JPH0238438Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案はベーキングオーブンに関し、特に半
導体ウエハ等の薄平板を乾燥する装置に関する。

〈考案の概要〉 複数枚の薄板状半導体ウエハを治具に保持し
て、その表面に塗布したレジスト等を乾燥させる
ために、この考案は、半導体ウエハを保持した治
具を収容する炉室の内壁に、半導体ウエハ間の間
隙に方向付けて強制的に熱風を流通させる整風板
を設け、半導体ウエハの全面を均一に乾燥させる
ベーキングオーブンである。

〈従来の技術〉 半導体装置の製造工程において、例えば液状で
半導体ウエハに塗布されたレジストは加熱乾燥さ
れ、集積回路等の製造に必要なパターンが露光さ
れる。上記レジストの加熱乾燥作業はベーキング
オーブン内で施こされるが、従来のベーキングオ
ーブンは、半導体ウエハを収容した炉室内に設け
た窓から高温加熱された空気或いは窒素ガスを送
り込み、フアンによつて炉室内を循環させる構造
が採られている。

〈考案が解決しようとする問題点〉 上記従来構造のベーキングオーブンでは、次の
ような欠点がある。

１ 送り込まれたガスは炉室内で乱流となり、被
加熱体である複数枚が互いに平行に保持された
半導体ウエハに接触するガス流は乱れ、そのた
め昇温速さが試料位置によつて異なり、均一加
熱が得られない。

２ 上記ガスの乱流による影響を軽減するため炉
室容積を内部に収容する被加熱体に比べて大き
く形成しなければならず、装置が非常に大型化
するだけではなく、容積が大きいために炉内の
温度が平均化されて被加熱体の温度変化が過少
に検出される惧れがあり、温度検知機能が低下
すると共に応答速度も遅くなる。

〈問題点を解決するための手段〉 上記従来装置の欠点を除去するために、平行に
保持された半導体ウエハに更に平行する関係に方
向付けられた整風板を、炉室の相対向する上部内
壁及び下部内壁に設け、炉室の外部に発熱体を設
けると共に強制的に上部から下部へのガス流を作
り出すフアンを設けて構成する。

〈作用〉 炉内に収容された半導体ウエハに対して、加熱
乾燥のための熱風は整風板を通過して炉内に供給
されるため、林立する半導体ウエハ間隙に沿つて
熱風が層流状態で流れ、炉内を円滑に循環するこ
とができる。

〈実施例〉 図はベーキングオーブンの断面図で、断熱材で
形成された外壁１内に炉室２が設けられている。
該炉室２は半導体ウエハ３を収容する空間を形成
し、炉室２の開口２ａには開閉自在に扉２ｂが取
付けられている。上記半導体ウエハ３は複数枚が
互いに微小な間隔を隔てて平行に林立する状態で
治具４によつて保持されている。炉室２の相対向
する上壁と下壁には、上記収容された半導体ウエ
ハ３の間隙に平行なガス流通路を形成した整風板
５，６が取付けられている。即ち、整風板５，６
を通過させることによつて半導体ウエハ３面に平
行なガス流を作り出し、炉内に供給する。上壁側
整風板５の外側には耐熱型へパフイルタ７が取付
けられ、炉内への供給ガスの清浄化を図る。下壁
側整風板５の外側には主ヒータ８及び補助ヒータ
９が設けられ、周辺ガスを加熱して熱風を作り出
す。上記補助ヒータ９は温度制御の微調整或いは
炉内に半導体ウエハを供給する作業時に、炉内の
温度低下を軽減するため扉２ｂの開口動作と連動
させて通電し、加熱力を高めるために用いられ
る。

上記下壁側整風板６の外側中央よりわずかに開
口２ａ側に寄せて温度センサ１０が設置されてい
る。

オーブン外壁１と炉室２との間隙にはガスを強
制循環させるための高静圧フアン１１が取付けら
れ、該高静圧フアン１１の軸はモータ１２に結合
されている。図中１３は上記フアン近傍でのガス
流を規制するための仕切板である。

上記構造のベーキングオーブンにおいて、温度
センサ１０によつて所定温度に保持された炉内は
フアン１０の回転によつて強制的に熱風が供給さ
れるが、該熱風はフイルタ７を通過した後整風板
５を通過して炉内に導入され、整風板６を通して
排気されるため熱風は炉内を一方向に流れ、炉内
に半導体ウエハが置かれた場合に半導体ウエハ面
に沿つて層流として流れ、半導体ウエハを均一に
且つ速やかに加熱乾燥する。

〈考案の効果〉 以上本考案によれば、炉内にはガス流が層流と
なつて供給されるため、不要に炉内の容積を大き
く設計する必要がなく、被加熱体の容積と同等程
度の収容空間で被加熱体を全体に亘つて均一加熱
することができ、炉室の小型化ひいては装置の小
型化を図ることができ、時間的及びエネルギ的に
効率的なベーキング処理を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案による一実施例を示すベーキングオ
ーブンの断面図である。 ２：炉室、３：半導体ウエハ、５，６：整風
板、８，９：ヒータ、１０：温度センサ、１１：
フアン。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 互いに微小間隔を隔てて平行に林立する状態で
   保持される複数枚の平板状被加熱体を収容する空
   間を形成した炉体と、 上記複数枚の平板状被加熱体間の間隙に沿つた
   上部より下部へのガス流、すなわち、上記平板状
   被加熱体主面に平行な上部より下部へのガス流を
   生ぜしめるための、上記炉体の相対向する上部内
   壁及び下部内壁に取付けられた整風板と、 該整風板を通過させて上記被加熱体収容空間に
   ガスを上部より下部へ強制循環させるフアンと、 上記炉体内壁の外部に配置された加熱体とを備
   えたことを特徴とするベーキングオーブン。