JPH0465858A - 半導体チップのピックアップ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エキスパンドシートに貼着した半導体チップ
を、吸着コレットにてピックアップする方法に関するも
のである。

〔従来の技術〕

一般に、ＩＣ等の半導体部品の製造に際しては、エキス
パンドシートにウェハを貼着し、この状態で前記ウェハ
を各半導体チップごとにブレイクし、この半導体チップ
を、吸着コレットにて、エキスパンドシートから一個ず
つピックアップしたのち、リードフレーム又は基板等に
対して移送供給することが行なわれる。

そして、前記エキスパンドシートに貼着された半導体チ
ップを、吸着コレットにてピックアップする方法には、 ■、エキスパンドシートの下面側に、内部に上下動する
針状体を備えたスリーブ体を配設し、前記エキスパンド
シートの上面における半導体チップに吸着コレットを近
接させた状態で、前記針状体を上昇動することによって
、当該針状体にて、前記半導体チップを、前記エキスパ
ンドシートを突き破るように突き上げて、前記吸着コレ
ットに吸着させる。

と言う方法と、 ■、エキスパンドシートの下面側に、内部に針状体を備
えたスリーブ体を上下動可能に配設して、このスリーブ
体にて、エキスノくンドンートを、その上面における半
導体チ・ツブが吸着コレットに近接するように押し上げ
、この状態で、その内部における針状体を下降動するこ
となく、前記スリーブ体のみを下降動することによって
、前記針状体をスリーブ体の先端から突出し、この針状
体にて、前記半導体チ・ツブを、エキスノくンドシート
を突き破るように突き上げて、前記吸着コレットに吸着
させる。

と言う二つの方法があることは、良く知られて０る。

〔発明が解決しようとする課題〕

そして、従来は、前記第１の方法にお０て針状体を上昇
動すること、及び前記第２の方法（こおし）てスリーブ
体を下降動することを、空気圧シＩノンダにて行うよう
に構成にしているため、前記針状体を上昇動するときの
速度、又は前記スリーブ体を下降動するときの速度を、
これらの上昇動又（ま下降動の途中において変更するこ
とができなｔＡ力）ら、以下に述べるような問題を招来
するのであつた。

すなわち、針状体で、エキスパンドシートを突き破るこ
との確実性を向上するには、前記針状体を上昇動すると
きの速度、又は前記スリーブ体を下降動するときの速度
を早くすれば良いが、これらの速度を早い値に設定する
と、針状体にて突き上げた半導体チップが吸着コレット
に対して接当するときの速度が早くなり、換言すると、
半導体チップが早い速度で吸着コレットに対して接当す
るから、半導体チップを損傷することの発生率が高くな
るのであった。

また、半導体チップを損傷することの発生率を低くする
ために、前記針状体を上昇動するときの速度、又は前記
スリーブ体を下降動するときの速度を遅い値に設定する
と、針状体にてエキスパンドシートを突き破ることの確
実性が低下し、ひいては、半導体チップのエキスパンド
シートからの剥離性が低下するので、半導体チップを吸
着コレットにて吸着できないと言うピックアップミスの
発生率が高（なるのであった。

本発明は、前記第１の方法において、針状体を上昇動す
るときの速度、又は前記第２の方法において、スリーブ
体を下降動するときの速度を、これらの上昇動又は下降
動の途中において変更できるようにすることによって、
半導体チップのピックアップに際しての、半導体チップ
の損傷発生率及びピックアップミスの発生率を確実に低
減できるようにした方法を提供することを技術的課題と
するものである。

〔課題を解決するための手段〕

この技術的課題を達成するため請求項１は、エキスパン
ドシートの下面側に、内部に上下動する針状体を備えた
スリーブ体を配設し、前記エキスパン下シートの上面に
おける半導体チップに吸着コレットを近接させた状態で
、前記針状体を上昇動することによって、当該針状体に
て、前記半導体チップを、前記エキスパンドシートを突
き破るように突き上げて、前記吸着コレットに吸着させ
るピックアップ方法において、前記針状体の上下動を、
ステップモータの駆動にて行うようにして、このステッ
プモータによる前記針状体の上昇動の速度を、その上昇
動の初期において早く、その後において遅くするように
設定することにした。

また、請求項２は、エキスパンドシートの下面側に、内
部に針状体を備えたスリーブ体を上下動可能に配設して
、このスリーブ体にて、エキスパンドシートを、その上
面における半導体チップが吸着コレットに近接するよう
に押し上げ、この状態で、その内部における針状体を下
降動することなく、前記スリーブ体のみを下降動するこ
とによって、前記針状体をスリーブ体の先端から突出し
、この針状体にて、前記半導体チップを、エキスパンド
シートを突き破るように突き上げて、前記吸着コレット
に吸着させるピックアップ方法において、前記スリーブ
体の上下動を、ステップモータの駆動にて行うようにし
て、その下降動の速度を、その下降動の初期において早
く、その後において遅くするように設定することにした
。

〔発明の作用・効果〕

このように、前記第１の方法において針状体を上昇動す
るときの速度、又は前記第２の方法においてスリーブ体
を下降動するときの速度を、ステップモータの駆動によ
って、その上昇動又と下降動の初期において早く、その
後において遅くするように構成すると、針状体にてエキ
スパンドシートを突き破ることを早い速度で行うことか
できるものでありながら、この針状体の突き上げにより
半導体チップが吸着コレットに対して接当するときの速
度を遅くすることができるのである。

従って本発明によると、エキスパンドシートに貼着した
半導体チップのピックアップに際して、半導体チップを
損傷することの発生率、及びピックアップミスの発生率
を確実に低減できる効果を有する。

しかも、針状体又はスリーブ体の上下動を、ステップモ
ータの駆動にて行うようにしたことにより、その上下動
のストロークを、前記ステップモータに対する入力のパ
ルス信号によって自在に変更することができるから、半
導体チップの大きさや厚さの変更に対して至極容易に対
応することができる効果をも有する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面について説明するに、第１
図〜第５図は、前記請求項１に対応する第１の実施例を
示し、この図において符号１は、上面にウェハ２を貼着
して成るエキスパンドシートを示し、該エキスパンドシ
ート１は、図示しないＸＹ子テーブル、水平の状態に取
付けられ、このＸＹ子テーブルよって、平面視において
、互いに直角に交わるＸ方向とＸ方向との二つの方向に
移動するように構成されており、その上方には、上下動
式の吸着コレット３が配設されている。

符号４は機台を、符号５はブラケットを各々示し、該ブ
ラケット５は、前記機台４の上面に対して、ＸＹスライ
ド部材６を介して、平面視において、前記Ｘ方向とＸ方
向との二つの方向に移動自在に装着する一方、前記機台
４には、前記Ｘ方向に延びるねじ軸７と、前記Ｘ方向に
延びるねじ軸８とを回転自在に軸支し、この両ねじ軸７
，８のうち一方のねじ軸７を、前記ＸＹススライド材６
に螺合する一方、他方のねじ軸８を、前記機台４に中程
部をピン９にて枢着したリンク１０の一端に螺合し、リ
ンク１０の他端における長溝孔１１に、前記ブラケット
５に固着したピン１２を嵌まり係合し、前記ブラケット
５を、前記一方のねし軸７をそのハンドル１３にて回転
することによって、前記Ｘ方向に移動調節すると共に、
前記他方のねじ軸８をそのハンドル１４にて回転するこ
とによって、前記Ｘ方向に移動調節するように構成する
。

そして、前記ブラケット５から上向きに突出した部材５
ａに、スリーブ体１５を上向きに突出するように取付け
て、このスリーブ体１５内に、摺動自在に挿入したスピ
ンドル軸１６の上端に、針状体１７を設け、このスピン
ドル軸１６の下端を、前記ブラケット５の側面に上下方
向に摺動自在に支持シタスライド部材１８に固着して、
このスライド部材１８にコロ１９を設ける一方、前記ブ
ラケット５の上面に、ステップモータ（パルスモータ）
２０を取付け、このステップモータ２ｏの出内軸に嵌着
した偏芯カム板２Ｉに、前記コロ１９を、前記スライド
部材１８とブラケット５との間に装架したばね２２にて
押圧接当することにより、前記ステップモータ２０の回
転にて、前記針状体１７のみを上下動するように構成す
る。

この場合において、前記ステップモータ２０に対する入
力のパルス信号を適宜制御することによって、前記針状
体１７を上昇動するときの速度を、その上昇動の初期に
おいて早く、その後において遅くするように設定するの
である。

このように構成すると、針状体１７の上昇動によって、
第４図に示すように、エキスパンドシート１を突き破る
ときには、当該針状体１７における上昇動の速度を早く
できることができる一方、前記針状体１７の突き上げに
よって、ウェハ２における半導体チップ２ａを、第５図
に示すように、吸着コレット３に対して接当するときに
は、当該針状体１７の上昇動の速度を遅くすることがで
きるのである。

また、第６図は、前記請求項２に対応する第２の実施例
を示すもので、この第２実施例は、スリーブ体１５を、
ブラケット５に対して上下方向に移動自在に支持したス
ライド部材１８に固着する一方、このスリーブ体１５内
における針状体１７付きスピンドル軸１６を、ステップ
モータ２０の上面に取付けた支持部材２３に固着し、前
記スライド部材１８に設けたコロ１９を、前記ステップ
モータ２０の出力軸に嵌着した偏芯カム板２１に対して
、前記支持部材２２とスライド部材１８との間に装架し
たばね２４にて押圧接当することにより、前記前記ステ
ップモータ２０の回転にて、前記スリーブ体１５のみを
上下動するように構成したものである。

なお、この第２の実施例におけるブラケット５、スリー
ブ体１５、針状体１７付きスピンドル軸Ｉ６、ステップ
モータ２０及び偏芯カム板２１は、前記第１の実施例と
同一の部品によって構成され、両実施例の相互間におけ
る部品の共通化を図っている。

そして、この第２実施例の場合においては、前記ステッ
プモータ２０に対する入力のパルス信号を適宜制御する
ことによって、前記スリーブ体１５を下降動するときの
速度を、その下降動の初期において早く、その後におい
て遅くするように設定するのであり、これにより、前記
スリーブ体１５の下降動に伴って針状体１７が、当該ス
リーブ体１５の先端から突出して、エキスパンドシート
ｌを突き破るときの速度を早くすることができる一方、
この針状体１７にてウェハ２における半導体チップ２ａ
を吸着コレット３に対して接当するときの速度を遅くす
ることができるのである。

なお、前記台ｌの実施例において、スリーブ体１５内に
おける針状体１７を上昇動するとき、又は前記第２の実
施例において、針状体１７の外側におけるスリーブ体１
５を下降動するときにおいて、前記スリーブ体１５の上
端面に対してエキスパンドシートｌを真空吸着するよう
に構成しても良いのである。

また、前記各実施例のように、ブラケット５、ひいては
、スリーブ体１５及び針状体１７を、二本のねじ軸７，
８にて、Ｘ方向とＹ方向との二つの方向に対して移動調
節できるように構成することにより、前記吸着コレット
３の軸線に対して、スリーブ体１５及び針状体１７の軸
線を一致することが至極容易にできるのである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は第１実施例の斜
視図、第２図は第１図の拡大縦断正面図、第３図は第２
図の■−■視断面断面図４図及び第５図は作用状態を示
す拡大図、第６図は第２実施例の縦断正面図である。 ■・・・・エキスパンドシート、２・・・・ウェハ、２
ａ・・・・半導体チップ、３・・・・吸着コレット、４
・・機台、５・・・・ブラケット、６・・・・ＸＹスラ
イド部材、７，８・・・・ねじ軸、１５・・・・スリー
ブ体、１６・・・・スピンドル軸、１７・・・・針状体
、１８・・・・スライド部材、１９・・・・コロ、２０
・・・・ステップモータ、２１・・・・偏芯カム板。 第４図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、エキスパンドシートの下面側に、内部に上下動
   する針状体を備えたスリーブ体を配設し、前記エキスパ
   ンドシートの上面における半導体チップに吸着コレット
   を近接させた状態で、前記針状体を上昇動することによ
   って、当該針状体にて、前記半導体チップを、前記エキ
   スパンドシートを突き破るように突き上げて、前記吸着
   コレットに吸着させるピックアップ方法において、前記
   針状体の上下動を、ステップモータの駆動にて行うよう
   にして、このステップモータによる前記針状体の上昇動
   の速度を、その上昇動の初期において早く、その後にお
   いて遅くするように設定したことを特徴とする半導体チ
   ップのピックアップ方法。
2. （２）、エキスパンドシートの下面側に、内部に針状体
   を備えたスリーブ体を上下動可能に配設して、このスリ
   ーブ体にて、エキスパンドシートを、その上面における
   半導体チップが吸着コレットに近接するように押し上げ
   、この状態で、その内部における針状体を下降動するこ
   となく、前記スリーブ体のみを下降動することによって
   、前記針状体をスリーブ体の先端から突出し、この針状
   体にて、前記半導体チップを、エキスパンドシートを突
   き破るように突き上げて、前記吸着コレットに吸着させ
   るピックアップ方法において、前記スリーブ体の上下動
   を、ステップモータの駆動にて行うようにして、その下
   降動の速度を、その下降動の初期において早く、その後
   において遅くするように設定したことを特徴とする半導
   体チップのピックアップ方法。