JP2503756Y2

JP2503756Y2 - 蒸着用るつぼ

Info

Publication number: JP2503756Y2
Application number: JP1989076611U
Authority: JP
Inventors: 弘次佐藤
Original assignee: ホーヤ株式会社
Priority date: 1989-06-29
Filing date: 1989-06-29
Publication date: 1996-07-03
Anticipated expiration: 2004-06-29
Also published as: JPH0318162U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、焼結ペレットとして形成された蒸着材料を
収容するための、上部が開放した蒸着用るつぼに関す
る。

［従来の技術］電子ビームを熱源とする蒸着装置においては、水冷銅
ハース内にるつぼを置き、これに蒸着材料を入れ、真空
雰囲気中で電子ビームを照射して蒸着材料を蒸発させる
ことにより、蒸着対象物の蒸着を行う。

この蒸着用るつぼとしては、上部が開放し、側壁の内
壁にテーパーをもたせたものが知られている。（特開昭
60−137896号公報参照）更に、蒸着材料としては、蒸着物質の粉末を加圧プレ
スで形成し、常圧中で電気炉により焼結処理した焼結ペ
レットが知られている。

［考案が解決しようとする課題］従来のるつぼを用いて、焼結ペレットを電子ビームで
加熱蒸発させることにより、基板などの蒸着対象物に蒸
着する場合には、電子ビーム加熱によって焼結ペレット
がるつぼ内面に付着するため、焼結ペレットをるつぼか
ら離脱させることが困難であり、蒸着作業に大きな支障
をきたす。また、るつぼから、焼結ペレットを強引に離
脱させると、るつぼが変形し、るつぼの寿命が短かくな
るという欠点があった。

また、前述の特開昭60−137896号公報に開示するるつ
ぼ上部が開放し、側壁の内壁にテーパーをもたせたるつ
ぼは、焼結ペレットを収容した場合、焼結ペレットとる
つぼ内壁との間に隙間ができる。該るつぼに、二酸化チ
タン、酸化タンタルなどの熱伝導の大きい焼結ペレット
を収容した場合、溶融した焼結ペレットが、前記隙間に
入り、冷却しているるつぼ内壁に接触しやすくなるた
め、スプラッシュが生じやすくなる欠点があった。

本考案は、かかる問題点を解消するためになされたも
のであり、その目的は、蒸着中にスプラッシュが生じに
くく、また蒸着後、焼結ペレットの離脱が容易であるる
つぼを提供することである。

［課題を解決するための手段］この目的を達成するために、本考案による蒸着用るつ
ぼは、るつぼの底部が開放しており、るつぼの空洞が実
質的に円柱形であり、焼結ペレットの径と同一の内径を
有することを特徴とするものである。

この場合、るつぼの底部全体を開放形成する代わり
に、るつぼの底部に開口を形成し、この開口に、焼結ペ
レット突出し棒を挿入可能とすることができる。

なお、前述した「実質的に円柱形」は、断面が円の柱
形に限らず、例えば、楕円状や卵形状等の、断面が円状
の形状をなす柱形も含むものである。

［作用］本考案の蒸着用るつぼは、蒸着中、溶融した焼結ペレ
ットが冷却しているるつぼ内壁に接触することがなく、
また蒸着後、るつぼ底部から突出し棒を挿入して焼結ペ
レットをるつぼから離脱させることができる。

［実施例］次に、図を参照して本考案の実施例を詳細に説明す
る。

第１図は、本考案の実施例による蒸着用るつぼ１を示
している。このるつぼ１は上部と底部が開放していて、
るつぼの空洞は円柱形になっている。

るつぼの材質としては、銅、アルミニウム、黒鉛、タ
ングステン等を用いることができる。

第２図は、第１図に示したるつぼ１を水冷銅ハース２
内に置き、これに蒸着材料としての焼結ペレット３を入
れた状態を示している。水冷銅ハース２は例えば直方体
であり、その上部に、るつぼ１に対応する収容凹部2aを
有し、その内部に、図示していない冷却水通路を有す
る。焼結ペレット３は蒸着物質の粉末を加圧プレスで形
成し、常圧中で電気炉により、1000〜1400℃の焼結処理
したものであり、円柱の形をしている。眼鏡用レンズに
反射防止膜を蒸着する場合には、蒸着物質としては、酸
化タンタル、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム等が用
いられる。

るつぼの空洞は、その内径が焼結ペレットの径と略一
致するように作られている。

蒸着は、真空雰囲気中で電子ビーム（矢印４参照）を
焼結ペレット３に照射して蒸着物質を蒸発させることに
よって行われる。

焼結ペレット３の側面全体は、るつぼ内壁1aに接触し
ているため、蒸着中溶融された焼結ペレットがるつぼの
内壁に接触しにくいのでスプラッシュが生じにくくな
る。

蒸着後、るつぼ１は残部ペレット３′と共に、水冷銅
ハース２から取り外される（第３図参照）。そして、る
つぼ１の開放底部から突出し棒（図示していない）を挿
入し（矢印５参照）、残部ペレット３′を突くことによ
り、残部ペレット３′の離脱を行なう。それによって、
残部ペレット３′がるつぼ内面に付着していても、残部
ペレット３′を容易に離脱されることができる。また、
離脱作業時にるつぼ１が変形することがないので、るつ
ぼ１の寿命が永いという利点がある。

上記実施例によるるつぼ１は底部全体が開放している
が、第４図に示すように、突出し棒を挿入できる程度の
開口６を形成してもよい。

また、上記実施例では、空洞が円柱形、すなわち断面
が円の柱形であったが、断面が楕円や卵形状等の他の円
状の柱形であってもよい。

また、るつぼ１と水冷銅ハース２の間に断熱層７を設
けてもよい。

［考案の効果］本考案は、るつぼの底部が開放しているかまたはるつ
ぼの底部に開口が形成され、るつぼの空洞が円柱形にな
っているため、蒸着中、溶融した焼結ペレットが冷却し
ているるつぼ内壁に接触することがなく、スプラッシュ
が生じにくい。また、るつぼの底部から突出し棒を挿入
して、焼結ペレットを突き出すことができる。従って、
蒸着後、焼結ペレットがるつぼ内面に付着していても、
焼結ペレットをるつぼから容易に離脱させることがで
き、離脱作業時にるつぼが変形することがないので、る
つぼの寿命が永いという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例によるるつぼを示す斜視図、
第２図は水冷銅ハースに装着された蒸着状態のるつぼを
示す縦断面図、第３図は蒸着後、水冷銅ハースから取出
されたるつぼを示す縦断面、第４図はるつぼの変形例を
示す縦断面図である。１…るつぼ、1a…るつぼ内壁、２…水冷銅ハース、2a…
るつぼ収容凹部、３…焼結ペレット、３′…残部ペレッ
ト、４…電子ビーム、５…突出し棒挿入方向、６…底部
開口、７…断熱層

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】焼結ペレットとして形成された蒸着材料を
収容するための、上部が解放した蒸着用るつぼにおい
て、るつぼの底部が開放しており、るつぼの空洞が実質
的に円柱形であり、焼結ペレットの径と略同一の内径を
有することを特徴とする蒸着用るつぼ。
【請求項２】焼結ペレットとして形成された蒸着材料を
収容するための、上部が開放した蒸着用るつぼにおい
て、るつぼの底部に開口が形成され、この開口に、焼結
ペレット突出し棒を挿入可能であり、るつぼの空洞が実
質的に円柱形であり、焼結ペレットの径と略同一の内径
を有することを特徴とする蒸着用るつぼ。