JPH0294107A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH0294107A JPH0294107A JP24763788A JP24763788A JPH0294107A JP H0294107 A JPH0294107 A JP H0294107A JP 24763788 A JP24763788 A JP 24763788A JP 24763788 A JP24763788 A JP 24763788A JP H0294107 A JPH0294107 A JP H0294107A
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- magnetic head
- magnetic
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- abrasive grains
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野］
本発明は、高密度記録、再生を行なうために必要な、磁
気ヘッドの製造方法に関する。
気ヘッドの製造方法に関する。
本発明の磁気へノドの製造方法は磁気ヘッド製造時に、
粒径／２〜／／４μｍのアルミナ砥粒（砥粒１！１度５
〜５０ ｗｔ％）にヘキサフルオロけい酸（Ｈ２ＳｉＦ
６）を添加して、ＰＨ３〜６に調整したものを使用して
メカノケミカルポリッシュを行ない鏡面研磨することを
特徴とする。
粒径／２〜／／４μｍのアルミナ砥粒（砥粒１！１度５
〜５０ ｗｔ％）にヘキサフルオロけい酸（Ｈ２ＳｉＦ
６）を添加して、ＰＨ３〜６に調整したものを使用して
メカノケミカルポリッシュを行ない鏡面研磨することを
特徴とする。
〔従来の技術」
従来、高密度の記録再生を行うために、磁性材料からな
るコアのギャップ対向面に合金磁性薄膜を形成した磁気
ヘッドが知られてめる。以下、そのような磁気ヘッドの
製造手順を簡単に説明すると、まず、第１１図及び第１
２図に示すように、酸化物磁性材料からなる１対のブロ
ック状のコアト２にそれぞれ外部巻線溝３・４及びガラ
ス充填溝５・６が形成され、かつ、一方のコア１に内部
巻線溝７が形成される。
るコアのギャップ対向面に合金磁性薄膜を形成した磁気
ヘッドが知られてめる。以下、そのような磁気ヘッドの
製造手順を簡単に説明すると、まず、第１１図及び第１
２図に示すように、酸化物磁性材料からなる１対のブロ
ック状のコアト２にそれぞれ外部巻線溝３・４及びガラ
ス充填溝５・６が形成され、かつ、一方のコア１に内部
巻線溝７が形成される。
次に、コアト２の各テープ摺動面８・９とギャップ対向
面１１−１２とがメカニカルポリッシュにより鏡面状に
研磨された後、第１３図及び第１４図のように、ギャッ
プ対向面１１−１２に、磁気記録媒体におけるトラック
幅に対応させてギャップ幅を調整するための溝１３・１
３ ・ １４・１４・が形成される。
面１１−１２とがメカニカルポリッシュにより鏡面状に
研磨された後、第１３図及び第１４図のように、ギャッ
プ対向面１１−１２に、磁気記録媒体におけるトラック
幅に対応させてギャップ幅を調整するための溝１３・１
３ ・ １４・１４・が形成される。
尚、メカニカルポリンシュにおいて、砥粒には粒径−μ
ｍのダイヤモンド砥粒を蒸留水で鳴に薄めたものを使用
する。
ｍのダイヤモンド砥粒を蒸留水で鳴に薄めたものを使用
する。
続いて、ギャップ対向面１１・１２の表面付近がエツチ
ングされた後、第１５図及び第１６図に示すように、ギ
ャップ対向面１１・１２に合金磁性薄膜１５・１６が形
成される。その後、図示しないが、一方のコア１０合金
磁性薄膜１５上に非磁性材料からなるギャップ材が付着
される。
ングされた後、第１５図及び第１６図に示すように、ギ
ャップ対向面１１・１２に合金磁性薄膜１５・１６が形
成される。その後、図示しないが、一方のコア１０合金
磁性薄膜１５上に非磁性材料からなるギャップ材が付着
される。
引続き、第１７図に示すように、コアト２における合金
磁性薄膜１５・１６が形成されたギャップ対向面１１・
１２同士が対向させられた状態で、ガラス１７・１７が
溶融されることによυ両コアト２が接合される。次に、
第１８図に示すように、テープ摺動面８・９に曲率が付
与された後、コア１・２が第１８図中の２点鎖線に漬っ
て切断されることにより、第１９図に示すように、テー
プ摺動面８・９同士の間にギャップ１８を有する磁気ヘ
ッドが複数偏置られる。
磁性薄膜１５・１６が形成されたギャップ対向面１１・
１２同士が対向させられた状態で、ガラス１７・１７が
溶融されることによυ両コアト２が接合される。次に、
第１８図に示すように、テープ摺動面８・９に曲率が付
与された後、コア１・２が第１８図中の２点鎖線に漬っ
て切断されることにより、第１９図に示すように、テー
プ摺動面８・９同士の間にギャップ１８を有する磁気ヘ
ッドが複数偏置られる。
上記のような磁気ヘッドの製造方法であれば、ダイヤモ
ンドは硬度が犬きく、酸化物磁性材料に引っかきキズ（
スクラッチ）を残す。これはフ。
ンドは硬度が犬きく、酸化物磁性材料に引っかきキズ（
スクラッチ）を残す。これはフ。
酸でエツチングを行なうと第２０図に示す様に顕著とな
る。深いものは６００〜７００Ａの深きに達する。また
、すず定盤上で機械的に研磨するため、フェライト表面
に加工変質層（非磁性部分）が発生する。
る。深いものは６００〜７００Ａの深きに達する。また
、すず定盤上で機械的に研磨するため、フェライト表面
に加工変質層（非磁性部分）が発生する。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は上記のような課題を解
決したもので、磁気ヘッド製造時に、粒径１４〜１／４
μｍのアルミナ（Ａ１２０３）砥粒（砥粒濃度５〜５０
ｗｔ％）にヘキサフルオロけい酸（Ｈ２ＳｉＦ６）を添
加して、ＰＨ３〜６に調整したものを使用して鏡面研磨
（メカノケミカルポリシュ）する様にしたものである。
決したもので、磁気ヘッド製造時に、粒径１４〜１／４
μｍのアルミナ（Ａ１２０３）砥粒（砥粒濃度５〜５０
ｗｔ％）にヘキサフルオロけい酸（Ｈ２ＳｉＦ６）を添
加して、ＰＨ３〜６に調整したものを使用して鏡面研磨
（メカノケミカルポリシュ）する様にしたものである。
ダイヤモンドよりも軟かいアルミナを用Ａて引っかきキ
ズを少なくする。（第１０図に示す）さらに、けいふっ
酸（Ｈ２Ｓ １Ｆ６）を使用することにより従来の２倍
の加工速度でポリッシュを行なうことができた。これは
すず定盤と酸化物磁性材料との間で電気化学的溶解が起
こってｒるためと考えられる。すなわち、すず定盤が８
２＋ｎと２ｅ−を発生し、酸化物磁性材料中の金属酸化
物（例えばＦｅ２Ｏ３，Ａ７７２０８等）と、ケイフッ
酸中ノ１トスず定盤からの２１との間で反応が起き、金
属イオンとＨ２Ｏとなシ溶解する。
ズを少なくする。（第１０図に示す）さらに、けいふっ
酸（Ｈ２Ｓ １Ｆ６）を使用することにより従来の２倍
の加工速度でポリッシュを行なうことができた。これは
すず定盤と酸化物磁性材料との間で電気化学的溶解が起
こってｒるためと考えられる。すなわち、すず定盤が８
２＋ｎと２ｅ−を発生し、酸化物磁性材料中の金属酸化
物（例えばＦｅ２Ｏ３，Ａ７７２０８等）と、ケイフッ
酸中ノ１トスず定盤からの２１との間で反応が起き、金
属イオンとＨ２Ｏとなシ溶解する。
また、けいふっ酸中のけい酸が酸化物磁性材料表面に網
目状に吸着してスクラッチの発生を防いでいる。
目状に吸着してスクラッチの発生を防いでいる。
［実施例］
本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例を第１図から
第９図に示す。
第９図に示す。
高密度の記録再生を行うために、磁性材料からなるコア
のギヤ、ブ対向面に合金磁性薄膜を形成した磁気ヘッド
が知られている。以下、そのような磁気ヘッドの製造手
順を簡単に説明すると、まず、第１図及び第２図に示す
ように、酸化物磁性材料からなる１対のブロック状のコ
アト２にそれぞれ外部巻線溝３・４及びガラス充填溝５
・６が形成され、かつ、一方のコア１に内部巻線溝７が
形成される。
のギヤ、ブ対向面に合金磁性薄膜を形成した磁気ヘッド
が知られている。以下、そのような磁気ヘッドの製造手
順を簡単に説明すると、まず、第１図及び第２図に示す
ように、酸化物磁性材料からなる１対のブロック状のコ
アト２にそれぞれ外部巻線溝３・４及びガラス充填溝５
・６が形成され、かつ、一方のコア１に内部巻線溝７が
形成される。
次に、コア１−２の各テープ摺動面８・９とギャップ対
向面１１・１２とが鏡面状に研磨された後、第３図及び
第４図のように、ギャップ対向面１１・１２に、磁気記
録媒体におけるトラック幅に対応させてギャップ幅を調
整するための溝１３−１３・・・、１４−１４・・・が
形成される。
向面１１・１２とが鏡面状に研磨された後、第３図及び
第４図のように、ギャップ対向面１１・１２に、磁気記
録媒体におけるトラック幅に対応させてギャップ幅を調
整するための溝１３−１３・・・、１４−１４・・・が
形成される。
続いて、ギャップ対向面１１・１２の表面付近がエツチ
ングされた後、第５図及び第６図に示すように、ギャッ
プ対向面１１ψ１２に合金磁性薄膜１５・１６が形成さ
れる。その後、図示しないが、一方のコア１の合金磁性
薄膜１５上に非磁性材料からなるギャップ材が付着され
る。
ングされた後、第５図及び第６図に示すように、ギャッ
プ対向面１１ψ１２に合金磁性薄膜１５・１６が形成さ
れる。その後、図示しないが、一方のコア１の合金磁性
薄膜１５上に非磁性材料からなるギャップ材が付着され
る。
引続き、第７図に示すように、コア１φ２における合金
磁性薄膜１５・１６が形成されたギャップ対向面１１・
１２同士が対向させられた状態で、ガラス１７・１７が
溶融されることにより両コアト２が接合される。次に、
第８図に示すように、テープ摺動面８・９に曲率が付与
された後、コアト２が第８図中の２点鎖線に沿って切断
されることにより、第９図に示すように、テープ摺動面
８φ９同士の間にギャップ１８を有する磁気ヘッドが複
数装置られる。
磁性薄膜１５・１６が形成されたギャップ対向面１１・
１２同士が対向させられた状態で、ガラス１７・１７が
溶融されることにより両コアト２が接合される。次に、
第８図に示すように、テープ摺動面８・９に曲率が付与
された後、コアト２が第８図中の２点鎖線に沿って切断
されることにより、第９図に示すように、テープ摺動面
８φ９同士の間にギャップ１８を有する磁気ヘッドが複
数装置られる。
本発明の磁気ヘッドの製造方法によりポリッシュ後の面
粗さが従来の６０大（第２０図に示す）から２０Ｘ（第
１．０図に示す）へと向上し、エツチング後も２００＾
（第２０図に示す）から６０久（第１０図に示す）へと
向上した。またスクラッチもほとんど発生していなｌ７
−１（第１０図に示す）。
粗さが従来の６０大（第２０図に示す）から２０Ｘ（第
１．０図に示す）へと向上し、エツチング後も２００＾
（第２０図に示す）から６０久（第１０図に示す）へと
向上した。またスクラッチもほとんど発生していなｌ７
−１（第１０図に示す）。
［発明の効果］
本発明の磁気ヘッドの製造方法は上記のような構成であ
るから、引っかきキズを少なくすることができるととも
に従来の２倍の加工速度でポリッシュを行なうことがで
き、ポリッシュ後及びエツチング後の而粗さを向上させ
ることができるとともにスクラッチの発生も防ぐことが
できる。
るから、引っかきキズを少なくすることができるととも
に従来の２倍の加工速度でポリッシュを行なうことがで
き、ポリッシュ後及びエツチング後の而粗さを向上させ
ることができるとともにスクラッチの発生も防ぐことが
できる。
第１図乃至第９図は本発明の磁気ヘッドの製造方法の説
明図、第１０図は本発明の磁気ヘッドの製造方法でけい
ふっ酸とアルミナの混合液を用いてメカノケミカルポリ
ッシュを行なった時の酸化図は従来の磁気へ、ドの製造
方法の説明図、第２０図ハタイヤモンド砥粒でメカニカ
ルポリッシュを行なった時の酸化物磁性材料の面粗さを
表す図である。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至（他１名）第２図 第４図 第５図 第６ 図 第７図 第１／図 第１８図 第１（１図 第２０図
明図、第１０図は本発明の磁気ヘッドの製造方法でけい
ふっ酸とアルミナの混合液を用いてメカノケミカルポリ
ッシュを行なった時の酸化図は従来の磁気へ、ドの製造
方法の説明図、第２０図ハタイヤモンド砥粒でメカニカ
ルポリッシュを行なった時の酸化物磁性材料の面粗さを
表す図である。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至（他１名）第２図 第４図 第５図 第６ 図 第７図 第１／図 第１８図 第１（１図 第２０図
Claims (1)
- １、磁気ヘッドの製造時に粒径１／２〜１／４μｍのア
ルミナ砥粒（砥粒濃度５〜５０ｗｔ％）にヘキサフルオ
ロけい酸を添加してＰＨ３〜６に調整したものを使用し
て鏡面研磨することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24763788A JPH0294107A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24763788A JPH0294107A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0294107A true JPH0294107A (ja) | 1990-04-04 |
Family
ID=17166464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24763788A Pending JPH0294107A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0294107A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747916A (en) * | 1995-02-28 | 1998-05-05 | Nec Corporation | Packaged piezoelectric transformer unit |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24763788A patent/JPH0294107A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747916A (en) * | 1995-02-28 | 1998-05-05 | Nec Corporation | Packaged piezoelectric transformer unit |
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