JP3340044B2 - 加熱装置 - Google Patents
加熱装置Info
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- JP3340044B2 JP3340044B2 JP35007496A JP35007496A JP3340044B2 JP 3340044 B2 JP3340044 B2 JP 3340044B2 JP 35007496 A JP35007496 A JP 35007496A JP 35007496 A JP35007496 A JP 35007496A JP 3340044 B2 JP3340044 B2 JP 3340044B2
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- heat treatment
- air supply
- heat
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックスや金
属材料等の被熱処理材に対して、脱脂,焼成等の熱処理
を行うために用いられる加熱装置に関する。
属材料等の被熱処理材に対して、脱脂,焼成等の熱処理
を行うために用いられる加熱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の箱型の加熱装置K1 の断面図を図
5,図6に示す。図5,図6において、1は加熱装置K
1 内の一内側面付近に設けられた熱風供給用のファン、
2はファン1の周縁を囲むような開口とされた熱風給気
口、3は熱風排気口、4は熱風給気口2と熱風排気口3
の開口部を除いて加熱装置K1 内に密閉して設けられた
熱処理室、7は被熱処理材を載置するための棚板、8は
吸気口、9はヒーターである。
5,図6に示す。図5,図6において、1は加熱装置K
1 内の一内側面付近に設けられた熱風供給用のファン、
2はファン1の周縁を囲むような開口とされた熱風給気
口、3は熱風排気口、4は熱風給気口2と熱風排気口3
の開口部を除いて加熱装置K1 内に密閉して設けられた
熱処理室、7は被熱処理材を載置するための棚板、8は
吸気口、9はヒーターである。
【0003】このような加熱装置K1 は、セラミックス
や金属材料等から成る被熱処理材に対して、脱脂や焼成
等の熱処理を行うのに使用され、一般的に、加熱装置K
1 内のできるだけ広い範囲で均一な熱処理条件となるこ
とが求められる。そこで、加熱装置K1 は、被熱処理材
の燃焼や化学反応等による加熱装置K1 内の酸欠及び生
成ガスの滞留を防ぎ、かつ加熱装置K1 内の温度を均一
にするために、ファン1等の送風機能を有している。送
風機能を有する加熱装置K1 は、熱風給気口2に熱風供
給用のファン1等を設置し、熱処理室4内の熱風給気口
2の反対側に熱風排気口3を備えたものが一般的であ
る。この加熱装置K1 は、加熱装置K1 外又は熱処理室
4外で加熱されたガスを、ファン1により熱風として熱
風給気口2から熱処理室4内へ送り込み、被熱処理材が
棚板7に載置された領域を通過させることにより、熱処
理室4内の温度分布を均一にしたうえ、熱風排気口3よ
り排出させるものである。
や金属材料等から成る被熱処理材に対して、脱脂や焼成
等の熱処理を行うのに使用され、一般的に、加熱装置K
1 内のできるだけ広い範囲で均一な熱処理条件となるこ
とが求められる。そこで、加熱装置K1 は、被熱処理材
の燃焼や化学反応等による加熱装置K1 内の酸欠及び生
成ガスの滞留を防ぎ、かつ加熱装置K1 内の温度を均一
にするために、ファン1等の送風機能を有している。送
風機能を有する加熱装置K1 は、熱風給気口2に熱風供
給用のファン1等を設置し、熱処理室4内の熱風給気口
2の反対側に熱風排気口3を備えたものが一般的であ
る。この加熱装置K1 は、加熱装置K1 外又は熱処理室
4外で加熱されたガスを、ファン1により熱風として熱
風給気口2から熱処理室4内へ送り込み、被熱処理材が
棚板7に載置された領域を通過させることにより、熱処
理室4内の温度分布を均一にしたうえ、熱風排気口3よ
り排出させるものである。
【0004】また、他の従来例として、被熱処理材が収
納される処理室に、給排気ダクトを介して該給排気ダク
トと直交する関係で給気ダクト及び排気ダクトが接続さ
れ、給気ダクト及び排気ダクトのいずれか一方にファン
が介装されていて、給排気ダクトと給気ダクト及び排気
ダクトとの直交部に切替ダンパを着装することにより、
処理室に可逆の2方向から加熱気体を流通できるように
した熱処理装置が提案されている(特開平5−1887
号参照)。
納される処理室に、給排気ダクトを介して該給排気ダク
トと直交する関係で給気ダクト及び排気ダクトが接続さ
れ、給気ダクト及び排気ダクトのいずれか一方にファン
が介装されていて、給排気ダクトと給気ダクト及び排気
ダクトとの直交部に切替ダンパを着装することにより、
処理室に可逆の2方向から加熱気体を流通できるように
した熱処理装置が提案されている(特開平5−1887
号参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5,
図6に示した従来の加熱装置K1 では、ファン1の形状
及び大きさ、あるいは熱風排気口3の位置、形状及び大
きさによっては、熱処理室4内でガスの対流や逆流が起
こったり、ガスの流れに偏りが生じるといった問題点が
あった。そして、このような加熱装置K1 内の棚板7上
に被熱処理材を置いた場合、熱処理室4内にガスの流れ
の停止した領域が生じ、その結果、熱処理室4内の温度
分布が不均一になり、1ロット内で被熱処理材の設置場
所により、被熱処理材の特性のばらつきや熱処理不良が
多く発生するという問題があった。
図6に示した従来の加熱装置K1 では、ファン1の形状
及び大きさ、あるいは熱風排気口3の位置、形状及び大
きさによっては、熱処理室4内でガスの対流や逆流が起
こったり、ガスの流れに偏りが生じるといった問題点が
あった。そして、このような加熱装置K1 内の棚板7上
に被熱処理材を置いた場合、熱処理室4内にガスの流れ
の停止した領域が生じ、その結果、熱処理室4内の温度
分布が不均一になり、1ロット内で被熱処理材の設置場
所により、被熱処理材の特性のばらつきや熱処理不良が
多く発生するという問題があった。
【0006】また、上記の切替ダンパを設けた熱処理装
置の場合、加熱気体の流れを2方向に切り換える切替ダ
ンパの形状、及び給排気ダクトと給気ダクト及び排気ダ
クトの配置が複雑になり、装置が大型化し製造コストも
高くなるという問題点があった。
置の場合、加熱気体の流れを2方向に切り換える切替ダ
ンパの形状、及び給排気ダクトと給気ダクト及び排気ダ
クトの配置が複雑になり、装置が大型化し製造コストも
高くなるという問題点があった。
【0007】従って、本発明は上記事情に鑑みて完成さ
れたものであり、その目的は熱処理室内にガスの不要な
対流や逆流あるいは停滞が起こらないようにして、熱処
理室内の温度分布を均一し、これにより、高歩留りで製
品を熱処理し、更には、装置構成を簡易化して小型化す
ることにある。
れたものであり、その目的は熱処理室内にガスの不要な
対流や逆流あるいは停滞が起こらないようにして、熱処
理室内の温度分布を均一し、これにより、高歩留りで製
品を熱処理し、更には、装置構成を簡易化して小型化す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手投】本発明の加熱装置は、熱
風給気口と熱風排気口とが設けられた熱処理室と、前記
熱風給気口に付設された熱風供給用のファンと、熱風の
供給方向と略平行に熱処理室内に配置された複数の棚板
とを具備する加熱装置であって、前記棚板と前記熱風排
気口との間に、略円形の開口部を有する仕切り板を熱風
給気口に対向するように配置するとともに、前記開口部
の直径をファンの直径の50〜120%としたことを特
徴とする。
風給気口と熱風排気口とが設けられた熱処理室と、前記
熱風給気口に付設された熱風供給用のファンと、熱風の
供給方向と略平行に熱処理室内に配置された複数の棚板
とを具備する加熱装置であって、前記棚板と前記熱風排
気口との間に、略円形の開口部を有する仕切り板を熱風
給気口に対向するように配置するとともに、前記開口部
の直径をファンの直径の50〜120%としたことを特
徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の加熱装置Kの断面図を図
1,図3,図4に、熱処理室を中心とした部分切欠要部
斜視図を図2に示す。これらの図において、1は加熱装
置K内の一内側面付近に設けられた熱風供給用のファ
ン、2はファン1の周縁を囲むように開口された熱風給
気口、3は熱風排気口、4は熱風給気口2と熱風排気口
3の開口部を具備し加熱装置K内に設けられた熱処理
室、5は熱処理室4内の棚板7と熱風排気口3との間に
その開口部6が熱風給気口2に対向するように配置され
た、略円形の開口部6を有する仕切り板、7はセラミッ
クスや金属等から成る被熱処理材を載置する棚板、8は
吸気口、9はヒーターである。尚、これらの図におい
て、従来例の図5,図6と同じ箇所には同一の符号を付
している。
1,図3,図4に、熱処理室を中心とした部分切欠要部
斜視図を図2に示す。これらの図において、1は加熱装
置K内の一内側面付近に設けられた熱風供給用のファ
ン、2はファン1の周縁を囲むように開口された熱風給
気口、3は熱風排気口、4は熱風給気口2と熱風排気口
3の開口部を具備し加熱装置K内に設けられた熱処理
室、5は熱処理室4内の棚板7と熱風排気口3との間に
その開口部6が熱風給気口2に対向するように配置され
た、略円形の開口部6を有する仕切り板、7はセラミッ
クスや金属等から成る被熱処理材を載置する棚板、8は
吸気口、9はヒーターである。尚、これらの図におい
て、従来例の図5,図6と同じ箇所には同一の符号を付
している。
【0010】図1〜図4によれば、本発明の加熱装置K
の基本的な構造は、被熱処理材を収納して熱処理を行う
ための熱処理室4が、熱風給気口2と熱風排気口3を除
いて実質的に密閉された状態で設置される。そして、室
温程度の空気,N2 ,アルゴン等の熱処理用の気体(ガ
ス)が吸気口8から加熱装置K内で且つ熱処理室4外の
送風路(給気ダクト)に取り込まれ、ヒーター9により
加熱されて熱風給気口2へ流通するように構成される。
また、熱風給気口2にはファン1が付設され、さらに熱
処理室4内を通過した加熱気体を加熱装置K外へ排出す
る熱風排気口3が設けられる。
の基本的な構造は、被熱処理材を収納して熱処理を行う
ための熱処理室4が、熱風給気口2と熱風排気口3を除
いて実質的に密閉された状態で設置される。そして、室
温程度の空気,N2 ,アルゴン等の熱処理用の気体(ガ
ス)が吸気口8から加熱装置K内で且つ熱処理室4外の
送風路(給気ダクト)に取り込まれ、ヒーター9により
加熱されて熱風給気口2へ流通するように構成される。
また、熱風給気口2にはファン1が付設され、さらに熱
処理室4内を通過した加熱気体を加熱装置K外へ排出す
る熱風排気口3が設けられる。
【0011】前記熱風供給用のファン1は、熱処理室4
全体が所望の温度分布となるように、熱風を熱処理室4
内全体に拡散させるものである。このとき、ファン1に
よる熱処理室4内の熱風の流速は0.1m/sec以上
が好ましく、0.1m/sec未満では、酸欠状態ある
いは生成ガスの滞留により熱処理不良が発生し易くな
る。ただし、被熱処理材の形状,サイズにもよるが、前
記流速は棚板7上の被熱処理材が熱風により移動しない
レベル以下であればよい。前記棚板7は、熱風の流れを
妨げないように、熱風の供給方向と略平行に設けられる
もので、整流板としての機能も有する。また、熱風の温
度は、被熱処理材の種類及び処理目的により異なるが、
セラミックスや金属材料等の被熱処理材に対して、脱
脂,焼成等の熱処理を行うためには、100〜700℃
とするのが好適である。
全体が所望の温度分布となるように、熱風を熱処理室4
内全体に拡散させるものである。このとき、ファン1に
よる熱処理室4内の熱風の流速は0.1m/sec以上
が好ましく、0.1m/sec未満では、酸欠状態ある
いは生成ガスの滞留により熱処理不良が発生し易くな
る。ただし、被熱処理材の形状,サイズにもよるが、前
記流速は棚板7上の被熱処理材が熱風により移動しない
レベル以下であればよい。前記棚板7は、熱風の流れを
妨げないように、熱風の供給方向と略平行に設けられる
もので、整流板としての機能も有する。また、熱風の温
度は、被熱処理材の種類及び処理目的により異なるが、
セラミックスや金属材料等の被熱処理材に対して、脱
脂,焼成等の熱処理を行うためには、100〜700℃
とするのが好適である。
【0012】前記仕切り板5の略円形の開口部6は、フ
ァン1の直径の50〜120%程度の大きさとするもの
で、50%未満では熱風がファン1の回転軸延長線上沿
いの限られた領域に集中して、その他の領域に逆流、停
滞、対流が発生し、120%超では仕切り板5がない場
合と変わらない流れが生じることとなる。また、略円形
の開口部6は、その中心がファン1の回転軸延長線上に
ほぼ存在することが望ましい。これは、開口部6の中心
がファン1の回転軸延長線上からはずれると、熱風の流
れが偏り、熱処理室4内に対流、逆流の領域が発生し易
くなるためである。前記開口部6の中心のファン1の回
転軸延長線からのぶれ幅は、ファン1の直径の10%以
内とするのが、対流、逆流を最小限に抑制するうえで好
適である。
ァン1の直径の50〜120%程度の大きさとするもの
で、50%未満では熱風がファン1の回転軸延長線上沿
いの限られた領域に集中して、その他の領域に逆流、停
滞、対流が発生し、120%超では仕切り板5がない場
合と変わらない流れが生じることとなる。また、略円形
の開口部6は、その中心がファン1の回転軸延長線上に
ほぼ存在することが望ましい。これは、開口部6の中心
がファン1の回転軸延長線上からはずれると、熱風の流
れが偏り、熱処理室4内に対流、逆流の領域が発生し易
くなるためである。前記開口部6の中心のファン1の回
転軸延長線からのぶれ幅は、ファン1の直径の10%以
内とするのが、対流、逆流を最小限に抑制するうえで好
適である。
【0013】また、熱処理室4及び仕切り板5は、耐熱
性、熱伝導性、耐腐食性等の点で、ステンレス,アルミ
ニウム等の金属、多孔質セラミック,レンガ,セメント
等の材料から成るのがよい。
性、熱伝導性、耐腐食性等の点で、ステンレス,アルミ
ニウム等の金属、多孔質セラミック,レンガ,セメント
等の材料から成るのがよい。
【0014】本発明の加熱装置Kにより、図2に示すよ
うなハニカム状(蜂の巣状)の構造を有する棚板7上
に、被熱処理材を均一に分布するよう配置して熱処理を
行った場合、図3に示すような熱風の流れの方向の分
布、及び図4に示すような流れの大きさの分布が加熱装
置K内に生じる。図4において、斜線部は流速が1.0
m/sec以下、斜線格子部は逆流又は対流している領
域を示す。つまり、熱処理室4の上部内壁沿いのごく限
られた領域を除く全ての領域で、熱風給気口2側から仕
切り板5の開口部6側へ向かう流れが生じる。また、熱
処理室4内の中央部に生じる、他の領域に比べて流れの
遅い領域は、従来例の加熱装置K1 で生じたそれと比較
して、断面積で約1/3、体積で約1/9に減少した。
うなハニカム状(蜂の巣状)の構造を有する棚板7上
に、被熱処理材を均一に分布するよう配置して熱処理を
行った場合、図3に示すような熱風の流れの方向の分
布、及び図4に示すような流れの大きさの分布が加熱装
置K内に生じる。図4において、斜線部は流速が1.0
m/sec以下、斜線格子部は逆流又は対流している領
域を示す。つまり、熱処理室4の上部内壁沿いのごく限
られた領域を除く全ての領域で、熱風給気口2側から仕
切り板5の開口部6側へ向かう流れが生じる。また、熱
処理室4内の中央部に生じる、他の領域に比べて流れの
遅い領域は、従来例の加熱装置K1 で生じたそれと比較
して、断面積で約1/3、体積で約1/9に減少した。
【0015】これに対して、従来の仕切り板5のない加
熱装置K1 の場合、図5のような流れの方向の分布、及
び図6のような流れの大きさの分布が生じる。図6にお
いて、斜線部は流速が1.0m/sec以下、斜線格子
部は逆流又は対流している領域を示す。つまり、熱処理
室4内の中央部に逆流や対流等の好ましくない流れが生
じ、更に熱処理室4内中央部及び上部に、他の領域に比
べて流れの遅い領域が形成される。このような加熱装置
K1 では、被熱処理材を入れると、熱処理時に発生する
ガス等の換気が十分行われなくなる等して、特性の不均
一な製品や不良品が発生し易くなり、その結果、歩留り
が低下するなどの問題が生じる。
熱装置K1 の場合、図5のような流れの方向の分布、及
び図6のような流れの大きさの分布が生じる。図6にお
いて、斜線部は流速が1.0m/sec以下、斜線格子
部は逆流又は対流している領域を示す。つまり、熱処理
室4内の中央部に逆流や対流等の好ましくない流れが生
じ、更に熱処理室4内中央部及び上部に、他の領域に比
べて流れの遅い領域が形成される。このような加熱装置
K1 では、被熱処理材を入れると、熱処理時に発生する
ガス等の換気が十分行われなくなる等して、特性の不均
一な製品や不良品が発生し易くなり、その結果、歩留り
が低下するなどの問題が生じる。
【0016】従って、本発明の加熱装置Kは、熱処理室
4内の温度分布を均一に保持することはもちろんのこ
と、熱風の均一な供給と熱処理時の生成ガス等の換気性
が良好であり、これにより、特性の均一な製品を歩留り
良く製造することができる。
4内の温度分布を均一に保持することはもちろんのこ
と、熱風の均一な供給と熱処理時の生成ガス等の換気性
が良好であり、これにより、特性の均一な製品を歩留り
良く製造することができる。
【0017】図1〜図4の実施形態において、熱処理室
4内には、ファン1による熱風供給方向と略平行に設置
されたハニカム状の棚板7を設け、その棚板7上に多数
の被熱処理材を並べて熱処理に賦されるものであるが、
棚板7の形状は前記の構成に限られることなく、熱処理
室4の熱風給気口2から熱風排気口3への熱風供給方向
と略平行に熱風の通路が形成されるような構成であれば
よい。場合によっては、多数の積載された被熱処理材自
体が、棚板7として機能するものであってもよい。例え
ば、複数の管状体からなる被熱処理材を、管状体の長手
方向が熱風供給方向と平行になるように、つまり、その
開口部を熱風給気口2側に向くようにして積載してもよ
い。
4内には、ファン1による熱風供給方向と略平行に設置
されたハニカム状の棚板7を設け、その棚板7上に多数
の被熱処理材を並べて熱処理に賦されるものであるが、
棚板7の形状は前記の構成に限られることなく、熱処理
室4の熱風給気口2から熱風排気口3への熱風供給方向
と略平行に熱風の通路が形成されるような構成であれば
よい。場合によっては、多数の積載された被熱処理材自
体が、棚板7として機能するものであってもよい。例え
ば、複数の管状体からなる被熱処理材を、管状体の長手
方向が熱風供給方向と平行になるように、つまり、その
開口部を熱風給気口2側に向くようにして積載してもよ
い。
【0018】また、熱処理室4内に置く被熱処理材の数
は単品でも複数でもよく、更に、熱処理室4内上部及び
下部内壁面沿いに生じる、他の領域に比べて流れの遅い
領域を避けて設置すれば、被熱処理材の形状及び数等に
制限はない。
は単品でも複数でもよく、更に、熱処理室4内上部及び
下部内壁面沿いに生じる、他の領域に比べて流れの遅い
領域を避けて設置すれば、被熱処理材の形状及び数等に
制限はない。
【0019】尚、本発明は上記の実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々
の変更は何等差し支えない。
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々
の変更は何等差し支えない。
【0020】
【実施例】本発明の実施例を以下に示す。被熱処理材と
して、アルミナ(Al2 O3 )を主体とし成形用有機バ
インダーを含有するアルミナ成形体を、図1の加熱装置
Kの棚板7上に、一段の棚板当たり100個、合計70
0個を均一に分布するよう並べた。その後、700℃に
加熱された大気を熱処理室4内に導入し、成形用有機バ
インダーを除去した。
して、アルミナ(Al2 O3 )を主体とし成形用有機バ
インダーを含有するアルミナ成形体を、図1の加熱装置
Kの棚板7上に、一段の棚板当たり100個、合計70
0個を均一に分布するよう並べた。その後、700℃に
加熱された大気を熱処理室4内に導入し、成形用有機バ
インダーを除去した。
【0021】熱処理にあたり、仕切り板5の開口部6の
直径をファン1の直径の30%,50%,80%,10
0%,120%,150%,仕切り板5なしの7つの条
件で個別に実施し、各々熱処理後のアルミナ成形体にお
ける脱バイ不良の数を調べ、その結果を表1に示した。
直径をファン1の直径の30%,50%,80%,10
0%,120%,150%,仕切り板5なしの7つの条
件で個別に実施し、各々熱処理後のアルミナ成形体にお
ける脱バイ不良の数を調べ、その結果を表1に示した。
【0022】
【表1】
【0023】表1から判るように、本発明装置(50〜
120%)によるものは不良品の数が100個未満と良
好な歩留りであった。
120%)によるものは不良品の数が100個未満と良
好な歩留りであった。
【0024】
【発明の効果】本発明の加熱装置は、熱処理室内の棚板
と熱風排気口との間に、略円形の開口部を有する仕切り
板を熱風給気口に対向するように配置し、開口部の直径
をファンの直径の50〜120%としたことにより、熱
風の流れが熱風給気口から仕切り板の開口部へ向かう方
向に整流されて広い範囲でガスの円滑な流れが得られ、
その結果、熱処理室内の広い範囲でガスの流れの停滞、
逆流等が起こらず、同時に熱処理室内の温度分布が均一
となる。そのため、被熱処理材を高歩留りで熱処理する
ことができる。また、熱処理に適した範囲が拡がるた
め、より多数個の被熱処理材を処理することが可能であ
る。
と熱風排気口との間に、略円形の開口部を有する仕切り
板を熱風給気口に対向するように配置し、開口部の直径
をファンの直径の50〜120%としたことにより、熱
風の流れが熱風給気口から仕切り板の開口部へ向かう方
向に整流されて広い範囲でガスの円滑な流れが得られ、
その結果、熱処理室内の広い範囲でガスの流れの停滞、
逆流等が起こらず、同時に熱処理室内の温度分布が均一
となる。そのため、被熱処理材を高歩留りで熱処理する
ことができる。また、熱処理に適した範囲が拡がるた
め、より多数個の被熱処理材を処理することが可能であ
る。
【図1】本発明の加熱装置Kの断面図である。
【図2】加熱装置Kの一部切欠要部斜視図である。
【図3】加熱装置K内のガスの流れの方向を示す断面図
である。
である。
【図4】加熱装置K内のガスの流れの大きさを示す断面
図である。
図である。
【図5】従来の加熱装置K1 内のガスの流れの方向を示
す断面図である。
す断面図である。
【図6】加熱装置K1 内のガスの流れの大きさを示す断
面図である。
面図である。
1:熱風供給用のファン 2:熱風給気口 3:熱風排気口 4:熱処理室 5:仕切り板 6:仕切り板の開口部 7:被熱処理材 8:吸気口 9:ヒーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F27D 7/04 F27B 17/00
Claims (1)
- 【請求項1】熱風給気口と熱風排気口とが設けられた熱
処理室と、前記熱風給気口に付設された熱風供給用のフ
ァンと、熱風の供給方向と略平行に熱処理室内に配置さ
れた複数の棚板とを具備する加熱装置であって、前記棚
板と前記熱風排気口との間に、略円形の開口部を有する
仕切り板を熱風給気口に対向するように配置するととも
に、前記開口部の直径をファンの直径の50〜120%
としたことを特徴とする加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35007496A JP3340044B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35007496A JP3340044B2 (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 加熱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10197166A JPH10197166A (ja) | 1998-07-31 |
JP3340044B2 true JP3340044B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=18408059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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