JPH02290963A - 蒸着用るつぼ - Google Patents
蒸着用るつぼInfo
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- JPH02290963A JPH02290963A JP10932889A JP10932889A JPH02290963A JP H02290963 A JPH02290963 A JP H02290963A JP 10932889 A JP10932889 A JP 10932889A JP 10932889 A JP10932889 A JP 10932889A JP H02290963 A JPH02290963 A JP H02290963A
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- crucible lid
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は蒸着用るつぼ、特にクラスターイオンビーム蒸
着法に於で使用する蒸着用るつぼの改良に関する。
着法に於で使用する蒸着用るつぼの改良に関する。
従来の技術
薄膜作製の手段として、クラスターイオンビーム蒸着法
がある。この方法に於けるクラスター生成方法は、上面
にノズルを有した蒸着用るつぼを加熱し、ノズルからク
ラスタービームを噴出させるというものである。このメ
カニズムは、るつぼ内の気圧とそれより低い外気圧の差
から生ずる断熱膨張による過冷却を利用して、５００か
ら２０００個の原子または分子の塊状集団とするという
ものである。
がある。この方法に於けるクラスター生成方法は、上面
にノズルを有した蒸着用るつぼを加熱し、ノズルからク
ラスタービームを噴出させるというものである。このメ
カニズムは、るつぼ内の気圧とそれより低い外気圧の差
から生ずる断熱膨張による過冷却を利用して、５００か
ら２０００個の原子または分子の塊状集団とするという
ものである。
そのノズル付きるつぼの一例を第３図に示す。
蒸着材料を収納するるつぼ本体１と、ノズル２を有する
ねじ込み式の蓋３により構成されており、材質として高
融点材料であるタングステン、タンタル、カーボン等が
用いられている。蓋３の開閉により蒸着材料の補給を行
い、ねじの締め込みにより気圧差を保つ構成となってい
る。
ねじ込み式の蓋３により構成されており、材質として高
融点材料であるタングステン、タンタル、カーボン等が
用いられている。蓋３の開閉により蒸着材料の補給を行
い、ねじの締め込みにより気圧差を保つ構成となってい
る。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、この場合蒸着材料の溶融時に、蒸着材料
とるつぼ材料との濡れ性が良い場合に、冷却時において
ねじ部に蒸着材料が固着してしまい、るつぼの蓋が開け
られなくなり、蒸着材料の補給が困難となるという課題
があった。しかし、ねじ部を設けて密着性を確保しなけ
れば、るつぼ内外の気圧差を確保できない。
とるつぼ材料との濡れ性が良い場合に、冷却時において
ねじ部に蒸着材料が固着してしまい、るつぼの蓋が開け
られなくなり、蒸着材料の補給が困難となるという課題
があった。しかし、ねじ部を設けて密着性を確保しなけ
れば、るつぼ内外の気圧差を確保できない。
本発明はこの様な問題点に鑑み、蓋が固着してしまうこ
とがなく、また無駄がなくかつ容易に材料供給ができる
蒸着用るつぼを提供しようとするものである。
とがなく、また無駄がなくかつ容易に材料供給ができる
蒸着用るつぼを提供しようとするものである。
課題を解決するための手段
本発明は、このような課題を解決するために、中央部に
ノズルを有する平板状のるつぼ蓋を複数カ所の接点で支
え、るつぼ本体と機械的に密着させるるつぼ蓋支持部に
よって、るつぼ本体とるつぼ蓋を固定するように構成し
たものである。
ノズルを有する平板状のるつぼ蓋を複数カ所の接点で支
え、るつぼ本体と機械的に密着させるるつぼ蓋支持部に
よって、るつぼ本体とるつぼ蓋を固定するように構成し
たものである。
作 用
上記構成によって、得られる作用は次の通りである。
ｌ．るつぼ蓋には、ねじ部が設置されていないので、蓋
のねじ部に蒸着材料が固着することはない。
のねじ部に蒸着材料が固着することはない。
２．るつぼ蓋とるつぼ本体が接触しているのは平面であ
り、濡れ性が良く万一接触部に蒸着材料が固着しても取
り外しが容易であり、また蓋のみを新しいものに取り替
えることができる。
り、濡れ性が良く万一接触部に蒸着材料が固着しても取
り外しが容易であり、また蓋のみを新しいものに取り替
えることができる。
３．ノズル径やノズル長の違った数種類のるつぼ蓋を、
低いコストで容易に取り替えることができる。
低いコストで容易に取り替えることができる。
実施例
以下に本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図は本実施例における蒸着用るつぼの斜視図で、第
２図は第１図の縦断面図である。
２図は第１図の縦断面図である。
４はノズル９を有する平板状のるつぼ蓋、５はるつぼ蓋
４とるつぼ本体６とを機械的に閉め込み固定するるつぼ
蓋支持部、７はねじ部、８は空間部である。構成材料に
は、タンタル、タングステン、カーボンなどの高融点材
料を用いている。
４とるつぼ本体６とを機械的に閉め込み固定するるつぼ
蓋支持部、７はねじ部、８は空間部である。構成材料に
は、タンタル、タングステン、カーボンなどの高融点材
料を用いている。
るつぼ本体６に蒸着材料を挿入し、るつぼ蓋４とるつぼ
蓋支持部５により、蒸着時にノズル９以外の場所から蒸
着材料が漏れ出さないように機械的に密着固定を行う。
蓋支持部５により、蒸着時にノズル９以外の場所から蒸
着材料が漏れ出さないように機械的に密着固定を行う。
その際の密着固定は、るつぼ本体６とるつぼ蓋支持部５
に形成したねじ部７によって行う。るつぼ蓋４はるつぼ
本体６の外周よりも大きく形成され、るつぼ蓋支持部５
にはるつぼ蓋４が常に同じ位置に設置できるように規制
内壁５ａが形成されている。又、るつぼ蓋４とねじ部７
との間に距離を設けることにより、るつぼ蓋支持部５と
るつぼ本体６との間には空間部８が形成されている。
に形成したねじ部７によって行う。るつぼ蓋４はるつぼ
本体６の外周よりも大きく形成され、るつぼ蓋支持部５
にはるつぼ蓋４が常に同じ位置に設置できるように規制
内壁５ａが形成されている。又、るつぼ蓋４とねじ部７
との間に距離を設けることにより、るつぼ蓋支持部５と
るつぼ本体６との間には空間部８が形成されている。
このような構成に於で、蒸着材料がるつぼ蓋４とるつぼ
本体６の接触部分に蒸着材料が浸透しても、空間部８の
存在により蒸着材料がるつぼ蓋支持部５やネジ部７に到
達することがないので、るつぼ蓋４とるつぼ蓋支持部５
が固着したりねじ部７が固着することはない。万一 る
っぽ蓋４とるつぼ本体６の接触部が固着しても、るつぼ
蓋４の方がるつぼ本体６の外周よりも大きく形成されて
いるので、るつぼ蓋４の取り外しが容易である。
本体６の接触部分に蒸着材料が浸透しても、空間部８の
存在により蒸着材料がるつぼ蓋支持部５やネジ部７に到
達することがないので、るつぼ蓋４とるつぼ蓋支持部５
が固着したりねじ部７が固着することはない。万一 る
っぽ蓋４とるつぼ本体６の接触部が固着しても、るつぼ
蓋４の方がるつぼ本体６の外周よりも大きく形成されて
いるので、るつぼ蓋４の取り外しが容易である。
また、規制内壁５ａによりノズル９の位置が蒸着の度に
移動することはない。また、るつぼ蓋４は、平板にノズ
ル９を製作した簡単な構成となっているのでノズル径や
ノズル長が違うるつぼ蓋４と低コストで容易に取り替え
ることが可能である。
移動することはない。また、るつぼ蓋４は、平板にノズ
ル９を製作した簡単な構成となっているのでノズル径や
ノズル長が違うるつぼ蓋４と低コストで容易に取り替え
ることが可能である。
この場合、ねじ部７の内径よりもるつぼ蓋４の外径の方
が大きいので、るつぼ蓋４をるつぼ蓋支持部５の内部に
設置する際には、るつぼ蓋支持部５の上部から斜めに挿
入することにより、容易に行うことが可能である。
が大きいので、るつぼ蓋４をるつぼ蓋支持部５の内部に
設置する際には、るつぼ蓋支持部５の上部から斜めに挿
入することにより、容易に行うことが可能である。
発明の効果
以上のように本発明による蒸着用るつぼは、中央部にノ
ズルを有する平板状のるつぼ蓋を複数カ所の接点で支え
、るつぼ本体と機械的に密着させるるつぼ蓋支持部を持
つ構成をとっているため、次のような効果が得られる。
ズルを有する平板状のるつぼ蓋を複数カ所の接点で支え
、るつぼ本体と機械的に密着させるるつぼ蓋支持部を持
つ構成をとっているため、次のような効果が得られる。
蓋のねじ部に蒸着材料が固着して蓋が容易に取り外せな
くなることはなく、無駄なく材料供給を行うことが可能
となる。
くなることはなく、無駄なく材料供給を行うことが可能
となる。
また、ノズル径やノズル長の違った数皿類のるつぼ蓋を
、低いコストで容易に取り替えることができる。
、低いコストで容易に取り替えることができる。
第１図は本発明の一実施例における蒸着用るつぼの斜視
図、第２図は第１図の縦断面図、第３図は従来例の蒸着
用るつぼの縦断面図である。 ４．．．るつぼ蓋、５．，，るつぼ蓋支持部、６．．．
るつぼ本体、７．．．ねじ部、８．．．空間部、９．．
．ノズル。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名第 図 第 図
図、第２図は第１図の縦断面図、第３図は従来例の蒸着
用るつぼの縦断面図である。 ４．．．るつぼ蓋、５．，，るつぼ蓋支持部、６．．．
るつぼ本体、７．．．ねじ部、８．．．空間部、９．．
．ノズル。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名第 図 第 図
Claims (1)
- 中央部にノズルを有する平板状のるつぼ蓋を複数カ所の
接点で支え、るつぼ本体と機械的に密着させるるつぼ蓋
支持部を持つことを特徴とする蒸着用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932889A JPH02290963A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 蒸着用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932889A JPH02290963A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 蒸着用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02290963A true JPH02290963A (ja) | 1990-11-30 |
Family
ID=14507442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10932889A Pending JPH02290963A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 蒸着用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02290963A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5653813A (en) * | 1995-04-03 | 1997-08-05 | Novellus Systems, Inc. | Cyclone evaporator |
| JP2006225725A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
| US8025733B2 (en) * | 2002-07-23 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Heating crucible and deposition apparatus using the same |
| DE102014221561A1 (de) | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. | Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| CN107502864A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-12-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP10932889A patent/JPH02290963A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5653813A (en) * | 1995-04-03 | 1997-08-05 | Novellus Systems, Inc. | Cyclone evaporator |
| US5901271A (en) * | 1995-04-03 | 1999-05-04 | Novellus Systems, Inc. | Process of evaporating a liquid in a cyclone evaporator |
| US8025733B2 (en) * | 2002-07-23 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Heating crucible and deposition apparatus using the same |
| JP2006225725A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
| JP4545010B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2010-09-15 | 日立造船株式会社 | 蒸着装置 |
| DE102014221561A1 (de) | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. | Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| WO2016062845A1 (de) * | 2014-10-23 | 2016-04-28 | Solibro Research Ab | Verdampungstiegel |
| CN107502864A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-12-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚 |
| CN107502864B (zh) * | 2017-08-17 | 2019-08-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚 |
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