JPH0231311A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0231311A JPH0231311A JP14855389A JP14855389A JPH0231311A JP H0231311 A JPH0231311 A JP H0231311A JP 14855389 A JP14855389 A JP 14855389A JP 14855389 A JP14855389 A JP 14855389A JP H0231311 A JPH0231311 A JP H0231311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- alloy
- magnetic head
- cozrnb
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910001257 Nb alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 2
- 229910020641 Co Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020520 Co—Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- BDVUYXNQWZQBBN-UHFFFAOYSA-N [Co].[Zr].[Nb] Chemical compound [Co].[Zr].[Nb] BDVUYXNQWZQBBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フェライトからなるコア半割体と、７工ライ
ト半割体上に施された軟磁性材料と、非磁性材料からな
る有効ギャップとを有する磁気ヘッドの製造方法に関す
る。
ト半割体上に施された軟磁性材料と、非磁性材料からな
る有効ギャップとを有する磁気ヘッドの製造方法に関す
る。
信号を磁気により記録および再生する装置において、数
年来、より大きい出力への要求が生じてきた。この点に
おいて高保磁力の磁気テープ、たとえばメタル粒子テー
プが開発されたが、これらのテープはもはや常用のフェ
ライトヘッドでは十分に磁化することができない。従っ
て、ヘッドギャップの両側がセンダスト合金で被覆され
た、いわゆるＭＩＧ （Ｍｅｔａｌ −ｉｎ −Ｇａｐ
）が開発された。
年来、より大きい出力への要求が生じてきた。この点に
おいて高保磁力の磁気テープ、たとえばメタル粒子テー
プが開発されたが、これらのテープはもはや常用のフェ
ライトヘッドでは十分に磁化することができない。従っ
て、ヘッドギャップの両側がセンダスト合金で被覆され
た、いわゆるＭＩＧ （Ｍｅｔａｌ −ｉｎ −Ｇａｐ
）が開発された。
刊行物” ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ ｏｎ
Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ’Ｖｏ１． Ｍａｇ、 ２１ ｅ
４５− １９８５年９月。
Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ’Ｖｏ１． Ｍａｇ、 ２１ ｅ
４５− １９８５年９月。
１５６６〜１５３８頁から、フェライト材料とセンダス
ト合金との境界面に望ましくない副ギャップ効果が生じ
ることが公知である。この副ギャップ効果は、前記のよ
うなＭＩＧ磁気ヘッドから得られた再生電圧の周波数特
性中に、妨害するりプルを生じさせる。望１しくない副
ギャップ効果全減少させるため、フェライト材料とセン
ダスト合金との境界面を角状に形成することが提案され
た。しかし、このようなＴＳＳ（ｔｉｌｔｅｄ ５ｅｎ
ｄｕｓｔ ５ｐｕｔｔｅｒｅｄ ｆｅｒｒｉｔｅ ｈｅ
ａｄｓ）−磁気ヘッドの製造は極めて複雑でかつ費用も
かかる。
ト合金との境界面に望ましくない副ギャップ効果が生じ
ることが公知である。この副ギャップ効果は、前記のよ
うなＭＩＧ磁気ヘッドから得られた再生電圧の周波数特
性中に、妨害するりプルを生じさせる。望１しくない副
ギャップ効果全減少させるため、フェライト材料とセン
ダスト合金との境界面を角状に形成することが提案され
た。しかし、このようなＴＳＳ（ｔｉｌｔｅｄ ５ｅｎ
ｄｕｓｔ ５ｐｕｔｔｅｒｅｄ ｆｅｒｒｉｔｅ ｈｅ
ａｄｓ）−磁気ヘッドの製造は極めて複雑でかつ費用も
かかる。
さらに、刊行物” Ｆｕｎｋｓｃｈａｕ ＋ ４
＊ １９８５ｚ４２〜４４頁から、センダスト合金の
代わりに高いコバルト含量の非晶質金属合金全被膜とし
て常用のフェライト磁気ヘッドのギャップ平面上に施す
ことは公知である。しかし、公知の非晶質金属は、被膜
としてフェライト材料に直接結合しえないという欠点を
有する。さらに、この公知の非晶質金属は、再結晶温度
がＦＪ４００°Ｃで比較的低（、ひいては形状に忠実な
ガラス融着法を使用することができないという欠点を有
する。
＊ １９８５ｚ４２〜４４頁から、センダスト合金の
代わりに高いコバルト含量の非晶質金属合金全被膜とし
て常用のフェライト磁気ヘッドのギャップ平面上に施す
ことは公知である。しかし、公知の非晶質金属は、被膜
としてフェライト材料に直接結合しえないという欠点を
有する。さらに、この公知の非晶質金属は、再結晶温度
がＦＪ４００°Ｃで比較的低（、ひいては形状に忠実な
ガラス融着法を使用することができないという欠点を有
する。
従って本発明の課題は、Ｍ工Ｇ磁気ヘッドを、副ギャッ
プ効果なしに簡単に、ひいては少ない作業でかつ少ない
費用で製造することができるような、冒頭に述べた種類
の磁気ヘッドの製造方法を開発することであった。
プ効果なしに簡単に、ひいては少ない作業でかつ少ない
費用で製造することができるような、冒頭に述べた種類
の磁気ヘッドの製造方法を開発することであった。
前記課題は冒頭に述べた方法において、フェライトコア
半割体上に軟磁性材料としてそれぞれＣｏ Ｚ ｒＮｂ
合金からなる層を施すことｅ％徴とする磁気ヘッドの製
造方法により解決された。
半割体上に軟磁性材料としてそれぞれＣｏ Ｚ ｒＮｂ
合金からなる層を施すことｅ％徴とする磁気ヘッドの製
造方法により解決された。
本発明による方法は、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ合金からが
なる層〆１５００℃全越える温度でようや（再結晶する
という利点を有する。ガラス融着工程は、通常４５０〜
４９５℃で行なうことができる。さらにＣｏ −Ｚｒ
−Ｎｂ層は良好な軟磁性特性において、高い硬度を有し
ており、これによりこの磁気ヘッド材料は従来の磁気ヘ
ッドに比べて、ヘッド面の領域での摩耗を減少させるこ
とができる。
という利点を有する。ガラス融着工程は、通常４５０〜
４９５℃で行なうことができる。さらにＣｏ −Ｚｒ
−Ｎｂ層は良好な軟磁性特性において、高い硬度を有し
ており、これによりこの磁気ヘッド材料は従来の磁気ヘ
ッドに比べて、ヘッド面の領域での摩耗を減少させるこ
とができる。
請求項２〜４項までに記載した方法により、請求項１項
に記載された方法全有利に構成および改善する・ことが
できる。
に記載された方法全有利に構成および改善する・ことが
できる。
本発明のその他の利点および詳細を、次に実施例におい
て添付図面につき図示しかつ詳説する。
て添付図面につき図示しかつ詳説する。
第１図は、本発明による方法により製造された磁気ヘッ
ドの拡大図である。第１図中で１および２は、２個のコ
ア半割体を示し、これはたとえば単結晶質ＭｎＺｎフェ
ライト材料から製造されている。この場合、コア半割体
２はコイル（図示されていない）を収容するための切込
み３金有している。双方のコア半割体１および２は一緒
にＭＩＧ磁気ヘッド用の磁気コアブロック全形成する〇 カッ−トスバッタリング装置中で、コア半割体１および
２のヘッドギャップ面上に軟磁性ＣｏＺｒＮｂ層４およ
び５をスパッタリングにより施す。ＣｏＺｒＮｂ層の厚
さはたとえば２マイクロメーターである。非磁性層６は
ＭＩＧ磁気ヘッドのギャップ長を決定している。本実施
例では層６はＡｔ２０３または５ｉ０２からなっており
、ギャップ長は０．６マイクロメーターである。ＭＩＧ
磁気ヘッドのトラック幅は溝７により決定され、この溝
にはガラスを充填する。
ドの拡大図である。第１図中で１および２は、２個のコ
ア半割体を示し、これはたとえば単結晶質ＭｎＺｎフェ
ライト材料から製造されている。この場合、コア半割体
２はコイル（図示されていない）を収容するための切込
み３金有している。双方のコア半割体１および２は一緒
にＭＩＧ磁気ヘッド用の磁気コアブロック全形成する〇 カッ−トスバッタリング装置中で、コア半割体１および
２のヘッドギャップ面上に軟磁性ＣｏＺｒＮｂ層４およ
び５をスパッタリングにより施す。ＣｏＺｒＮｂ層の厚
さはたとえば２マイクロメーターである。非磁性層６は
ＭＩＧ磁気ヘッドのギャップ長を決定している。本実施
例では層６はＡｔ２０３または５ｉ０２からなっており
、ギャップ長は０．６マイクロメーターである。ＭＩＧ
磁気ヘッドのトラック幅は溝７により決定され、この溝
にはガラスを充填する。
ガラス融着法で施されたガラスは約４８０〜４９５°Ｃ
の温度に達するにすぎない。しかし、コバルト−ジルコ
ニウム−ニオブ合金からなる軟磁性層４および５は約５
００°Ｃではじめて再結晶するため、冒頭に述べた先行
技術の場合のように、ガラスのように安価でかつ形状に
忠実ではない他の材料を使用するには及ばない。
の温度に達するにすぎない。しかし、コバルト−ジルコ
ニウム−ニオブ合金からなる軟磁性層４および５は約５
００°Ｃではじめて再結晶するため、冒頭に述べた先行
技術の場合のように、ガラスのように安価でかつ形状に
忠実ではない他の材料を使用するには及ばない。
層４および５のＣｏＺｒＮｂ合金は、Ｆｅ ８５ ％、
Ａｔ５．４憾、Ｓｉ ９−６壬の合金を有する、いわ
ゆるセンダスト層と同じ程度の良好な軟磁性の特性金有
する、さらに、本発明による方法のＣｏＺｒＮｂ合金は
高い硬度を有するため、Ｍ工Ｇ磁気ヘッドのヘッド面領
域での摩耗を少なくすることができる。なお長い使用時
間の過程でヘッドは均一に消耗する。
Ａｔ５．４憾、Ｓｉ ９−６壬の合金を有する、いわ
ゆるセンダスト層と同じ程度の良好な軟磁性の特性金有
する、さらに、本発明による方法のＣｏＺｒＮｂ合金は
高い硬度を有するため、Ｍ工Ｇ磁気ヘッドのヘッド面領
域での摩耗を少なくすることができる。なお長い使用時
間の過程でヘッドは均一に消耗する。
第２図中には、本発明により製造されたＭＩＧ磁気ヘッ
ドの周波数特性の推移が示されている。
ドの周波数特性の推移が示されている。
縦軸上には再生電圧をプロットし、横軸上には周波数全
プロットしである。周波数特性の推移のグラフは、副ギ
ャップ効果により引き起される周波数特性の落ち込みが
本発明により製造されたＭＩＧ磁気ヘッドにおいてもは
や生じないこと全示している。本発明による方法によっ
て製造されたＭＩＧ磁気ヘッドの場合、周波数特性は比
較的高い周波数まで直線的に下がっている。
プロットしである。周波数特性の推移のグラフは、副ギ
ャップ効果により引き起される周波数特性の落ち込みが
本発明により製造されたＭＩＧ磁気ヘッドにおいてもは
や生じないこと全示している。本発明による方法によっ
て製造されたＭＩＧ磁気ヘッドの場合、周波数特性は比
較的高い周波数まで直線的に下がっている。
第６図中にはＣｏＮｂＺｒの代りにセンダスト２用いた
ＭＩＣ）磁気ヘッドの周波数特性の推移？プロットしで
ある。測定曲線は３−５ＭＨｚで典型的な副ギャップ効
果による周波数特性の落ち込みを示している。
ＭＩＣ）磁気ヘッドの周波数特性の推移？プロットしで
ある。測定曲線は３−５ＭＨｚで典型的な副ギャップ効
果による周波数特性の落ち込みを示している。
第１図は、本発明による方法により製造したＭＩＣ）磁
気ヘッドの拡大図であり、第２図は、本発明による方法
により製造したＭＩＣ）磁気ヘッドの再生電圧の周波数
特性の推移を示すグラフであり、第６図は、ＣｏＮｂＺ
ｒ０代わりにセンダストを用いたＭＩＣ）磁気ヘッドの
再生電圧の周波数特性の推移を示すグラフである。
気ヘッドの拡大図であり、第２図は、本発明による方法
により製造したＭＩＣ）磁気ヘッドの再生電圧の周波数
特性の推移を示すグラフであり、第６図は、ＣｏＮｂＺ
ｒ０代わりにセンダストを用いたＭＩＣ）磁気ヘッドの
再生電圧の周波数特性の推移を示すグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、フェライトからなるコア半割体と、フェライトコア
半割体上に施された軟磁性材料と、非磁性材料からなる
有効ギャップとを有する磁気ヘッドの製造方法において
、前記フェライトコア半割体上に軟磁性材料としてそれ
ぞれＣｏＺｒＮｂ合金からなる層を施すことを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。 ２、ＣｏＺｒＮｂ合金がコバルト８２％、ジルコニウム
５％、ニオブ１３％からなる請求項１記載の方法。 ３、ＣｏＺｒＮｂ合金の軟磁性材料を、磁気ヘッドのフ
ェライトからなるコア半割体（１、２）上にスパッタリ
ングまたは蒸着により付着させる請求項１記載の方法。 ４、双方のＣｏＺｒＮｂ層の間に設けらるべき有効ギャ
ップにガラス融着によりガラスを充填する請求項１記載
の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19883820502 DE3820502A1 (de) | 1988-06-16 | 1988-06-16 | Verfahren zur herstellung von magnetkoepfen |
| DE3820502.5 | 1988-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0231311A true JPH0231311A (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=6356674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14855389A Pending JPH0231311A (ja) | 1988-06-16 | 1989-06-13 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0231311A (ja) |
| DE (1) | DE3820502A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100691467B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-03-09 | 삼성전자주식회사 | ＣｏＮｂＺｒ 자성코어를 포함하는 플럭스게이트 센서 및그 제작 방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0758527B2 (ja) * | 1986-01-10 | 1995-06-21 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘツド |
| JPS6370912A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドギヤツプ接合用ガラス |
-
1988
- 1988-06-16 DE DE19883820502 patent/DE3820502A1/de not_active Ceased
-
1989
- 1989-06-13 JP JP14855389A patent/JPH0231311A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3820502A1 (de) | 1989-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0430308A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS6332709A (ja) | 磁気変換ヘッド | |
| JPS63191310A (ja) | 複合磁気ヘツド | |
| JPH0231311A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JP2565250B2 (ja) | 磁気ヘツド | |
| KR100296731B1 (ko) | 자기기록방식 | |
| JPS6218967B2 (ja) | ||
| JPH045046Y2 (ja) | ||
| JPH01122004A (ja) | 磁気ヘツド装置 | |
| JPH08255308A (ja) | 複合磁気ヘッドの製造方法 | |
| KR940004485B1 (ko) | 복합형 자기헤드와 그 제조방법 | |
| JP2643425B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0721513A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6174109A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS63311611A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPH0258715A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0522963B2 (ja) | ||
| JPS61117714A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS62124610A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS62107429A (ja) | 垂直記録用磁気記録媒体 | |
| JPH04106706A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH06290419A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH03152706A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPH0490108A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6371911A (ja) | 磁気ヘツド |