のガイドロ
ーラ７より下流側に配設され、またこの送りローラ８に
向けて研摩テープ２をガイドするためのガイドローラ９
が設けられているが、この駆動ローラ8a及びガイドロー
ラ９には研摩テープ２の研摩面が当接するようになって
いる。
表裏いずれの面にガイド部材を当接させるようにして
も、格別支障を来たさないので、研摩テープ２の送りを
行うための駆動ローラ8a及び押し付けローラ8bからなる
送りローラ８は、当該下流側テープ走行経路のガイドロ
ーラ７より下流側に配設され、またこの送りローラ８に
向けて研摩テープ２をガイドするためのガイドローラ９
が設けられているが、この駆動ローラ8a及びガイドロー
ラ９には研摩テープ２の研摩面が当接するようになって
いる。
一方、上流側テープ走行経路においては、研摩テープ
２の研摩面に摩耗粉等の異物が付着しないように保持す
る必要があり、この研摩面にガイド部材を当接させるこ
とはできない。そこで、この上流側テープ走行経路にお
けるガイドローラ６の上流側には、研摩テープ２の裏面
に当接するガイドローラ10が設けられると共に、該ガイ
ドローラ10,6間の位置には、非接触方向転換用ガイド11
が設置されており、このガイド11によって研摩テープ２
のガイドローラ６に対する接触面積、即ち巻き付け角度
が大きくなるようにしている。
２の研摩面に摩耗粉等の異物が付着しないように保持す
る必要があり、この研摩面にガイド部材を当接させるこ
とはできない。そこで、この上流側テープ走行経路にお
けるガイドローラ６の上流側には、研摩テープ２の裏面
に当接するガイドローラ10が設けられると共に、該ガイ
ドローラ10,6間の位置には、非接触方向転換用ガイド11
が設置されており、このガイド11によって研摩テープ２
のガイドローラ６に対する接触面積、即ち巻き付け角度
が大きくなるようにしている。
而して、非接触方向転換用ガイド11は、研摩テープ２
の研摩面を180゜以下の角度となるようにガイドして、
その方向を転換させるものであって、エア吹き付け部材
12と、ターンガイド部材13とからなり、エア吹き付け部
材12は研摩テープ２の研摩面に向けてクリーンエアを吹
き付けて、該研摩テープ２を浮き上らせて、非接触状態
でその方向を変えさせるようにしている。また、ターン
ガイド部材13は該研摩テープ２を挟んでエア吹き付け部
材12に対向配設されており、このターンガイド部材13に
よって、研摩テープ２の方向転換角θが規制されるよう
になっている。
の研摩面を180゜以下の角度となるようにガイドして、
その方向を転換させるものであって、エア吹き付け部材
12と、ターンガイド部材13とからなり、エア吹き付け部
材12は研摩テープ２の研摩面に向けてクリーンエアを吹
き付けて、該研摩テープ２を浮き上らせて、非接触状態
でその方向を変えさせるようにしている。また、ターン
ガイド部材13は該研摩テープ２を挟んでエア吹き付け部
材12に対向配設されており、このターンガイド部材13に
よって、研摩テープ２の方向転換角θが規制されるよう
になっている。
本実施例は前述のように構成されるものであって、次
にその作用について説明する。
にその作用について説明する。
まず、研摩テープ２を供給リール３からテープ走行経
路に沿ってガイドして、その先端を巻取リール４に止着
しておく。そして、この研摩テープ２を用いてディスク
１の表面の研摩を行うには、加圧ローラ５によって、研
摩テープ２をディスク１の表面に押し付けるようにす
る。この状態で、ディスク１を回転駆動すると伴に、送
りローラ８により研摩テープ２を供給リール３側から巻
取リール４側に向けて送るようになすと共に、加圧ロー
ラ５をディスク１の半径方向内方に移動させることによ
って、該ディスク１の表面全体を研摩加工することがで
きるようになる。
路に沿ってガイドして、その先端を巻取リール４に止着
しておく。そして、この研摩テープ２を用いてディスク
１の表面の研摩を行うには、加圧ローラ５によって、研
摩テープ２をディスク１の表面に押し付けるようにす
る。この状態で、ディスク１を回転駆動すると伴に、送
りローラ８により研摩テープ２を供給リール３側から巻
取リール４側に向けて送るようになすと共に、加圧ロー
ラ５をディスク１の半径方向内方に移動させることによ
って、該ディスク１の表面全体を研摩加工することがで
きるようになる。
然るに、研摩テープ２の送りを行う際に、非接触方向
転換用ガイド11におけるエア吹き付け部材12からクリー
ンエアを研摩テープ２の研摩面に吹き付けるようにす
る。これによって、該研摩テープ２がエア吹き付け部材
12から浮き上り、ターンガイド13によって、その研摩面
側が180゜以下、例えば90゜程度の角度となるように方
向転換せしめられるようになる。この結果、加圧ローラ
５の上流側に位置するガイドローラ６に対する研摩テー
プ２の巻き付け径が大きくなって、その間の接触面積が
増大し、研摩作業中において該加圧ローラ５をディスク
１の半径方向に移動させても、該ガイドローラ６から研
摩テープ２が外れたりするおそれはない。
転換用ガイド11におけるエア吹き付け部材12からクリー
ンエアを研摩テープ２の研摩面に吹き付けるようにす
る。これによって、該研摩テープ２がエア吹き付け部材
12から浮き上り、ターンガイド13によって、その研摩面
側が180゜以下、例えば90゜程度の角度となるように方
向転換せしめられるようになる。この結果、加圧ローラ
５の上流側に位置するガイドローラ６に対する研摩テー
プ２の巻き付け径が大きくなって、その間の接触面積が
増大し、研摩作業中において該加圧ローラ５をディスク
１の半径方向に移動させても、該ガイドローラ６から研
摩テープ２が外れたりするおそれはない。
しかも、この加圧ローラ５の上流側においてはいずれ
のガイド部材も研摩テープ２の研摩面と非接触状態を保
つようにしており、またエア吹き付け部材12から研摩テ
ープ２の研摩面に吹き付けられるエアはクリーンエアで
あるから、この研摩面には摩耗粉その他の異物が付着す
ることはなく、従って研摩加工時にディスク１の表面に
引っ掻き傷等が発生するおそれはない。
のガイド部材も研摩テープ２の研摩面と非接触状態を保
つようにしており、またエア吹き付け部材12から研摩テ
ープ２の研摩面に吹き付けられるエアはクリーンエアで
あるから、この研摩面には摩耗粉その他の異物が付着す
ることはなく、従って研摩加工時にディスク１の表面に
引っ掻き傷等が発生するおそれはない。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、加圧ローラの上流側
に研摩テープの研摩面が180゜以下の角度となるように
方向転換させるために、非接触方向転換用ガイドを設け
るように構成したので、研摩テープに摩耗粉等の異物を
付着させて、ディスクを損傷させたりすることなく研摩
加工を行うことができるようになり、しかも該研摩テー
プの裏面側をガイドするガイドローラに対する接触面積
を大きく取ることができるようになって、研摩テープを
極めて安定した状態にガイドすることができ、ガイドロ
ーラから逸脱したり、ずれたりすることがなくなる。
に研摩テープの研摩面が180゜以下の角度となるように
方向転換させるために、非接触方向転換用ガイドを設け
るように構成したので、研摩テープに摩耗粉等の異物を
付着させて、ディスクを損傷させたりすることなく研摩
加工を行うことができるようになり、しかも該研摩テー
プの裏面側をガイドするガイドローラに対する接触面積
を大きく取ることができるようになって、研摩テープを
極めて安定した状態にガイドすることができ、ガイドロ
ーラから逸脱したり、ずれたりすることがなくなる。
図面は本発明の一実施例を示すディスク研摩装置の全体
構成図である。 1:ディスク、2:研摩テープ、3:供給リール、4:巻取リー
ル、5:加圧ローラ、6,7,9,10:ガイドローラ、8:送りロ
ーラ、11:非接触方向転換用ガイド、12:エア吹き付け部
材、13:ターンガイド。
構成図である。 1:ディスク、2:研摩テープ、3:供給リール、4:巻取リー
ル、5:加圧ローラ、6,7,9,10:ガイドローラ、8:送りロ
ーラ、11:非接触方向転換用ガイド、12:エア吹き付け部
材、13:ターンガイド。
Claims (1)
- 【請求項１】供給リールから供給される研摩テープを加
圧ローラによって、その研摩面をディスクの表面に押し
付けることによって、該ディスクの表面を研摩加工する
ものにおいて、前記研摩テープの走行経路における前記
加圧ローラの上流側にガイドローラを設けて、該ガイド
ローラに前記研摩テープの裏面を摺接させると共に、該
研摩テープを前記ガイドローラに巻き付く方向にガイド
するために、該ガイドローラの上流側に該研摩テープの
研摩面に向けてエアを吹き付ける非接触方向転換用ガイ
ドを設ける構成としたことを特徴とするディスク研摩装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426088A JP2653126B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ディスク研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24426088A JP2653126B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ディスク研摩装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295560A JPH0295560A (ja) | 1990-04-06 |
| JP2653126B2 true JP2653126B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=17116107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24426088A Expired - Fee Related JP2653126B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ディスク研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2653126B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6475070B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-11-05 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing with a moving polishing sheet |
| JP2007130736A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Yac Co Ltd | 基板表面加工装置 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24426088A patent/JP2653126B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0295560A (ja) | 1990-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |