JPH01257189A - 蒸発源用るつぼ - Google Patents
蒸発源用るつぼInfo
- Publication number
- JPH01257189A JPH01257189A JP8503688A JP8503688A JPH01257189A JP H01257189 A JPH01257189 A JP H01257189A JP 8503688 A JP8503688 A JP 8503688A JP 8503688 A JP8503688 A JP 8503688A JP H01257189 A JPH01257189 A JP H01257189A
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- JP
- Japan
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- crucible
- cover
- fitting
- lid
- peripheral wall
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- Pending
Links
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- 238000009834 vaporization Methods 0.000 title 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 11
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、蒸発源用るつぼに係り、特に高品質の薄膜を
安定して形成するために好適な蒸発源用るつぼに関する
。
安定して形成するために好適な蒸発源用るつぼに関する
。
従来、物質を加熱蒸発させて薄膜の形成を行う真空蒸着
、クラスタイオンビーム蒸着等においては、物質の容器
としてるつぼを用いるのが一般的である。通常、るつぼ
の構造としてはるつぼ本体と蓋とからなっており、るつ
ぼ本体への蓋の装着方法が内部の気密性を保つ上で重要
である。特に、クラスタイオンビーム蒸着においては、
タラスタ（塊状原子集団）を生成させるために、るつぼ
内部の蒸着物の蒸気圧を高く保持する必要があり、前記
蓋の蒸着方法が極めて重要になってくる。
、クラスタイオンビーム蒸着等においては、物質の容器
としてるつぼを用いるのが一般的である。通常、るつぼ
の構造としてはるつぼ本体と蓋とからなっており、るつ
ぼ本体への蓋の装着方法が内部の気密性を保つ上で重要
である。特に、クラスタイオンビーム蒸着においては、
タラスタ（塊状原子集団）を生成させるために、るつぼ
内部の蒸着物の蒸気圧を高く保持する必要があり、前記
蓋の蒸着方法が極めて重要になってくる。
この代表的な技術としては、特開昭６２−９４９１８号
公報番ζ記載されているるつぼ構造がある。この従来技
術では、るつぼ本体ｉこ蓋を嵌合するために、るつぼ本
体に１条の嵌合溝を設け、蓋側には前記嵌合溝とほぼ合
致するような突起を設けることｉζより、嵌合時、蓋が
るつぼ本体から浮き上がることを防止し、内部の蒸気圧
の低下を防ぐものである。
公報番ζ記載されているるつぼ構造がある。この従来技
術では、るつぼ本体ｉこ蓋を嵌合するために、るつぼ本
体に１条の嵌合溝を設け、蓋側には前記嵌合溝とほぼ合
致するような突起を設けることｉζより、嵌合時、蓋が
るつぼ本体から浮き上がることを防止し、内部の蒸気圧
の低下を防ぐものである。
しかしながら、前記従来技術においては、蓋をるつぼ本
体に嵌合させる上で、嵌合溝の寸法と突起との寸法間に
はある程度の隙間が必要であり、また製造上、寸法のバ
ラツキも避けられず、嵌合時いわゆるクリアランスが必
ず存在するので、内部の蒸発物の蒸気を密閉する上では
極めて不充分である。したがって、るつぼ内部の蒸気圧
を高く保持しなければならないクラスタイオンビーム蒸
着などにおいては、蒸気圧の低下によりクラスタが充分
ｌこ生成されず、所定の品質の薄膜が得られない恐れが
ある。
体に嵌合させる上で、嵌合溝の寸法と突起との寸法間に
はある程度の隙間が必要であり、また製造上、寸法のバ
ラツキも避けられず、嵌合時いわゆるクリアランスが必
ず存在するので、内部の蒸発物の蒸気を密閉する上では
極めて不充分である。したがって、るつぼ内部の蒸気圧
を高く保持しなければならないクラスタイオンビーム蒸
着などにおいては、蒸気圧の低下によりクラスタが充分
ｌこ生成されず、所定の品質の薄膜が得られない恐れが
ある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、高品質
の薄膜を安定して形成可能な蒸発源用るつぼを提供する
ことにある。
の薄膜を安定して形成可能な蒸発源用るつぼを提供する
ことにある。
前記目的は、るつぼ本体と蓋との蒸着部に、ねじ嵌合部
とすり合わせ嵌合部とを設けた構造とすることにより、
達成される。
とすり合わせ嵌合部とを設けた構造とすることにより、
達成される。
本発明において、ねじ嵌合部は蓋の浮き上がりを抑え、
すり合わせ嵌合部はるつぼ内部の気密性を完全にするの
で、成膜中もるつぼ内部の気密性は充分保たれ、るつぼ
内部の蒸気圧の低下を防止することができる。したがっ
て、高品質の薄膜を安定して形成することができる。
すり合わせ嵌合部はるつぼ内部の気密性を完全にするの
で、成膜中もるつぼ内部の気密性は充分保たれ、るつぼ
内部の蒸気圧の低下を防止することができる。したがっ
て、高品質の薄膜を安定して形成することができる。
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
図は本発明の一実施例たるクラスタイオンビーム蒸着用
るつぼの代表的な構造を示す縦断面図である。
るつぼの代表的な構造を示す縦断面図である。
この実施例の蒸発源用るつぼでは、るつぼ本体１と、こ
れに装着された蓋２と、この蓋２に設けられたノズル３
とを備えている。
れに装着された蓋２と、この蓋２に設けられたノズル３
とを備えている。
前記るつぼ本体１の内部には、蒸気物質４が収容されて
おり、この蒸気物質４が加熱、溶融されて発生する蒸気
がノズル３より噴出されてクラスタとなる。
おり、この蒸気物質４が加熱、溶融されて発生する蒸気
がノズル３より噴出されてクラスタとなる。
前記Ｍ２の内周壁には、一部に雌ねじ５が形成されてお
り、るつぼ本体１の開口部付近の外周壁の一部に形成さ
れている雄ねじ６とともにねじ嵌合部７を構成している
。
り、るつぼ本体１の開口部付近の外周壁の一部に形成さ
れている雄ねじ６とともにねじ嵌合部７を構成している
。
さらに、蓋２の内周壁のねじのない端部８と、るつぼ本
体１の開口部付近の外周壁のねじのないテーパ部９とは
、涙金時、摺動接触する、いわゆるすり合わせ嵌合部１
０を構成している。このすり合わせ嵌合部１０は、蓋２
の側の内径、るつぼ本体１の側の外径共、同一にしたも
のでも良いが、双方もしくはどちらか一方側に、るつぼ
内方に若干の傾きを持たせた方がすり合わせ嵌合部１０
の形成上では、より一層有利である。図では、るつぼ本
体１の外周壁に傾きを持たせである。
体１の開口部付近の外周壁のねじのないテーパ部９とは
、涙金時、摺動接触する、いわゆるすり合わせ嵌合部１
０を構成している。このすり合わせ嵌合部１０は、蓋２
の側の内径、るつぼ本体１の側の外径共、同一にしたも
のでも良いが、双方もしくはどちらか一方側に、るつぼ
内方に若干の傾きを持たせた方がすり合わせ嵌合部１０
の形成上では、より一層有利である。図では、るつぼ本
体１の外周壁に傾きを持たせである。
この実施例の蒸発源用るつぼにおいては、ねじ嵌合部７
により、蓋２をるつぼ本体１に嵌合して行くにつれて、
すり合わせ嵌合部１０が形成される。
により、蓋２をるつぼ本体１に嵌合して行くにつれて、
すり合わせ嵌合部１０が形成される。
前述のごとく、すり合わせ嵌合部１０に、るつぼ内方に
向かって傾きを持たせておけば、製造寸法上のバラツキ
が多少あっても、すり合わせ嵌合部１０が、より一層確
実に形成される。
向かって傾きを持たせておけば、製造寸法上のバラツキ
が多少あっても、すり合わせ嵌合部１０が、より一層確
実に形成される。
この実施例では、るつぼを前述のごとき構造としている
ので、すり合わせ嵌合部１０によって内部の気密性は完
全になり、また、るつぼ内部の蒸気圧が高くなっても、
ねじ嵌合部７により蓋２の浮き上がりを抑えることがで
きるので、るつぼ内部の気密性を充分に保持することが
でき、るつぼ内部の蒸気圧を高くできる結果、高品質の
薄膜を安定して形成することが可能となる。
ので、すり合わせ嵌合部１０によって内部の気密性は完
全になり、また、るつぼ内部の蒸気圧が高くなっても、
ねじ嵌合部７により蓋２の浮き上がりを抑えることがで
きるので、るつぼ内部の気密性を充分に保持することが
でき、るつぼ内部の蒸気圧を高くできる結果、高品質の
薄膜を安定して形成することが可能となる。
以上説明した本発明によれば、るつぼ本体と蓋との装着
部に、ねじ嵌合部とすり合わせ嵌合部とを設けており、
成膜遂行中もるつぼ内部の蒸気圧を充分に高く保持でき
るので、高品質の薄膜を安定して形成できる効果がある
。
部に、ねじ嵌合部とすり合わせ嵌合部とを設けており、
成膜遂行中もるつぼ内部の蒸気圧を充分に高く保持でき
るので、高品質の薄膜を安定して形成できる効果がある
。
ム蒸着用るつぼの代表的な構造を示す縦断面図である。
１・・・るつぼ本体 ２・・・蓋３・・・ノズル
４・・・蒸着物質５・・・雌ねじ
６・・・雄ねじ７・・・ねじ嵌合部 ８・・・蓋の内周壁のねじのない端部 ９・・・るつぼ本体の開口部付近のテーパ部１０・・・
すり合わせ嵌合部 □−１
４・・・蒸着物質５・・・雌ねじ
６・・・雄ねじ７・・・ねじ嵌合部 ８・・・蓋の内周壁のねじのない端部 ９・・・るつぼ本体の開口部付近のテーパ部１０・・・
すり合わせ嵌合部 □−１
Claims (1)
- １、るつぼ本体と、これに装着される蓋との装着部に、
ねじ嵌合部と、すり合わせ嵌合部とを設けたことを特徴
とする蒸発源用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8503688A JPH01257189A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 蒸発源用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8503688A JPH01257189A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 蒸発源用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01257189A true JPH01257189A (ja) | 1989-10-13 |
Family
ID=13847470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8503688A Pending JPH01257189A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 蒸発源用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01257189A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5653813A (en) * | 1995-04-03 | 1997-08-05 | Novellus Systems, Inc. | Cyclone evaporator |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP8503688A patent/JPH01257189A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5653813A (en) * | 1995-04-03 | 1997-08-05 | Novellus Systems, Inc. | Cyclone evaporator |
| US5901271A (en) * | 1995-04-03 | 1999-05-04 | Novellus Systems, Inc. | Process of evaporating a liquid in a cyclone evaporator |
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