JPS61164023U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61164023U JPS61164023U JP4757985U JP4757985U JPS61164023U JP S61164023 U JPS61164023 U JP S61164023U JP 4757985 U JP4757985 U JP 4757985U JP 4757985 U JP4757985 U JP 4757985U JP S61164023 U JPS61164023 U JP S61164023U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air conditioning
- furnace body
- conditioning plate
- furnace
- space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
図は本考案による一実施例を示すベーキングオ
ーブンの断面図である。 ２：炉室、３：半導体ウエハ、５，６：整風板
、８，９：ヒータ、１０：温度センサ、１１：フ
アン。
ーブンの断面図である。 ２：炉室、３：半導体ウエハ、５，６：整風板
、８，９：ヒータ、１０：温度センサ、１１：フ
アン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被加熱体を収容する空間を形成した炉体と、該
炉体の相対向する内壁に取付けられた整風板と、 上記整風板を通過させて被加熱体収容空間にガ
スを強制循環させるフアンと、 上記炉体内壁の外部に配置された加熱体とを備
えたことを特徴とするベーキングオーブン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985047579U JPH0238438Y2 (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985047579U JPH0238438Y2 (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164023U true JPS61164023U (ja) | 1986-10-11 |
| JPH0238438Y2 JPH0238438Y2 (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=30563036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985047579U Expired JPH0238438Y2 (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238438Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010500525A (ja) * | 2006-08-11 | 2010-01-07 | アイゼンマン アンラゲンバウ ゲゼルシャフト ミット ペシュレンクテル ハフツングウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 高温空気炉モジュール及び高温空気炉 |
| JP2018189344A (ja) * | 2017-05-11 | 2018-11-29 | 中外炉工業株式会社 | 熱処理炉 |
| JP2021197352A (ja) * | 2020-06-09 | 2021-12-27 | コヨ サーモ システム コリア カンパニー リミテッド | 熱処理オーブンのヒーター電源供給装置 |
| JP2024043070A (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-29 | 株式会社Ｅｓｔ電設工業 | 乾燥装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5019408U (ja) * | 1973-06-15 | 1975-03-05 | ||
| JPS5726433A (en) * | 1980-07-23 | 1982-02-12 | Hitachi Ltd | Bake of photoresist or the like and apparatus therefor |
| JPS5735319A (en) * | 1980-08-13 | 1982-02-25 | Hitachi Ltd | Heat treatment device |
| JPS5954924U (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-10 | ソニー株式会社 | 乾燥装置 |
-
1985
- 1985-03-28 JP JP1985047579U patent/JPH0238438Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5019408U (ja) * | 1973-06-15 | 1975-03-05 | ||
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|---|---|---|---|---|
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| JP2018189344A (ja) * | 2017-05-11 | 2018-11-29 | 中外炉工業株式会社 | 熱処理炉 |
| JP2021197352A (ja) * | 2020-06-09 | 2021-12-27 | コヨ サーモ システム コリア カンパニー リミテッド | 熱処理オーブンのヒーター電源供給装置 |
| JP2024043070A (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-29 | 株式会社Ｅｓｔ電設工業 | 乾燥装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238438Y2 (ja) | 1990-10-17 |