JPH0229720Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はウエハースの遠心乾燥装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕 この種の装置としては例えば特開昭54−78079
号公報に見られるものがある。即ちウエハースの
脱水が終了するとターンテーブルは所定の位置で
停止する。この停止状態での各クレードルの位置
は予めそれぞれ求められるので、例えばウエハー
スを自動的に搬入出するロボツトを用いてウエハ
ースの搬入出を自動化する場合はロボツトに各ク
レードルの位置を記憶させ、ロボツトを各クレー
ドルに順次移動させて自動的に脱水されたウエハ
ースをクレードルから搬出し、新たなウエハース
をクレードルに搬入する。或いはクレードルそれ
ぞれに専用のロボツトを設けてウエハースを搬入
出する。全てのクレードルのウエハースの搬入出
が終了したら再びターンテーブルを回転させて脱
水を行う。

〔考案が解決しようとする課題〕

従つて、クレードルが複数設けられている装置
ではロボツトの制御の複雑化を招いたり或いは多
数のロボツトを設けねばならない。また各クレー
ドルそれぞれに姿勢転換装置を設ければならな
い。

本考案は従来のこの問題点を解決しようとする
もので、クレードルが多数あつても１台のロボツ
トと１台の姿勢転換装置とで、しかも制御の複雑
化を招くことなくウエハースの自動搬入出を行う
ことができるウエハースの連続自動遠心乾燥装置
を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は、円形容器内に設けられたターンテー
ブル上に揺動可能に配設された複数のクレードル
と、前記円形容器に設けられた、前記ターンテー
ブルの回転角度を規制して前記複数のクレードル
を順次所定の位置に停止させるシリンダ駆動によ
る位置規制装置及び前記クレードルの姿勢を垂直
姿勢と水平姿勢とに転換させるシリンダ駆動によ
る姿勢転換装置と、前記ターンテーブルを高速回
転させる脱水用の駆動装置と、前記クレードルを
順次所定の停止位置まで移動させるために前記タ
ーンテーブルを回動させる移動用の駆動装置とを
備え、該移動用の駆動装置は前記ターンテーブル
の回転支持軸に設けた摩擦車と、出力軸に摩擦車
を備えた低速モータと、該両摩擦車を接離させる
シリンダとから構成されたことを特徴とするウエ
ハースの連続自動遠心乾燥装置である。

〔作用〕

本考案のウエハースの連続自動遠心乾燥装置は
円形容器内に設けられたターンテーブル上に揺動
可能に配設された複数のクレードルと、前記円形
容器に設けられた、前記ターンテーブルの回転角
度を規制して前記複数のクレードルを順次所定の
位置に停止させるシリンダ駆動による位置規制装
置及び前記クレードルの姿勢を垂直姿勢と水平姿
勢とに転換させるシリンダ駆動による姿勢転換装
置と、前記ターンテーブルを高速回転させる脱水
用の駆動装置と、前記クレードルを順次所定の停
止位置まで移動させるために前記ターンテーブル
を回動させる移動用の駆動装置とを備え、該移動
用の駆動装置は前記ターンテーブルの回転支持軸
に設けた摩擦車と、出力軸に摩擦車を備えた低速
モータと、該両摩擦車を接離させるシリンダとか
ら構成されているので、複数のクレードルは移動
用の駆動装置と位置規制装置により順次１基ずつ
所定の位置に停止する。所定の位置ではクレード
ルは姿勢転換装置により脱水乾燥時の垂直姿勢か
らウエハース搬入出時の水平姿勢に転換する。水
平姿勢で例えば自動ロボツトによりウエハースの
搬出、搬入が行われる。終了すると再び垂直姿勢
に戻り、１基のクレードルに対するウエハース搬
入出が終了する。次いで移動用の駆動装置と位置
規制装置を適宜連動させて隣設されたクレードル
を所定の位置に移動させ、同様の動作を行う。以
下同様にして全てのクレードルに対してウエハー
スが搬入出される。

この場合、移動用の駆動装置、位置規制装置及
び姿勢転換装置の動作はそれぞれのシリンダによ
りタイミングを自動制御することができる。従つ
て、低速モータを回転させておけば、各クレード
ルの順次移動及びウエハース搬入出のための姿勢
転換はすべてシリンダ制御により自動的に行われ
る。

〔実施例〕

本考案の遠心乾燥装置の実施例を第１，２図に
よつて説明する。

円形の容器１の内部にターンテーブル２を回転
可能に水平に支持して収容し、ターンテーブル２
の上面の同一円周上の位置に支持枠１４を複数
（実施例の場合４基）設置する。各支持枠１４に
はそれぞれ水平軸である支軸１５を中心にクレー
ドル３₁，３₂，３₃，３₄を上下に90度回動可能に
懸吊する。

一方クレードル３の姿勢転換装置として容器１
の外周壁の特定位置に、スイングアーム４Ａの上
端をピン４Ｂで上下回動可能に取付け、スイング
アーム４Ａの下端に固定した円弧アーム４を容器
１内にターンテーブル２上を斜上方に向けて進退
動可能に挿入し、先端のロータ４Ｃを次述する所
定の位置に位置する各支持枠１４に保持されたク
レードル３の底面に向き合わせて配置し、スイン
グアーム４Ａに、これを駆動するエアシリンダ５
を連結する。この姿勢転換装置により姿勢を転換
させられる位置にあるクレードル３（図では３₁）
の位置がロボツト等により自動的にウエハースを
搬入出するための所定の位置（以下ウエハース搬
入出位置と称す）である。

さらにクレードル３の位置規制装置としてター
ンテーブル２の周縁に、各クレードル３の設置位
置に対応して鋸歯状の位置決め溝６₁，６₂，６₃，
６₄を付し、各溝６内に係合させる固定アーム７
を容器１の外部からターンテーブル２に向けて挿
入し、固定アーム７の外端に進退駆動用のエアシ
リンダ８を連結する。

ターンテーブル２の回転支持軸２Ａは容器１の
軸受部１Ａに支持されており、該軸２Ａを脱水用
の駆動装置としての高速モータ１３に連動させ、
軸２Ａの下端に摩擦車１２を取付ける。

容器１の下面にはターンテーブル２を回動させ
クレードル３を順次ウエハース搬入出位置に移動
させるための駆動装置として、低速モータ９がピ
ン９Ａで揺動可能に支持され、そのモータ軸に摩
擦車１２に連動させる摩擦車１１を取付け、該モ
ータ９にはピン９Ａを中心に、これを揺動変位さ
せて両摩擦車１１，１２の接離（連動、切離）を
制御するエアシリンダ１０が連結されている。

各エアシリンダ５，８，１０並びにモータ９，
１３の駆動並びにその動作時期は電子制御により
順次行われるものである。

次に上記構成よりなる乾燥装置の動作を説明す
る。まずターンテーブル２を停止させた状態（例
えばクレードル３₁がウエハース搬入出位置のす
ぐ手前の位置にある状態でターンテーブル２が停
止していたとする）でエアシリンダ１０を作動さ
せ、モータ９を揺動変位させて摩擦車１１を摩擦
車１２に押しつける。次いでモータ９を始動する
と、その回転力が両摩擦車１１，１２を介してタ
ーンテーブル２に伝えられ、これが第２図におい
て時計回り方向に低速回転を始める。そこで遅滞
なく（クレードル３₁に対応する位置決め溝６₁が
固定アーム７の進出する位置まで回動する前に）
エアシリンダ８を駆動して固定アーム７の先端を
ターンテーブル２に押しつけると、ターンテーブ
ル２の回動によりクレードル３₁に対応する位置
決め溝６₁が固定アーム７の位置に達したとき、
溝６₁内に固定アーム７の先端が嵌入してターン
テーブル２が固定され、クレードル３₁がウエハ
ース搬入出位置に位置する。その時点でエアシリ
ンダ１０の作動によりモータ９を原状の姿勢に戻
して摩擦車１１を摩擦車１２より切離す（モータ
９は回転させたままでよい）。

この状態でエアシリンダ５を駆動すると、スイ
ングアーム４Ａはピン４Ｂを中心に回動し、円弧
アーム４が一体動して斜上方に持ち上げられ、ロ
ータ４Ｃがクレードル３₁の底面を押しあげ、即
ちクレードル３₁を支軸１５を中心に回動させて、
垂直姿勢からウエハース搬入出時の水平の姿勢に
転換する。

このクレードル３₁に、水洗をしたウエハース
をロボツトなどにより自動的に搬入し、搬入が終
了したら円弧アーム４をもとの位置に戻してクレ
ードル３₁を再び脱水時の垂直姿勢に転換する。
その後固定アーム７を溝６₁内より引き離してタ
ーンテーブル２を自由に回転できる状態にする。
以下同じ手順を繰返し（ターンテーブル２が90゜
回動するよりも早くエアシリンダ８を駆動して固
定アーム７を順次溝６₂，６₃，６₄に嵌入させ、
クレードル３₂，３₃，３₄を順次ウエハース搬入
出位置に位置させて）、全部のクレードル３にそ
れぞれウエハースを収納したのち、モータ１３を
駆動してターンテーブル２を高速回転させると、
回転により生じた遠心力で各クレードル３内のウ
エハースは乾燥する。乾燥が終了したらモータ１
３を停止し、前記のように各クレードル３を順次
ウエハース搬入出位置に位置させ、各々、水平姿
勢に転換して、その内部より自動的に外部へウエ
ハースを搬出し、再び水洗をしたウエハースを搬
入する。

〔考案の効果〕

本考案のウエハースの連続自動遠心乾燥装置は
円形容器内に設けられたターンテーブル上に揺動
可能に配設された複数のクレードルと、前記円形
容器に設けられた、前記ターンテーブルの回転角
度を規制して前記複数のクレードルを順次所定の
位置に停止させるシリンダ駆動による位置規制装
置及び前記クレードルの姿勢を垂直姿勢と水平姿
勢とに転換させるシリンダ駆動による姿勢転換装
置と、前記ターンテーブルを高速回転させる脱水
用の駆動装置と、前記クレードルを順次所定の停
止位置まで移動させるために前記ターンテーブル
を回動させる移動用の駆動装置とを備え、該移動
用の駆動装置は前記ターンテーブルの回転支持軸
に設けた摩擦車と、出力軸に摩擦車を備えた低速
モータと、該両摩擦車を接離させるシリンダとか
ら構成されているので、制御の複雑化を招くこと
なく１台のウエハース搬入出ロボツト及び１基の
姿勢転換装置により複数のクレードルからウエハ
ースの自動搬入出ができる。また移動用の駆動装
置は摩擦車の接離によつてターンテーブルを回動
させるようにしたから滑りが許容されるため駆動
力の調整が容易で、しかも衝撃も少ない。位置規
制装置、姿勢転換装置、移動用駆動装置はすべて
シリンダ駆動であるから、シーケンス的自動制御
が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す第２図−
線断面正面図（クレードル３₂省略）、第２図は同
平面図である。 １……容器、２……ターンテーブル、３，３₁，
３₂，３₃，３₄……クレードル、４……円弧アー
ム、５……エアシリンダ、６，６₁，６₂６₃，６₄
……位置決め用溝、７……固定アーム、８……エ
アシリンダ、９……低速モータ、１０……エアシ
リンダ、１１，１２……摩擦車、１３……高速モ
ータ、１４……支持枠、１５……支軸。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 円形容器内に設けられたターンテーブル上に揺
   動可能に配設された複数のクレードルと、前記円
   形容器に設けられた、前記ターンテーブルの回転
   角度を規制して前記複数のクレードルを順次所定
   の位置に停止させるシリンダ駆動による位置規制
   装置及び前記クレードルの姿勢を垂直姿勢と水平
   姿勢とに転換させるシリンダ駆動による姿勢転換
   装置と、前記ターンテーブルを高速回転させる脱
   水用の駆動装置と、前記クレードルを順次所定の
   停止位置まで移動させるために前記ターンテーブ
   ルを回動させる移動用の駆動装置とを備え、該移
   動用の駆動装置は前記ターンテーブルの回転支持
   軸に設けた摩擦車と、出力軸に摩擦車を備えた低
   速モータと、該両摩擦車を接離させるシリンダと
   から構成されたことを特徴とするウエハースの連
   続自動遠心乾燥装置。