JPH0298157A - 半導体素子ピックアップ装置 - Google Patents
半導体素子ピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH0298157A JPH0298157A JP63250385A JP25038588A JPH0298157A JP H0298157 A JPH0298157 A JP H0298157A JP 63250385 A JP63250385 A JP 63250385A JP 25038588 A JP25038588 A JP 25038588A JP H0298157 A JPH0298157 A JP H0298157A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- drive source
- semiconductor element
- push
- pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体素子のボンディング工程において、粘
着シート上の半導体素子をピックアップする半導体素子
ピックアップ装置に関するものである。
着シート上の半導体素子をピックアップする半導体素子
ピックアップ装置に関するものである。
従来の技術
従来、この種のピックアップ装置は、粘着シート上の分
割された半導体素子を下方より突き上げる突き上げニー
ドルと、この動作に同期して上記突き上げられた半導体
素子を上方よりピックアップツールにて吸着して搬送し
、リードフレーム上の所定の位置ヘボンディングする機
構を有し、ピックアップツールと突き上げニードルが同
一の駆動源で構成されていた。
割された半導体素子を下方より突き上げる突き上げニー
ドルと、この動作に同期して上記突き上げられた半導体
素子を上方よりピックアップツールにて吸着して搬送し
、リードフレーム上の所定の位置ヘボンディングする機
構を有し、ピックアップツールと突き上げニードルが同
一の駆動源で構成されていた。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、突き上げニードルの移動距
離と移動速度が固定されている。このなめ半導体素子を
突き上げる距離や速度を変更することが容易ではなく、
移動距離が長すぎたり、移動速度が速すぎると正確にピ
ックアップできなかったり、半導体素子がダメージを受
けるなどの間組があった。
離と移動速度が固定されている。このなめ半導体素子を
突き上げる距離や速度を変更することが容易ではなく、
移動距離が長すぎたり、移動速度が速すぎると正確にピ
ックアップできなかったり、半導体素子がダメージを受
けるなどの間組があった。
本発明は上記間層を解決するもので、突き上げニードル
の移動距離と移動速度が変更可能な半導体素子ピックア
ップ装置を提供することを目的とするものである。
の移動距離と移動速度が変更可能な半導体素子ピックア
ップ装置を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記間趙を解決するために本発明は、ピックアップツー
ルの駆動源とは別に、突き上げニードルを上下動させる
駆動源を設け、上記突き上げ用の駆動源に制御の可能な
駆動源、たとえばモータを用いて、突き上げニードルの
上下動作を制御するものである。
ルの駆動源とは別に、突き上げニードルを上下動させる
駆動源を設け、上記突き上げ用の駆動源に制御の可能な
駆動源、たとえばモータを用いて、突き上げニードルの
上下動作を制御するものである。
作用
上記構成により、制御が可能な第１の駆動源である、た
とえばモータの回転角度とその速度を制御することによ
り、突き上げニードルの移動距離と移動速度を任意に制
御することができる。
とえばモータの回転角度とその速度を制御することによ
り、突き上げニードルの移動距離と移動速度を任意に制
御することができる。
実施例
以下本発明の一実緒例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すピックアップ装置の構
成図である。第１図において、粘着シート１上に分割配
置された半導体素子２は第１の駆動源３により駆動され
る突き上げ装置の突き上げニードル４によって上方に突
き上げられ、この動作に同期して第２の駆動源５により
駆動されるピックアップツール６により吸着された後、
搬送される。７は第１の駆動源３を数値制御する制御部
である。
成図である。第１図において、粘着シート１上に分割配
置された半導体素子２は第１の駆動源３により駆動され
る突き上げ装置の突き上げニードル４によって上方に突
き上げられ、この動作に同期して第２の駆動源５により
駆動されるピックアップツール６により吸着された後、
搬送される。７は第１の駆動源３を数値制御する制御部
である。
第２図および第３図は突き上げ装置の構成を示す斜視図
および側面図である。第２図および第３図において、数
値制御が可能なモータよりなる第１の駆動源３の出力軸
に取り付けられた板カム８を回転させることにより、直
動リンク９の下端に取り付けられたカムフォロア１０を
介して直動リンク９の上端に固定された突き上げニード
ル４が上下に移動する。
および側面図である。第２図および第３図において、数
値制御が可能なモータよりなる第１の駆動源３の出力軸
に取り付けられた板カム８を回転させることにより、直
動リンク９の下端に取り付けられたカムフォロア１０を
介して直動リンク９の上端に固定された突き上げニード
ル４が上下に移動する。
第４図は突き上げニードル４の移動距離の制御動作を説
明するための制御部７の出力波形図である。第４図（ａ
）または（ｂ）のように数値制御が可能な第１の駆動源
３に与える総パルス数を変化させることにより、移動距
離は変化する。第４図（ａ）は第４図（ｂ）より総パル
ス数が多いため、同一の移動時間で移動距離は第４図（
ｂ）よりも第４図（ａ）の方が長くなる。
明するための制御部７の出力波形図である。第４図（ａ
）または（ｂ）のように数値制御が可能な第１の駆動源
３に与える総パルス数を変化させることにより、移動距
離は変化する。第４図（ａ）は第４図（ｂ）より総パル
ス数が多いため、同一の移動時間で移動距離は第４図（
ｂ）よりも第４図（ａ）の方が長くなる。
第５図は突き上げニードル４の移動速度の制御動作を説
明するための制御部７の出力波形図である。第５図（ａ
）または第５図（ｂ）のように数値制御可能な第１の駆
動源３に与えるパルスの時間間隔を変化させることによ
り突き上げニードル４の移動速度は変化し、同じ数量の
パルスを第５図（ｂ）は第５図（ａ）よりら短時間で与
えるため、移動距離は等しいがその速度は第５図＋１）
）の方が第５図（ａ）よりも速い。
明するための制御部７の出力波形図である。第５図（ａ
）または第５図（ｂ）のように数値制御可能な第１の駆
動源３に与えるパルスの時間間隔を変化させることによ
り突き上げニードル４の移動速度は変化し、同じ数量の
パルスを第５図（ｂ）は第５図（ａ）よりら短時間で与
えるため、移動距離は等しいがその速度は第５図＋１）
）の方が第５図（ａ）よりも速い。
第６図は本発明の他の実施例の突き上げ装置を示す、第
６図において、駆動に数値制御が可能なモータを用い、
出力軸に収り付けられた板カム８によりカムフォロア１
１を介してリンク１２を駆動し、さらにリンク１２に連
結されたリンク１３．１４を介して直動リンク９のカム
フォロア１０を駆動し、突き上げニードル４を上下動さ
せる構成である。
６図において、駆動に数値制御が可能なモータを用い、
出力軸に収り付けられた板カム８によりカムフォロア１
１を介してリンク１２を駆動し、さらにリンク１２に連
結されたリンク１３．１４を介して直動リンク９のカム
フォロア１０を駆動し、突き上げニードル４を上下動さ
せる構成である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、突き上げニードルの移動
距離とその移動速度を任意に設定できるため、半導体素
子に与えるダメージを最小にし、安定してピックアップ
できるような条件を容易に設定することができる。この
結果、装置の安定化を図ることができる。
距離とその移動速度を任意に設定できるため、半導体素
子に与えるダメージを最小にし、安定してピックアップ
できるような条件を容易に設定することができる。この
結果、装置の安定化を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例の半導体素子ピックアップ装
置を示す構成図、第２図および第３図は突き上げ装置の
構成を示す斜視図および側面図、第４図および第５図は
突き上げニードルの移動距離と移動速度を制御する制御
部の出力波形図、第６図は本発明の他の実施例の突き上
げ装置の側面図である。 １・・・粘着シート、２・・・半導体素子、３・・・第
１の駆動源、４・・・突き上げニードル、５・・・第２
の駆動源、６・・・ピックアップツール、７・・・制御
部、８・・・板カム、９・・・直動リンク、１０・・・
カムフォロア、１１・・・カムフォロア、１２．１３．
１４・・・リンク。 代理人 森 本 義 弘 第 １−一一オ占蕃 シート ２− 半１林青キ ４−−一賃屯ＩＩデ・ニーＹル ６−−−ピッグ１ツフ０ツール 第 第す図 第２図 第６
置を示す構成図、第２図および第３図は突き上げ装置の
構成を示す斜視図および側面図、第４図および第５図は
突き上げニードルの移動距離と移動速度を制御する制御
部の出力波形図、第６図は本発明の他の実施例の突き上
げ装置の側面図である。 １・・・粘着シート、２・・・半導体素子、３・・・第
１の駆動源、４・・・突き上げニードル、５・・・第２
の駆動源、６・・・ピックアップツール、７・・・制御
部、８・・・板カム、９・・・直動リンク、１０・・・
カムフォロア、１１・・・カムフォロア、１２．１３．
１４・・・リンク。 代理人 森 本 義 弘 第 １−一一オ占蕃 シート ２− 半１林青キ ４−−一賃屯ＩＩデ・ニーＹル ６−−−ピッグ１ツフ０ツール 第 第す図 第２図 第６
Claims (1)
- １、粘着シートに分割配置されて貼り付けられた半導体
素子を、突き上げニードルを上下動させて、上記粘着シ
ートの下方から突き上げる制御が可能な第１の駆動源と
、突き上げられた半導体素子を、ピックアップツールを
駆動して吸着し、搬送する第２の駆動源と、上記第１の
駆動源を制御する制御部とを備えた半導体素子ピックア
ップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250385A JPH0298157A (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 | 半導体素子ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63250385A JPH0298157A (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 | 半導体素子ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0298157A true JPH0298157A (ja) | 1990-04-10 |
Family
ID=17207133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63250385A Pending JPH0298157A (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 | 半導体素子ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0298157A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465858A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Rohm Co Ltd | 半導体チップのピックアップ方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144841B2 (ja) * | 1975-10-24 | 1986-10-04 | Chatsupuman Chem Co |
-
1988
- 1988-10-04 JP JP63250385A patent/JPH0298157A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144841B2 (ja) * | 1975-10-24 | 1986-10-04 | Chatsupuman Chem Co |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465858A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Rohm Co Ltd | 半導体チップのピックアップ方法 |
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