JPH0245097B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0245097B2 JPH0245097B2 JP57119519A JP11951982A JPH0245097B2 JP H0245097 B2 JPH0245097 B2 JP H0245097B2 JP 57119519 A JP57119519 A JP 57119519A JP 11951982 A JP11951982 A JP 11951982A JP H0245097 B2 JPH0245097 B2 JP H0245097B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- hole
- room
- air
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、クリーンルームの空気供給制御装置
に関するものである。
に関するものである。
「従来の技術と発明が解決しようとする課題」
クリーンルームは、空調器又は送風機からの空
気をフイルタに通して浄化して室内へと供給し、
室内の空気を再び空調器又は送風機へと循環させ
るようになつており、また、その循環系路に外部
空気導入路と内部空気排出路とを連ねている。
気をフイルタに通して浄化して室内へと供給し、
室内の空気を再び空調器又は送風機へと循環させ
るようになつており、また、その循環系路に外部
空気導入路と内部空気排出路とを連ねている。
従来、斯るクリーンルームにおいて、室内にダ
イヤフラム式の差圧センサを配して、該差圧セン
サの出力電気信号に基づき、室内へ供給する清浄
空気を自動的に制御することが試みられている。
イヤフラム式の差圧センサを配して、該差圧セン
サの出力電気信号に基づき、室内へ供給する清浄
空気を自動的に制御することが試みられている。
しかし、ダイヤフラム式の差圧センサは、ダイ
ヤフラムのわずかな変位をアナログ信号に変えて
出力するものであるから、ノイズを捨い易く、し
かも、出力が小さいためにかなり増幅しなければ
ならないので、圧力の微妙な変化に対応させるに
は、精度上問題がある。更に、マイクロコンピユ
ター等によりデイジタル制御するには、アナログ
からデイジタルへ、そして、再びアナログへと変
換しなければならないため、構成が複雑になる欠
点がある。
ヤフラムのわずかな変位をアナログ信号に変えて
出力するものであるから、ノイズを捨い易く、し
かも、出力が小さいためにかなり増幅しなければ
ならないので、圧力の微妙な変化に対応させるに
は、精度上問題がある。更に、マイクロコンピユ
ター等によりデイジタル制御するには、アナログ
からデイジタルへ、そして、再びアナログへと変
換しなければならないため、構成が複雑になる欠
点がある。
また、その制御は、主として空調器又は送風機
について行うため、即応性及び清浄度維持の面で
問題がある。
について行うため、即応性及び清浄度維持の面で
問題がある。
その上、室内に差圧センサを設けるので、損傷
の問題、スペースの問題等もある。
の問題、スペースの問題等もある。
本発明は、これらの欠点、問題点を解決しよう
とするものである。
とするものである。
「課題を解決するための手段」
本発明は、クリーンルームの壁に室内の静圧調
整用の通孔を設け、該通孔には、外側にバランス
ウエイト付き逆流防止用ダンパを装着し、また、
通孔内に通過空気により回転するプロペラを設け
るとともに、該プロペラの回転数をデイジタル信
号として出力する回転数検出器を設け、かつ、該
回転数検出器からの信号を受けて室内の静圧に相
当する信号を出力する制御ユニツトを設けること
により静圧センサを形成し、クリーンルームの外
部空気導入路と内部空気排出路とにモータダンパ
を設け、これらのモータダンパを上記静圧センサ
の出力信号により変換器を介して電気的に開閉制
御するよう構成したことを特徴とする。
整用の通孔を設け、該通孔には、外側にバランス
ウエイト付き逆流防止用ダンパを装着し、また、
通孔内に通過空気により回転するプロペラを設け
るとともに、該プロペラの回転数をデイジタル信
号として出力する回転数検出器を設け、かつ、該
回転数検出器からの信号を受けて室内の静圧に相
当する信号を出力する制御ユニツトを設けること
により静圧センサを形成し、クリーンルームの外
部空気導入路と内部空気排出路とにモータダンパ
を設け、これらのモータダンパを上記静圧センサ
の出力信号により変換器を介して電気的に開閉制
御するよう構成したことを特徴とする。
「作用」
如上の構成であるから、室内の静圧が所定値以
下の場合、通孔のバランスウエイト付き逆流防止
用ダンパが閉じて室内に外気が流入するのを阻止
し、室内の外気汚染を防止しているが、室内の静
圧が所定値以上に上昇すると、この圧力で通孔の
バランスウエイト付き逆流防止用ダンパが開き、
室内の空気が室外へと流出して、室内の高い静圧
を抵下さる。
下の場合、通孔のバランスウエイト付き逆流防止
用ダンパが閉じて室内に外気が流入するのを阻止
し、室内の外気汚染を防止しているが、室内の静
圧が所定値以上に上昇すると、この圧力で通孔の
バランスウエイト付き逆流防止用ダンパが開き、
室内の空気が室外へと流出して、室内の高い静圧
を抵下さる。
また、これに伴い静圧センサが従動して、該静
圧センサが室内の静圧を電気信号として出力し、
この信号を変換器が外部空気導入路と内部空気排
出路の各モータダンパに適する所要の電力信号に
変換して各モータダンパへと送り、両モータダン
パを適宜に開閉制御して室内の静圧を所定値に調
整する。
圧センサが室内の静圧を電気信号として出力し、
この信号を変換器が外部空気導入路と内部空気排
出路の各モータダンパに適する所要の電力信号に
変換して各モータダンパへと送り、両モータダン
パを適宜に開閉制御して室内の静圧を所定値に調
整する。
ところで、静圧センサは、通孔に空気が流れる
と、その流速に比例してプロペラが回転し、回転
数検出器がその回転数に係るデイジタル信号を出
力し、これを受けた制御ユニツトは、該信号から
クリーンルーム内の静圧を演算し、その静圧に相
当する信号を出力する。この演算については、プ
ロペラの回転数Ｎと、室内外の差圧ΔPと、通孔
の形状係数ａ，ｎとの間に、Ｎ＝aΔP1/nなる関係
があり、第１図に示す曲線を呈するので、これを
基礎にすれば室内の静圧を簡単に演算できる。な
お、設計上からは、その使用範囲が比較的安定な
範囲となるようにすればよい（第１図参照）。
と、その流速に比例してプロペラが回転し、回転
数検出器がその回転数に係るデイジタル信号を出
力し、これを受けた制御ユニツトは、該信号から
クリーンルーム内の静圧を演算し、その静圧に相
当する信号を出力する。この演算については、プ
ロペラの回転数Ｎと、室内外の差圧ΔPと、通孔
の形状係数ａ，ｎとの間に、Ｎ＝aΔP1/nなる関係
があり、第１図に示す曲線を呈するので、これを
基礎にすれば室内の静圧を簡単に演算できる。な
お、設計上からは、その使用範囲が比較的安定な
範囲となるようにすればよい（第１図参照）。
「実施例」
第２図、第３図は、本発明の実施例を示してい
る。
る。
第３図に示すように、クリーンルーム１１は、
天井にフイルタ１２を有し、該フイルタに空調器
１７から送風ダクト１４を介して空調空気を送
り、該フイルタにて浄化して、その清浄空気を室
内へと供給するようにし、かつ、室内の空気を通
風床の床下からレタンダクト１９を介して空調器
１７へと戻すようにして、空気の循環系路を形成
しており、また、その循環系路に、外気取入口１
５を有する外部空気導入路２３と排気口２０を有
する内部空気排出路２４を連ねるとともに、それ
らの外部空気導入路と内部空気排出路にそれぞれ
モータダンパ１６，１８を介在させている。図
中、２５は、レタンフアンである。
天井にフイルタ１２を有し、該フイルタに空調器
１７から送風ダクト１４を介して空調空気を送
り、該フイルタにて浄化して、その清浄空気を室
内へと供給するようにし、かつ、室内の空気を通
風床の床下からレタンダクト１９を介して空調器
１７へと戻すようにして、空気の循環系路を形成
しており、また、その循環系路に、外気取入口１
５を有する外部空気導入路２３と排気口２０を有
する内部空気排出路２４を連ねるとともに、それ
らの外部空気導入路と内部空気排出路にそれぞれ
モータダンパ１６，１８を介在させている。図
中、２５は、レタンフアンである。
而して、そのクリーンルーム１１の壁１の下部
に室内の余剰空気を排出する通孔２を穿設し、該
通孔の外側に、空気の逆流すなわちドア開放時等
に室内が負圧化して外部の汚染空気が導入するの
を防止するためにダンパ３を設けている。該ダン
パは、上端を通孔２の上縁部に軸支して揺動可能
とし、かつ、可変式バランスウエイト４を装着し
て、室内が所定の静圧以上となつたときに開いて
空気を排出できるよう調整可能としている。
に室内の余剰空気を排出する通孔２を穿設し、該
通孔の外側に、空気の逆流すなわちドア開放時等
に室内が負圧化して外部の汚染空気が導入するの
を防止するためにダンパ３を設けている。該ダン
パは、上端を通孔２の上縁部に軸支して揺動可能
とし、かつ、可変式バランスウエイト４を装着し
て、室内が所定の静圧以上となつたときに開いて
空気を排出できるよう調整可能としている。
通孔２内には、しぼり孔５を設け、該しぼり孔
５内にプロペラ６を回転自在に装着して、しぼり
孔５を通過する空気量に応じてプロペラ６が回転
するようにしている。なお、通孔２を設けた壁の
内外での差圧が十分に大きいときには、通孔内に
しぼりを設けることなく直接にプロペラ６を装着
する。
５内にプロペラ６を回転自在に装着して、しぼり
孔５を通過する空気量に応じてプロペラ６が回転
するようにしている。なお、通孔２を設けた壁の
内外での差圧が十分に大きいときには、通孔内に
しぼりを設けることなく直接にプロペラ６を装着
する。
また、プロペラ６には、プロペラの回転数をデ
ジタル信号として出力する回転数検出器７を装備
させている。該回転数検出器７としては、プロペ
ラ６の近くに、これと機械的に接触することなく
配備させて、プロペラの回転数に相当するデジタ
ル信号を得る磁気センサを設けるとよい。
ジタル信号として出力する回転数検出器７を装備
させている。該回転数検出器７としては、プロペ
ラ６の近くに、これと機械的に接触することなく
配備させて、プロペラの回転数に相当するデジタ
ル信号を得る磁気センサを設けるとよい。
更に、通孔２内には、上記デイジタル信号を導
入して演算処理し、室内の静圧に相当する信号を
出力する制御ユニツト８を設けている。具体的に
は、導入した上記デイジタル信号を演算して、所
定時間内の回転数に相当する周波数信号に変換
し、これを更に室内の静圧に相当するアナログ信
号、例えば、４〜20mAの電流信号、０〜5Vの
電圧信号等に変換し、配線９を介して出力するも
のである。
入して演算処理し、室内の静圧に相当する信号を
出力する制御ユニツト８を設けている。具体的に
は、導入した上記デイジタル信号を演算して、所
定時間内の回転数に相当する周波数信号に変換
し、これを更に室内の静圧に相当するアナログ信
号、例えば、４〜20mAの電流信号、０〜5Vの
電圧信号等に変換し、配線９を介して出力するも
のである。
この配線９は、第３図に示すように、室外に配
された差圧表示器２１と変換器２２とに電気的に
結線して、これらに上記出力を送り、差圧表示器
２１にて、受けた室内の静圧に相当する信号と自
ら検出した室外の静圧に係る信号から差の信号を
得て、これを差圧として表示するようにし、ま
た、変換器２２にて、受けた室内の静圧に相当す
る信号を前述の２つのモータダンパ１６，１８に
適する電力信号に変換して、配線１３を介して各
モータダンパへと送り、室内の静圧が低下したと
きは、外部空気導入路２３のモータダンパ１６を
開放させると同時に、内部空気排出路２４のモー
タダンパ１８を閉鎖させるよう制御し、室内の静
圧が増大したときは、両モータダンパ１６，１８
を上記と逆に制御するようにしている。
された差圧表示器２１と変換器２２とに電気的に
結線して、これらに上記出力を送り、差圧表示器
２１にて、受けた室内の静圧に相当する信号と自
ら検出した室外の静圧に係る信号から差の信号を
得て、これを差圧として表示するようにし、ま
た、変換器２２にて、受けた室内の静圧に相当す
る信号を前述の２つのモータダンパ１６，１８に
適する電力信号に変換して、配線１３を介して各
モータダンパへと送り、室内の静圧が低下したと
きは、外部空気導入路２３のモータダンパ１６を
開放させると同時に、内部空気排出路２４のモー
タダンパ１８を閉鎖させるよう制御し、室内の静
圧が増大したときは、両モータダンパ１６，１８
を上記と逆に制御するようにしている。
「発明の効果」
本発明によれば、クリーンルームの壁にバラン
スウエイト付き逆流防止用ダンパを備えた室内静
圧調整用の通孔を設けるとともに、該通孔内に所
定時間当たりの通過風量に応動する静圧センサを
設けて、該静圧センサの出力静圧信号により変換
器を介して外部空気導入路と内部空気排出路の各
モータダンパを電気的に開閉制御するようにして
いるので、室内の静圧の変動には、通孔と両モー
タダンパとの双方から対処できて、その静圧を速
やかに所定値に自動調整でき、即応性を向上でき
る。また、斯る構成であるから、高い清浄度を確
実に維持できる。
スウエイト付き逆流防止用ダンパを備えた室内静
圧調整用の通孔を設けるとともに、該通孔内に所
定時間当たりの通過風量に応動する静圧センサを
設けて、該静圧センサの出力静圧信号により変換
器を介して外部空気導入路と内部空気排出路の各
モータダンパを電気的に開閉制御するようにして
いるので、室内の静圧の変動には、通孔と両モー
タダンパとの双方から対処できて、その静圧を速
やかに所定値に自動調整でき、即応性を向上でき
る。また、斯る構成であるから、高い清浄度を確
実に維持できる。
更に、静圧センサが、デイジタル信号として検
出するものであり、上記通孔にプロペラを設け、
該プロペラの回転数をデイジタル信号として出力
する回転数検出器を設け、かつ、該回転数検出器
からの信号を受けて室内の静圧に相当する信号を
出力する制御ユニツトを設けて成るから、ノイズ
を捨うようなことも増幅上の問題もなく、精度を
格段に向上できて、正確な制御を得ることがで
き、そして、回路構成上も簡素化でき、しかも、
このように静圧センサを通孔内に装備させるの
で、静圧センサが邪魔になるようなことはなく、
損傷を軽減でき、スペースの面でも有利にでき
る。
出するものであり、上記通孔にプロペラを設け、
該プロペラの回転数をデイジタル信号として出力
する回転数検出器を設け、かつ、該回転数検出器
からの信号を受けて室内の静圧に相当する信号を
出力する制御ユニツトを設けて成るから、ノイズ
を捨うようなことも増幅上の問題もなく、精度を
格段に向上できて、正確な制御を得ることがで
き、そして、回路構成上も簡素化でき、しかも、
このように静圧センサを通孔内に装備させるの
で、静圧センサが邪魔になるようなことはなく、
損傷を軽減でき、スペースの面でも有利にでき
る。
図面は、本発明の実施例で、第１図は、室壁の
通孔内に設けたプロペラの回転数と室内外の差圧
との関係を示すグラフ、第２図は、本発明に係る
静圧センサの断面図、第３図は、静圧センサを使
用したクリーンルームの空気供給制御装置の系統
図である。 １…壁、２…通孔、３…バランスウエイト付き
逆流防止用ダンパ、４…バランスウエイト、５…
しぼり孔、６…プロペラ、７…回転数検出器、８
…制御ユニツト、９，１３…配線、１１…クリー
ンルーム、１２…フイルタ、１４…送風ダクト、
１５…外気取入口、１６，１８…モータダンパ、
１７…空調器、１９…レタンダクト、２０…排気
口、２１…差圧表示器、２２…変換器、２３…外
部空気導入路、２４…内部空気排出路。
通孔内に設けたプロペラの回転数と室内外の差圧
との関係を示すグラフ、第２図は、本発明に係る
静圧センサの断面図、第３図は、静圧センサを使
用したクリーンルームの空気供給制御装置の系統
図である。 １…壁、２…通孔、３…バランスウエイト付き
逆流防止用ダンパ、４…バランスウエイト、５…
しぼり孔、６…プロペラ、７…回転数検出器、８
…制御ユニツト、９，１３…配線、１１…クリー
ンルーム、１２…フイルタ、１４…送風ダクト、
１５…外気取入口、１６，１８…モータダンパ、
１７…空調器、１９…レタンダクト、２０…排気
口、２１…差圧表示器、２２…変換器、２３…外
部空気導入路、２４…内部空気排出路。
Claims (1)
- １ クリーンルームの壁に室内の静圧調整用の通
孔を設け、該通孔には、外側にバランスウエイト
付き逆流防止用ダンパを装着し、また、通孔内に
通過空気により回転するプロペラを設けるととも
に、該プロペラの回転数をデイジタル信号として
出力する回転数検出器を設け、かつ、該回転数検
出器からの信号を受けて室内の静圧に相当する信
号を出力する制御ユニツトを設けることにより静
圧センサを形成し、クリーンルームの外部空気導
入路と内部空気排出路とにモータダンパを設け、
これらのモータダンパを上記静圧センサの出力信
号により変換器を介して電気的に開閉制御するよ
う構成したことを特徴とするクリーンルームの空
気供給制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57119519A JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57119519A JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599444A JPS599444A (ja) | 1984-01-18 |
| JPH0245097B2 true JPH0245097B2 (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=14763277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57119519A Granted JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599444A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774043B2 (ja) * | 1987-09-18 | 1995-08-09 | 東洋製罐株式会社 | 円筒体の送り込み装置 |
| FI20146037A (fi) * | 2014-11-26 | 2016-05-27 | Si Tecno Oy | Menetelmä rakennuksen eri tilojen paine-eromittausta varten |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166327U (ja) * | 1979-05-18 | 1980-11-29 |
-
1982
- 1982-07-08 JP JP57119519A patent/JPS599444A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS599444A (ja) | 1984-01-18 |
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