JPS63190163A - 蒸発源るつぼにおける気密構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は真空蒸着に用いる蒸発源るつぼ、特にるつぼ
と蓋の間の気密構造に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の真空蒸着用の蒸発源としては第５図ａに示すよう
なボード形状のものがある。

このボード形状のものは高融点金属からなる薄板１の中
央に凹部２を設け、この凹部２に蒸＠試薬を載せ、薄板
１に大電流を流してジュール熱により発熱させ、試薬を
加熱させるものである。

また、第５図すのようにアルミナ磁器、カーボンなどの
耐熱材料からなる円筒容器形のるっぽ３の中に蒸着試料
を入れ、るつぼ３の外側に巻いたコイル状のヒータ４に
電流を流すことによりるっぽ３を加熱し、その内部の蒸
着試料を蒸発させるものもある。

上記のるつぼ３の場合、第５図Ｃのように、るつぼ３の
開口部に小孔５を有する蓋６を被せて、この小孔５のみ
から蒸気流を射出させるようにしたものが使用されてい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような蒸発源るつぼの場合、第５図Ｃのようにる
つぼ３の開口部に蓋６を被せただけではるつぼ３と１６
間に僅かながら隙間があるのが普通であり、その隙間か
ら蒸発気体が洩れて無駄となる試薬が多くなる。また、
蒸着試薬が腐食性の強いものの場合は、洩れた蒸発気体
により周囲のヒータ４を腐食して、甚しいときはヒータ
４を断線させたりする。さらに、蒸発しやすい化合物を
つくって蒸着膜に不純物を混入させる場合もある。

上記のような問題点を解決するために、第６図ａに示す
ようにるつぼ３の開口部外周に雄ネジを設け、蓋６をね
じ込み式にしたり、耐熱性接着剤７によって蓋６の周縁
をるつぼ３に気密を保つように固定したりする方法もと
られているが、ねじ込みの場合はネジ部の隙間は解消せ
ず、接着剤を用いる方法では接着剤が蒸発してこれが蒸
着ｎりに異物として混入するという問題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はるつぼの開
口部周縁と蓋の接触部に気密を保持するための高融点金
属薄板を挾み込むもので、高融点金属薄板に接触するる
つぼと蓋の接触部の断面形状は凸円弧状または鋭角状の
凸部などとしたものである。

〔作用〕

この発明は上記の構成であるから、るつぼの開口部周縁
上の接触部と蓋の下側の接触部の間に高融点金属薄板を
介在させたのち、蓋をねじ込みなどの手段によってるつ
ぼに締め込んでいくと、再接触部が金属薄板を挾み込ん
でるつぼの開口周縁部と蓋の間の気密を保つ状態となる
。

〔実施例〕

第１図に示す第１の実施例において、１１はカーボンに
よって作られたるつぼ、１２はその上端開口部外周の突
縁で、この突縁１２の外周に雄ネジを設ける。

１３は中央に小孔１４を有する蓋であって、これもカー
ボンにより作られる。この１１３の周囲の下向縁１５の
内周に雌ネジを設ける。

また、るつぼ１１の開口部の内周には半径的２■の凸弧
状横断面を有する接触部１６を全周に亘って設け、蓋１
３の下面にも上記接触部１６に対向する半径約２鵬の凸
弧状横断面を有する接触部１７を全周に亘って設ける。

上記再接触部１６．１７の接点における接線は水平面に
対して２０＠〜８０＠の間とするが、好ましく約４５°
である。

１８は高融点金属薄板で金または白金を用い、その厚み
は約０．１〜０．５閣である。

また、上記金属薄板１８は環状で、かつテーパ状である
。ただし、必ずしもテーパ状にする必要はない。

いま、上記の金属薄板１８を第３図ａのように、るつぼ
１１と１１３の相対向している接触部１６．１７間に介
在させた状態で、るつぼ１１の突縁１２の外周の雄ネジ
に蓋１３の下向縁１５の内周の雌ネジを徐々にねじ込ん
で、接触部１６．１７で第３図すのように金属薄板１８
を挾み込む。

第２図は他の実施例を示すもので、るつぼ１１の内側上
端と蓋１３の下端面にそれぞれ形成した環状の接触部２
１．２２はそれぞれ鋭角状断面を有するもので、高融点
金属薄板２３は平板の環状であり、他の部分は第１図の
実施例と同じである。

この場合、第４図のａのように金属薄板２３をるつぼ１
１と蓋１３の再接触部２１．２２間に介在させた状態で
、前記実施例と同様にるつぼ１１の突縁１２の外周の雄
ネジに蓋１３の下向縁１５の内周の雌ネジを徐々にねじ
込んで接触部２１．２２を第４図すのように金属薄板２
３の上下面に食い込んだ状態で挾み込む。

この際、実施例では接触部２１．２２の径を異ならせて
食い違い状にしであるが、同径にして同じ位置において
金属薄板２３を挾むようにしてもよい。

上記の各実施例の場合、るつぼ１１と蓋１３を手動操作
により締め込むだけでるつぼ１１の開口部周囲と蓋１３
とは完全に気密となり、真空中において、１００００°
Ｃまでの加熱冷却を５０回繰り返しても気密性は劣化し
なかった。

〔効果〕

この発明は上記のように、るつぼの開口部周縁と蓋の接
触部の間に高融点金属薄板を介在させ、ねじ込みなどの
手段により前接触部で金属薄板を挾み込むものであるか
ら、るつぼの開口部周縁と蓋の接触部の気密が完全に保
たれ、しかも金属薄板は高融点金属からなっているから
、高温においても破れるおそれはなく、高温加熱と冷却
を繰り返しても気密性劣化のおそれはない、従って蓋に
設けた小孔以外の隙間からの蒸発気体の無駄な洩れがな
くなり、蒸発試薬量も節約でき、蒸発試薬が腐食性の場
合でもるつぼ周囲のヒータなどを腐食させるおそれはな
い。

この発明の気密構造を用いた蒸発源るつぼは、上記のよ
うな優れた特性を有するので、真空蒸着装置に利用する
ことにより高品位の蒸着膜を作ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はこの発明を実施した吟っぽの各偶を示
す縦断正面図、第３図ａ、ｂは第１図の実施例の要部の
作用を示す拡大断面図、第４図ａ、ｂは第２図の実施例
の要部の作用を示す拡大断面図、第５図ａ、ｂ、ｃは従
来例を示す斜視図および断面図、第６図ａ、ｂは気密構
造の従来例を示す断面図である。 １１・・・・・・蒸発源るつぼ、１３・・・・・・蓋、
１４・・・・・・小孔、１６．１７．２１．２２・・・
・・・接触部、１８．２３・・・・・・高融点金属薄板
。 特許出願人　　住友電気工業株式公社 同代理人　　鎌　　１）　文　　二 第１図　　　　　　　　第３図 第５図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）試薬を入れるるつぼと、このるつぼ上の開口部に
   被せる小孔付きの蓋により構成した真空蒸着用蒸発源る
   つぼにおいて、るつぼの開口部周縁と蓋の接触部に気密
   を保持するための高融点金属薄板を挾み込むことを特徴
   とする蒸発源るつぼにおける気密構造。
2. （２）上記高融点金属薄板に接触するるつぼと蓋の接触
   部の断面形状を凸円弧状としたことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の蒸発源るつぼにおける気密構造。
3. （３）上記高融点金属薄板に接触するるつぼと蓋の接触
   部の断面形状を鋭角状の凸部としたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の蒸発源るつぼにおける気密構
   造。
4. （４）上記高融点金属薄板が０．１〜０．５ｍｍの厚さ
   を有するものであることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の蒸発源るつぼにおける気密構造。
5. （５）上記高融点金属薄板の材質が金または白金である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の蒸発源る
   つぼにおける気密構造。