JP2021197352A - 熱処理オーブンのヒーター電源供給装置 - Google Patents
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Abstract
Description
200 チャンバー
210 外部ケーシング
220 内部ケーシング
400 電源供給部
410 ボックス
411 温度制御センサー誘導ウィンドウ
412 開口ホール
420 ハウジング
421 温度センサーシールシート
430 フィードスルー(feedthrough)
440 シリコーンリング
450 金属ブッシュ
452 円形シリコーンパッキン
Claims (7)
- 基板の加熱乾燥のために基板を収容するチャンバーを備え、前記チャンバー内に発熱体であるヒーターを実装して前記ヒーターの熱で基板を加熱または乾燥させる熱処理オーブンと、
前記ヒーターの発熱線を接続して電流を通電させる多数のバスバーが接続された導電部と、
外部電源入力端子の接続を誘導するようにチャンバーの外部ケーシングから突出して前記バスバーに電流を通電させる複数のフィードスルー(feedthrough)を、前記チャンバーの内外部ケーシングに沿って備える電源供給部とを含む、熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。 - 前記電源供給部が、前記フィードスルーを突出可能に誘導する開口ホールを備え、前記フィードスルーを保護し且つ前記チャンバーの外部でメンテナンスを行うためのボックスを含む、請求項1に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
- 前記ボックスの一端には、チャンバー内のヒーター温度を制御することができるようにする温度制御センサー誘導ウィンドウを備え、前記ボックスの内部側には、耐熱性を有するハウジング、及びチャンバー内の熱と流体の外部流出を遮断する温度センサーシールシートを備える、請求項2に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
- 前記フィードスルーは、チャンバーの外部ケーシングにシリコーンリングを装着し、前記シリコーンリングに案内されて高温絶縁性能を維持するように構成された、請求項1に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
- 前記シリコーンリングは、チャンバーの外部ケーシングに金属ブッシュを装着し、前記金属ブッシュに案内されて高温シールを維持するように構成された、請求項4に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
- 前記フィードスルーが、高温腐食を予防するためにニッケル材料で構成された、請求項1に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
- 前記シリコーンリングが、シールを維持するために複数の円形パッキンまたは平衡シートからなることを特徴とする、請求項5に記載の熱処理オーブンのヒーター電源供給装置。
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