JPS599444A - クリーンルームの空気供給制御装置 - Google Patents
クリーンルームの空気供給制御装置Info
- Publication number
- JPS599444A JPS599444A JP57119519A JP11951982A JPS599444A JP S599444 A JPS599444 A JP S599444A JP 57119519 A JP57119519 A JP 57119519A JP 11951982 A JP11951982 A JP 11951982A JP S599444 A JPS599444 A JP S599444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- clean room
- hole
- signal
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クリーンルームにおける室内静圧制御用通孔
に設けた静圧センサーと、該静圧センサーを使用した空
気供給制御装置に関する。
に設けた静圧センサーと、該静圧センサーを使用した空
気供給制御装置に関する。
従来の差圧計は、差圧全計測する部屋間での空気の流通
を考慮していなかったため、ダイヤフラム式差圧計ヲ使
用していた。よってダイヤフラムの小変位量（アナログ
値）を電気信号に変更することになｐ１アナログからア
ナログ値の増幅さらにアナログへの変換、あるいはアナ
ログからデジタルさらにアナログへの変換とな９、変換
が複雑であって精度も出にくい。またクリーンルームの
空気供給制御装置を制御するために、差圧センサーを別
個に室内に設けるときは、クリーンルーム内でのスペー
ス上の問題があった。
を考慮していなかったため、ダイヤフラム式差圧計ヲ使
用していた。よってダイヤフラムの小変位量（アナログ
値）を電気信号に変更することになｐ１アナログからア
ナログ値の増幅さらにアナログへの変換、あるいはアナ
ログからデジタルさらにアナログへの変換とな９、変換
が複雑であって精度も出にくい。またクリーンルームの
空気供給制御装置を制御するために、差圧センサーを別
個に室内に設けるときは、クリーンルーム内でのスペー
ス上の問題があった。
ところが一般に、室壁に通孔を設け、該通孔内の通過空
気量を測定すれば、室内と室外との差圧を求めることが
できる。通孔内にプロペラ全段けた場合、プロペラの回
転数と、室内外での差圧との関係は第１図に示す通シと
なシ、プロペラの回転数が成る程度増した後は、両者は
ほぼ比例関係となる。さらにくわしく説明すれば、プロ
ペラ回転数Ｎと、差圧ΔＰと、通孔の形状係数ａｓ ｎ
と（Ｄ間ＫｓＮ＝−ＢΔＰ″″なる関係がある。この差
圧を基礎にすれば室内の静圧を検出できる。
気量を測定すれば、室内と室外との差圧を求めることが
できる。通孔内にプロペラ全段けた場合、プロペラの回
転数と、室内外での差圧との関係は第１図に示す通シと
なシ、プロペラの回転数が成る程度増した後は、両者は
ほぼ比例関係となる。さらにくわしく説明すれば、プロ
ペラ回転数Ｎと、差圧ΔＰと、通孔の形状係数ａｓ ｎ
と（Ｄ間ＫｓＮ＝−ＢΔＰ″″なる関係がある。この差
圧を基礎にすれば室内の静圧を検出できる。
そこで本発明は、クリーンルームの室壁に通孔を設け、
この通孔内にプロペラを設け、空気の流通Ｊｉｔｋデジ
タル信号値として検出することにより、信号の変換全容
易にし、またこの変換を精度高く処理できるようにした
静圧センサーを提供することを目的とし、さらにこの静
圧センサーを使用して室内スペース上問題を生じないよ
うにした空気供給制御装置？目的とする。
この通孔内にプロペラを設け、空気の流通Ｊｉｔｋデジ
タル信号値として検出することにより、信号の変換全容
易にし、またこの変換を精度高く処理できるようにした
静圧センサーを提供することを目的とし、さらにこの静
圧センサーを使用して室内スペース上問題を生じないよ
うにした空気供給制御装置？目的とする。
次に第２図により本発明の静圧センサー全説明する。ク
リーンルームの壁１０下部に通孔２を設ける。通孔２は
室内を正圧に保って外部汚染空気が流入しないようにす
るもので、常時は余剰空気全排出するだめのものである
。通孔２の出口２ａには、空気の逆流を防ぐためのダン
パー３が設けられる。ダンパー３は上端全通孔２の上部
に軸支して揺動可能とし、クリーンルームのドア開放時
等に外部の汚染空気が流入するのを防止する。ダンパー
３には可変式バランスウエート４が設けられ、クリーン
ルーム内が所定圧力以上のときにダンパー３が開放して
空気が排出できるように調整可能とする。
リーンルームの壁１０下部に通孔２を設ける。通孔２は
室内を正圧に保って外部汚染空気が流入しないようにす
るもので、常時は余剰空気全排出するだめのものである
。通孔２の出口２ａには、空気の逆流を防ぐためのダン
パー３が設けられる。ダンパー３は上端全通孔２の上部
に軸支して揺動可能とし、クリーンルームのドア開放時
等に外部の汚染空気が流入するのを防止する。ダンパー
３には可変式バランスウエート４が設けられ、クリーン
ルーム内が所定圧力以上のときにダンパー３が開放して
空気が排出できるように調整可能とする。
通孔２内にしぼり孔５を設け、該しはシ孔５内にプロペ
ラ６を回転可能に設け、しぼり孔５を通過する空気量に
応じてプロペラ６が回転するようになっている。なお通
孔２全設けた壁の両側での差圧が十分に太きいときは、
通孔内にしは＃）ヲ設けることなく直接プロペラ６を通
孔内に設ける。
ラ６を回転可能に設け、しぼり孔５を通過する空気量に
応じてプロペラ６が回転するようになっている。なお通
孔２全設けた壁の両側での差圧が十分に太きいときは、
通孔内にしは＃）ヲ設けることなく直接プロペラ６を通
孔内に設ける。
プロペラ６の近くに磁気センサー７を設け、非接触でプ
ロペラの回転数に相当する信号を検出して、しはシ孔５
の外部に設けた制御ユニット８Ｖｃ信号を送るようにな
っている。すなわち磁気センサー全１回転数測定器とし
て使用する。制御ユニット８は、磁気センサー７から送
られた信号を演算して、所定時間内の回転数に相当する
周波数信号に変換できるようになっている。また制御ユ
ニットは、周波数信号をクリーンルームの静圧に相当す
る信号例えば４〜２０ ｍ Ａ信号、０〜５ｖ信号に変
換する回路を有し、配線９全介して静圧信号を送信でき
るようになっている。
ロペラの回転数に相当する信号を検出して、しはシ孔５
の外部に設けた制御ユニット８Ｖｃ信号を送るようにな
っている。すなわち磁気センサー全１回転数測定器とし
て使用する。制御ユニット８は、磁気センサー７から送
られた信号を演算して、所定時間内の回転数に相当する
周波数信号に変換できるようになっている。また制御ユ
ニットは、周波数信号をクリーンルームの静圧に相当す
る信号例えば４〜２０ ｍ Ａ信号、０〜５ｖ信号に変
換する回路を有し、配線９全介して静圧信号を送信でき
るようになっている。
本発明における静圧センサーは、上記の通シ構成され、
クリーンルーム内から順次、汚染空気を通孔２を介して
排出する。汚染空気が通孔２内全通過するときはしぼり
孔５内を通るので、通過空気量に応じてプロペラ６が回
転し、さらに磁気センサー７と制御ユニット８によｐ１
クリーンルーム内の静圧全デジタル処理後、制御信号と
して直接利用可能なアナログ値（例えば４〜２０ ｍ
Ａ信号）として検出することができる。
クリーンルーム内から順次、汚染空気を通孔２を介して
排出する。汚染空気が通孔２内全通過するときはしぼり
孔５内を通るので、通過空気量に応じてプロペラ６が回
転し、さらに磁気センサー７と制御ユニット８によｐ１
クリーンルーム内の静圧全デジタル処理後、制御信号と
して直接利用可能なアナログ値（例えば４〜２０ ｍ
Ａ信号）として検出することができる。
よってクリーンルーム内の静圧が制御用アナログ値とし
て検出されるので、この検出値から空気清浄装置の制御
装置等の入力信号として容易に使用でき、しかも信号全
変換する必要もないので精度のよい静圧信号を使用する
ことができる。また静圧センサーは、クリーンルームに
必須の室内静圧調整用の通孔内に設けられ、別個に静圧
センサーヲクリーンルームに設ける必要がないことから
スペース的にも望ましい。
て検出されるので、この検出値から空気清浄装置の制御
装置等の入力信号として容易に使用でき、しかも信号全
変換する必要もないので精度のよい静圧信号を使用する
ことができる。また静圧センサーは、クリーンルームに
必須の室内静圧調整用の通孔内に設けられ、別個に静圧
センサーヲクリーンルームに設ける必要がないことから
スペース的にも望ましい。
次に第３図によシ、上記静圧センサー全り１７−ンルー
ムの空気供給制御装置に使用した場合を説明する。クリ
ーンルーム１１は、天井部にフィルタ１２が設けられ、
該フィルタの下面からクリーン空気が流出できるように
なっている。クリーンルーム１１の壁下部に通孔１３ヲ
形成し、該通孔１３内に第２図に記載した静圧センサー
を設ける。なお通孔１３はクリーンルーム１１内を正圧
に保って余剰空気を排出するだめのもので、外部空気の
流入はダンパーにより阻止される。
ムの空気供給制御装置に使用した場合を説明する。クリ
ーンルーム１１は、天井部にフィルタ１２が設けられ、
該フィルタの下面からクリーン空気が流出できるように
なっている。クリーンルーム１１の壁下部に通孔１３ヲ
形成し、該通孔１３内に第２図に記載した静圧センサー
を設ける。なお通孔１３はクリーンルーム１１内を正圧
に保って余剰空気を排出するだめのもので、外部空気の
流入はダンパーにより阻止される。
クリーンルーム１１へのクリーン空気の供給のため、フ
ィルタ１２に連通ずる給気管路１４ Ｖｃ、外部か入口
１５がら空気を吸入してフィルタ１２ｔ−通過したクリ
ーン空気がクリーンルーム内に流入される。
ィルタ１２に連通ずる給気管路１４ Ｖｃ、外部か入口
１５がら空気を吸入してフィルタ１２ｔ−通過したクリ
ーン空気がクリーンルーム内に流入される。
クリーンルーム１１の床には汚染空気の排出孔が設けら
れ、該排出孔は途中にモータダンパー１８ヲ有する排気
管路１９に連通され、排気目印から汚染空気を排出でき
るようになっている。また排気管路】９は空調器１７に
連通され、フィルタ１２への供給空気量全減少する必要
があるときに、排気目印から排出できる。
れ、該排出孔は途中にモータダンパー１８ヲ有する排気
管路１９に連通され、排気目印から汚染空気を排出でき
るようになっている。また排気管路】９は空調器１７に
連通され、フィルタ１２への供給空気量全減少する必要
があるときに、排気目印から排出できる。
通孔１３内に設は友静圧センサーの制御ユニット８は、
配＃Ｊを介して差圧表示器２１と変換器２２とに連通ず
る。変換器２２は配ａを介して２つのモータダンバー１
６．１８に制御信号を送ることができ、２つのモータダ
ンパー１６ 、１８ ｋ開閉制御してクリーンルーム内
の静圧全所定値に保つようになっている。
配＃Ｊを介して差圧表示器２１と変換器２２とに連通ず
る。変換器２２は配ａを介して２つのモータダンバー１
６．１８に制御信号を送ることができ、２つのモータダ
ンパー１６ 、１８ ｋ開閉制御してクリーンルーム内
の静圧全所定値に保つようになっている。
上記の通ｐ形成したクリーンルーム１１の空気供給制御
装置においては、通孔内に設けた静圧センサーによｐ１
クリーンルーム内の静圧を検出し、電気的変換をして適
当位置に設けた差圧表示器２１により表示できる。また
クリーンルーみ内の静圧（７） １６ 、１８・・・モータダンパー ２２中変換器が
低下したときは、変換器２２により給気側のモータダン
パー １６２開放し、排気側のモータダンパー１８全閉
鎖制御する。またクリーンルーム内の静圧が増大したと
きは、２つのモータダンパー１６ 、１８全前記と逆に
制御する。
装置においては、通孔内に設けた静圧センサーによｐ１
クリーンルーム内の静圧を検出し、電気的変換をして適
当位置に設けた差圧表示器２１により表示できる。また
クリーンルーみ内の静圧（７） １６ 、１８・・・モータダンパー ２２中変換器が
低下したときは、変換器２２により給気側のモータダン
パー １６２開放し、排気側のモータダンパー１８全閉
鎖制御する。またクリーンルーム内の静圧が増大したと
きは、２つのモータダンパー１６ 、１８全前記と逆に
制御する。
よって従来のようにクリーンルーム内に別個に差圧セン
サーを設けなくとも通孔内に静圧センサーｆｆｉ設けら
れるので、スペース的に望まシく、シかもクリーンルー
ム内の静圧をアナログ値として検出できるので、クリー
ンルームの空気供給制御装置を正確かつ容易に制御する
ことができる。
サーを設けなくとも通孔内に静圧センサーｆｆｉ設けら
れるので、スペース的に望まシく、シかもクリーンルー
ム内の静圧をアナログ値として検出できるので、クリー
ンルームの空気供給制御装置を正確かつ容易に制御する
ことができる。
第１図は室壁の通孔内に設けたプロペラの回転数と室内
外の差圧との関係を示すグラフ、第２図は本発明の静圧
センサーの断面図、第１図は静圧センサーを使用したク
リーンルームの空気量ｉ ｆｌｉｌＪ御装置の系統図で
ある。 ２・・・通孔 ５・・・しぼｐ孔 ６・・・プロペ
ラ７・・・磁気センサー ８・・・制御ユニット１１
・・・クリーンルーム １３・・・通孔（８） 出 願人 株式会社 物中工務店 代理人 弁理士今岡良夫 １Ｌ！ 中・ 軒
外の差圧との関係を示すグラフ、第２図は本発明の静圧
センサーの断面図、第１図は静圧センサーを使用したク
リーンルームの空気量ｉ ｆｌｉｌＪ御装置の系統図で
ある。 ２・・・通孔 ５・・・しぼｐ孔 ６・・・プロペ
ラ７・・・磁気センサー ８・・・制御ユニット１１
・・・クリーンルーム １３・・・通孔（８） 出 願人 株式会社 物中工務店 代理人 弁理士今岡良夫 １Ｌ！ 中・ 軒
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１］ クリーンルームの壁に室内の静圧調整用の通
孔を設けて該通孔内に通過空気によ多回転するプロペラ
を設け、該プロペラの回転数を出力信号として発信する
測定器を設け、該測定器からの信号を受けてクリーンル
ームの静圧に相当する信号全発信する制御ユニットヲ設
けたクリーンルームにおける静圧センサー。 （２） クリーンルームの壁に室内の静圧調整用の通孔
を設けて該通孔内に通過空気によ多回転するプロペラを
設け、該プロペラの回転数全出力信号として発信する測
定器を設け、該測定器からの信号を受けてクリーンルー
ム内の静圧に相当する信号全発信する制御ユニツ）ｋ設
けることにより静圧セ：ｙ ｆ −ｆ 形成し、該静圧
センサーのｆｉｌＪ 御ユニットをクリーンルームの空
気供給制御装置の変換器に配線で接続し、該変換器によ
り空気供給制御装置の空気給入用と排気用の２つのモー
ターダンパー’ｆ−開閉制御するようにしたクリーンル
ームにおける空気供給制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57119519A JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57119519A JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599444A true JPS599444A (ja) | 1984-01-18 |
| JPH0245097B2 JPH0245097B2 (ja) | 1990-10-08 |
Family
ID=14763277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57119519A Granted JPS599444A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | クリーンルームの空気供給制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599444A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6475322A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-22 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | Cylinder feed-in device |
| EP3224546A4 (en) * | 2014-11-26 | 2018-08-01 | Si-tecno OY | Method for measuring pressure differences between different premises in a building |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166327U (ja) * | 1979-05-18 | 1980-11-29 |
-
1982
- 1982-07-08 JP JP57119519A patent/JPS599444A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55166327U (ja) * | 1979-05-18 | 1980-11-29 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6475322A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-22 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | Cylinder feed-in device |
| EP3224546A4 (en) * | 2014-11-26 | 2018-08-01 | Si-tecno OY | Method for measuring pressure differences between different premises in a building |
| US10481035B2 (en) | 2014-11-26 | 2019-11-19 | Si-Tecno Oy | Method for measuring pressure differences between different premises in a building |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0245097B2 (ja) | 1990-10-08 |
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