JPH0234557A - 易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結体 - Google Patents

易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結体

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JPH0234557A
JPH0234557A JP63185239A JP18523988A JPH0234557A JP H0234557 A JPH0234557 A JP H0234557A JP 63185239 A JP63185239 A JP 63185239A JP 18523988 A JP18523988 A JP 18523988A JP H0234557 A JPH0234557 A JP H0234557A
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JP
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substance
sintered body
aluminum oxide
sintering
ceramic sintered
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JP63185239A
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Inventor
Toshiyuki Takahashi
俊行 高橋
Takamitsu Igarashi
五十嵐 隆光
Masaki Kobayashi
正樹 小林
Yuji Katsumura
勝村 祐次
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Tungaloy Corp
Original Assignee
Toshiba Tungaloy Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、切削工具用材料、耐摩耗工具用材料、耐食性
用材料、高温機械部品用材料、精密機械部品用材料、電
子部品用材料、磁気ヘッド基板用材料及び時計側を含め
た装飾用材料として適する易焼結性酸化アルミニウム基
セラミックス焼結体に関するものである。
(従来の技術) 一般に、酸化アルミニウムにSin、、 MgO。
Nip、 Mn0a、 Zr0a、 TiC,TiN、
 Ti(C,N1. SiC。
5isNa、 TiBs、 ZrBaなどを添加してな
る酸化アルミ三つム基セラミックス焼結体は、耐酸化性
及び金属との耐溶着性にすぐれていて、しかも低価格で
あることから、各種の産業分野で利用されている。これ
らの酸化アルミニウム基セラミックス焼結体は、特に切
削工具用材料又は耐摩耗工具用材料として用いる場合に
は、耐衝撃性及び高強度性を必要とすることから、その
ために、例えば焼結促進用添加物を用いて緻密化する方
法、又は分散強化物を添加する方法などの種々の方法が
提案されており、その代表的なものに、特開昭54−2
36]1号公報、特開昭57−14[1372号公報、
特開昭58−161969号公報及び特開昭62−59
568号公報がある。
(発明が解決しようとする問題点) 切削工具用材料又は耐摩耗工具用材料として、最初に用
いられたAj! ioi −MgO基セラミックス焼結
体は、焼結工程においてMgOがAl2Jaの粒成長抑
制作用をし、焼結後、Al2xQs粒界にMgO・ ^
2,0.のスピネルを形成することにより緻密化を促進
しているものである。しかしながら、このA、9zOs
  MgO基セラミックス焼結体は、MgOのAA20
iに対する粒成長抑制効果がそれほど著しくなく、又出
発物中に含有するNaaOや1iaOなどの微量の不純
物によりその効果がさらに低下するなどのために低強度
であるという問題がある。この問題を解決しようとした
酸化アルミニウム基セラミックス焼結体としてAl2 
Ji −TiC基セラミックス焼結体がある。
Al2aL −TiC基セラミックス焼結体の1種であ
る特開昭54− 23611号公報は、酸化マグネシウ
ム、酸化ニッケル、WI化チタン、酸化クロムの1種又
は2種以上を0.05〜5.00wt%添加したAβa
SS粉末の5〜20vofi%を平均粒径2μ山以下の
ZrO□粉末で1損させた酸化物混合物を基本成分とし
、この基本成分で構成される混合粉末に(Ti、1Je
) (C,Nlの化学式(Me:Ta及び/又はNb、
もしくはTa及び/又はNbとV、 Cr、 Mo、胃
 の1種以上)で示される金属炭窒化物を10〜50v
oρ%配合した粉末を焼結して得られた98%以上の高
密度焼結体が示されている。
この特開昭54− 23611号公報のfill 、0
2基セラミックス焼結体は、Aj!Jzの粒成長抑制あ
るいは焼結促進を目的に添加したNip、 Cr5C*
、 Tin□の1種以上と、耐亀裂伝播性の向上を目的
に添加したZrO□と、耐スポール性及び耐摩耗性の向
上を目的とした(TilMet (C,N)と、Al2
Jsとを組合せて焼結したもので、従来のへ〇203基
セラミックス焼結体に比べて靭性及び耐スポール性にす
ぐれ、切削工具として用いると長寿命であるというすぐ
れた焼結体であるけれども、従来のA2□0゜−TiC
基セラミックス焼結体と同様に難焼結性であることから
切削工具用材料として用いることができるような緻密な
焼結性を得るためにはホットプレスする必要があるとい
う問題がある。
特開昭57−140372号公報は、酸化ジルコニウム
: 1−10%、 Ti、 Zr及びHfノ炭化物、窒
化物、炭窒化物、炭酸化物、窒酸化物及び炭窒酸化物の
うち1種又は2種以上からなる金属の炭・窒・酸化物:
0.1〜10%、焼結促進成分として酸化マグネシウム
、酸化ケイ素、酸化イツトリウム、a化ニッケル及び酸
化クロムのうち1種又は2種=0.1〜2%を含有し、
残りが酸化アルミニウムと不可避不純物からなる組成(
以上容量%)を有し、かつ酸化ジルコニウム粒子の表面
を上記金属の炭・窒・酸化物が層状に包囲した組織の焼
結体が示されている。
この特開昭57−140372号公報のAゑ20.基セ
ラミックス焼結体は、常圧焼結で緻密な焼結体が得られ
、常圧焼結後に熱間静水圧処理(HIP処理)したもの
を切削工具として用いると寿命が向上するというすぐれ
た焼結体であるけれども、酸化ジルコニウム粒子の表面
に物理蒸着法(PVD法)や化学蒸着法(CVD法)で
もって金属の炭・窒・酸化物を被覆させるという煩雑な
工程を必要とし、また酸化ジルコニウム粒子の表面に形
成される被覆膜が被覆処理時に不均一になること、又は
焼結体の製造工程処理特甲に剥離することにより、得ら
れる焼結体の品質が不安定であるという問題がある。
特開昭5Jl−161959号公報は、  Al2.0
.55〜90wt%と、Ti[1iを5〜15wt%含
むTiC成分lO〜45冑t%とから成る配合物100
重量部にDyJsを0,05〜2.0重量部とMgO,
Yaks、 Zr0z、 NiOから選ばれた1種以上
を0.05〜2.0重量部添加して混合し成形後、不活
性ガス中で対理論密度が95〜99%となるように一次
焼結を行い、次いで熱間静水圧プレス(HIP)を行い
対理論密度を99.5以上とする切削工具用セラミック
ス工具の製造方法が示されている。
この特開昭58−161969号公報の製造方法は、配
合組成成分を選定することにより常圧焼結及びHIP処
理でもって切削工具用の酸化アルミニウム基セラミック
ス焼結体が得られるようにしたすぐれた方法であるけれ
ども、得られる焼結体の硬さが低い傾向にあること及び
その焼結体を切削工具として用いるとまだ短寿命である
という問題がある。
特開昭62− 59568号公報は、炭化チタン30〜
80wL%と残部酸化アルミニウムの基本組成100重
量部に対して、マグネシウム、カルシウム、ホウ素、ニ
ッケル、クロム、ジルコニウムの酸化物から選択した1
種又は2種以上を0.5〜5重量部、酸化イツトリウム
換算量で0.05〜2wt%のアルミニウムーイツトリ
ウム複合酸化物、さらに上記炭化チタンの1部を周期律
表4a、 5a、 6a族金属の炭化物(炭化チタンを
除く)、窒化物、ホウ化物及びそれぞれの複合化合物の
1種又は2種以上で置換してなる精密加工性にすぐれた
セラミックス材料が示されている。
この特開昭62− 59568号公報のセラミックス材
料は、精密加工時にクラックやチッピングが生じるとい
う従来のAAxrJs基セラミックス焼結体の問題点を
解決したすぐれた焼結体であるけれども、従来のA2□
O,−TiC基セラミックス焼結体と同様に難焼結性で
あることから緻密な焼結体を得るためにはホットプレス
する必要があるという問題がある。
本発明は、上述のようなAl2 iL  TiC基セラ
ミックス焼結体の問題点を解決したもので、具体的には
、少なくとも3種類の焼結促進剤とチタン含有化合物の
組成成分、特にチタン含有化合物中の窒素含有量による
焼結促進性との効果を発現させてなる易焼結性、高硬度
性及び高強度性を具備した酸化アルミニウム基セラミッ
クス焼結体の提供を目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 本発明者らは、従来のAl1 its −TiC基焼結
体を切削工具用材料として用いることが可能な緻密な焼
結体にする場合にはホットプレスする必要があること、
ホットプレスする場合には複雑な形状品を得るのが困難
であることから、AAJs基セラミックス焼結体を常圧
焼結により得られるようにすることを検討していた所、
  Al1.0.の焼結促進剤として従来から用いられ
ているアルカリ土類金属の酸化物と希土類金属の酸化物
及び八2□02の強度向上用として用いられているZ「
0゜とを組合わせると焼結の促進性が著しく向上すると
いう第1の知見を得たものである。
また、+l*’Osの強度及び靭性を高めるチタンの化
合物は、チタンの炭化物に比べて窒素を含有したチタン
の炭窒化物又は窒化物としてAl1.0゜中に混在させ
ると焼結の促進性が著しく、シかも高硬度及び高強度に
なるという第2の知見を得たものである。
この第1の知見と第2の知見に基づいて、本発明を完成
するに至ったものである。
すなわち、本発明の易焼結性酸化アルミニウム基セラミ
ックス焼結体は、アルカリ土類金属の酸化物及びこれら
の相互固溶体又は化合物の中の少なくとも1種の第1物
質0.1−1wt%と、希土類金属の酸化物及びこれら
の相互固溶体又は化合物の中の少なくとも1種の第2物
質0.05〜0.5wt%と、酸化ジルコニウム、酸化
ハフニウム及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも1
種の第3物質0.5〜5wt%と、(Tia、 Mbl
 (Cx、 Ny、 0zln  の化学式(但し、M
はZr、 Hf、 V、 Nb、 Ta、 Cr、 M
o、 Wの中の少なくとも1種の元素で、a、b、x。
y、zはそれぞれの元素の原子比を示し、nはTiとM
との金属元素の合計lを1としたときのCとNと0との
非金属元素の合計量の比を示し、a+b=1. 1  
≧a≧0.5.   x+y+z=1゜075≧x≧0
.  1.0≧y≧0.25.   O,I;i: z
 ≧0 。
1≧n≧0.8の関係にある。)で表わせる第4物質2
0〜50wt%と、残り酸化アルミニウムと不可避不純
物とでなる組成成分の成形体を焼結して得られることを
特徴とする焼結体である。
本発明の易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結
体における第1物質、第2物質、第3物質及び第4物質
の内、第1物質は、具体的には、例えばBed、 Mg
O,Cab、 SrO,BaO又はMg−CaO2゜M
g−5rOz、 Mg−Ba0aの固溶体もしくは3 
BeO”2 Canの化合物などを挙げることができる
。この第1物質の量が混合物全体に対して0.1wt%
未満になると、AflJsへの粒成長抑制効果が低下す
ると共に焼結性の低下のために常圧焼結で緻密な焼結体
を得るのが困難になる。逆に、第1物質の量が混合物全
体に対して1wt%を超えて多くなると、得られる焼結
体の強度低下が著しくなる。このために5第1物質は、
混合物全体に対して0.1−1wt%と定めたものであ
る。
次に、第2物質は、具体的には、例えば5C20s。
’hoff、 LaJ3. Cent、 CezOa、
 Pr5O++、 NdJs。
Sm1Os、  EuJl、  Gdz口s、  Tb
Jt、  DyJa、  )lo□口、。
ErJs、 Tm20i、  YbJa、 Lu5ts
又は 5c40s。
Y−CeOiの固溶体もしくはCezLOtの化合物な
どを挙げることができる。この第2物質の量が混合物全
体に対して0.05wt%未満になると、焼結性が低下
するために常圧焼結で緻密な焼結体を得るのが困難にな
る。逆に、第2物質の量が混合物全体に対して0.5w
t%を超えて多くなると、Al2zOsの粒成長が著し
くなるために、得られる焼結体の強度低下が著しくなる
。このために、第2物質は、混合物全体に対して0.0
5〜0.5wt%と定めたものである。
また、第3物質は、具体的には、例えばZrO□Hf0
z、 Zr・HfO□を挙げることができる。この第3
物質の量が混合物全体に対して0.5wt%未満になる
と、焼結性が低下するために常圧焼結で緻密な焼結体を
得るのが困難になる。逆に、第3物質の量が混合物全体
に対して5wt%を超えて多くなると、得られる焼結体
の硬さ及び耐摩耗性の低下が著しくなる。このために、
第3物質は、混合物全体に対して0.5〜5v+t%と
定めたものである。
さらに、第4物質は、具体的には、例えばTiNTi(
N、 0)、 Ti(C,N1. Ti(C,N、 0
)、  (Ti、 VAN。
(Ti、 Ml(N、 01.  fTi、 M)(C
,Nl。
(Ti、 M) (C,N、 O) (但し、Ti、 
M、 C,N、 Oの原子比及びMは、上述の範囲のも
のからなる。)などを挙げることができる。この第4物
質の量が混合物全体に対して20wt%未満になると、
Aj?aOzへの粒成長抑制効果が低下すること、及び
得られる焼結体の靭性、耐衝撃性などの焼結体特性の低
下が著しくなる。逆に、第4物質の量が混合物全体に対
して50wt%を超えて多くなると、得られる焼結体の
耐酸化性及び高温における耐摩耗性の低下が著しくなる
。このために、第4物質の量は、混合物全体に対して2
0〜50wt%と定めたものである。この第4物質中の
含有窒素量が非金属元素全体に対して25%原子比未満
になると第1物質、第2物質及び第3物質との相剰効果
として作用している・緻密化促進性の低下が著しく、得
られる焼結体の硬さの低下も著しくなる。この第4物質
中の含有窒素量は、焼結工程における緻密化促進性及び
得られる焼結体の硬さから、特に非金属元素全体に対し
て40%原子比以上であることが好ましく、具体的には
、(Tia、 Mb) (f、x、 Ny、口z)n 
 の化学式で表わした場合に、1≧y≧0.4゜0.6
≧x≧0. 0.1≧z≧O,l≧n≧0,8の範囲で
なる物質である。
以上の第1物質から第4物質と、残り酸化アルミニウム
と不可避不純物とでなる組成成分は、混合粉末、又は粉
末とウィスカーとでなる混合物。
例えば第4物質もしくは酸化アルミニウムの1部を従来
から用いられているウィスカーとでなる混合物でもよく
、また第!物質、第2物質、第3物質、第4物質及び酸
化アルミニウムをそれぞの単一化合物、相互固溶体又は
化合物とでなる混合物、もしぐは、例えば第1物質と酸
化アルミニウムとの複合酸化物、第2物質と酸化アルミ
ニウムとの複合酸化物とでなる混合物からなるものであ
る。この組成成分中の不可避不純物は、出発物として用
いる粉末中に含有しているものと、他に、例えば混合粉
砕工程において用いるステンレス製混合容器又は超硬合
金製ボールなどから混入するFe、 Ni、 Co、 
Crなどである。これらの不可避不純物の内、Fe、 
Ni、 Co、 Crなどは、組成成分全体に対して1
wt%以下含有していても得られる焼結体の特性には、
はとんど影響を及ぼさないものである。
本発明の易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結
体における成形体は、上述の第1物質から第4物質と酸
化アルミニウムと不可避不純物との混合物を従来の粉末
冶金における、例えば、押出し成形方法、射出成形方法
、静水圧成形方法又は金型成形方法などにより所望の形
状に成形したものである。この成形体を真空中又は不活
性ガスやN2ガス中、1550℃〜1650℃で1次焼
結を行った後に、N2又は不活性ガス中、 1350℃
〜1550℃の温度、 l 000〜2000kg/c
m”の圧力で熱間静水圧()IIP)処理を施すことに
より1本発明の焼結体が得られる。
この本発明の焼結体は、平均粒径が1.5μm以下であ
ると、切削工具用材料として用いた場合に、特に耐フレ
ーキング摩耗性にすぐれることから好ましいことである
(作用) 本発明の易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結
体は、第1物質と第2物質と第3物質との複合添加が焼
結の促進作用をし、さらに第4物質も焼結の促進作用を
高め、その結果常圧焼結で対理論密度の95%以上の緻
密な焼結体が得られているものである。これらの内、第
1物質は、Aj2a03の粒成長抑制作用もし、第4物
質は、高硬度及び耐摩耗性を高める作用もしているもの
である。
(実施例) 実施例! 純度99.99%で平均粒径0.5μmのa−A、9J
s粉末と、平均粒径0.5〜IALmのZr0z。
Yaks、 MgO及びTi (Co、 s、 No、
 s)の各粉末を用いて、第1表に示したとおりに本発
明品No1〜8及び比較品Nol〜18のそれぞれの試
料を配合した。
この第1表の配合組成の各試料100gをIkgの超硬
合金製ボールと 200 mllのアセトンと共にステ
ンレス製容器に入れて、48時間ボールミルによる混合
粉砕を行った。次に、アセトンを揮散させた後、成形助
剤(パラフィン)を加えて成形圧1.0t/cm2で板
状に成形し1次いで窒素ガス中500”Cで成形助剤を
脱脂して成形体を得た。この成形体を真空中で1000
℃まで昇温した後、大気圧の窒素ガス中で1600℃ま
で昇温し、2時間保持にて焼結した。こうして得たそれ
ぞれの焼結体の相対密度を求めて、その結果を第1表に
併記した。
以下余白 実施例2 実施例1で用いた各粉末と、さらに平均粒径0.5〜1
.5μmの各種粉末を用いて、第2表に示したとおりに
本発明品No9〜20及び比較品No19〜2つのそれ
ぞれの試料を配合した。この第2表に示した各試料を実
施例1と同様に混合粉砕、成形体作製及び焼結を行って
各焼結体を得た。こうして得たそれぞれの焼結体の相対
密度を求めて、その結果を第2表に併記した。
また、第2表の各試料の内、66、3wt%Aj2zO
s30wt%Ti (Cx、 Ny) −3at%Zr
0z −0,2wt%Y20゜−0,5wt%MgO組
成の焼結体におけるTi [Cx、 Ny)のX対yの
原子比に対する焼結体の硬さを測定した所、Tic、 
rifco、 s、 NO,+1 。
Ti (Co、 a、 No、 x)の含有した焼結体
である比較品N。
21、20.19は、低密度であることから硬さが80
1(RA以下と著しく低く、切削工具用としては実用不
可能であったのに対し、Ti (Co、 ?、 No、
 sl 。
Ti (Co、 h、 No、 a) 、 T+ (C
o、 s、 No、 tl 。
Ti (Ca、 a、 No、 ml 、 Ti (C
o、 +、 No、 s) 、 TiNの含有した本発
明品の焼結体は、硬さが91HRA〜94)IRAと高
硬度であった。
さらに、第2表の各試料の内、本発明No13と本発明
の範囲から外れて割合高密度の比較品No22゜27、
28.29については、硬さ及び走査型電子顕微鏡によ
る焼結体の平均粒径を測定して第3表に示した。この第
3表の各焼結体をJIS規格の5NGN120408+
0. +5 X −25@ホーニング付)の形状に作製
して被削材5KDII(HRC5B、1〜62.1)、
切削速度150 m/min 、切込み量0.5mm 
、送り量0.1 mm/revの条件で乾式による旋削
試験を行い、フレーキングが生じるまでの切削時間を求
めて、その結果を第3表に併記した。
以下余白 第  3 表 実施例3 実施例1及び実施例2で用いた各粉末の他に、平均粒径
1.0  μmのQ   AQ203(純度99、99
%)の粉末も加えて、第4表に示したとおりに本発明品
No21〜26及び比較品No30〜34のそれぞれの
試料を配合した。この第4表の各試料を焼結温度155
0℃〜1800℃の他は、実施例1と同様にして焼結し
た後、Arガス中、圧力1500気圧、温度1350℃
の条件で旧P処理した。但し、第3表中の比較品No3
1は、従来と同様にA「ガス中、圧力ZOOkg/cm
”、温度1700℃の条件でホットプレスして得た。こ
うして得た、それぞれの焼結体の相対密度及び走査型電
子顕微鏡による平均粒径を求めて第4表に併記した。さ
らに、第4表に示したそれぞれの焼結体をJIS  規
格の5NGN120408(0,15x−25°ホーニ
ング付)の形状に作製して、被削材SK旧1 +)IR
C58,1〜62. +1 、切削速度150 m/m
in 、切込み10.5mm、送り量0.1 mm/r
evの条件で乾式による旋削試験を行い、フレーキング
が生じるまでの切削時間を求めて、その結果を第4表に
併記した。
以下余白 (発明・の効果) 以上の結果、本発明の易焼結性酸化アルミニウム基セラ
ミックス焼結体は、II類の焼結助剤又は2種類の焼結
助剤を添加した比較のAJ220S基セラミックス焼結
体に比べて相対密度が約5%向上するという効果があり
、さらに耐フレーキング性がすぐれていることから高硬
度材料を切削するための切削工具用材料としても著しく
すぐれているものである。このことから、本発明の易焼
結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結体は、従来の
AJ220.基セラミックス焼結体の使用領域から、さ
らに、複雑形状品又は強度や靭性の点で問題になってい
る領域にまで使用できる可能性のある産業上有用な焼結
体である。
特許出願人 東芝タンガロイ株式会社

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)アルカリ土類金属の酸化物及びこれらの相互固溶
    体又は化合物の中の少なくとも1種の第1物質0.1〜
    1wt%と、希土類金属の酸化物及びこれらの相互固溶
    体又は化合物の中の少なくとも1種の第2物質0.05
    〜0.5wt%と、酸化ジルコニウム,酸化ハフニウム
    及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも1種の第3物
    質0.5〜5wt%と、(Tia,Mb)(Cx,Ny
    ,Oz)nの化学式(但し、MはのZr,Hf,V,N
    b,Ta,Cr,Mo,Wの中の少なくとも1種の元素
    で、a,b,x,y,zはそれぞれの元素の原子比を示
    し、nはTiとMとの金属元素の合計量を1としたとき
    のCとNとOとの非金属元素の合計量の比を示し、a+
    b=1, 1≧a≧0.5,x+y+z=1,0.75≧x≧0,
    1.0≧y≧0.25,0.1≧z≧0,1≧n≧0.
    8の関係にある。)で表わせる第4物質20〜50wt
    %と、残り酸化アルミニウムと不可避不純物とでなる組
    成成分の成形体を焼結して得られることを特徴とする易
    焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結体。
  2. (2)上記焼結体は、平均粒径が1.5μm以下である
    特許請求の範囲第1項記載の易焼結性酸化アルミニウム
    基セラミックス焼結体。
JP63185239A 1988-07-25 1988-07-25 易焼結性酸化アルミニウム基セラミックス焼結体 Pending JPH0234557A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140103612A1 (en) * 2012-10-15 2014-04-17 Nippon Tungsten Co., Ltd. Dielectric layer for electrostatic chuck and electrostatic chuck
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