JPH0258003A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
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- JPH0258003A JPH0258003A JP63210222A JP21022288A JPH0258003A JP H0258003 A JPH0258003 A JP H0258003A JP 63210222 A JP63210222 A JP 63210222A JP 21022288 A JP21022288 A JP 21022288A JP H0258003 A JPH0258003 A JP H0258003A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガラス素材をプレス成形して作られた光学プ
レスガラス素子の表面に誘電体物質を積層して構成する
反射防止膜に関するものである。
レスガラス素子の表面に誘電体物質を積層して構成する
反射防止膜に関するものである。
従来の技術
近年、光学ガラスレンズ等の光学ガラス素子は、光学機
器のレンズ構成の簡略化、軽量化及び光学特性の高性能
化を同時に達成するために非球面化の方向にある。この
非球面ガラスの製造にあたっては、従来の製造方法であ
る研磨法では加工及び量産化が困難であり、それにかわ
る製造法としてプレス成形法が有望視されている。
器のレンズ構成の簡略化、軽量化及び光学特性の高性能
化を同時に達成するために非球面化の方向にある。この
非球面ガラスの製造にあたっては、従来の製造方法であ
る研磨法では加工及び量産化が困難であり、それにかわ
る製造法としてプレス成形法が有望視されている。
また、いずれの製造法で作られた光学ガラス素子であっ
ても、光学特性の向上のため、光学ガラス素子表面に誘
電体物質を真空蒸着法等で積層し、反射防止膜を構成す
ることは一般技術として知られている。（例えば、久保
田他「光学技術ハンドブック」） 以下図面を参照しながら従来の光学ガラス素子の反射防
止膜について説明する。第５図は光学ガラス素子の表面
に弗化マグネシウムからなる反射防止膜を形成した構造
を示す図であり、第６図（Ｃ）は前記反射防止膜を光学
的膜厚λ／４（λ＝７８０ｎｍ）の厚さに形成したとき
の分光反射特性を示す図である。尚、本従来例の光学ガ
ラス素子のガラス材質は鉛ガラスＳＦ８である。第５図
において１は光学ガラス素子、５は弗化マグネシウムよ
りなる反射防止膜である。前記反射防止膜５は一般的に
は真空蒸着法によって形成される。
ても、光学特性の向上のため、光学ガラス素子表面に誘
電体物質を真空蒸着法等で積層し、反射防止膜を構成す
ることは一般技術として知られている。（例えば、久保
田他「光学技術ハンドブック」） 以下図面を参照しながら従来の光学ガラス素子の反射防
止膜について説明する。第５図は光学ガラス素子の表面
に弗化マグネシウムからなる反射防止膜を形成した構造
を示す図であり、第６図（Ｃ）は前記反射防止膜を光学
的膜厚λ／４（λ＝７８０ｎｍ）の厚さに形成したとき
の分光反射特性を示す図である。尚、本従来例の光学ガ
ラス素子のガラス材質は鉛ガラスＳＦ８である。第５図
において１は光学ガラス素子、５は弗化マグネシウムよ
りなる反射防止膜である。前記反射防止膜５は一般的に
は真空蒸着法によって形成される。
発明が解決しようとする課題
上記の光学ガラス素子の製造において、光学ガラス素子
の光学性能は従来の研磨法による光学ガラス素子のそれ
に比べてより優れている必要があり、非常に高い面精度
及び面粗度が要求される。
の光学性能は従来の研磨法による光学ガラス素子のそれ
に比べてより優れている必要があり、非常に高い面精度
及び面粗度が要求される。
例えば、高精度カメラレンズの場合、面精度はニュート
ンリング５木以内、アメ１本以内、面粗さは０．０２μ
ｍ以下であることが要求される。また光学機器の小型化
に伴って光学部品を小型化、軽量化することが望まれて
おり、従来の研磨法ではコンパクトな光学部品を多量か
つ安価に製造することはできない。
ンリング５木以内、アメ１本以内、面粗さは０．０２μ
ｍ以下であることが要求される。また光学機器の小型化
に伴って光学部品を小型化、軽量化することが望まれて
おり、従来の研磨法ではコンパクトな光学部品を多量か
つ安価に製造することはできない。
高精度な光学ガラス素子を製造する方法として、プレス
法が注目されている。プレス法の中でとりわけ高精度な
光学ガラス素子を製造するのにリヒートプレス法が適し
ている。
法が注目されている。プレス法の中でとりわけ高精度な
光学ガラス素子を製造するのにリヒートプレス法が適し
ている。
リヒートプレス法とは所望の光学ガラス素子に近い面形
状を有したガラス素材を作り、前記ガラス素材を金型で
過熱、加圧した後、冷却して、成形した光学ガラス素子
を取り出す方法である。このリヒートプレス法では、ガ
ラス素材の形状、重量、面品質が重要であり、これらが
成形した光学ガラス素子の特性に大きな影響を及ぼす。
状を有したガラス素材を作り、前記ガラス素材を金型で
過熱、加圧した後、冷却して、成形した光学ガラス素子
を取り出す方法である。このリヒートプレス法では、ガ
ラス素材の形状、重量、面品質が重要であり、これらが
成形した光学ガラス素子の特性に大きな影響を及ぼす。
ガラス素材の製造方法としては、ガラス魂をカーブジェ
ネレーター等により研削加工し、さらに研磨加工して表
面を円滑にする方法が一般的である。研磨加工は良好な
面精度に仕上げることができるが、曲率半径の小さなガ
ラス素材を量産性よく加工することが困難でありコスト
高にもなる。そこでガラス魂を熱処理によって所望の曲
率半径を持つガラス素材に加工した後、プレスして光学
ガラス素子を成形する方法がある。しかしながらこのよ
うな方法で成形された光学ガラス素子の表面は熱処理に
よる表面変質層が形成されているために、光学ガラス素
子上に従来の反射防止膜を形成すると、この反射防止膜
は光学ガラス素子との密着性が悪く、耐久性も低いとい
う課題を有していた。
ネレーター等により研削加工し、さらに研磨加工して表
面を円滑にする方法が一般的である。研磨加工は良好な
面精度に仕上げることができるが、曲率半径の小さなガ
ラス素材を量産性よく加工することが困難でありコスト
高にもなる。そこでガラス魂を熱処理によって所望の曲
率半径を持つガラス素材に加工した後、プレスして光学
ガラス素子を成形する方法がある。しかしながらこのよ
うな方法で成形された光学ガラス素子の表面は熱処理に
よる表面変質層が形成されているために、光学ガラス素
子上に従来の反射防止膜を形成すると、この反射防止膜
は光学ガラス素子との密着性が悪く、耐久性も低いとい
う課題を有していた。
本発明は上記課題に鑑み、前記熱処理を施したガラス素
材をプレス成形して作られた光学ガラス素子に対して密
着性及び耐久性に優れた反射防止膜を提供するものであ
る。
材をプレス成形して作られた光学ガラス素子に対して密
着性及び耐久性に優れた反射防止膜を提供するものであ
る。
課題を解決するための手段
本発明は前記課題を解決するために、光学ガラス素子上
に誘電体物質を積層して構成する反射防止膜であって、
前記反射防止膜は光学ガラス素子の表面側から第１層目
が二酸化珪素からなる層であることを特徴とする反射防
止膜を提供するものである。
に誘電体物質を積層して構成する反射防止膜であって、
前記反射防止膜は光学ガラス素子の表面側から第１層目
が二酸化珪素からなる層であることを特徴とする反射防
止膜を提供するものである。
作用
前述したように、高精度な光学ガラス素子を多量かつ安
価に製造する方法として、プレス法が注目されている。
価に製造する方法として、プレス法が注目されている。
その中でさらに高精度な光学ガラス素子を製造するのに
はリヒートプレス法が適しているといわれている。リヒ
ートプレス法で重要なことは、ガラス素材の形状、重量
及び面品質の管理であり、これらが成形した光学ガラス
素子の特性及び量産性に大きな影響を及ぼす。
はリヒートプレス法が適しているといわれている。リヒ
ートプレス法で重要なことは、ガラス素材の形状、重量
及び面品質の管理であり、これらが成形した光学ガラス
素子の特性及び量産性に大きな影響を及ぼす。
所望の面形状と優れた面粗度をもつガラス素材を得るた
めに熱処理が行われる。
めに熱処理が行われる。
本発明は、あらかじめ熱処理を施したガラス素材をプレ
ス成形して作られた光学ガラス素子に誘電体物質を積層
して構成する反射防止膜であって、前記反射防止膜の光
学ガラス素子表面側力）ら第１層目を二酸化珪素から構
成することにより光学ガラス素子表面の変質層の悪影響
を避は密着性及び耐久性に優れた反射防止膜を得ること
ができる。
ス成形して作られた光学ガラス素子に誘電体物質を積層
して構成する反射防止膜であって、前記反射防止膜の光
学ガラス素子表面側力）ら第１層目を二酸化珪素から構
成することにより光学ガラス素子表面の変質層の悪影響
を避は密着性及び耐久性に優れた反射防止膜を得ること
ができる。
実施例
以下、本発明の一実施例の反射防止膜について、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第３図は本実施例に使用したガラス魂を示す図であり、
第４図は前記ガラス魂を熱処理して作られたガラス素材
を示す図である。また、ガラス材質は鉛ガラスＳＦ８で
ある。第３図において１＋はガラス魂の全長、ｄｌはガ
ラス魂の直径であり本実施例では、Ｉ Ｉ＝３．８６ｍ
ｍ、 ｄ 、 ＝ ４．８ｍｍである。前記ガラス魂を
治具に固定しＳＦ８のガラス軟化点（摂氏約５７０度）
以上の温度である摂氏７１０度の窒素雰囲気中で約３０
分間保持し熱処理を行い第４図に示すガラス素材に加工
した。第４図において１０．１１はプレスされるガラス
素材面を示し、ｒｌ、ｒ２はそれぞれの面の曲率半径、
１２はガラス素材の全長、ｄ２はガラス素材の直径であ
る。
第４図は前記ガラス魂を熱処理して作られたガラス素材
を示す図である。また、ガラス材質は鉛ガラスＳＦ８で
ある。第３図において１＋はガラス魂の全長、ｄｌはガ
ラス魂の直径であり本実施例では、Ｉ Ｉ＝３．８６ｍ
ｍ、 ｄ 、 ＝ ４．８ｍｍである。前記ガラス魂を
治具に固定しＳＦ８のガラス軟化点（摂氏約５７０度）
以上の温度である摂氏７１０度の窒素雰囲気中で約３０
分間保持し熱処理を行い第４図に示すガラス素材に加工
した。第４図において１０．１１はプレスされるガラス
素材面を示し、ｒｌ、ｒ２はそれぞれの面の曲率半径、
１２はガラス素材の全長、ｄ２はガラス素材の直径であ
る。
本実施例では、ｒｌ ＝ ２．６ｍｍ、 ｒ２ ＝ ３
．４ｍｍ、１゜＝ ５．１ｍｍ、 ｄ ｚ ＝４．９５
ｍｍである。このガラス素材を、一方が３．４ｍｍ、他
方が、６．０８＋ｍ＋＋の曲率半径を有した一対の鏡面
加工した金型を用いてプレス成形した。成形条件として
は、金型温度摂氏５２０度、成形圧力１０ｋｇ／ｃｒｆ
ｌ、成形時間２分間であった。
．４ｍｍ、１゜＝ ５．１ｍｍ、 ｄ ｚ ＝４．９５
ｍｍである。このガラス素材を、一方が３．４ｍｍ、他
方が、６．０８＋ｍ＋＋の曲率半径を有した一対の鏡面
加工した金型を用いてプレス成形した。成形条件として
は、金型温度摂氏５２０度、成形圧力１０ｋｇ／ｃｒｆ
ｌ、成形時間２分間であった。
前記プレス成形後の光学ガラス素子に真空蒸着法によっ
て二酸化珪素を光学的膜厚λ／４（λ＝７８０ｎｍ ）
の厚さに形成した。第１図は本発明の第１の実施例にお
ける反射防止膜の構成を示す図であり、第６図（ａ）は
その分光反射特性を示すものである。第１図において２
は二酸化珪素からなる第１層である。
て二酸化珪素を光学的膜厚λ／４（λ＝７８０ｎｍ ）
の厚さに形成した。第１図は本発明の第１の実施例にお
ける反射防止膜の構成を示す図であり、第６図（ａ）は
その分光反射特性を示すものである。第１図において２
は二酸化珪素からなる第１層である。
上記本発明の実施例の反射防止膜と従来の反射防止膜と
の密着性、耐久性の比較するために行なった試験は、（
１）粘着テープ剥離試験（温度４０°Ｃ１相対湿度８５
％の高温・高温雰囲気中に１０００時間放置した後、粘
着テープを光学ガラス素子表面に密着し引き剥がす）（
２）耐湿試験（温度６０°Ｃ１相対湿度８５％の高温・
高温雰囲気中に１０００時間放置）であり、比較のため
の従来の反射防止膜は、前記従来例の一つである光学ガ
ラス素子（ガラス材質は鉛ガラス５Ｆ８）に弗化マグネ
シウムの反射防止膜を真空蒸着法によって光学的膜厚λ
／４（λ＝７８０ｎｍ ）の厚さに形成したものであり
、第５図に示す構造のものである。密着性、耐久性試験
の結果は第１表に示すとおりである。
の密着性、耐久性の比較するために行なった試験は、（
１）粘着テープ剥離試験（温度４０°Ｃ１相対湿度８５
％の高温・高温雰囲気中に１０００時間放置した後、粘
着テープを光学ガラス素子表面に密着し引き剥がす）（
２）耐湿試験（温度６０°Ｃ１相対湿度８５％の高温・
高温雰囲気中に１０００時間放置）であり、比較のため
の従来の反射防止膜は、前記従来例の一つである光学ガ
ラス素子（ガラス材質は鉛ガラス５Ｆ８）に弗化マグネ
シウムの反射防止膜を真空蒸着法によって光学的膜厚λ
／４（λ＝７８０ｎｍ ）の厚さに形成したものであり
、第５図に示す構造のものである。密着性、耐久性試験
の結果は第１表に示すとおりである。
第１表
第１表かられかるように本発明の反射防止膜は、光学ガ
ラス素子表面側から第１層目が二酸化珪素からなる反射
防止膜であって、従来の反射防止膜より密着性、耐久性
の点で優れている。
ラス素子表面側から第１層目が二酸化珪素からなる反射
防止膜であって、従来の反射防止膜より密着性、耐久性
の点で優れている。
以下本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。本実施例で使用した光学ガラス素子は前述の
鉛ガラスＳＦ８からなるものであり、前述の同工程によ
って成形された光学ガラス素子である。
説明する。本実施例で使用した光学ガラス素子は前述の
鉛ガラスＳＦ８からなるものであり、前述の同工程によ
って成形された光学ガラス素子である。
第２図は本発明の第２の実施例における反射防止膜・の
構成を示す図であり、第６図（ｂ）はその分光反射特性
を示すものである。第２図において２は二酸化珪素から
なる第１層、３は酸化アルミニウムからなる第２層、４
は二酸化チタンからなる第３層、５は弗化マグネシウム
からなる第４層であり、各層の光学的膜厚はそれぞれ、
λ／４、λ／４、λ／２、λ／４（λ＝ ７８０ｎｍ）
である。前記本発明の第２の実施例の反射防止膜に対し
ても前記の粘着テープ剥離試験と耐湿試験を行ったが、
第１の実施例と同様、全く異常なかった。また、第６図
かられかるように本実施例の分光反射特性は６．００ｎ
ｍから１ｌ１００ｎにわたって従来例より優れている。
構成を示す図であり、第６図（ｂ）はその分光反射特性
を示すものである。第２図において２は二酸化珪素から
なる第１層、３は酸化アルミニウムからなる第２層、４
は二酸化チタンからなる第３層、５は弗化マグネシウム
からなる第４層であり、各層の光学的膜厚はそれぞれ、
λ／４、λ／４、λ／２、λ／４（λ＝ ７８０ｎｍ）
である。前記本発明の第２の実施例の反射防止膜に対し
ても前記の粘着テープ剥離試験と耐湿試験を行ったが、
第１の実施例と同様、全く異常なかった。また、第６図
かられかるように本実施例の分光反射特性は６．００ｎ
ｍから１ｌ１００ｎにわたって従来例より優れている。
ａは本発明の第１の実施例における反射防止膜、ｂは本
発明の第２の実施例における反射防止膜、Ｃは従来の反
射防止膜である。
発明の第２の実施例における反射防止膜、Ｃは従来の反
射防止膜である。
なお、前記第１、第２の実施例の反射防止膜の膜厚は特
に上記の値に限定されるものではなく、設計波長に応じ
て変化させればよく、反射防止膜の層数も所望の特性に
よって適当な値にすればよく、光学ガラス素子表面側か
ら１層目が二酸化珪素から形成されておれば何でもよい
。
に上記の値に限定されるものではなく、設計波長に応じ
て変化させればよく、反射防止膜の層数も所望の特性に
よって適当な値にすればよく、光学ガラス素子表面側か
ら１層目が二酸化珪素から形成されておれば何でもよい
。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明の反射防止膜は
、あらかじめ熱処理を施したガラス素材をプレス成形し
て作られた光学ガラス素子に誘電体物質を積層して構成
する反射防止膜であって、光学ガラス素子の表面側から
第１層目を二酸化珪素から構成することにより、密着性
、耐久性に優れた反射防止膜を得ることができ、その実
用上の価値を大なるものがある。
、あらかじめ熱処理を施したガラス素材をプレス成形し
て作られた光学ガラス素子に誘電体物質を積層して構成
する反射防止膜であって、光学ガラス素子の表面側から
第１層目を二酸化珪素から構成することにより、密着性
、耐久性に優れた反射防止膜を得ることができ、その実
用上の価値を大なるものがある。
第１図は、本発明の第１の実施例における反射防止膜の
構成図、第２図は本発明の第２の実施例における反射防
止膜の構成図、第３図はガラス魂の側面図、第４図はガ
ラス素材の側面図、第５図は従来の反射防止膜の構成図
、第６図は分光反射特性図である。 １・・・・・・光学ガラス素子、２・・・・・・二酸化
珪素からなる層、３・・・・・・酸化アルミニウムから
なる層、４・・・・・・二酸化チタンからなる層、５・
・・・・・弗化マグネシウムからなる単層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１ 図 を−光学ガラス素子 ？−゛−二酸イヒ珪、賽からｒｊ６屑 ３−ａ化アルミニウムｖＩ７４る層 ４− 二酸化チタンカ゛らｒＪる層 Ｓ−−−弗化マク洋：／７Ａカ）らする層第 ２図 第３図 第５図 πｌ 第 図 Ｖθ うＪＥ１％（り１４）ｔノ ｑθＯ
構成図、第２図は本発明の第２の実施例における反射防
止膜の構成図、第３図はガラス魂の側面図、第４図はガ
ラス素材の側面図、第５図は従来の反射防止膜の構成図
、第６図は分光反射特性図である。 １・・・・・・光学ガラス素子、２・・・・・・二酸化
珪素からなる層、３・・・・・・酸化アルミニウムから
なる層、４・・・・・・二酸化チタンからなる層、５・
・・・・・弗化マグネシウムからなる単層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名第１ 図 を−光学ガラス素子 ？−゛−二酸イヒ珪、賽からｒｊ６屑 ３−ａ化アルミニウムｖＩ７４る層 ４− 二酸化チタンカ゛らｒＪる層 Ｓ−−−弗化マク洋：／７Ａカ）らする層第 ２図 第３図 第５図 πｌ 第 図 Ｖθ うＪＥ１％（り１４）ｔノ ｑθＯ
Claims (2)
- （１）あらかじめ熱処理を施したガラス素材をプレス成
形して作られた光学ガラス素子に誘電体物質を積層して
構成する反射防止膜であって、前記反射防止膜は光学ガ
ラス素子の表面側から第１層目が二酸化珪素からなる層
であることを特徴とす反射防止膜。 - （２）熱処理は、光学ガラス素子をガラス軟化点以上の
温度に保持して行うことを特徴とする請求項（１）記載
の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63210222A JPH0693042B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63210222A JPH0693042B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258003A true JPH0258003A (ja) | 1990-02-27 |
| JPH0693042B2 JPH0693042B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=16585810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63210222A Expired - Lifetime JPH0693042B2 (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0693042B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009120450A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Olympus Corp | 光学素子の製造装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56109301A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-29 | Tokyo Optical Co Ltd | Multilayer reflection-preventive film |
| JPS5870201A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 反射防止膜を施した強化ガラス |
| JPS6138130A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Sanshin Ind Co Ltd | 内燃機関に対する感温作動体の設置構造 |
| JPS63170243A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 反射防止膜の形成方法 |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP63210222A patent/JPH0693042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56109301A (en) * | 1980-02-04 | 1981-08-29 | Tokyo Optical Co Ltd | Multilayer reflection-preventive film |
| JPS5870201A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 反射防止膜を施した強化ガラス |
| JPS6138130A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Sanshin Ind Co Ltd | 内燃機関に対する感温作動体の設置構造 |
| JPS63170243A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 反射防止膜の形成方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009120450A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Olympus Corp | 光学素子の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0693042B2 (ja) | 1994-11-16 |
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