JPS6375036U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す正面断面図、
第２図は同平面図である。 １……容器、２……ターンテーブル、３……ク
レードル、４……円孤アーム、５……エアシリン
ダ、６……位置決め用溝、７……固定アーム、８
……エアシリンダ、９……低速回転用モータ、１
０……エアシリンダ、１１，１２……摩擦車、１
３……高速回転用モータ、１４……支持枠。

補正 昭６２．８．６ 考案の名称を次のように補正する。 考案の名称 ウエハースの連続自動遠心乾燥
装置 実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円形容器と、該円形容器内に回転可能に設
けられたターンテーブルと、該ターンテーブル上
の所定の位置に上下回動可能に配設されたクレー
ドルと、前記ターンテーブルを低速で回転させる
低速駆動装置と、前記ターンテーブルの転回角度
を規制してクレードルを所定の位置に停止させる
位置規制装置と、前記クレードルの姿勢を垂直姿
勢と水平姿勢とに転換させる姿勢転換装置と、前
記ターンテーブルを高速回転させる高速駆動装置
とからなることを特徴とするウエハースの連続自
動遠心乾燥装置。 (2) 前記クレードルがターンテーブル上に設置
された支持枠に上下回動可能に懸吊され、前記姿
勢転換装置が前記容器の特定位置に、前記クレー
ドルの底面を押し上げてその姿勢を変換させる円
弧アームを進退動可能に配設したものである実用
新案登録請求の範囲第１項記載のウエハースの連
続自動遠心乾燥装置。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例を示す正面断面図、
第２図は同平面図である。 １……容器、２……ターンテーブル、３……ク
レードル、４……円弧アーム、５……エアシリン
ダ、６……位置決め用溝、７……固定アーム、８
……エアシリンダ、９……低速回転用モータ、１
０……エアシリンダ、１１，１２……摩擦車、１
３……高速回転用モータ、１４……支持枠。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 円形容器と、該円形容器内に回転可能に設
   けられたターンテーブルと、該ターンテーブル上
   の所定の位置に揺動可能に配設されたクレードル
   と、前記ターンテーブルを低速で回転させる低速
   駆動装置と、前記ターンテーブルの転回角度を規
   制してクレードルを所定の位置に停止させる位置
   規制装置と、前記クレードルの姿勢を垂直姿勢か
   ら水平に転換させる姿勢転換装置と、前記ターン
   テーブルを高速回転させる高速駆動装置とからな
   ることを特徴とするウエハースの連続自動遠心乾
   燥装置。 (2) ターンテーブル上に設置された支持枠に前
   記クレードルを上下回動可能に懸吊させ、前記容
   器の特定位置にクレードルの底面を押し上げてそ
   の姿勢を変換させる円弧アームを進退動可能に配
   設したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲
   第１項記載のウエハースの連続自動遠心乾燥装置
   。