JPH025534Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は半導体装置の組立工程において用い
るボンデイング装置の改良に関するものである。

（従来の技術） 一般にワイヤボンデイング工程では、ツールに
挿通された金線、アルミ線等からなるワイヤの一
端をパツドにボンデイング（第１ボンデイング）
した後、ツールを移動させ、ワイヤの他の箇所を
リードにボンデイング（第２ボンデイング）する
ことにより、パツドとリード間をワイヤで接続
し、第２ボンデイング終了後にツールを上昇さ
せ、かつ第２ボンデイング点より上方にあるワイ
ヤをクランプにより挟持して引き上げることによ
り、ワイヤを第２ボンデイング点から引きちぎる
という方法によつているが、この場合ツールがボ
ンデイング面に対して垂直でなく、傾いている
と、第１ボンデイングの場合は、傾きが少量であ
れば、ワイヤの先端が潰されるので、さしたる問
題は生じないが、第２ボンデイングの場合はツー
ルの傾き方向のワイヤ部分の潰れ量が多く、その
反対側の潰れ量が少なくなるため、ワイヤの引き
ちぎり時、ワイヤをボンデイング個所から完全に
切り取ることができないで、ボンデイング個所に
微少量のワイヤが残つたり、又ワイヤがボンデイ
ング個所からはがれてしまうというような不都合
が発生する。このようなことを避けるため、従
来、ツールの傾きが著しい場合はボンデイングア
ームと連結部材との間にシム等を挿入したり、又
は傾きが僅かな場合はツールホルダに機械的な曲
げを加える等の矯正手段によつてツールのボンデ
イング面に対する垂直度を保つようにしている。
ツールの垂直度は、試験的にボンデイングアーム
を動作とし、ツール先端部の圧痕の状態によつて
確認する。ツールがボンデイング面に対して垂直
でないと、ペレツトボンデイングの場合にもペレ
ツトの端縁部が欠ける等の問題が生ずる。

（考案が解決しようとする問題点） 前述したワイヤボンデイングにおける従来のツ
ール垂直度調整法はボンデイングアームと連結部
材の結合部に調整部材を介挿するか、又はツール
ホルダを機械的に曲げるというものであつて、ツ
ール交換時、又はツールホルダ交換時毎に圧痕に
よる確認を繰り返しながら、このような時間と労
力のかかる矯正をしなければならない点に問題が
ある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上述のごとき問題点を解決するために
なされたもので、ボンデイングアーム側と、ツー
ルを保持するツールホルダ側との間に球面軸受を
設けるとともに、ツールホルダ側をボンデイング
アーム側に固定可能なロツク手段を設けたことを
特徴とするものである。

（作用） 上記構成とすることにより、ツール交換時毎
に、又はツールホルダ交換時毎に、ボンデイング
アームを動作させ、ツール先端部の圧痕を見なが
らツールの傾きを加減して容易に所望の傾きに調
整できる。すなわち、ツールをボンデイング面に
対して垂直とすることはもちろん、望まれるとき
は、その望まれる方向へ、容易に、ツールを傾け
ることができる。垂直あるいは傾きの設定が終つ
たら、ロツク手段を用いてツールホルダ側をボン
デイングアーム側に固定する。

（実施例） 本考案を第１図〜第４図に示す実施例に従つて
説明する。

第１図において１はボンデイングアームを示
す。ボンデイングアーム１の先端はブロツク２の
所定外周部に固定されている。ブロツク２はこの
実施例においては、第３図に示すごとく多角形状
の中空体からなり、当該中空部には円板形中空体
からなる球体支持部材７の外周が嵌合固定されて
いる。球体支持部材７の中空部は球体４の外周球
面に適合する凹部が逆球面状に形成され、当該凹
部に球体４が、自由状態においては、あらゆる方
向への回動が可能なように挿入されている。即
ち、球体支持部材７と球体４とで球面軸受が構成
される。５は自在ヘツドで、自在ヘツド５は大径
の円筒部５２の上面に小径の軸部５１を同心円状
に一体として固着したことからなり、上記軸部５
１の径は球体４の中空部に嵌合固定可能なように
設定され、上記軸部５１の上方外周に形成された
ねじと螺合可能な雌ねじを有するナツト３でその
上方部が球体４の上方に位置するように固定され
る。自在ヘツド５の円筒部５２には、第２図に示
すように下方の所定外周に下方端面を貫通する所
定間隙の垂直切欠き５３が形成され、当該切欠き
５３の上端面を通る、上記切り欠きを中心とし、
互に反対方向の円周に沿う周方向切欠き５４，５
４′が形成される。垂直切欠き５３に隣接する、
相対する周部にはそれぞれざぐり孔２５及ねじ孔
２５′が形成され、ざぐり孔２５を通り、ねじ孔
２５′に螺合する止ねじ５６によつて自在ヘツド
５の下方周が締付けられたり、ゆるめられたりす
る。

一方、円筒部５２の軸中心に沿つて下方開の円
形切欠き５５が形成される。８は上方に位置する
軸部８１と下方に位置するツールホルダ本体８３
とを一体として固着したことからなるツールホル
ダで、ツールホルダ８の軸部８１の下方の所定外
周部は大径８２とされ、ツールホルダ本体８３に
一体として接続されている。ツールホルダ本体８
３の先端は直角に折れ曲がり、当該先端部に止ね
じ２９をもつてツール９が装着される。軸部８１
の径はそれが自在ヘツド５の円形切欠き部５５に
嵌入可能なように設定される。ツールホルダ８の
前記折曲り部の上方空間には、第２ボンデイング
終了後、ワイヤを挟持してひきちぎるための図示
しないクランプが設けられている。第４図におけ
る２６は球体加圧用調整ねじで、ブロツク２、球
体支持部材７を貫通して、その先端面は球体５の
外周に対向している。このねじ２６は、ツールの
傾きの調整時、球体４の回動に対し、適度な摩擦
力を与えておくことによつて傾きの調整がしやす
いようにするためのものである。２７はロツクナ
ツト、２８はスプリングワツシヤである。６はツ
ールの傾きの調整が終つた時、球体４をロツクす
るためのロツクねじで、ロツクねじ６を所定方向
に回動することによつて当該ねじ６の先端面が球
体４の外周に当接し、球体４はロツクされる。３
０は自在ヘツド５の軸部５１、ツールホルダ８の
軸部８１の軸中心に沿う貫通孔５１′，８１′及び
ツール９の軸中心貫通孔９′に挿通配置されてい
るワイヤである。

自在ヘツド５の軸部５１を球体４の中空部に嵌
入した後、ナツト３で固定し、次にツールホルダ
８の軸部８１を自在ヘツド５の円形切欠き部５５
に、下方から嵌入した後、自在ヘツド５のざぐり
孔２５及びねじ孔２５′に止ねじ５６を挿入かつ
螺入して自在ヘツド５の下方周を締付けることに
よつてツールホルダ８の軸部８１が自在ヘツド５
の円形切欠部５５内に固着され、本考案にかかる
ボンデイング装置が組み立てられる。この場合、
軸部５１の貫通孔５１′、軸部８１の貫通孔８
１′およびツール９の貫通孔９′はある巾をもつた
同一垂直線上にあり、それらに図示しないスプー
ルから繰り出されたワイヤ３０が挿通される。

このような構成においてツール９をボンデイン
グ面３１に対し、垂直に設定する場合について述
べる。

球体加圧用調整ねじ２６を所定方向へ回動し、
その先端が球体４の外周に所望のごとく当接した
状態でロツクナツト２７で固定する。

これによつて球体４は球体加圧用調整ねじ２６
による適当な摩擦抵抗を受けた状態で回動可能で
ある。ツールホルダ側はボンデイングアーム１側
に対し、球体４の中心を支点としてどのような方
向へも又、どの程度でも容易に回動可能であるの
で、それによつてツール９をボンデイング面３１
に対し、垂直に位置せしめることは容易である。
その状態でロツクねじ６で球体４をロツクする。
しかる後、ボンデイングアーム１を動作としてツ
ール９の先端面の圧痕を調べる。圧痕がリング状
であればツール９はボンデイング面３１に対し、
垂直に取付けられているととなる。もしリング状
でなければ、ロツクねじ６をゆるめ、リングの欠
けている方向と逆の方向へツール９を傾け、再び
ロツクねじ６を締めて、上記と同様の確認を行な
う。

上記実施例においては本考案をワイヤボンデイ
ング装置に適用した場合の例について述べたが、
ツール９として真空吸着式のものを用いれば、そ
のままペレツトボンデイング装置に適用できるこ
とはもちろんである。

なお、上記実施例においてはツールホルダ８を
自在ヘツド５を介して球体４に接続する場合の例
について述べたが、ツールホルダ８の軸部８１
を、自在ヘツド５を介することなく、自在ヘツド
５の軸部５１におけると同様に球体４の中空部に
嵌入固定しても同様に本考案の目的を達すること
ができる。

（考案の効果） 本考案はボンデイングアームの先端部側と、ツ
ールを保持するツールホルダ側とを球面軸受を介
して接続し、かつツールホルダ側をボンデイング
アーム側に固定可能なロツク手段を備えた構成と
してあるので、球面軸受の有する自在性によつて
ツールの傾きをいかなる方向へも、又どの程度に
も容易に変えることができ、ツール先端面の圧痕
による確認、ロツク手段のゆるめ、締めによつ
て、きわめて容易にツールをボンデイング面に対
し、垂直又は所望の傾きに矯正することができ、
従来のワイヤボンデイング装置におけるごとく、
ボンデイングアームと連結部材との間に調整部材
を介挿したり、又はツールホルダに機械的な曲げ
を加える、という時間と労力のかかる矯正をする
必要は全くない。また、本考案においてはツール
は球体の中心を支点として、あらゆる方向への回
動が可能であるので、ツールの高さの変化を可及
的に小に抑えることができる、等その実用的効果
は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の全体構成を示す縦断面図、第
２図は第１図における自在ヘツドとツールホルダ
との機構的関係の詳細を示す傾斜図、第３図は第
１図の平面図、第４図は第１図のＡ−Ａ線断面図
である。 １……ボンデイングアーム、４，７……球面軸
受、６……ロツク手段、８……ツールホルダ、９
……ツール。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ボンデイングアームの先端部側とツールを保持
   するツールホルダ側との間に球面軸受を設けると
   ともに、ツールホルダー側をボンデイングアーム
   側に固定可能なロツク手段を設けたことからなる
   ボンデイング装置。