JPH026337A - 易焼結性粉末、製造方法及び積層素子 - Google Patents
易焼結性粉末、製造方法及び積層素子Info
- Publication number
- JPH026337A JPH026337A JP63111573A JP11157388A JPH026337A JP H026337 A JPH026337 A JP H026337A JP 63111573 A JP63111573 A JP 63111573A JP 11157388 A JP11157388 A JP 11157388A JP H026337 A JPH026337 A JP H026337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- powder
- sinterable powder
- ion
- pmn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 23
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 15
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 6
- 229910001425 magnesium ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910001422 barium ion Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 9
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 229910019653 Mg1/3Nb2/3 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 3
- YIXJRHPUWRPCBB-UHFFFAOYSA-N magnesium nitrate Chemical compound [Mg+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O YIXJRHPUWRPCBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 3
- XNHGKSMNCCTMFO-UHFFFAOYSA-D niobium(5+);oxalate Chemical compound [Nb+5].[Nb+5].[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O XNHGKSMNCCTMFO-UHFFFAOYSA-D 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- DQTJHJVUOOYAMD-UHFFFAOYSA-N oxotitanium(2+) dinitrate Chemical compound [O-][N+](=O)O[Ti](=O)O[N+]([O-])=O DQTJHJVUOOYAMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- RLJMLMKIBZAXJO-UHFFFAOYSA-N lead nitrate Chemical compound [O-][N+](=O)O[Pb]O[N+]([O-])=O RLJMLMKIBZAXJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000014380 magnesium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical class [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は精密位置決め用の駆動素子として利用されてい
る積層電歪アクチュエータおよび電子部品として広く利
用されている積層セラミックコンデンサおよびそれらの
原料となる易焼結性Ｐｂ（Ｍｇｌ／３Ｎｂ２／３）Ｏ３
（以下ＰＭＮと云う、）系粉末およびその合成法に
関するものである。
る積層電歪アクチュエータおよび電子部品として広く利
用されている積層セラミックコンデンサおよびそれらの
原料となる易焼結性Ｐｂ（Ｍｇｌ／３Ｎｂ２／３）Ｏ３
（以下ＰＭＮと云う、）系粉末およびその合成法に
関するものである。
従来の技術
積層電歪アクチュエータ素子においてはこれを利用する
場合最も問題となるのが変位のヒステリシスである。ヒ
ステリシスとは電圧を増加させる時と減少させる時で、
ある電圧における変位の大きさが異なることで、これが
箸しい場合電圧の変化だけでアクチュエータを制御する
ことが非常に困難となる。このようなヒステリシスの問
題を解決するために、従来からアクチュエータ用の材料
として利用されてきた圧電材料に代わって、電歪材料が
利用され始めている。電歪材料は歪の発生機構が圧電材
料と異なっているため原理的にヒステリシスが極めて小
さいことが知られており、その中でもＰＭＮは圧電材料
を凌ぐ変位量を示すためアクチュエータ用の材料として
最も適した物質であるとされている。
場合最も問題となるのが変位のヒステリシスである。ヒ
ステリシスとは電圧を増加させる時と減少させる時で、
ある電圧における変位の大きさが異なることで、これが
箸しい場合電圧の変化だけでアクチュエータを制御する
ことが非常に困難となる。このようなヒステリシスの問
題を解決するために、従来からアクチュエータ用の材料
として利用されてきた圧電材料に代わって、電歪材料が
利用され始めている。電歪材料は歪の発生機構が圧電材
料と異なっているため原理的にヒステリシスが極めて小
さいことが知られており、その中でもＰＭＮは圧電材料
を凌ぐ変位量を示すためアクチュエータ用の材料として
最も適した物質であるとされている。
また、ａ層セラミックコンデンサにおいても、従来誘電
体材料として幅広く利用されてきたチタン酸バリウム（
ＢａＴｉＯｓ）に代わり、より大きな誘電率を持つ鉛を
含む複合ペロブスカイト型化合物が最近研究されている
。特にその中でもＰＭＮは１８．０００に及ぶ大きな誘
電率を持つことが知られており、コンデンサの小型大容
量化を実現させる材料として期待されている（時分６１
−２８８１９）。
体材料として幅広く利用されてきたチタン酸バリウム（
ＢａＴｉＯｓ）に代わり、より大きな誘電率を持つ鉛を
含む複合ペロブスカイト型化合物が最近研究されている
。特にその中でもＰＭＮは１８．０００に及ぶ大きな誘
電率を持つことが知られており、コンデンサの小型大容
量化を実現させる材料として期待されている（時分６１
−２８８１９）。
このようにＰＭＮはアクチュエータ用およびコンデンサ
用の材料として非常に適した特性を持ち、広い応用範囲
を有する物質であるが、現在の一般的なＰＭＮの合成方
法では、この優れた特性が必ずしも十分に発揮されてい
ない、現在一般にＰＭＮはｐｂｏ、ＭｇＣＯ３，Ｗｂ２
０５を混合し、 １０００°Ｃ前後で十数時間加熱し、
これらを固相反応させることによって合成されている（
Ｓ、Ｌ、 Ｓｗａｒｔｚｅｔ ａｌ、 ： Ｍａｔ、
Ｒｅｓ、 Ｂｕｌｌ、 １７１２４５）。
用の材料として非常に適した特性を持ち、広い応用範囲
を有する物質であるが、現在の一般的なＰＭＮの合成方
法では、この優れた特性が必ずしも十分に発揮されてい
ない、現在一般にＰＭＮはｐｂｏ、ＭｇＣＯ３，Ｗｂ２
０５を混合し、 １０００°Ｃ前後で十数時間加熱し、
これらを固相反応させることによって合成されている（
Ｓ、Ｌ、 Ｓｗａｒｔｚｅｔ ａｌ、 ： Ｍａｔ、
Ｒｅｓ、 Ｂｕｌｌ、 １７１２４５）。
しかし、この製法は非常な高温を必要とするため合成さ
れたＰＭＮの粒子が非常に粗大化してしまい焼結性が悪
くなるので、この粉末を焼結するためには１２００℃の
高温を必要とする。そのため、焼結体の粒子径が非常に
大きく、また大きさが不揃いなものとなる。ところが、
積層電歪アクチュエータの変位特性、特にヒステリシス
は材料特性そのもののみならず、焼結体の粒子径に大き
く左右される。すなわち、粒子系が大きくまた不揃いな
程ヒステリシスが大きくなり、制御性が悪くなることが
知られている。また一方、積層セラミックコンデンサに
おいては静電容量を大きくする目的で積層の各層の厚み
を薄くすることがなされているが、上記のような粗大か
つ不揃いな粉末を用いると５層を均一な厚みにするのが
困難であり、層をあまり薄くできない。
れたＰＭＮの粒子が非常に粗大化してしまい焼結性が悪
くなるので、この粉末を焼結するためには１２００℃の
高温を必要とする。そのため、焼結体の粒子径が非常に
大きく、また大きさが不揃いなものとなる。ところが、
積層電歪アクチュエータの変位特性、特にヒステリシス
は材料特性そのもののみならず、焼結体の粒子径に大き
く左右される。すなわち、粒子系が大きくまた不揃いな
程ヒステリシスが大きくなり、制御性が悪くなることが
知られている。また一方、積層セラミックコンデンサに
おいては静電容量を大きくする目的で積層の各層の厚み
を薄くすることがなされているが、上記のような粗大か
つ不揃いな粉末を用いると５層を均一な厚みにするのが
困難であり、層をあまり薄くできない。
これに加え、このような難焼結性の粉末を用いて積層素
子（積層電歪アクチュエータや積層セラミックコンデン
サ）を製造する場合、さらに別の問題点を生ずる。一般
にアクチュエータ素子は電歪材料とそれに電圧を印加す
るための電極（一般に内部１電極と呼ばれる）が交互に
積み重ねられた構造をとるが、粉末を焼結した単板焼結
体と電極を交互に積み重ねていたのでは、手間がかかる
上に素子の精度が非常に悪くなるため、このような方法
によってではなく、あらかじめ粉末をシート状に成形し
たものに有機溶媒に分散させた電極材料を塗布し、これ
を何十枚か積み重ねたものを焼結する方法によって製造
される。
子（積層電歪アクチュエータや積層セラミックコンデン
サ）を製造する場合、さらに別の問題点を生ずる。一般
にアクチュエータ素子は電歪材料とそれに電圧を印加す
るための電極（一般に内部１電極と呼ばれる）が交互に
積み重ねられた構造をとるが、粉末を焼結した単板焼結
体と電極を交互に積み重ねていたのでは、手間がかかる
上に素子の精度が非常に悪くなるため、このような方法
によってではなく、あらかじめ粉末をシート状に成形し
たものに有機溶媒に分散させた電極材料を塗布し、これ
を何十枚か積み重ねたものを焼結する方法によって製造
される。
ところが、上記のように焼結に１２００℃の高温を必要
とする粉末を用いて、この方法でアクチュエータ素子を
製造する場合、電極となる金属材料が焼結時に高温にさ
らされる一ヒに、酸化物粉末に挟まれているので酸化さ
れたり、また著しい場合は溶融してしまうため、電極用
の金属材料にはｐｔやＰｄなど融点が高く高温でも酸化
され難い貴金属が専ら用いられており、これらが非常に
高価なことが積層素子の製造コストの低下の大きな妨げ
となっている。
とする粉末を用いて、この方法でアクチュエータ素子を
製造する場合、電極となる金属材料が焼結時に高温にさ
らされる一ヒに、酸化物粉末に挟まれているので酸化さ
れたり、また著しい場合は溶融してしまうため、電極用
の金属材料にはｐｔやＰｄなど融点が高く高温でも酸化
され難い貴金属が専ら用いられており、これらが非常に
高価なことが積層素子の製造コストの低下の大きな妨げ
となっている。
以上のように、現在のＰＭＮの合成方法によっては、粒
子径が大きく、焼結性が悪い粉末しか合成できないため
、それを用いて積層素子を製造する場合、素子の高機能
化や低コスト化に限界がある。
子径が大きく、焼結性が悪い粉末しか合成できないため
、それを用いて積層素子を製造する場合、素子の高機能
化や低コスト化に限界がある。
発明が解決しようとする課題
そこで本発明は、このような問題点を踏まえ、８００〜
１０００℃の低温で焼結が可能なＰＭＨ系の易焼結粉末
およびその合成法、さらにそれを原料とする高機能でか
つ安価な積層素子を提供しようとするものである。
１０００℃の低温で焼結が可能なＰＭＨ系の易焼結粉末
およびその合成法、さらにそれを原料とする高機能でか
つ安価な積層素子を提供しようとするものである。
課題を解決するための手段
本発明はＰＭＮを主成分とするセラミックスを、従来よ
り２００〜４００℃低温の８００〜１０００℃の温度で
焼結して得られることを特徴とする積層素子、およびそ
の製造方法である。
り２００〜４００℃低温の８００〜１０００℃の温度で
焼結して得られることを特徴とする積層素子、およびそ
の製造方法である。
ＰＭＮにはＰｂＴｉＯ３，Ｈａ（ＺｎＩ／３Ｎｂ２／５
）０３ （１）一方もしくは双方を５〜５０モル％添加
してもよい。
）０３ （１）一方もしくは双方を５〜５０モル％添加
してもよい。
ＰｂＴｉＯ３を添加する理由はＰＭＮのキュリー点をシ
フトさせ、電歪材料としてはヒステリシスを小さく保っ
たまま変位量を大きくする効果が、また誘電体材料とし
ては誘電率を大きくする効果がある。またＢａ（Ｚｎｓ
／３Ｎｂ２／３）Ｏ３は特性の温度安定性を高めること
が知られている（圧電／電歪アクチュエータ、森北出版
１９８７ ｐ、ｅｏ）、そしてそれぞれの添加物の添
加量は５モル％より少ないと目的の効果が得られず、５
０モル％より多いとＰＭＮ本来の特性が失われる。
フトさせ、電歪材料としてはヒステリシスを小さく保っ
たまま変位量を大きくする効果が、また誘電体材料とし
ては誘電率を大きくする効果がある。またＢａ（Ｚｎｓ
／３Ｎｂ２／３）Ｏ３は特性の温度安定性を高めること
が知られている（圧電／電歪アクチュエータ、森北出版
１９８７ ｐ、ｅｏ）、そしてそれぞれの添加物の添
加量は５モル％より少ないと目的の効果が得られず、５
０モル％より多いとＰＭＮ本来の特性が失われる。
Ｌ記積層素子の製造方法としては、粒の形状がほぼ球形
でかつ平均粒径及びその標準偏差が１ｐｍ以下であるこ
とを特徴とするペロブスカイトの弔−相からなるＰＭＮ
粉末、もしくはＰＭＮにＰｂＴｉＯ３、Ｂａ（Ｚｎ＋／
３Ｎｂｖ３）Ｏ３ ｃｌ）一方もしくは双方を５〜５０
モル％添加した粉末を一般的な方法によってシート成形
し、Ａｇもしくは一般的に用いられるＰｄなとの電極材
料を印刷したのち、それを１０から１００層程度積み重
ねたものを酸化鉛雰囲気下８００〜１００Ｏ℃の温度で
焼結することを特徴とする。
でかつ平均粒径及びその標準偏差が１ｐｍ以下であるこ
とを特徴とするペロブスカイトの弔−相からなるＰＭＮ
粉末、もしくはＰＭＮにＰｂＴｉＯ３、Ｂａ（Ｚｎ＋／
３Ｎｂｖ３）Ｏ３ ｃｌ）一方もしくは双方を５〜５０
モル％添加した粉末を一般的な方法によってシート成形
し、Ａｇもしくは一般的に用いられるＰｄなとの電極材
料を印刷したのち、それを１０から１００層程度積み重
ねたものを酸化鉛雰囲気下８００〜１００Ｏ℃の温度で
焼結することを特徴とする。
また上記粉末の製造法としては、アルコールにＮｂのし
ゅう酸塩水溶液と、ｐｂイオンもしくはｐｂイオンとＨ
ａイオン（以下Ａ元素）を含んだ溶液と、Ｍｇイオンも
しくはＭｇイオンとＴｉイオン、Ｚｎイオン（以下Ｂ元
素）の一方もしくは双方を含んだ溶液を混合し、Ａ及び
Ｂ元素のしゆう酸塩沈澱物を生成させた後、該溶液のｐ
Ｈを３以上となし、Ｎｂの水酸化物を前記しゅう酸塩沈
澱物中に生成させ、該Ａ、Ｂ元素のしゅう酸塩及びＮｂ
の水酸化物からなる混合物を濾過、洗浄、乾燥および熱
分解することにより、Ｐｂ（Ｍｇ１／３ｓｂ力）０３、
またはＰｂ（ＭｇＶ３Ｎｂ２／３ ）０３を主成分とし
ＰｂＴｉＯ３、Ｂａ（ＺｎＶ３Ｎｂｖ３）Ｏ３の一方も
しくは双方との複合系からなるペロブスカイト型酸化物
の粉末を合成することを特徴とする。
ゅう酸塩水溶液と、ｐｂイオンもしくはｐｂイオンとＨ
ａイオン（以下Ａ元素）を含んだ溶液と、Ｍｇイオンも
しくはＭｇイオンとＴｉイオン、Ｚｎイオン（以下Ｂ元
素）の一方もしくは双方を含んだ溶液を混合し、Ａ及び
Ｂ元素のしゆう酸塩沈澱物を生成させた後、該溶液のｐ
Ｈを３以上となし、Ｎｂの水酸化物を前記しゅう酸塩沈
澱物中に生成させ、該Ａ、Ｂ元素のしゅう酸塩及びＮｂ
の水酸化物からなる混合物を濾過、洗浄、乾燥および熱
分解することにより、Ｐｂ（Ｍｇ１／３ｓｂ力）０３、
またはＰｂ（ＭｇＶ３Ｎｂ２／３ ）０３を主成分とし
ＰｂＴｉＯ３、Ｂａ（ＺｎＶ３Ｎｂｖ３）Ｏ３の一方も
しくは双方との複合系からなるペロブスカイト型酸化物
の粉末を合成することを特徴とする。
作用
以下本発明の詳細な説明する。
ＰＭＨに限らず焼結温度を下げても気孔率の非常に低い
焼結体を得るためには、原料粉末として粒子形状が球状
に近く粒子径がサブミクロンで粒度分布の非常にシャー
プな粒子、例えば遠心沈降法で測定して平均粒径及びそ
の標準偏差がともにｌｐｍ以下であるような粒子を用い
ることは、焼結を業とする者にとっては、いわば常識的
な技術である。
焼結体を得るためには、原料粉末として粒子形状が球状
に近く粒子径がサブミクロンで粒度分布の非常にシャー
プな粒子、例えば遠心沈降法で測定して平均粒径及びそ
の標準偏差がともにｌｐｍ以下であるような粒子を用い
ることは、焼結を業とする者にとっては、いわば常識的
な技術である。
しかしながらＰＭＮにおいてはそのような粉末を合成す
る適切な方法が今までになく、ＰＭＮを１０００℃以下
の温度で焼結する試みはなされていない、そこでこのよ
うな現状を踏まえて発明者らはＰＭＮ微粉末の合成法の
研究の末、ドに述べるような方法によって合成がｒ＋（
能であることを見出し、さらにそのように粒度や性状の
整ったＰＭＮ粉末を用いると実際に、２００〜４００℃
も焼結温度を低下させることが可能であることを見出し
た。
る適切な方法が今までになく、ＰＭＮを１０００℃以下
の温度で焼結する試みはなされていない、そこでこのよ
うな現状を踏まえて発明者らはＰＭＮ微粉末の合成法の
研究の末、ドに述べるような方法によって合成がｒ＋（
能であることを見出し、さらにそのように粒度や性状の
整ったＰＭＮ粉末を用いると実際に、２００〜４００℃
も焼結温度を低下させることが可能であることを見出し
た。
ＰＭＮの原料粉末として粒形が球状に近く、かつサイズ
がサブミクロンで粒度分布の非常にシャープな粉末であ
れば、他の製造方法によって製造した粉末でも上記のよ
うな低温での焼結は可能であるが、そのようなＰＭＮ原
料粉末の製造方法として適切なものとして発明者らがす
でに出願（特願昭８２−１５５３４８） している方法
がある。
がサブミクロンで粒度分布の非常にシャープな粉末であ
れば、他の製造方法によって製造した粉末でも上記のよ
うな低温での焼結は可能であるが、そのようなＰＭＮ原
料粉末の製造方法として適切なものとして発明者らがす
でに出願（特願昭８２−１５５３４８） している方法
がある。
この方法は、アルコールに周期律表Ｖａ族元素のしゅう
酸塩水溶液と、Ｃａ、 Ｓｒ、 Ｂａ、 Ｂｉ、 Ｐｂ
もしくは希土類元素（以下Ａ元素）のイオンの１種もし
くは２種以上を含んだ溶液と、Ｍｇ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、
Ｆｅ、Ｇｏ、 Ｎｉ、 Ｃｕ、 Ｚｎ、 Ｔｉ、 Ｚ
ｒ、もしくはＨｆ （以下Ｂ元素）のイオンの１種もし
くは２種以上を含んだ溶液を混合し、Ａ及びＢ元素のし
ゅう酸塩沈澱物を生成させた後、該溶液のｐＨを３以上
となし、周期律表Ｖａ族元素の水酸化物を前記しゅう酸
塩沈澱物中に生成させ、該Ａ、Ｂ元素のしゅう酸塩及び
周期律表Ｖａ族元素の水酸化物からなる混合物を濾過、
洗浄、乾燥および熱分解することにより、 Ｖａ族元素
を含むペロブスカイト型酸化物を合成することを特徴と
する、圧電および誘電体セラミックス粉末を合成する方
法である。
酸塩水溶液と、Ｃａ、 Ｓｒ、 Ｂａ、 Ｂｉ、 Ｐｂ
もしくは希土類元素（以下Ａ元素）のイオンの１種もし
くは２種以上を含んだ溶液と、Ｍｇ、 Ｃｒ、 Ｍｎ、
Ｆｅ、Ｇｏ、 Ｎｉ、 Ｃｕ、 Ｚｎ、 Ｔｉ、 Ｚ
ｒ、もしくはＨｆ （以下Ｂ元素）のイオンの１種もし
くは２種以上を含んだ溶液を混合し、Ａ及びＢ元素のし
ゅう酸塩沈澱物を生成させた後、該溶液のｐＨを３以上
となし、周期律表Ｖａ族元素の水酸化物を前記しゅう酸
塩沈澱物中に生成させ、該Ａ、Ｂ元素のしゅう酸塩及び
周期律表Ｖａ族元素の水酸化物からなる混合物を濾過、
洗浄、乾燥および熱分解することにより、 Ｖａ族元素
を含むペロブスカイト型酸化物を合成することを特徴と
する、圧電および誘電体セラミックス粉末を合成する方
法である。
この方法によれば、ペロプスカイト単一相で、かつ凝集
が少なく遠心沈降法によって測定した粒子径が０．７ｐ
ｍで、かつ粒径の標準偏差が０．８ＪＬｍのシャープな
粒度分布を持つＰＭＮの粉末が得られる０本方法によっ
て得られる粒子を第２図に示す。
が少なく遠心沈降法によって測定した粒子径が０．７ｐ
ｍで、かつ粒径の標準偏差が０．８ＪＬｍのシャープな
粒度分布を持つＰＭＮの粉末が得られる０本方法によっ
て得られる粒子を第２図に示す。
積層素子の製造方法は次のような一般的な方法によった
。まず合成した粉末に、ポリビニルアルコールやポリビ
ニルブチラールなどの有機バインダーと、アセトンやエ
ーテルなどの有機溶媒を混合してスラリーとしたのち、
これをドクターブレード装置などを用いてシート状にし
て、溶媒を乾燥すると、粉末が有機バインダーによって
シート状に成形されたものが得られる。ここまでの工程
をシート成形という。
。まず合成した粉末に、ポリビニルアルコールやポリビ
ニルブチラールなどの有機バインダーと、アセトンやエ
ーテルなどの有機溶媒を混合してスラリーとしたのち、
これをドクターブレード装置などを用いてシート状にし
て、溶媒を乾燥すると、粉末が有機バインダーによって
シート状に成形されたものが得られる。ここまでの工程
をシート成形という。
このシート成形体を適当な大きさに切断し、電極材料を
有機溶媒に分散したものを、塗布もしくはスクリーン印
刷し、これを積み重ねて積層成形体とする。しかるのち
に、この成形体を焼結すると電歪アクチュエータが得ら
れる。ただし、この焼結を行なう前に有機バインダーな
どの不要なものを分解させ、除去するために４００〜８
００℃程度の温度で５〜２０時間加熱する必要がある。
有機溶媒に分散したものを、塗布もしくはスクリーン印
刷し、これを積み重ねて積層成形体とする。しかるのち
に、この成形体を焼結すると電歪アクチュエータが得ら
れる。ただし、この焼結を行なう前に有機バインダーな
どの不要なものを分解させ、除去するために４００〜８
００℃程度の温度で５〜２０時間加熱する必要がある。
本発明の粉末を用いると、通常の積層素子の製造プロセ
スにおいて焼結温度が１２００℃であったものを、ｓｏ
ｏ −１ｏｏｏ℃に下げても十分使用に耐える素子を製
造することができる。
スにおいて焼結温度が１２００℃であったものを、ｓｏ
ｏ −１ｏｏｏ℃に下げても十分使用に耐える素子を製
造することができる。
焼結条件としては８００〜１０００℃の温度で１０分か
ら４８時間、望ましくは８５０〜９００℃で１０分から
８時間の条件で焼結を行なうのがよい、焼結温度が８０
０℃より低いと焼結せずまた、１０００℃より高いと焼
結体の粒子が大きくなり過ぎたり、また安価な内部電極
材料が用いることができないという弊害が生ずる。また
、焼結時のｐｂの散逸を防止するため焼結容器を二重に
し、試料を入れた内容器と同時にＰｂＯの粉末を外容器
に封入し加熱時に外容器内に鉛雰囲気が保たれるように
する。Ｐｂが散逸すると組成に狂いが生じＰＭＮ本来の
特性が失われる。
ら４８時間、望ましくは８５０〜９００℃で１０分から
８時間の条件で焼結を行なうのがよい、焼結温度が８０
０℃より低いと焼結せずまた、１０００℃より高いと焼
結体の粒子が大きくなり過ぎたり、また安価な内部電極
材料が用いることができないという弊害が生ずる。また
、焼結時のｐｂの散逸を防止するため焼結容器を二重に
し、試料を入れた内容器と同時にＰｂＯの粉末を外容器
に封入し加熱時に外容器内に鉛雰囲気が保たれるように
する。Ｐｂが散逸すると組成に狂いが生じＰＭＮ本来の
特性が失われる。
本発明の方法により得られたＰＭＮ系積層素子は従来よ
りも低温で焼結を行なうため焼結体の粒成長が少ない、
そのため、電歪アクチュエータにおいてはヒステリシス
の低減、またセラミックコンデンサにおいては積層の各
層を薄くすることによる小型大容量化が可能となった。
りも低温で焼結を行なうため焼結体の粒成長が少ない、
そのため、電歪アクチュエータにおいてはヒステリシス
の低減、またセラミックコンデンサにおいては積層の各
層を薄くすることによる小型大容量化が可能となった。
それに加えて、低温で焼結を行なうことから内部電極材
料の低コスト化を実現できた。
料の低コスト化を実現できた。
実施例
実施例１
濃度０．３１ｍｏｌ／文のしゅう酸ニオブ水溶液１交（
溶液ｌ）および硝酸マグネシウム４２．３ ｇと硝酸鉛
１５５．０ｇを溶かした水溶液ｌ１ｌ（溶液２）を用意
した。エタノール８９．をよくかくはんしながらこれに
溶液ｌと溶液２を順次滴下しさらにアンモニア水を滴下
してｐＨを８としたのち、沈澱を濾過しエタノールで洗
浄することを３回繰り返し、最後に再度濾過して得られ
た固形物を、１２０℃で１２時間乾燥した後、８００℃
２時間で熱分解させＰＭＨの粉末を得た。このＰＭＮは
ペロブスカイト単一相であり、遠心沈降法によって測定
した粒度分布はｍ１図に示した通りで、平均粒径が０．
７ｇｍ、その標準偏差が０．８ｐｍであった。また第２
図に示すように粒子は球状であった。
溶液ｌ）および硝酸マグネシウム４２．３ ｇと硝酸鉛
１５５．０ｇを溶かした水溶液ｌ１ｌ（溶液２）を用意
した。エタノール８９．をよくかくはんしながらこれに
溶液ｌと溶液２を順次滴下しさらにアンモニア水を滴下
してｐＨを８としたのち、沈澱を濾過しエタノールで洗
浄することを３回繰り返し、最後に再度濾過して得られ
た固形物を、１２０℃で１２時間乾燥した後、８００℃
２時間で熱分解させＰＭＨの粉末を得た。このＰＭＮは
ペロブスカイト単一相であり、遠心沈降法によって測定
した粒度分布はｍ１図に示した通りで、平均粒径が０．
７ｇｍ、その標準偏差が０．８ｐｍであった。また第２
図に示すように粒子は球状であった。
実施例２
実施例１の溶液１として濃度０．３１■ｏ！／ｉのしゅ
う酸ニオブ水溶液１文、溶液２として鉛、バリウム、マ
グネシウム、亜鉛の硝酸塩を各１９８．４ｇ、３８．５
ｇ、２９．７ｇ、 １４．８ｇを６７０−の水溶液とし
たものに、０．７９膳ｏ１／４１の硝酸チタニル水溶液
３３０−を混合したものとして、実施例１と同様に合成
を行ないＰＭＮ系の７クチユエータ用材料であるｏ、４
５ Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／ａ）０３−０．３ＥＩＰ
ｂＴｉＯ３−０，１９Ｂａ（ＺｎｙＮｂ２／３）Ｏ３を
合成した。
う酸ニオブ水溶液１文、溶液２として鉛、バリウム、マ
グネシウム、亜鉛の硝酸塩を各１９８．４ｇ、３８．５
ｇ、２９．７ｇ、 １４．８ｇを６７０−の水溶液とし
たものに、０．７９膳ｏ１／４１の硝酸チタニル水溶液
３３０−を混合したものとして、実施例１と同様に合成
を行ないＰＭＮ系の７クチユエータ用材料であるｏ、４
５ Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／ａ）０３−０．３ＥＩＰ
ｂＴｉＯ３−０，１９Ｂａ（ＺｎｙＮｂ２／３）Ｏ３を
合成した。
得られた粉末をシート成形し、 Ａｇ内部゛屯極を印刷
した後３０層の積層体となし、これを９００℃、３０分
で焼結を行ない積層電歪アクチュエータを得た。
した後３０層の積層体となし、これを９００℃、３０分
で焼結を行ない積層電歪アクチュエータを得た。
これとは別に通常の方法によって得られたＰＭＮ粉末に
ｐｔ内部電極を印刷した後３０層の積層体となし、１２
００℃、３０分で焼結した電歪アクチュエータを作製し
双方の変位特性を比較した。
ｐｔ内部電極を印刷した後３０層の積層体となし、１２
００℃、３０分で焼結した電歪アクチュエータを作製し
双方の変位特性を比較した。
第３図がその結果であるが図のように本発明の方法によ
るものの変位特性の方がよりヒステリシスが少なく、
１００■におけるヒステリシスは従来法によるものが９
．７％であったのに対し、 ４．８％に低減されていた
。また、電極材料に安価なＡｇを用いることによって電
極にかかるコストを １１５以ｆに低減できた。温度安
定性は双方とも１℃あたり １．０％程度であった。
るものの変位特性の方がよりヒステリシスが少なく、
１００■におけるヒステリシスは従来法によるものが９
．７％であったのに対し、 ４．８％に低減されていた
。また、電極材料に安価なＡｇを用いることによって電
極にかかるコストを １１５以ｆに低減できた。温度安
定性は双方とも１℃あたり １．０％程度であった。
実施例３
実施例１の溶液ｌとして濃度ｏ、３１腸ｏ１／文のしゅ
う酸ニオブ水溶液１１溶液２として鉛、マグネシウムの
硝酸塩を各１８２．３ｇ、４２．３ ｇを９６９１の水
溶液としたものに、０．７９ｍｏｌ／Ｊｌの硝酸チタニ
ル水溶液３１−を混合したものとし、実施例１と同様に
合成を行ないＰＭＮ系の誘電体材料である０、９５Ｐｂ
（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／ａ）０３−０．０５ＰｂＴｉ（）
３を合成した。
う酸ニオブ水溶液１１溶液２として鉛、マグネシウムの
硝酸塩を各１８２．３ｇ、４２．３ ｇを９６９１の水
溶液としたものに、０．７９ｍｏｌ／Ｊｌの硝酸チタニ
ル水溶液３１−を混合したものとし、実施例１と同様に
合成を行ないＰＭＮ系の誘電体材料である０、９５Ｐｂ
（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／ａ）０３−０．０５ＰｂＴｉ（）
３を合成した。
これをシート成形し、 Ａｇ内部電極を印刷した後３゜
層の積層体となし、これを９００”Ｃ１３０分で焼結を
行ない積層セラミックコンデンサを得た。
層の積層体となし、これを９００”Ｃ１３０分で焼結を
行ない積層セラミックコンデンサを得た。
本発明の粉末を原料とした結果セラミックス誘電体層の
厚みを約１０ｇｍにすることができた。この結果２−１
角という小さな素子において１．２ｐＦという大容量を
実現できた。
厚みを約１０ｇｍにすることができた。この結果２−１
角という小さな素子において１．２ｐＦという大容量を
実現できた。
これとは別に通常の方法によって得られたＰＭＮ粉末を
原料に同様にして積層セラミックコンデンサの製造を試
みたが、粒子が大きいためセラミックス誘電体層の厚み
を約３０ ｐ−ｍ程度にしか薄くすることができなかっ
たため、静電容量は同じサイズで０．３フルＦであった
。
原料に同様にして積層セラミックコンデンサの製造を試
みたが、粒子が大きいためセラミックス誘電体層の厚み
を約３０ ｐ−ｍ程度にしか薄くすることができなかっ
たため、静電容量は同じサイズで０．３フルＦであった
。
発明の効果
本発明によりＰＭＮ系の積層素子を、８００〜１０００
℃の温度で焼結することによって製造できることとなっ
た。その結果、積層電歪アクチュエータにおいては変位
のヒステリシスを従来の乃以下に抑えることが可能とな
り、積層セラミックコンデンサにおいては小型大容量化
が回部となった。それに加えて、低温で焼結できること
により電極材料の低コスト化が図れたために、素子の製
造コストを大幅に低減したため、ＰＭＮ系の積層電歪ア
クチュエータや積層セラミックコンデンサの応用範囲が
広がり、本発明の効果は非常に大きいものがある。
℃の温度で焼結することによって製造できることとなっ
た。その結果、積層電歪アクチュエータにおいては変位
のヒステリシスを従来の乃以下に抑えることが可能とな
り、積層セラミックコンデンサにおいては小型大容量化
が回部となった。それに加えて、低温で焼結できること
により電極材料の低コスト化が図れたために、素子の製
造コストを大幅に低減したため、ＰＭＮ系の積層電歪ア
クチュエータや積層セラミックコンデンサの応用範囲が
広がり、本発明の効果は非常に大きいものがある。
第１図は本発明によるＰＭＮ原料粉末の粒度分布を示す
図である。第２図は本発明によるＰＭＮ原料粉末の粒子
構造を示す写真である。第３図は本発明の方法および従
来合成法による（１．４５Ｐｂ（Ｍｇｌ／３Ｎｂ２／３
）Ｏ３−ｏ、３ｅｐｂｔｉｏ３−０．１９Ｂａ（ＺｎＩ
／３Ｎｂ２／３）Ｏ３粉末より作製した積層電歪アクチ
ュエータの変位特性の比較を示した図である。
図である。第２図は本発明によるＰＭＮ原料粉末の粒子
構造を示す写真である。第３図は本発明の方法および従
来合成法による（１．４５Ｐｂ（Ｍｇｌ／３Ｎｂ２／３
）Ｏ３−ｏ、３ｅｐｂｔｉｏ３−０．１９Ｂａ（ＺｎＩ
／３Ｎｂ２／３）Ｏ３粉末より作製した積層電歪アクチ
ュエータの変位特性の比較を示した図である。
Claims (5)
- （１）粒子形状が球形で粒径およびその標準偏差が１μ
ｍ以下であり１０００℃以下の温度で焼結が可能なペロ
ブスカイトの単一相からなるＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎ
ｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３の易焼結性粉末。 - （２）請求項（１）記載のＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ
＿２＿／＿３）Ｏ＿３に、ＰｂＴｉＯ＿３、Ｂａ（Ｚｎ
＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３の１種または２
種を全体の５〜５０モル％添加したＰｂ（Ｍｇ＿１＿／
＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３系の積層素子用易焼結性
粉末。 - （３）アルコールにＮｂのしゅう酸塩水溶液と、Ｐｂイ
オンもしくはＰｂイオンとＢａイオン（以下Ａ元素）を
含んだ溶液と、ＭｇイオンもしくはＭｇイオンとＴｉイ
オン、Ｚｎイオン（以下Ｂ元素）の一方もしくは双方を
含んだ溶液を混合し、Ａ及びＢ元素のしゅう酸塩沈澱物
を生成させた後、該溶液のｐＨを３以上となし、Ｎｂの
水酸化物を前記しゅう酸塩沈澱物中に生成させ、該Ａ，
Ｂ元素のしゅう酸塩及びＮｂの水酸化物からなる混合物
を得、該混合物を濾過、洗浄、乾燥および熱分解するこ
とにより、Ｐｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）
Ｏ＿３、またはＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿
３）Ｏ＿３を主成分としＰｂＴｉＯ＿３、Ｂａ（Ｚｎ＿
１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３の一方もしくは双
方を添加したペロブスカイト型酸化物の粉末を合成する
ことを特徴とする請求項（１）または（２）記載の易焼
結性粉末の製造方法。 - （４）請求項（１）記載のＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ
＿２＿／＿３）Ｏ＿３、または請求項（２）記載のＰｂ
（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３を主成分
とし、ＰｂＴｉＯ＿３、Ｂａ（Ｚｎ＿１＿／＿３Ｎｂ＿
２＿／＿３）Ｏ＿３の１種または２種を５〜５０モル％
添加したＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ
＿３系の易焼結性粉末からなるセラミックグリーンシー
トにＡｇの内部電極材料を印刷したものを複数枚積層し
、これを焼成してなる積層電歪アクチュエータ。 - （５）請求項（１）記載のＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ
＿２＿／＿３）Ｏ＿３、または請求項（２）記載のＰｂ
（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３を主成分
としＰｂＴｉＯ＿３，Ｂａ（Ｚｎ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２
＿／＿３）Ｏ＿３の１種または２種を５〜５０モル％添
加したＰｂ（Ｍｇ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿
３系の易焼結性粉末からなるセラミックグリーンシート
にＡｇの内部電極材料を印刷したものを複数枚積層し、
これを焼成してなる積層セラミックコンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111573A JPH026337A (ja) | 1988-02-10 | 1988-05-10 | 易焼結性粉末、製造方法及び積層素子 |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2779288 | 1988-02-10 | ||
| JP63-27793 | 1988-02-10 | ||
| JP63-27792 | 1988-02-10 | ||
| JP63111573A JPH026337A (ja) | 1988-02-10 | 1988-05-10 | 易焼結性粉末、製造方法及び積層素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026337A true JPH026337A (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=26365772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63111573A Pending JPH026337A (ja) | 1988-02-10 | 1988-05-10 | 易焼結性粉末、製造方法及び積層素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH026337A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5188346A (en) * | 1989-10-02 | 1993-02-23 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fluid-filled elastic mount having two pressure-receiving chambers communicating with equilibrium chamber through respective orifice passages |
| JPH0624749A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-02-01 | Hc Starck Gmbh & Co Kg | 鉛のペロブスキー型化合物の製造法 |
| KR100484241B1 (ko) * | 2001-04-20 | 2005-04-20 | 한국과학기술연구원 | 저온 소결용 Ｐｂ계 Ｐｅｒｏｖｓｋｉｔｅ 유전체 분말의제조방법 |
| JP2013212982A (ja) * | 2013-05-31 | 2013-10-17 | Ngk Insulators Ltd | セラミックフィルタ及びその製造方法 |
| JP2021163799A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 三菱重工業株式会社 | 誘電体膜の製造方法 |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP63111573A patent/JPH026337A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5188346A (en) * | 1989-10-02 | 1993-02-23 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fluid-filled elastic mount having two pressure-receiving chambers communicating with equilibrium chamber through respective orifice passages |
| JPH0624749A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-02-01 | Hc Starck Gmbh & Co Kg | 鉛のペロブスキー型化合物の製造法 |
| KR100484241B1 (ko) * | 2001-04-20 | 2005-04-20 | 한국과학기술연구원 | 저온 소결용 Ｐｂ계 Ｐｅｒｏｖｓｋｉｔｅ 유전체 분말의제조방법 |
| JP2013212982A (ja) * | 2013-05-31 | 2013-10-17 | Ngk Insulators Ltd | セラミックフィルタ及びその製造方法 |
| JP2021163799A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 三菱重工業株式会社 | 誘電体膜の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Shende et al. | Strontium zirconate and strontium titanate ceramics for high‐voltage applications: synthesis, processing, and dielectric properties | |
| EP1457471B1 (en) | Crystal oriented ceramics and production method of same | |
| JP2009256186A (ja) | 圧電材料 | |
| JP2001261435A (ja) | 圧電セラミックス及びその製造方法 | |
| JP2518703B2 (ja) | 積層型複合圧電体およびその製造方法 | |
| JP5782457B2 (ja) | 圧電セラミックス、圧電セラミックス部品、及び該圧電セラミックス部品を用いた圧電デバイス | |
| JP4177615B2 (ja) | 圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法および圧電セラミック部品 | |
| JP5506731B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
| JP5816371B2 (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
| EP0294991A2 (en) | Readily sinterable powder of perovskite type oxide containing group Va element and laminated element obtained therefrom | |
| JP2010103301A (ja) | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 | |
| JP2000169223A (ja) | 圧電磁器組成物及びその製造方法 | |
| JP2002193663A (ja) | 結晶配向ペロブスカイト型化合物の焼結体、該焼結体の製造方法、該化合物に用いられるセラミックス粉体の成形体、及び板状結晶配向ペロブスカイト型化合物 | |
| EP1358137A2 (en) | Method for making lead zirconate titanate-based ceramic powder, piezoelectric ceramic and method for making same | |
| KR20030059189A (ko) | 유전성 바륨 티타네이트 입자의 제조 | |
| WO2020209039A1 (ja) | 誘電性無機組成物 | |
| JPH026337A (ja) | 易焼結性粉末、製造方法及び積層素子 | |
| US20080067897A1 (en) | Production Method of Piezoelectric Ceramic, Production Method of Piezoelectric Element, and Piezoelectric Element | |
| JPH08259323A (ja) | 複合置換ランタン−鉛−ジルコニウム−チタンペロブスカイト、セラミック組成物およびアクチュエーター | |
| JP2014012620A (ja) | 配向性セラミックの製造方法、及び配向性セラミック、並びにセラミック電子部品 | |
| JP2884635B2 (ja) | 圧電セラミックスおよびその製造方法 | |
| JP2015165552A (ja) | 圧電組成物および圧電素子 | |
| WO2006035576A1 (ja) | セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JPH06116010A (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| JP2005035843A (ja) | 圧電セラミックスおよび焼結助剤ならびに積層型圧電素子 |