EP3209810A1 - Verdampungstiegel - Google Patents

Verdampungstiegel

Info

Publication number
EP3209810A1
EP3209810A1 EP15784684.1A EP15784684A EP3209810A1 EP 3209810 A1 EP3209810 A1 EP 3209810A1 EP 15784684 A EP15784684 A EP 15784684A EP 3209810 A1 EP3209810 A1 EP 3209810A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
head part
receiving part
receiving
threaded portion
diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP15784684.1A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Falk Krause
Johan MATHIASSON
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
Solibro Res AB
Solibro Research AB
Original Assignee
Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
Solibro Res AB
Solibro Research AB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd, Solibro Res AB, Solibro Research AB filed Critical Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
Publication of EP3209810A1 publication Critical patent/EP3209810A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material

Definitions

  • the invention relates to a device for receiving vaporized material and a method for producing such a device.
  • Carrier body or substrate are applied.
  • Copper, indium, gallium, sodium fluoride, potassium fluoride and / or selenium can be applied by means of such a vapor deposition method in an efficient manner on a surface of the carrier body. This allows e.g. the production of a solar cell in a so-called
  • Evaporation process can be called, evaporation devices are used. These may e.g. Means for generating thermal energy, means for transmitting thermal energy and at least one device for receiving evaporative material comprise.
  • the evaporating material can be cooled by the device for generating and transmitting thermal energy to a desired temperature, e.g. a temperature in the range of 1000 ° C to 1200 ° C, are heated, in which case the resulting material vapor moves to a support body or substrate and can condense there.
  • residual material may remain in the device for receiving vaporization.
  • the removal of this residual material from the device for receiving can be problematic, especially in devices in which a diameter of a filling or outlet opening is smaller than a diameter of the actual receiving volume.
  • Various methods are known for removing a residual amount of material in a crucible, such as smelting, etching, or using an open crucible built into a divisible graphite susceptor. Also known are two-part devices for receiving vaporization.
  • WO 2007/069865 A1 describes a crucible with a crucible body and a cap. The cap can be attached to the crucible body by a threaded fastener.
  • US 4,812,326 discloses an evaporator having a crucible and a cap. However, in this document no connection of the crucible and the cap is disclosed by a thread.
  • US 2007/0289526 A1 discloses a multi-part crucible with a base part and a top part. These can be put together. Also in this document no connection is revealed by a thread.
  • cylindrical crucible and an outlet unit that can be attached to an upper portion of the crucible. Also, this document does not disclose a connection by a thread.
  • US 2010/0040780 A1 discloses a container for evaporating material.
  • a two-part crucible includes a top and a bottom. The upper part can be joined together with the lower part. However, no connection is disclosed by a thread in this document.
  • US 2010/0031878 A1 discloses an applicator with a crucible. Here, however, the crucible is made in one piece.
  • JP 2290963 A discloses a crucible with a crucible lid and a crucible body. It is disclosed that the crucible body and the crucible lid can be fixed together by threaded parts.
  • Guaranteed absorption of the evaporation material in the high temperature range has good heat transfer properties, as possible reaction-free under the influence occurring process gases and has a high corrosion resistance and sufficient mechanical stability of the device for loading and unloading.
  • Proposed is a device for receiving evaporating material.
  • the evaporant may in particular be copper, indium, gallium, sodium fluoride, potassium fluoride, selenium or a mixture of at least two of these materials.
  • the device comprises a receiving part with a receiving volume.
  • the receiving part serves to accommodate the vaporized material.
  • the evaporating material in particular in the solid or liquid state, can be or can be arranged in the receiving volume.
  • the receiving part can be open in particular to one side.
  • the receiving part may be e.g. a hollow cylindrical portion having a first end-side, closed end and a further end-side, open end.
  • a central center line of the receiving part may in this case extend from the first front end to the further front end.
  • the receiving part may for example have a part-spherical, in particular hemispherical, section.
  • the device has a head part with at least one outlet opening.
  • the outlet opening can be designed in particular as a passage or passage opening in the head part.
  • Outlet opening conceivable.
  • the outlet opening can be bottle-necked
  • the head part may, for example, have a first inlet-side surface and a further, outlet-side surface, wherein the first surface may designate a surface of the head part lying opposite the further surface.
  • the outlet opening can extend from the first surface to the further surface.
  • the outlet opening can extend from the first surface to the further surface.
  • a diameter of the outlet opening can change.
  • a diameter in a first section to be constant and correspond to an inlet diameter, then to a
  • the vertical direction with respect to the receiving part from the first end to the further end of the receiving part and with respect to the head part from the first surface to the further surface is oriented. Furthermore, the vertical direction can be parallel to the central center lines of the receiving and head part. With respect to the vertical direction, the closed end of the receiving part may also be referred to as the lower end and the open end as the upper end. Further, the first surface may be lower than
  • the receiving part has a threaded portion for mechanical connection with the head part.
  • the threaded portion is in this case preferably arranged in the region of the further, ie upper, end of the receiving part.
  • the threaded portion may be arranged on the receiving part, that between a (upper) edge of the other end and the threaded portion no distance or a predetermined distance is provided. The distance may be along the previously explained
  • the threaded portion may immediately adjoin the edge of the open (upper) end or be spaced apart from the edge by the predetermined distance.
  • This receiving part-side threaded portion may be arranged in particular in or on the above-explained hollow cylindrical portion of the receiving part.
  • the head part has a corresponding threaded portion for mechanical connection with the receiving part.
  • This head part-side threaded portion is arranged in particular in the lower regions of the head part.
  • the receiving part can be mechanically connected to the head part via the threaded portions.
  • thread parameters of the receiving part-side threaded portion are adapted to the thread parameters of the head part side threaded portion such that a stable mechanical connection is possible.
  • the thread parameters can in this case be selected such that a play-free mechanical connection is ensured.
  • a mechanical connection is provided or made possible with a predetermined clearance.
  • manufacturing tolerances e.g. in bumps
  • the game can allow, in particular smooth running, screwing.
  • the thread parameters can be selected adapted to the respective material of the receiving part and the head part. This will be explained in more detail below.
  • An inner diameter of the receiving part can be between 10 mm and 200 mm.
  • An outer diameter of the receiving part may be between 10.4 mm to 200.4 mm.
  • a wall thickness of the receiving part can be between 0.4 mm to 5.0 mm.
  • a maximum diameter of the outlet opening may in this case be less than or equal to a maximum inner diameter of the receiving part.
  • Outer diameter of the head part can be greater than the maximum
  • the receiving part is formed from pyrolytic boron nitride (pBN).
  • pBN pyrolytic boron nitride
  • the use of pyrolytic boron nitride for the receiving part ensures in an advantageous manner that the receiving part is formed with a very high corrosion resistance and causes only a very low contamination of the evaporating material under the usual process conditions in a vapor deposition.
  • Pyrolytic boron nitride usually has only a low mechanical strength and rigidity.
  • a component made of pyrolytic boron nitride is easily deformable and easily fragile, in particular if the component has holes or incisions. So far, it has therefore been assumed that pyrolytic boron nitride is mechanically not suitable to form a threaded portion or provide a threaded portion on a pyrolytic boron nitride component. This also shows the above-explained prior art.
  • Thread parameters can be arranged or formed.
  • the threaded portion of the receiving part is formed as an internal thread, wherein the corresponding threaded portion of the head part is formed as an external thread.
  • the head part may have or form a stop edge or surface for an edge portion of the receiving part, wherein the stop element is a
  • Thread portion following section wherein the diameter of the following section is greater than an outer diameter of the threaded portion of the head part and thus a projection or a stop surface is provided.
  • the stop edge or surface may in this case be e.g. be provided by a sudden increase in the (outer) diameter of the head part of the threaded portion to the following section. It is also conceivable that the diameter increases continuously along the center line, in particular in the vertical direction, from the threaded section to the following section and / or in the following section, e.g. linear. Thus, the following section may have a cone-shaped outer surface whose diameter increases along the center line, in particular in the vertical direction. As a result, good sealing properties can be achieved when screwing.
  • the threaded portion of the receiving part is formed as an external thread, wherein the corresponding threaded portion of the head part is formed as an internal thread.
  • the head part may have or form a stop edge or surface for an edge portion of the receiving part.
  • the threaded portion of the receiving part is formed as a stiffening element. This can mean that at least one
  • Threaded parameter of the threaded portion of the receiving part is selected such that a desired mechanical stability of the receiving part is provided.
  • the depressions of the receiving part-side threaded portion can serve to stiffen the receiving part.
  • the at least one thread parameter can thus be selected such that a torsional strength and / or shear strength and / or a compressive strength and / or a tensile strength and / or a compression strength and / or a Bending strength and / or a shear strength of the receiving part with the threaded portion is greater than that of a receiving part without threaded portion.
  • the receiving part without threaded portion except for the threaded portion of the same configuration as the receiving part with threaded portion in particular the same shape and dimensions on.
  • the mechanical strength of the receiving part is advantageously increased by the provision of the threaded portion.
  • Evaporator device can be removed. This was previously possible only with great caution and thus a high expenditure of time, since in such an oblique removal of the formed from pyrolytic boron nitride receiving part due to remaining
  • Residual material which is e.g. may still weigh up to 20 kg, deformed and due to deformation e.g. could come into mechanical contact with other components of the evaporation device, in particular with heating wires. This in turn could lead to destruction or damage to these components and the receiving part.
  • Residual material which is e.g. may still weigh up to 20 kg, deformed and due to deformation e.g. could come into mechanical contact with other components of the evaporation device, in particular with heating wires. This in turn could lead to destruction or damage to these components and the receiving part.
  • By providing a threaded portion such a deformation of the receiving part is reduced or even prevented, so that now also the previously described oblique removal is possible.
  • the threaded portion of the receiving part has a pitch of a range between 2 mm (inclusive) and 50 mm
  • the threaded portion of the female part has a number of turns ranging from 1 (inclusive) to 10 (inclusive).
  • the threaded portion of the receiving part has a
  • the threaded portion of the receiving part has a
  • Inner diameter in the range between 10 mm (inclusive) and 200 mm (inclusive).
  • the threaded portion of the receiving part has a
  • Core diameter ranging between 10 mm (inclusive) and 200 mm (inclusive).
  • the outer diameter, the inner diameter and the core diameter are adapted to each other adapted to provide a thread with desired properties.
  • the threaded portion of the receiving part has a
  • Flank angle from a range of 20 ° (inclusive) to 120 ° (inclusive).
  • the thread parameters are specially adapted to the use of pyrolytic boron nitride as a material for the receiving part.
  • the screwed device can be handled, in particular with already arranged in the receiving volume evaporation material, as a one-piece component, with deformations, in particular of the receiving part can be reduced or even avoided.
  • the threaded portion of the receiving part is formed as a round thread.
  • the head part is made of graphite. This results in an advantageous manner that the head part sufficient mechanical Has strength for the proposed threaded connection. At the same time, the head part has a desired thermal conductivity and also causes only minimal contamination of the vaporization vaporization. Furthermore, there is advantageously a cost savings in the production of the proposed device for receiving evaporative material.
  • a maximum wall thickness of the receiving part is less than or equal to 5.0 mm, in particular less than or equal to 2.0 mm. This results in an advantageous adaptation to the requirements of the production of the receiving part.
  • the head part has at least one fastening means for arranging the head part on a holding structure or forms such
  • Fasteners off This can also mean that the fastening means can be attached to the head part.
  • the at least one fastening means can in this case be designed such that a non-positive and / or positive mechanical connection with the support structure is possible.
  • the holding structure can in this case in particular a further component of a
  • the support structure may at least partially by a cooling device, for example, a wall portion of such
  • Cooling device to be formed.
  • the support structure may be at least partially formed, for example, by a housing portion of the evaporation device.
  • the fastening means may be arranged or formed, for example in a mounting portion of the head part, for example in the form of a recess and / or recess, in particular blind hole-like depression and / or recess.
  • the head part may have a partial section, in particular a (hollow) cylindrical partial section, wherein a maximum diameter of this holding section is greater than an outer diameter of the threaded section of the
  • Edge portion which extends from a first inner diameter to a further inner diameter of the subsection, the subsection depressions and / or recesses, in particular blind hole-like depressions, have.
  • the first inner diameter larger than the maximum
  • outside diameter of the threaded portion can be selected.
  • Inner diameter can be chosen to be less than or equal to the maximum diameter of the subsection.
  • the edge portion may be a protruding or projecting portion (of the subsection) of the head part.
  • the fastening means may in this case also designate a partial element for producing a mechanical connection, for example a further thread, an element of a latching or clamping connection or an element of a further mechanical connection.
  • the head part has at least one partial section, wherein an outer diameter of the head part increases in this partial section.
  • the partial section may extend along or parallel to the center line of the head part. In particular, the outer diameter in the vertical direction
  • the outer diameter can thereby increase along the or parallel to the center line jump.
  • the outer diameter can increase continuously along or parallel to the center line, in particular differentiable, preferably linear. With a linear enlargement of the outer diameter of the head part so have a part conical or partially hollow cone-shaped portion.
  • Thread section following section is not mandatory.
  • the enlargement can also occur between and / or in further sections of the head part along the center line of the head part.
  • the outer diameter can be greater than a maximum outer diameter of the receiving part. This allows good sealing properties during
  • the head part has at least one partial section with a predetermined outside diameter, wherein the predetermined one
  • Partial sections of the head part which is / are arranged along or parallel to the center line of the head part adjacent to the portion with the predetermined outer diameter.
  • the portion (s) disposed along or parallel to the center line adjacent to the portion having the predetermined outer diameter may be e.g. the subsection (s) to which the subsection with the
  • predetermined outer diameter along or parallel to the center line, in particular in the vertical direction follows and / or follows along or parallel to the center line, in particular in the vertical direction, on the portion with the predetermined outer diameter.
  • the predetermined outer diameter of the section may be greater than the / the outer diameter of all other sections of the head part.
  • the head part may in particular have a projecting or cantilevered portion.
  • This projecting section can, for example, form the stop edge explained in more detail below.
  • Outer diameter may for example be in a range between 20 mm and 400 mm.
  • This portion having the predetermined outer diameter advantageously allows for improved transfer of thermal energy into the header. This In turn, advantageously results in that a growth of the passage opening of the head part can be minimized by vaporization or completely prevented.
  • a spatial distance between the head part and the heating device e.g. a heater formed by at least one heating wire to be reduced in the portion having the predetermined outer diameter.
  • the heating device surrounds or encloses the head part.
  • the evaporation device comprises a heating device, wherein the heating device encloses the head part or at least a partial section of the head part.
  • the heating device may include or enclose a hollow cylindrical portion, in the internal volume of the head part can be arranged.
  • the head part can in this case be arranged over a holding structure in the evaporation device.
  • An inner diameter of the heater can be greater than a maximum
  • the inner diameter of the heater is preferably constant.
  • the head part may in this case have the previously described partial section with the predetermined outside diameter.
  • a (radial) distance between header and heater in at least a portion of a space between header and heater may be less than the pitch (s) in portions of the gap that are along or parallel to the centerline of the header adjacent to that portion of the gap is / are, be.
  • an insulating material in particular an insulating material other than air, for thermal insulation of the head part is arranged.
  • the insulating material may be disposed in the entire space.
  • Interspace in the region of the portion of the head portion with the predetermined outer diameter insulating material free This means that in this section of the Interspace no insulating material is arranged. For example, air can be arranged in this section. This improves the transmission of thermal energy in exactly this subarea.
  • the head part has a stop edge or forms a stop edge.
  • the stop edge limits this a Einbring- or
  • Screw-in depth of the head part relative to the receiving part can only be screwed so deep into the receiving part until the receiving part, in particular an end face of the receiving part, formed on one of the stop edge
  • the stop edge may be provided or arranged or formed on a lateral surface of the head part.
  • Stop edge are provided by a sudden increase in the diameter of the head part in a threaded portion to a diameter of the head part in a following section, wherein the following section along the center line, in particular in the vertical direction, the head part follows the threaded portion.
  • the diameter of the passage opening decreases along or parallel to the center line of the head part from an inlet side end of the head part
  • Diameter at the inlet end is greater than the diameter at the end of the first section, wherein the diameter at the outlet end is greater than the diameter at the end of the first section corresponding to the beginning of the remaining section.
  • the diameter along the center line of the head part can thus be reduced and / or increased.
  • the diameter in a first alternative can exclusively increase or remain constant, in a second alternative it can only be reduced or constant stay or in a third alternative both increase and decrease as well as remain constant.
  • the inlet-side end of the passage opening may in this case designate the opening of the passage opening facing the receiving volume in the screwed-on state.
  • the outlet end may refer to the end of the passage opening opposite the inlet end.
  • the diameter can in this case in particular change continuously, preferably differentiable.
  • a receiving part is provided with a receiving volume. Furthermore, a head part is provided with an outlet opening. Further, the receiving part is provided with a threaded portion for mechanical connection with the head part. Next, the headboard with a corresponding
  • Threaded portion provided for mechanical connection with the receiving part.
  • the receiving part is or is formed of pyrolytic boron nitride.
  • the method advantageously makes it possible to produce a device according to one of the previously explained embodiments.
  • the threaded portion can be produced by a vapor deposition of boron nitride on a corresponding negative mold.
  • the evaporation device can continue the
  • FIG. 1 is a side view of a device according to the invention for receiving evaporative
  • FIG. 2 shows a cross section through a device according to the invention in one
  • Fig. 5 shows a cross section through a head part in a further embodiment
  • FIG. 6 shows a cross section through an evaporation device.
  • FIG. 1 is a perspective view of a device 1 according to the invention for receiving not shown evaporating material is shown.
  • the device 1 has a receiving part 2 with a receiving volume 3 (see FIG. 2). Furthermore, the device 1 has a head part 4 with an outlet opening 5 (see FIG. 2).
  • the receiving part 2 has a receiving part-side threaded portion 6 which is formed as an internal thread.
  • the receiving part-side threaded portion 6 has a number of turns of four.
  • the head part 4 has a head part-side threaded portion 7 which is formed as an external thread.
  • the receiving part-side threaded portion 6 and the head part-side threaded portion 7 in this case form corresponding threaded portions, which allow a mechanical connection of the receiving part and the head part 4.
  • the receiving part 2 is formed of pyrolytic boron nitride. Further illustrated is a vertical direction z, which is oriented in Fig. 1 from bottom to top.
  • the receiving part-side threaded portion 6 is in this case arranged at an upper end of the receiving part 2 and the head part-side threaded portion 7 at a lower end of the head part 4.
  • vaporization material arranged in the receiving part 2 is heated and can by the receiving volume 3 and through the
  • Outlet opening 5 emerge from the receiving volume 3 towards the substrate.
  • FIG. 2 shows a cross section through an apparatus 1 according to the invention. Shown again is the receiving part 2 and the head part 4, which are screwed together in the state shown in Fig. 2. Here, the receiving part-side threaded portion 6 interacts with the head portion side threaded portion. 7
  • the receiving part 2 has a first hollow cylindrical portion 8 and a bottom portion 9.
  • the bottom portion 9 is here formed hemispherical and closes the first hollow cylindrical portion 8 at a first end of the hollow cylindrical portion 8, which may also be referred to as the lower end, from.
  • a lower end denotes a lower end of the hollow cylindrical section 8 with respect to a vertical direction z.
  • the vertical direction z is oriented from bottom to top.
  • the hollow cylindrical portion 8 is open.
  • the receiving part-side threaded portion 6 is arranged on a vertical direction z upper end of the receiving part 2, in particular of the hollow cylindrical portion 8.
  • the receiving part-side threaded portion 6 in this case forms part of the lateral surface of the hollow cylindrical portion 8.
  • Outer surface of the hollow cylindrical portion 8 in the region of the receiving part side threaded portion 6 surveys and depressions on the receiving part side Form threaded portion 6 or part thereof. This advantageously makes possible a thin-walled design of the receiving part-side threaded section 6.
  • the passage opening 5 is formed in the cross-section carafe neck. This can mean that one
  • the diameter can remain constant in a first section and can be reduced in a second section, which adjoins the first section in the vertical direction z, until a second, in particular minimum, diameter is reached.
  • the diameter may increase again, e.g. to a further diameter (outlet diameter) which forms a diameter of the outlet opening 5 at a further end of the head part 4, which may also be referred to as an upper end. This can be the other
  • Fig. 3 is a cross section through the receiving part 2 shown in Fig. 1 is shown.
  • the first hollow cylindrical section 8 has a first inner diameter ID1 2.
  • a further hollow cylindrical portion 10 connects, which has a further inner diameter ID2 2, wherein the further inner diameter ID2 2 may be greater than the first inner diameter ID1 2.
  • the receiving part-side threaded section 6 is formed as a round thread.
  • a total height H_2 of the receiving part 2 which may for example be in a range of 250 mm to 600 mm.
  • FIG. 4 shows a cross section through the head part 4 shown in FIG.
  • the first diameter ID1 4 of the outlet opening is hereby smaller than the further inner diameter ID2 2 of the further hollow cylindrical section 10 shown in FIG of the receiving part 2.
  • a difference between the minimum outer diameter ADmin_7 and the first diameter ID1 4 of the outlet opening 5 in this case forms a minimum wall thickness of the head part 4. Further shown is a maximum
  • the head part 4 in this case comprises the head part side threaded portion 7, a first hollow cylindrical portion 27 and a further hollow cylindrical portion 28, wherein in the vertical direction z of the first hollow cylindrical portion 27 connects to the head part side threaded portion 7 and the further hollow cylindrical portion 28 to the first hollow cylindrical portion 27 ,
  • An outer diameter of the first hollow cylindrical portion 27 is larger than the maximum outer diameter ADmax_7 of the head portion side threaded portion 7.
  • the head part 4 forms stop edges 12 and surfaces for the receiving part 2,
  • An outer diameter of the further hollow cylindrical portion 28 is again smaller than the outer diameter of the first hollow cylindrical portion 27 and smaller than the first diameter ID1 4 of the outlet opening 5.
  • Outer diameter of the further hollow cylindrical portion 28 is greater than the minimum inner diameter of the outlet opening. 5
  • Fig. 5 shows a cross section through a head part 4 in a further embodiment.
  • the head part 4 shown in FIG. 5 has a holding section 13 for holding the head part 4 at one not
  • the holding portion 13 in this case has a hollow cylindrical portion 14 and forms this. Furthermore, the holding section 13 has an annular section 16 or forms it. About the annular portion 16, an upper end of the head part 4 are connected to an upper end of the hollow cylindrical portion 14. In particular, the annular portion 16 can the above-described first hollow cylindrical portion 27 of the head part 4 with the
  • Hohizylindriform portion 14 of the holding portion 13 connect.
  • the annular portion 16 and the hollow cylindrical portion 14 may be formed integrally.
  • headboard 4 and holding portion 13 may be integrally formed.
  • the hollow cylindrical portion 14 is in this case at a first end face, which may also be referred to as the lower end face, open.
  • the annular section 16 in this case forms an end face of the hollow cylindrical section 14 on a further end face, which may also be referred to as the upper end side.
  • the hollow cylindrical portion 14 has a closed further end.
  • the head part 4 or the head part structure shown in FIG. 4 is here in one
  • Inner volume of the hollow cylindrical portion 14 is disposed and protrudes at the first end of the hollow cylindrical portion 14 from this inner volume.
  • An inner diameter of the hollow cylindrical portion 14 is greater than a maximum outer diameter of the head part 4.
  • the head part 4 forms with the holding portion 13 a blind hole-like receiving opening 15 in the form of an annular recess, which can serve to receive portions of a support structure.
  • the annular gap blind hole-like receiving opening 15 is stepped, wherein an inner diameter of the hollow cylindrical portion 14 along the vertical direction z jump-like and / or steadily, in particular linear, change, in particular reduce, can.
  • Fig. 6 shows a cross section through a vertical direction z upper end of a
  • the evaporation device comprises a
  • Inventive device 1 for receiving evaporable material with a head part 4, which is formed according to the embodiment shown in Fig. 5. It is shown that the head part 4 is placed on an upper portion 17 of the evaporation device.
  • the evaporation device in this case comprises an at least partially hohizylinder-shaped heating device 18, which comprises a large part of the head part 4. Between the heating device 18 and the head part 4, at least in sections, an unspecified insulating material can be arranged.
  • the evaporation device comprises a hollow cylindrical insulating space 19 and a hollow cylinder-shaped cooling device 20, wherein the insulating space 19 is arranged between the cooling device 20 and the heating device 18.
  • Insulating space 19 denotes a cavity, e.g. a vacuumized cavity.
  • the insulating space 19 is enclosed by a hollow cylindrical insulating cylinder 22.
  • the cooling device 20 in turn consists of an outer cylinder and an inner cylinder, wherein between the inner and the outer cylinder, a cooling fluid can be arranged or flow.
  • this retaining ring 21 on the one hand forms a stop element for the insulating cylinder 22 and / or the cooling device 20 and on the other hand another hollow-cylindrical insulating sheet 23 jammed.
  • the insulating sheet 23 protrudes with its upper end into an annular groove in the annular portion 16.
  • the retaining ring 21 may in this case comprise an inner ring and an outer ring, wherein the outer ring rests against an outer circumferential surface of the insulating sheet 23 and the inner ring on an inner circumferential surface of the insulating sheet 23 , Further, the retaining ring 21 may comprise connecting webs for connecting the inner ring and the outer ring, which extend through slots in the insulating sheet 23, wherein the slots are arranged at the lower end of the insulating sheet 23.
  • the retaining ring 21 can be tensioned by a retaining screw 24.
  • the hollow cylindrical portion 14 is supported in particular via the retaining ring 21 and the retaining screw 24 and a support member 26 on the cooling device 20, in particular on an upper cooling jacket element 25 from.
  • the cooling jacket element 25 in this case closes off the cavity enclosed between the outer and inner cylinders of the cooling device 20.
  • a hanging attachment of the device 1 according to the invention is made possible.
  • this type of hanging attachment to parts of the evaporator device is only possible because the formation of the receiving part-side threaded portion as stiffening element sufficient mechanical strength of the device 1, in particular of the receiving part 2, guaranteed.
  • ID1_2 first inner diameter of the receiving part
  • ID2 2 further inner diameter of the receiving part
  • ID1 4 first inner diameter of the head part
  • ADmin_7 minimum outside diameter of the head part side threaded portion ADmax_7 maximum outside diameter of the head part side threaded portion

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut, wobei die Vorrichtung (1) ein Aufnahmeteil (2) mit einem Aufnahmevolumen (3) aufweist, wobei die Vorrichtung (1) ein Kopfteil (4) mit einer Auslassöffnung (5) aufweist, wobei das Aufnahmeteil (2) einen Gewindeabschnitt (6) zur mechanischen Verbindung mit dem Kopfteil (4) aufweist, wobei das Kopfteil (4) einen korrespondierenden Gewindeabschnitt (7) zu mechanischen Verbindung mit dem Aufnahmeteil (2) aufweist, wobei das Aufnahmeteil (2) aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung (1).

Description

VERDAMPUNGSTIEGEL
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.
Bei der Herstellung von Solarzellen können bestimmte Materialien durch ein
Aufdampfverfahren, insbesondere ein Vakuum-Aufdampfverfahren, auf einen
Trägerkörper oder Substrat aufgebracht werden. So können z.B. Kupfer, Indium, Gallium, Natriumfluorid, Kaliumfluorid und/oder Selen mittels eines solchen Aufdampfverfahrens in effizienter Weise auf einer Oberfläche des Trägerkörpers aufgebracht werden. Dies ermöglicht z.B. die Herstellung einer Solarzelle in einem so genannten
Dünnschichtverfahren.
Für ein solches Aufdampfverfahren, welches auch als thermisches
Verdampfungsverfahren bezeichnet werden kann, werden Verdampfungsvorrichtungen genutzt. Diese können z.B. Einrichtungen zur Erzeugung von thermischer Energie, Einrichtungen zur Übertragung thermischer Energie sowie mindestens eine Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut umfassen. Hierbei kann das Verdampfungsgut durch die Einrichtung zur Erzeugung und Übertragung thermischer Energie auf eine gewünschte Temperatur, z.B. eine Temperatur im Bereich von 1000°C bis 1200°C, erhitzt werden, wobei sich dann der entstehende Materialdampf zu einem Trägerkörper bzw. Substrat bewegt und dort kondensieren kann.
Nach Beendigung des Aufdampfverfahrens oder in einem Störungsfall kann Restmaterial in der Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut verbleiben. Das Entfernen dieses Restmaterials aus der Vorrichtung zur Aufnahme kann problematisch sein, insbesondere bei Vorrichtungen, bei der ein Durchmesser einer Befüllungs- oder Auslassöffnung kleiner als ein Durchmesser des eigentlichen Aufnahmevolumens ist.
Es sind verschiedene Verfahren zum Entfernen einer Restmaterialmenge in einem Tiegel bekannt, z.B. Ausschmelzen, Ausätzen oder die Verwendung eines offenen Tiegels, der in einen teilbaren Graphitsuszeptor eingebaut ist. Auch bekannt sind zweiteilige Vorrichtungen zur Aufnahme von Verdampfungsgut. So beschreibt die WO 2007/069865 A1 einen Tiegel mit einem Tiegelkörper und einer Kappe. Die Kappe kann hierbei an dem Tiegelkörper durch eine Gewindebefestigung befestigt werden.
Die US 4,812,326 offenbart eine Verdampfungsvorrichtung mit einem Tiegel und einer Kappe. Allerdings ist in dieser Druckschrift keine Verbindung des Tiegels und der Kappe durch ein Gewinde offenbart.
Die US 2007/0289526 A1 offenbart einen mehrteiligen Tiegel mit einem Basisteil und einem Oberteil. Diese können zusammengefügt werden. Auch in dieser Druckschrift ist keine Verbindung durch ein Gewinde offenbart.
Die US 2009/0229524 A1 offenbart eine Verdampfungsvorrichtung mit einem
zylindrischen Tiegel und einer Auslasseinheit, die an einem oberen Abschnitt des Tiegels angebracht werden kann. Auch diese Druckschrift offenbart keine Verbindung durch ein Gewinde.
Die US 2010/0040780 A1 offenbart einen Behälter für Verdampfungsgut. Ein zweiteiliger Tiegel umfasst ein Oberteil und ein Unterteil. Das Oberteil kann hierbei mit dem Unterteil zusammengefügt werden. Allerdings ist in dieser Druckschrift keine Verbindung durch ein Gewinde offenbart.
Die US 2010/0031878 A1 offenbart eine Aufbringvorrichtung mit einem Tiegel. Hierbei ist der Tiegel jedoch einteilig ausgeführt.
Die JP 2290963 A offenbart einen Tiegel mit einem Tiegeldeckel und einem Tiegelkörper. Hierbei ist offenbart, dass der Tiegelkörper und der Tiegeldeckel durch Gewindeteile aneinander fixiert werden können.
Es stellt sich das technische Problem, eine Vorrichtung zur Aufnahme von
Verdampfungsgut und ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung zu schaffen, welche ein Entfernen von Restgut vereinfacht, eine kontaminationsfreie
Aufnahme des Verdampfungsmaterials im Hochtemperaturbereich gewährleistet, gute Wärmeübertragungseigenschaften aufweist, möglichst reaktionsfrei unter dem Einfluss auftretender Prozessgase ist sowie eine hohe Korrosionsbeständigkeit und eine ausreichende mechanische Stabilität der Vorrichtung zum Be- und Entladen aufweist.
Die Lösung des technischen Problems ergibt sich durch die Gegenstände mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 14. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich durch die Unteransprüche.
Es ist eine Grundidee der Erfindung, eine zweiteilige Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut zu schaffen, die über eine Gewindeverbindung mechanisch verbindbar sind, wobei ein Aufnahmeteil aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet ist und somit eine hohe Korrosionsbeständigkeit aufweist. Gleichzeitig wird aber eine hohe mechanische Stabilität des Aufnahmeteils der Vorrichtung gewährleistet.
Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut. Die
Vorrichtung kann hierbei auch als Tiegel bezeichnet werden. Das Verdampfungsgut kann insbesondere Kupfer, Indium, Gallium, Natriumfluorid, Kaliumfluorid, Selen oder eine Mischung aus mindestens zwei dieser Materialien sein.
Die Vorrichtung umfasst ein Aufnahmeteil mit einem Aufnahmevolumen. Das
Aufnahmevolumen dient hierbei zur Aufnahme des Verdampfungsgutes. Dies bedeutet, dass das Verdampfungsgut, insbesondere im festen oder flüssigen Zustand, in dem Aufnahmevolumen angeordnet sein oder werden kann. Das Aufnahmeteil kann insbesondere zu einer Seite hin geöffnet sein. So kann das Aufnahmeteil z.B. einen hohlzylinderförmigen Abschnitt mit einem ersten stirnseitigen, geschlossenen Ende und einem weiteren stirnseitigen, offenen Ende aufweisen. Eine zentrale Mittellinie des Aufnahmeteils kann sich hierbei vom ersten stirnseitigen Ende zum weiteren stirnseitigen Ende erstrecken. An dem geschlossenen Ende kann das Aufnahmeteil beispielsweise einen teilkugelförmigen, insbesondere halbkugelförmigen, Abschnitt aufweisen.
Weiter weist die Vorrichtung ein Kopfteil mit zumindest einer Auslassöffnung auf. Die Auslassöffnung kann insbesondere als Durchlass- oder Durchgangsöffnung im Kopfteil ausgebildet sein. Hierbei sind verschiedene geometrische Ausbildungen der
Auslassöffnung vorstellbar. So kann die Auslassöffnung flaschenhalsförmig,
karaffenhalsförmig oder als, vorzugsweise dünnwandiger, Blender ausgebildet sein. Es ist aber auch vorstellbar, dass eine die Auslassöffnung umfassende oder einfassende Oberfläche als Oberfläche eines beliebigen Rotationskörpers ausgebildet sein kann.
Das Kopfteil kann beispielsweise eine erste einlassseitige Oberfläche und eine weitere, auslassseitige Oberfläche aufweisen, wobei die erste Oberfläche eine der weiteren Oberfläche gegenüberliegende Oberfläche des Kopfteils bezeichnen kann. Die
Auslassöffnung kann sich hierbei von der ersten Oberfläche hin zur weiteren Oberfläche erstrecken. Entlang einer zentralen Mittellinie des Kopfteils, die von der weiteren
Oberfläche hin zur ersten Oberfläche orientiert sein kann, kann sich ein Durchmesser der Auslassöffnung verändern. So kann z.B. ein Durchmesser in einem ersten Abschnitt konstant sein und einem Einlassdurchmesser entsprechen, sich dann auf einen
Minimaldurchmesser verringern und sich dann wieder auf einen Auslassdurchmesser erhöhen. Selbstverständlich sind jedoch auch andere Verläufe des Durchmessers vorstellbar, insbesondere ein konstanter Verlauf, ein sich verjüngender Verlauf oder ein sich verbreitender Verlauf des Durchmessers.
Nachfolgend wird auch auf eine Vertikalrichtung Bezug genommen, wobei die
Vertikalrichtung in Bezug auf das Aufnahmeteil vom ersten Ende zum weiteren Ende des Aufnahmeteils und in Bezug auf das Kopfteil von der ersten Oberfläche zur weiteren Oberfläche orientiert ist. Weiter kann die Vertikalrichtung jeweils parallel zu den zentralen Mittellinien des Aufnahme- und Kopfteils sein. In Bezug auf die Vertikalrichtung kann das geschlossene Ende des Aufnahmeteils auch als unteres Ende und das offene Ende auch als oberes Ende bezeichnet werden. Weiter kann die erste Oberfläche als untere
Oberfläche und die weitere Oberfläche als obere Oberfläche des Kopfteils bezeichnet werden.
Weiter weist das Aufnahmeteil einen Gewindeabschnitt zur mechanischen Verbindung mit dem Kopfteil auf. Der Gewindeabschnitt ist hierbei vorzugsweise im Bereich des weiteren, also oberen, Endes des Aufnahmeteils angeordnet. Hierbei kann der Gewindeabschnitt derart am Aufnahmeteil angeordnet sein, dass zwischen einem (oberen) Rand des weiteren Endes und dem Gewindeabschnitt kein Abstand oder ein vorbestimmter Abstand vorgesehen ist. Der Abstand kann hierbei entlang der vorhergehend erläuterten
Vertikalrichtung erfasst werden. Somit kann der Gewindeabschnitt unmittelbar an dem Rand des offenen (oberen) Endes anschließen oder mit dem vorbestimmten Abstand von diesem Rand beabstandet angeordnet sein. Dieser aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt kann insbesondere in oder an dem vorhergehend erläuterten hohlzylinderförmigen Abschnitt des Aufnahmeteils angeordnet sein.
Das Kopfteil weist einen korrespondierenden Gewindeabschnitt zur mechanischen Verbindung mit dem Aufnahmeteil auf. Dieser kopfteilseitige Gewindeabschnitt ist insbesondere im unteren Bereiche des Kopfteils angeordnet.
Somit kann das Aufnahmeteil mit dem Kopfteil über die Gewindeabschnitte mechanisch verbunden werden. Korrespondierend bedeutet hierbei, dass Gewindeparameter des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts auf Gewindeparameter des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts derart angepasst sind, dass eine stabile mechanische Verbindung möglich ist. Somit ist also eine zweiteilige Ausbildung der Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut beschrieben, wobei beide Teile über eine Gewindeverbindung mechanisch verbindbar sind. In einem verbundenen Zustand können dann die Mittellinien beider Teile kollinear angeordnet sein bzw. sich überlagern.
Die Gewindeparameter können hierbei derart gewählt werden, dass eine spielfreie mechanische Verbindung gewährleistet ist. Vorzugsweise wird jedoch eine mechanische Verbindung mit einem vorbestimmten Spiel bereitgestellt oder ermöglicht. Durch das Spiel können insbesondere fertigungsbedingte Toleranzen, die z.B. in Unebenheiten
resultieren, ausgeglichen werden. Auch kann das Spiel ein, insbesondere leichtgängiges, Verschrauben ermöglichen. Weiter können die Gewindeparameter angepasst an das jeweilige Material des Aufnahmeteils und des Kopfteils gewählt werden. Dies wird nachfolgend näher erläutert.
Ein Innendurchmesser des Aufnahmeteils kann zwischen 10 mm und 200 mm liegen. Ein Außendurchmesser des Aufnahmeteils kann zwischen 10,4 mm bis 200,4 mm liegen. Eine Wandstärke des Aufnahmeteils kann zwischen 0,4 mm bis 5,0 mm liegen.
Ein maximaler Durchmesser der Auslassöffnung kann hierbei kleiner als oder gleich einem maximalen Innendurchmesser des Aufnahmeteils sein. Ein maximaler
Außendurchmesser des Kopfteils kann hierbei größer als der maximale
Außendurchmesser des Aufnahmeteils sein.
Erfindungsgemäß ist der Aufnahmeteil aus pyrolytischem Bornitrid (pBN) ausgebildet. Die Verwendung von pyrolytischem Bornitrid für das Aufnahmeteil gewährleistet in vorteilhafter Weise, dass das Aufnahmeteil mit einer sehr hohen Korrosionsbeständigkeit ausgebildet ist und unter den üblichen Prozessbedingungen in einem Aufdampfprozess nur eine sehr geringe Kontamination des Verdampfungsguts verursacht.
Pyrolytisches Bornitrid weist in der Regel nur eine niedrige mechanische Festigkeit und Steifigkeit auf. Insbesondere ist ein Bauteil aus pyrolytischem Bornitrid leicht verformbar und leicht zerbrechlich, insbesondere wenn das Bauteil Löcher oder Einschneidungen aufweist. Bisher wurde daher davon ausgegangen, dass pyrolytisches Bornitrid mechanisch nicht dazu geeignet ist, einen Gewindeabschnitt auszubilden oder einen Gewindeabschnitt auf einem Bauteil aus pyrolytischem Bornitrid vorzusehen. Dies zeigt auch der eingangs erläuterte Stand der Technik. So sind in den Druckschriften US 2007/0289526 A1 , US 2010/0031878 A1 und US 2010/0040780 A1 , die jeweils pyrolytisches Bornitrid in Zusammenhang mit Tiegeln offenbaren, an keiner Stelle Gewindeabschnitte offenbart, die auf oder an einem Bauteil aus pyrolytischem Bornitrid vorgesehen sind.
Überraschenderweise hat sich jedoch gezeigt, dass auch an einem Aufnahmeteil aus pyrolytischem Bornitrid ein Gewindeabschnitt, insbesondere mit speziellen
Gewindeparametern, angeordnet bzw. ausgebildet werden kann.
Somit ergibt sich in Zusammenfassung in vorteilhafter Weise eine Vereinfachung der Entfernung von Restmaterial aus dem Aufnahmeteil, da Kopf- und Aufnahmeteil einfach mechanisch voneinander getrennt werden können. Weiter ergibt sich in vorteilhafter Weise eine zuverlässige mechanische Verbindung, die ohne Beeinträchtigung einer mechanischen Stabilität des Aufnahmeteils, insbesondere ohne Zerstörung, bereitgestellt werden kann.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils als Innengewinde ausgebildet, wobei der korrespondierende Gewindeabschnitt des Kopfteils als Außengewinde ausgebildet ist. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine kompakte Bauweise. Hierbei kann das Kopfteil eine Anschlagkante oder -fläche für einen Randabschnitt des Aufnahmeteils aufweisen oder ausbilden, wobei das Anschlagelement eine
Relativbewegung zwischen Aufnahmeteil und Kopfteil beim Verschrauben begrenzt. So kann z.B. das Kopfteil den Gewindeabschnitt und einen entlang der vorhergehend erläuterten Mittellinie des Kopfteils, insbesondere in Vertikalrichtung, auf den
Gewindeabschnitt folgenden Abschnitt aufweisen, wobei der Durchmesser des folgenden Abschnitts größer als ein Außendurchmesser des Gewindeabschnitts des Kopfteils ist und somit ein Vorsprung bzw. eine Anschlagfläche bereitgestellt wird.
Die Anschlagkante oder -fläche kann hierbei z.B. durch eine sprunghafte Zunahme des (Außen-)Durchmessers des Kopfteils vom Gewindeabschnitt zum folgenden Abschnitt bereitgestellt werden. Vorstellbar ist auch, dass der Durchmesser entlang der Mittellinie insbesondere in Vertikalrichtung, vom Gewindeabschnitt zum folgenden Abschnitt und/oder im folgenden Abschnitt, stetig zunimmt, z.B. linear. So kann der folgende Abschnitt eine kegelabschnittsförmige äußere Oberfläche aufweisen, deren Durchmesser entlang der Mittellinie, insbesondere in Vertikalrichtung, zunimmt. Hierdurch können gute Dichteigenschaften beim Verschrauben erzielt werden.
In einer alternativen Ausführungsform ist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils als Außengewinde ausgebildet, wobei der korrespondierende Gewindeabschnitt des Kopfteils als Innengewinde ausgebildet ist. Hierdurch wird es ermöglicht, ein Kopfteil mit größeren Auslassöffnungen herzustellen. Auch in diesem Fall kann das Kopfteil eine Anschlagkante oder -fläche für einen Randabschnitt des Aufnahmeteils aufweisen oder ausbilden.
In einer weiter bevorzugten Ausführungsform ist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils als Versteifungselement ausgebildet. Dies kann bedeuten, dass mindestens ein
Gewindeparameter des Gewindeabschnitts des Aufnahmeteils derart gewählt ist, dass eine gewünschte mechanische Stabilität des Aufnahmeteils bereitgestellt wird.
Entsprechend einer Funktion von Sicken können insbesondere die Vertiefungen des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts der Versteifung des Aufnahmeteils dienen.
Insbesondere kann der mindestens eine Gewindeparameter somit derart gewählt werden, dass eine Torsionsfestigkeit und/oder Schubfestigkeit und/oder eine Druckfestigkeit und/oder eine Zugfestigkeit und/oder eine Kompressionsfestigkeit und/oder eine Biegefestigkeit und/oder eine Scherfestigkeit des Aufnahmeteils mit dem Gewindeabschnitt größer ist als die eines Aufnahmeteils ohne Gewindeabschnitt. Hierbei weist das Aufnahmeteil ohne Gewindeabschnitt bis auf den Gewindeabschnitt die gleiche Ausbildung wie das Aufnahmeteil mit Gewindeabschnitt, insbesondere die gleiche Form und Dimensionen, auf. Hierdurch wird in vorteilhafter Weise die mechanische Festigkeit des Aufnahmeteils durch das Vorsehen des Gewindeabschnitts erhöht.
Dies ermöglicht in vorteilhafter Weise eine vereinfachte Handhabung der Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut, insbesondere eine vereinfachte Entnahme aus einer Verdampfungsvorrichtung. So kann z.B. die vorgeschlagene Vorrichtung auch schief, d.h. in einer Richtung, die nicht parallel zu einer Gravitationsrichtung ist, aus einer
Verdampfervorrichtung entnommen werden. Dies war bisher nur mit hoher Vorsicht und somit hohem Zeitaufwand möglich, da sich bei einer solchen schiefen Entnahme der aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildete Aufnahmeteil aufgrund von verbleibendem
Restmaterial, welches z.B. noch eine Gewicht bis zu 20 kg aufweisen kann, verformte und aufgrund der Verformung z.B. in mechanischen Kontakt mit weiteren Bauteilen der Verdampfungsvorrichtung, insbesondere mit Heizdrähten, treten konnte. Dies wiederum konnte zu einer Zerstörung oder Beschädigung dieser Bauteile sowie des Aufnahmeteils führen. Durch das Vorsehen eines Gewindeabschnitts wird eine derartige Verformung des Aufnahmeteils verringert oder gar verhindert, sodass nunmehr auch die vorhergehend beschriebene schiefe Entnahme möglich ist.
In einer weiteren Ausführungsform weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils eine Gewindesteigung aus einem Bereich zwischen 2 mm (einschließlich) und 50 mm
(einschließlich) auf.
Alternativ oder kumulativ weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils eine Gangzahl aus einem Bereich zwischen 1 (einschließlich) und 10 (einschließlich) auf.
Alternativ oder kumulativ weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils einen
Außendurchmesser aus einem Bereich zwischen 10 mm (einschließlich) und 200 mm (einschließlich) auf. Alternativ oder kumulativ weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils einen
Innendurchmesser aus dem Bereich zwischen 10 mm (einschließlich) und 200 mm (einschließlich) auf.
Alternativ oder kumulativ weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils einen
Kerndurchmesser aus einem Bereich zwischen 10 mm (einschließlich) und 200 mm (einschließlich) auf.
Selbstverständlich sind hierbei der Außendurchmesser, der Innendurchmesser und der Kerndurchmesser derart aneinander angepasst gewählt, dass ein Gewinde mit gewünschten Eigenschaften bereitgestellt wird.
Alternativ oder kumulativ weist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils einen
Flankenwinkel aus einem Bereich zwischen 20° (einschließlich) und 120° (einschließlich) auf.
Hierbei hat sich herausgestellt, dass mit einem oder mehreren Gewindeparametern aus den vorhergehend erläuterten Bereichen eine gewünschte mechanische Stabilität, insbesondere Festigkeit, des Aufnahmeteils erreicht werden kann, dies es ermöglicht, auch große Massen von Verdampfungsgut, z.B. Massen bis zu 40 kg, im Aufnahmeteil und ohne Verformung des Aufnahmeteils aufzubewahren und zu transportieren, insbesondere auch bei der vorhergehend erläuterten schiefen Entnahme. Hierbei sind die Gewindeparameter speziell an die Verwendung von pyrolytischem Bornitrid als Material für das Aufnahmeteil angepasst.
Die verschraubte Vorrichtung kann, insbesondere mit bereits im Aufnahmevolumen angeordneten Verdampfungsgut, als einteiliges Bauteil gehandhabt werden, wobei Verformungen, insbesondere des Aufnahmeteils verringert oder gar vermieden werden.
In einer weiteren Ausführungsform ist der Gewindeabschnitt des Aufnahmeteils als Rundgewinde ausgebildet. Hierdurch wird es ermöglicht, den Tiegel mit den bekannten Herstellungsverfahren für Aufnahmeteile aus pyrolytischen Bornitrid herzustellen.
In einer weiteren Ausführungsform ist das Kopfteil aus Graphit ausgebildet. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise, dass das Kopfteil eine ausreichende mechanische Festigkeit für die vorgeschlagene Gewindeverbindung aufweist. Gleichzeitig weist der Kopfteil eine gewünschte Wärmeleitfähigkeit auf und verursacht ebenfalls nur eine minimale Kontamination des Verdampfungsguts beim Verdampfen. Weiterhin ergibt sich in vorteilhafter Weise eine Kostenersparnis bei der Herstellung der vorgeschlagenen Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut.
Durch die Verwendung insbesondere dickwandiger Kopfteile aus Graphit ist es möglich, optimale Temperaturverteilungen zu erreichen. Zusätzlich kann eine Kondensation des Verdampfungsguts an dem Kopfteil vermieden werden.
Weiter ergibt sich in vorteilhafter Weise, dass durch ein Graphit-Kopfteil die Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut, insbesondere der Aufnahmeteil, gegen Zerstörung, insbesondere durch auf die vorgeschlagene Vorrichtung fallenden Glasbruch, z.B.
während der Herstellung von Solarzellen, geschützt werden kann.
In einer weiteren Ausführungsform ist eine maximale Wanddicke des Aufnahmeteils kleiner als oder gleich 5.0 mm, insbesondere kleiner als oder gleich 2.0 mm. Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine Anpassung an die Erfordernisse der Herstellung des Aufnahmeteils.
In einer weiteren Ausführungsform weist das Kopfteil mindestens ein Befestigungsmittel zur Anordnung des Kopfteils an einer Haltestruktur auf oder bildet ein solches
Befestigungsmittel aus. Dies kann auch bedeuten, dass das Befestigungsmittel an dem Kopfteil befestigt sein kann.
Das mindestens eine Befestigungsmittel kann hierbei derart ausgebildet sein, dass eine kraft- und/oder formschlüssige mechanische Verbindung mit der Haltestruktur möglich ist. Die Haltestruktur kann hierbei insbesondere ein weiteres Bauteil einer
Verdampfungsvorrichtung sein. Insbesondere kann die Haltestruktur zumindest teilweise durch eine Kühleinrichtung, beispielsweise einen Wandabschnitt einer solchen
Kühleinrichtung, ausgebildet sein. Alternativ oder kumulativ kann die Haltestruktur zumindest teilweise z.B. durch einen Gehäuseabschnitt der Verdampfungsvorrichtung ausgebildet sein. Das Befestigungsmittel kann beispielsweise in einem Befestigungsabschnitt des Kopfteils angeordnet oder ausgebildet sein, beispielsweise in Form einer Vertiefung und/oder Ausnehmung, insbesondere sacklochartige Vertiefung und/oder Ausnehmung.
Selbstverständlich sind jedoch auch andersartig ausgebildete Befestigungsmittel vorstellbar.
Beispielsweise kann das Kopfteil einen Teilabschnitt, insbesondere einen (hohl-) zylinderförmigen Teilabschnitt, aufweisen, wobei ein maximaler Durchmesser dieses Halteabschnitts größer ist als ein Außendurchmesser des Gewindeabschnitts des
Kopfteils. In einem Randabschnitt dieses Teilabschnitts, insbesondere einem
Randabschnitt, der sich von einem ersten Innendurchmesser bis zu einem weiteren Innendurchmesser des Teilabschnitts erstreckt, kann der Teilabschnitt Vertiefungen und/oder Ausnehmungen, insbesondere sacklochartig ausgebildete Vertiefungen, aufweisen. Hierbei kann der erste Innendurchmesser größer als der maximale
Außendurchmesser des Gewindeabschnitts gewählt werden. Der weitere
Innendurchmesser kann hierbei kleiner als oder gleich dem maximalen Durchmesser des Teilabschnitts gewählt werden. Insbesondere kann der Randabschnitt ein überstehender oder auskragender Abschnitt (des Teilabschnitts) des Kopfteils sein.
Das Befestigungsmittel kann hierbei auch ein Teilelement zur Herstellung einer mechanischen Verbindung bezeichnen, beispielsweise ein weiteres Gewinde, ein Element einer Rast- oder Klemmverbindung oder ein Element einer weiteren mechanischen Verbindung.
In einer weiteren Ausführungsform weist das Kopfteil zumindest einen Teilabschnitt auf, wobei sich ein Außendurchmesser des Kopfteils in diesem Teilabschnitt vergrößert. Der Teilabschnitt kann sich hierbei entlang oder parallel zu der Mittellinie des Kopfteils erstrecken. Insbesondere kann sich der Außendurchmesser in Vertikalrichtung
vergrößern.
Der Außendurchmesser kann sich hierbei entlang der bzw. parallel zu der Mittellinie sprungartig vergrößern. Alternativ kann sich der Außendurchmesser entlang der bzw. parallel zu der Mittellinie stetig vergrößern, insbesondere differenzierbar, vorzugsweise linear. Bei einer linearen Vergrößerung des Außendurchmessers kann der Kopfteil also einen teilkegelförmigen bzw. teilhohlkegelförmigen Abschnitt aufweisen.
Wie vorhergehend erläutert kann die Vergrößerung des Außendurchmessers zwischen dem Gewindeabschnitt und dem entlang der Mittellinie, insbesondere in Vertikalrichtung, auf den Gewindeabschnitt folgenden Abschnitt und/oder in dem auf den
Gewindeabschnitt folgenden Abschnitt erfolgen. Dies ist allerdings nicht zwingend. Die Vergrößerung kann auch zwischen und/oder in weiteren Abschnitten des Kopfteils entlang der Mittellinie des Kopfteils auftreten.
Insbesondere kann der Außendurchmesser größer als ein maximaler Außendurchmesser des Aufnahmeteils werden. Hierdurch können gute Dichteigenschaften beim
Verschrauben erzielt werden.
In einer weiteren Ausführungsform weist das Kopfteil zumindest einen Teilabschnitt mit einem vorbestimmten Außendurchmesser auf, wobei der vorbestimmte
Außendurchmesser des Teilabschnitts größer als der/die Außendurchmesser der
Teilabschnitte des Kopfteils ist, der/die entlang oder parallel zu der Mittellinie des Kopfteils benachbart zu dem Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser angeordnet ist/sind. Der/die Teilabschnitt(e), der/die entlang oder parallel zu der Mittellinie benachbart zu dem Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser angeordnet sind, können z.B. der/die Teilabschnitt(e) sein, auf den der Teilabschnitt mit dem
vorbestimmten Außendurchmesser entlang oder parallel zu der Mittellinie, insbesondere in Vertikalrichtung, folgt und/oder der entlang oder parallel zu der Mittellinie, insbesondere in Vertikalrichtung, auf den Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser folgt. Auch kann der vorbestimmte Außendurchmesser des Teilabschnitts größer als der/die Außendurchmesser aller weiteren Teilabschnitte des Kopfteils sein.
Somit kann das Kopfteil insbesondere einen hervorspringenden oder auskragenden Teilabschnitt aufweisen. Dieser hervorspringende Teilabschnitt kann beispielsweise die nachfolgend noch näher erläuterte Anschlagkante ausbilden. Der vorbestimmte
Außendurchmesser kann beispielsweise in einem Bereich zwischen 20 mm und 400 mm liegen.
Dieser Teilbereich mit dem vorbestimmten Außendurchmesser ermöglicht in vorteilhafter Weise eine verbesserte Übertragung von thermischer Energie in das Kopfteil. Dies wiederum führt in vorteilhafter Weise dazu, dass ein Zuwachsen der Durchlassöffnung des Kopfteils durch Verdampfungsgut minimiert oder vollständig verhindert werden kann.
Wird nämlich das Kopfteil, z.B. über die vorhergehend beschriebene Haltestruktur, in oder an einer Verdampfungsvorrichtung mit einer Heizeinrichtung angeordnet, so kann ein räumlicher Abstand zwischen dem Kopfteil und der Heizeinrichtung, z.B. eine durch mindestens einen Heizdraht ausgebildete Heizeinrichtung, im Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser reduziert werden. Dies kann insbesondere der Fall sein, wenn die Heizeinrichtung das Kopfteil umgibt oder umschließt. Hierdurch kann die thermische Energie, die in diesem Bereich von der Heizeinrichtung zum Kopfteil übertragen wird, erhöht werden.
Auch wird eine Anordnung aus einer Verdampfungsvorrichtung und einem Kopfteil beschrieben, wobei die Verdampfungseinrichtung eine Heizeinrichtung umfasst, wobei die Heizeinrichtung das Kopfteil oder zumindest einen Teilabschnitt des Kopfteils umschließt. So kann die Heizeinrichtung einen hohlzylinderförmigen Abschnitt umfassen oder einschließen, in dessen Innenvolumen das Kopfteil anordenbar ist. Das Kopfteil kann hierbei über eine Haltestruktur in der Verdampfungsvorrichtung angeordnet sein. Ein Innendurchmesser der Heizeinrichtung kann hierbei größer als ein maximaler
Außendurchmesser der Kopfteils bzw. des in der Heizeinrichtung angeordneten
Teilabschnitts des Kopfteils sein. Der Innendurchmesser der Heizeinrichtung ist vorzugweise konstant. Das Kopfteil kann hierbei den vorhergehend beschriebenen Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser aufweisen. Somit kann ein (radialer) Abstand zwischen Kopfteil und Heizeinrichtung in zumindest einem Teilabschnitt eines Zwischenraums zwischen Kopfteil und Heizeinrichtung kleiner als der/die Abstände in Teilabschnitten des Zwischenraums, der/die entlang oder parallel zu der Mittellinie des Kopfteils benachbart zu diesem Teilabschnitt des Zwischenraums angeordnet ist/sind, sein.
Es ist möglich, dass in dem Zwischenraum zwischen Kopfteil und Heizeinrichtung ein Isoliermaterial, insbesondere ein von Luft verschiedenes Isoliermaterial, zur thermischen Isolierung des Kopfteils angeordnet ist. Hierbei kann das Isoliermaterial in dem gesamten Zwischenraum angeordnet sein. Vorzugsweise ist jedoch der Teilabschnitt des
Zwischenraums im Bereich des Teilabschnitts des Kopfteils mit dem vorbestimmten Außendurchmesser isoliermaterialfrei. Dies bedeutet, dass in diesem Teilabschnitt des Zwischenraums kein Isoliermaterial angeordnet ist. Z.B. kann in diesem Teilabschnitt Luft angeordnet sein. Hierdurch verbessert sich die Übertragung thermischer Energie in genau diesem Teilbereich.
In einer weiteren Ausführungsform weist das Kopfteil eine Anschlagkante auf oder bildet eine Anschlagkante aus. Die Anschlagkante begrenzt hierbei eine Einbring- oder
Einschraubtiefe des Kopfteils relativ zum Aufnahmeteil. Insbesondere kann das Kopfteil nur so tief in das Aufnahmeteil eingeschraubt werden bis das Aufnahmeteil, insbesondere ein Stirnfläche des Aufnahmeteils, an eine von der Anschlagkante ausgebildete
Anschlagfläche anschlägt.
Hierbei kann die Anschlagkante an einer Mantelfläche des Kopfteils vorgesehen oder angeordnet oder ausgebildet sein. Wie vorhergehend bereits erläutert kann die
Anschlagkante durch eine sprunghafte Zunahme des Durchmessers des Kopfteils in einem Gewindeabschnitt zum einem Durchmesser des Kopfteils in einem folgenden Abschnitt bereitgestellt werden, wobei der folgende Abschnitt entlang der Mittellinie, insbesondere in Vertikalrichtung, des Kopfteils auf den Gewindeabschnitt folgt.
Hierdurch ergibt sich in vorteilhafter Weise eine mechanische Begrenzung der
Einschraubtiefe und somit eine verbesserte Handhabbarkeit der Vorrichtung.
In einer weiteren Ausführungsform verringert sich in einem ersten Teilabschnitt einer Durchlassöffnung des Kopfteils der Durchmesser der Durchlassöffnung entlang oder parallel zu der Mittellinie des Kopfteils von einem einlassseitigen Ende der
Durchlassöffnung hin zum auslassseitigen Ende, wobei sich der Durchmesser in dem verbleibenden Teilabschnitt wieder vergrößert. Dies kann bedeuten, dass der
Durchmesser am einlassseitigen Ende größer als der Durchmesser am Ende des ersten Teilabschnitts ist, wobei der Durchmesser am auslassseitigen Ende größer als der Durchmesser am Ende des ersten Teilabschnitts ist, der dem Anfang des verbleibenden Teilabschnitts entspricht. Zwischen dem einlassseitigen Ende und dem Ende des ersten Teilabschnitts und/oder zwischen dem Ende des ersten Teilabschnitts und dem auslassseitigen Ende kann sich der Durchmesser entlang der der Mittellinie des Kopfteils also verringern und/oder vergrößern. Z.B. kann der Durchmesser in einem Teilabschnitt der Durchlassöffnung sich in einer ersten Alternative ausschließlich vergrößern oder konstant bleiben, in einer zweiten Alternative ausschließlich verkleinern oder konstant bleiben oder sich in einer dritten Alternative sowohl vergrößern als auch verkleinern als auch konstant bleiben.
Das einlassseitige Ende der Durchlassöffnung kann hierbei die dem Aufnahmevolumen im verschraubten Zustand zugewandte Öffnung der Durchlassöffnung bezeichnen. Das auslassseitige Ende kann das dem einlassseitigen Ende gegenüberliegende Ende der Durchlassöffnung bezeichnen. Der Durchmesser kann sich hierbei insbesondere stetig, vorzugsweise differenzierbar, verändern. Vorzugsweise ist der Durchmesser der
Durchlassöffnung am einlassseitigen Ende größer als der Durchmesser am
auslassseitigen Ende.
Weiter vorgeschlagen wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut. Hierbei wird ein Aufnahmeteil mit einem Aufnahmevolumen bereitgestellt. Weiter wird ein Kopfteil mit einer Auslassöffnung bereitgestellt. Weiter wird das Aufnahmeteil mit einem Gewindeabschnitt zur mechanischen Verbindung mit dem Kopfteil bereitgestellt. Weiter wird das Kopfteil mit einem korrespondierenden
Gewindeabschnitt zur mechanischen Verbindung mit dem Aufnahmeteil bereitgestellt. Erfindungsgemäß ist oder wird das Aufnahmeteil aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet.
Das Verfahren ermöglicht in vorteilhafter Weise die Herstellung einer Vorrichtung gemäß einer der vorhergehend erläuterten Ausführungsform.
Insbesondere kann der Gewindeabschnitt durch eine Gasphasenabscheidung von Bornitrid auf einer entsprechenden Negativform hergestellt werden.
Auch beschrieben wird eine Verwendung der Vorrichtung gemäß einer der vorhergehend erläuterten Ausführungsformen in einer Verdampfungsvorrichtung zur Aufbringung von Verdampfungsgut auf einen Trägerkörper, insbesondere einem Substrat bei der
Herstellung einer Solarzelle.
Auch beschrieben wird eine Verdampfungsvorrichtung zur Aufbringung von
Verdampfungsgut auf einen Trägerkörper, insbesondere einem Substrat bei der
Herstellung einer Solarzelle, mit einer Vorrichtung gemäß einer der vorhergehend erläuterten Ausführungsformen. Die Verdampfungsvorrichtung kann weiter die
vorhergehend erläuterte Haltestruktur und/oder Heizeinrichtung umfassen. Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die Figuren zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut,
Fig. 2 einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem
zusammengeschraubten Zustand,
Fig. 3 einen Querschnitt durch ein Aufnahmeteil,
Fig. 4 einen Querschnitt durch ein Kopfteil in einer ersten Ausführungsform,
Fig. 5 einen Querschnitt durch ein Kopfteil in einer weiteren Ausführungsform und
Fig. 6 einen Querschnitt durch eine Verdampfungsvorrichtung.
Nachfolgend bezeichnen gleiche Bezugszeichen Elemente mit gleichen oder ähnlichen technischen Merkmalen.
In Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur Aufnahme von nicht dargestelltem Verdampfungsgut dargestellt. Die Vorrichtung 1 weist ein Aufnahmeteil 2 mit einem Aufnahmevolumen 3 (siehe Fig. 2) auf. Weiter weist die Vorrichtung 1 ein Kopfteil 4 mit einer Auslassöffnung 5 (siehe Fig. 2) auf.
Das Aufnahmeteil 2 weist einen aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitt 6 auf, der als Innengewinde ausgebildet ist. Hierbei ist dargestellt, dass der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 eine Gangzahl von Vier aufweist. Das Kopfteil 4 weist einen kopfteilseitigen Gewindeabschnitt 7 auf, der als Außengewinde ausgebildet ist.
Der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 und der kopfteilseitige Gewindeabschnitt 7 bilden hierbei korrespondierende Gewindeabschnitte, die eine mechanische Verbindung von Aufnahmeteil und Kopfteil 4 ermöglichen. Das Aufnahmeteil 2 ist aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet. Weiter dargestellt ist eine Vertikalrichtung z, die in Fig. 1 von unten nach oben orientiert ist. Der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 ist hierbei an einem oberen Ende des Aufnahmeteils 2 und der kopfteilseitige Gewindeabschnitt 7 an einem unteren Ende des Kopfteils 4 angeordnet.
Zum Verdampfen von Verdampfungsgut auf ein nicht dargestelltes Substrat,
insbesondere bei der Herstellung von Solarzellen, wird im Aufnahmeteil 2 angeordnetes Verdampfungsgut erhitzt und kann durch das Aufnahmevolumen 3 und durch die
Auslassöffnung 5 aus dem Aufnahmevolumen 3 hin zum Substrat austreten.
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 . Dargestellt ist wiederum das Aufnahmeteil 2 und das Kopfteil 4, die in dem in Fig. 2 dargestellten Zustand miteinander verschraubt sind. Hierbei wechselwirkt der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 mit dem kopfteilseitigen Gewindeabschnitt 7.
In Fig. 2 ist ersichtlich, dass das Aufnahmeteil 2 einen ersten hohizylinderförmigen Abschnitt 8 und einen Bodenabschnitt 9 aufweist. Der Bodenabschnitt 9 ist hierbei halbkugelförmig ausgebildet und schließt den ersten hohizylinderförmigen Abschnitt 8 an einem ersten Ende des hohizylinderförmigen Abschnitts 8, welches auch als unteres Ende bezeichnet werden kann, ab. Ein unteres Ende bezeichnet hierbei ein in Bezug auf eine Vertikalrichtung z unteres Ende des hohizylinderförmigen Abschnitts 8. Hierbei ist in Fig. 2 dargestellt, dass die Vertikalrichtung z von unten nach oben orientiert ist.
An einem weiteren Ende des hohizylinderförmigen Abschnitts 8, welches auch als oberes Ende bezeichnet werden kann, ist der hohlzylinderförmige Abschnitt 8 offen. Hierbei ist dargestellt, dass der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 an einem in Vertikalrichtung z oberen Ende des Aufnahmeteils 2, insbesondere des hohizylinderförmigen Abschnitts 8, angeordnet ist.
Der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 bildet hierbei einen Teil der Mantelfläche des hohizylinderförmigen Abschnitts 8 aus. Somit weist sowohl eine innenliegende
Mantelfläche des hohizylinderförmigen Abschnitts 8 als auch eine außenliegende
Mantelfläche des hohizylinderförmigen Abschnitts 8 im Bereich des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts 6 Erhebungen und Vertiefungen auf, die den aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitt 6 ausbilden bzw. Teil davon sind. Dies ermöglicht in vorteilhafter Weise eine dünnwandige Ausführung des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts 6.
Weiter dargestellt ist eine Durchlassöffnung 5 des Kopfteils 4. Die Durchlassöffnung 5 ist im Querschnitt karaffenhalsförmig ausgebildet. Dies kann bedeuten, dass ein
Durchmesser der Durchlassöffnung an einem ersten Ende des Kopfteils 4, welches auch als unteres Ende bezeichnet werden kann, einen ersten Durchmesser
(Einlassdurchmesser) aufweist. Entlang der Vertikalrichtung z kann der Durchmesser in einem ersten Abschnitt konstant bleiben und sich in einem zweiten Abschnitt, der sich in der Vertikalrichtung z an den ersten Abschnitt anschließt, verkleinern, bis ein zweiter, insbesondere minimaler, Durchmesser erreicht ist. In einem dritten Abschnitt, der sich in Vertikalrichtung z an den zweiten Abschnitt anschließt, kann sich der Durchmesser wieder vergrößern, z.B. auf einen weiteren Durchmesser (Auslassdurchmesser), der einen Durchmesser der Auslassöffnung 5 an einem weiteren Ende des Kopfteils 4, welches auch als oberes Ende bezeichnet werden kann, bildet. Hierbei kann der weitere
Durchmesser kleiner als der erste Durchmesser sein.
In Fig. 3 ist ein Querschnitt durch das in Fig. 1 dargestellte Aufnahmeteil 2 dargestellt. Hierbei ist dargestellt, dass der erste hohlzylinderförmige Abschnitt 8 einen ersten Innendurchmesser ID1 2 aufweist. Weiter ist dargestellt, dass sich in Vertikalrichtung z an den aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitt 6 ein weiterer hohlzylinderförmiger Abschnitt 10 anschließt, der einen weiteren Innendurchmesser ID2 2 aufweist, wobei der weitere Innendurchmesser ID2 2 größer als der erste Innendurchmesser ID1 2 sein kann. Weiter dargestellt ist eine Wandstärke WS_2 des Aufnahmeteils 2. In Fig. 3 ist insbesondere auch ersichtlich, dass der aufnahmeteilseitige Gewindeabschnitt 6 als Rundgewinde ausgebildet ist.
Weiter dargestellt ist eine Gesamthöhe H_2 des Aufnahmeteils 2, welche beispielsweise in einem Bereich von 250 mm bis 600 mm liegen kann.
Weiter dargestellt ist eine Höhe H10_2 des weiteren zylinderförmigen Abschnitts 10, welche in einem Bereich von 5 mm bis 15 mm liegen kann. Weiter dargestellt ist eine Höhe H6_2 des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts 6. Diese Höhe H6_2 kann zwischen 2 mm bis 100 mm, vorzugsweise zwischen 5 mm bis 45 mm, liegen. In Fig. 4 ist ein Querschnitt durch das in Fig. 1 dargestellte Kopfteil 4 dargestellt.
Ersichtlich ist wiederum die zu Fig. 2 beschriebene Durchlassöffnung 5. Weiter dargestellt ist ein erster Durchmesser ID1 4 der Auslassöffnung 5. Der erste Durchmesser ID1 4 der Auslassöffnung ist hierbei kleiner als der in Fig. 3 dargestellte weitere Innendurchmesser ID2 2 des weiteren hohlzylinderförmigen Abschnitts 10 des Aufnahmeteils 2.
Weiter dargestellt ist ein minimaler Außendurchmesser ADmin_7 des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts 7. Eine Differenz zwischen dem minimalen Außendurchmesser ADmin_7 und dem ersten Durchmesser ID1 4 der Auslassöffnung 5 bildet hierbei eine minimale Wandstärke des Kopfteils 4. Weiter dargestellt ist ein maximaler
Außendurchmesser ADmax_7 des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts 7.
Das Kopfteil 4 umfasst hierbei den kopfteilseitigen Gewindeabschnitt 7, einen ersten hohlzylinderförmigen Abschnitt 27 und einen weiteren hohlzylinderförmigen Abschnitt 28, wobei sich in Vertikalrichtung z der erste hohlzylinderförmige Abschnitt 27 an den kopfteilseitigen Gewindeabschnitt 7 und der weitere hohlzylinderförmige Abschnitt 28 an den ersten hohlzylinderförmigen 27 Abschnitt anschließt.
Ein Außendurchmesser des ersten hohlzylinderförmigen Abschnitts 27 ist größer als der maximale Außendurchmesser ADmax_7 des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts 7. Somit bildet das Kopfteil 4 Anschlagkanten 12 bzw. -flächen für das Aufnahmeteil 2,
insbesondere ein in Vertikalrichtung 7 oberes Ende bzw. obere Stirnseite des
Aufnahmeteils 2, aus.
Ein Außendurchmesser des weiteren hohlzylinderförmigen Abschnitts 28 ist wiederum kleiner als der Außendurchmesser des ersten hohlzylinderförmigen Abschnitts 27 und kleiner als der erste Durchmesser ID1 4 der Auslassöffnung 5. Allerdings ist der
Außendurchmesser des weiteren hohlzylinderförmigen Abschnitts 28 größer als der minimale Innendurchmesser der Auslassöffnung 5.
Fig. 5 zeigt einen Querschnitt durch ein Kopfteil 4 in einer weiteren Ausführungsform.
Im Unterschied zu dem in Fig. 4 dargestellten Kopfteil 4 weist das in Fig. 5 dargestellte Kopfteil 4 einen Halteabschnitt 13 zur Halterung des Kopfteils 4 an einer nicht
dargestellten Haltestruktur auf. Der Halteabschnitt 13 weist hierbei einen hohizylinderförmigen Teilabschnitt 14 auf bzw. bildet diesen aus. Weiter weist der Halteabschnitt 13 einen ringförmigen Teilabschnitt 16 auf bzw. bildet diesen aus. Über den ringförmigen Teilabschnitt 16 sind ein oberes Ende des Kopfteils 4 mit einem oberen Ende des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 verbunden. Insbesondere kann der ringförmige Teilabschnitt 16 den vorhergehend erläuterten ersten hohizylinderförmigen Abschnitt 27 des Kopfteils 4 mit dem
hohizylinderförmigen Teilabschnitt 14 des Halteabschnitts 13 verbinden. Der ringförmige Teilabschnitt 16 und der hohizylinderförmige Teilabschnitt 14 können hierbei einteilig ausgebildet sein. Auch können Kopfteil 4 und Halteabschnitt 13 einteilig ausgebildet sein.
Der hohizylinderförmige Teilabschnitt 14 ist hierbei an einer ersten Stirnseite, die auch als untere Stirnseite bezeichnet werden kann, offen. Der ringförmige Teilabschnitt 16 bildet hierbei eine Stirnfläche des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 an einer weiteren Stirnseite, die auch als obere Stirnseite bezeichnet werden kann. Somit weist der hohizylinderförmige Teilabschnitt 14 ein geschlossenes weiteres Ende auf.
Das Kopfteil 4 bzw. die in Fig. 4 dargestellte Kopfteilstruktur ist hierbei in einem
Innenvolumen des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 angeordnet und ragt an dem ersten Ende des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 aus diesem Innenvolumen heraus.
Ein Innendurchmesser des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 ist größer als ein maximaler Außendurchmesser des Kopfteils 4. Somit bildet das Kopfteil 4 mit dem Halteabschnitt 13 eine sacklochartige Aufnahmeöffnung 15 in Form einer ringförmigen Vertiefung aus, die zur Aufnahme von Abschnitten einer Tragstruktur dienen können. In Fig. 5 ist dargestellt, dass die ringspalt-sacklochartige Aufnahmeöffnung 15 gestuft ausgebildet ist, wobei sich ein Innendurchmesser des hohizylinderförmigen Teilabschnitts 14 entlang der Vertikalrichtung z sprungartig und/oder stetig, insbesondere linear, verändern, insbesondere verkleinern, kann.
Fig. 6 zeigt einen Querschnitt durch ein in Vertikalrichtung z oberes Ende einer
Verdampfungsvorrichtung. Die Verdampfungsvorrichtung umfasst hierbei eine
erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Aufnahme von Verdampfungsgut mit einem Kopfteil 4, welches entsprechend der in Fig. 5 dargestellten Ausführungsform ausgebildet ist. Es ist dargestellt, dass das Kopfteil 4 auf einen oberen Abschnitt 17 der Verdampfungsvorrichtung aufgesetzt ist. Die Verdampfungsvorrichtung umfasst hierbei eine zumindest teilweise hohizylinderförmige Heizeinrichtung 18, die einen Großteil des Kopfteils 4 umfasst. Zwischen der Heizeinrichtung 18 und dem Kopfteil 4 kann, zumindest abschnittsweise, ein nicht bezeichnetes Isoliermaterial angeordnet sein.
Weiter umfasst die Verdampfungsvorrichtung einen hohlzylinderförmig ausgebildeten Isolierraum 19 und eine hohizylinderförmige Kühleinrichtung 20, wobei der Isolierraum 19 zwischen der Kühleinrichtung 20 und der Heizeinrichtung 18 angeordnet ist. Der
Isolierraum 19 bezeichnet hierbei einen Hohlraum, z.B. einen vakuumisierten Hohlraum. Der Isolierraum 19 wird hierbei von einem hohlzylinderförmigen Isolierzylinder 22 eingefasst. Die Kühleinrichtung 20 wiederum besteht aus einem äußeren Zylinder und einem inneren Zylinder, wobei zwischen dem inneren und dem äußeren Zylinder ein Kühlfluid angeordnet sein bzw. strömen kann.
Hierbei ist dargestellt, dass ein oberes Ende der Heizeinrichtung 18, des Isolierraums 19 und der Kühleinrichtung 20 in die Aufnahmeöffnung 15 hineinragen bzw. in dieser Aufnahmeöffnung 15 angeordnet sind. Hierdurch stützt sich das Kopfteil 4 über den hohlzylinderförmigen Teilabschnitt 14, insbesondere über das untere Ende des hohlzylinderförmigen Teilabschnitts 14 und die durch die Stufen ausgebildeten
Anschlagfläche, auf der Kühleinrichtung 20 und einem Haltering 21 ab.
Weiter dargestellt ist dieser Haltering 21 , der einerseits ein Anschlagelement für den Isolierzylinder 22 und/oder die Kühleinrichtung 20 bildet und andererseits ein weiteres hohlzylinderförmiges Isolationsblech 23 verklemmt. Das Isolationsblech 23 ragt mit seinem oberen Ende in eine ringförmige Nut im ringförmigen Teilabschnitt 16. Der Haltering 21 kann hierbei einen Innenring und einen Außenring umfassen, wobei der Außenring an einer äußeren Mantelfläche des Isolationsblechs 23 und der Innenring an einer inneren Mantelfläche des Isolationsblechs 23 anliegt. Weiter kann der Haltering 21 Verbindungsstege zur Verbindung von Innenring und Außenring aufweisen, die sich durch Schlitze im Isolationsblech 23 erstrecken, wobei die Schlitze am unteren Ende des Isolationsblechs 23 angeordnet sind. Der Haltering 21 kann durch eine Halteschraube 24 gespannt werden. Der hohlzylinderförmige Teilabschnitt 14 stützt sich insbesondere über den Haltering 21 bzw. die Halteschraube 24 und ein Halterungselement 26 auf der Kühleinrichtung 20, insbesondere auf einem oberen Kühlmantelelement 25, ab. Das Kühlmantelelement 25 verschließt hierbei den zwischen dem äußeren und inneren Zylinder der Kühleinrichtung 20 eingeschlossenen Hohlraum.
Somit wird eine hängende Befestigung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ermöglicht. Diese Art der hängenden Befestigung an Teilen der Verdampfervorrichtung ist jedoch nur möglich, da die Ausbildung des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts als versteifendes Element eine ausreichende mechanische Festigkeit der Vorrichtung 1 , insbesondere des Aufnahmeteils 2, gewährleistet.
Bezugszeichenliste
1 Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut
2 Aufnahmeteil
3 Aufnahmevolumen
4 Kopfteil
5 Auslassöffnung
6 aufnahmeteilseitiger Gewindeabschnitt
7 kopfteilseitiger Gewindeabschnitt
8 hohlzylinderförmiger Abschnitt
9 halbkugelförmiger Abschnitt
10 weiterer hohlzylinderförmiger Abschnitt
12 Anschlagfläche
13 Halteabschnitt
14 hohlzylinderförmiger Teilabschnitt
15 Aufnahmeöffnung
16 ringförmiger Teilabschnitt
17 oberer Abschnitt
18 Heizeinrichtung
19 Isolierraum
20 Kühleinrichtung
21 Haltering
22 Isolierzylinder
23 Isolationsblech
24 Halteschraube
25 Kühlmantelelement
26 Halterungselement
27 erster hohlzylinderförmiger Abschnitt
28 weiterer hohlzylinderförmiger Abschnitt z Vertikalrichtung
ID1_2 erster Innendurchmesser des Aufnahmeteils
ID2 2 weiterer Innendurchmesser des Aufnahmeteils
WS_2 Wandstärke des Aufnahmeteils
H2 Gesamthöhe des Aufnahmeteils
H6_2 Höhe des aufnahmeteilseitigen Gewindeabschnitts H10_2 Höhe des weiteren hohizylinderförmigen Abschnitts
ID1 4 erster Innendurchmesser des Kopfteils
ADmin_7 minimaler Außendurchmesser des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts ADmax_7 maximaler Außendurchmesser des kopfteilseitigen Gewindeabschnitts

Claims

Patentansprüche
1 . Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut, wobei die Vorrichtung (1 ) ein
Aufnahmeteil (2) mit einem Aufnahmevolumen (3) aufweist, wobei die Vorrichtung (1 ) ein Kopfteil (4) mit einer Auslassöffnung (5) aufweist, wobei das Aufnahmeteil (2) einen Gewindeabschnitt (6) zur mechanischen Verbindung mit dem Kopfteil (4) aufweist, wobei das Kopfteil (4) einen korrespondierenden Gewindeabschnitt (7) zu mechanischen Verbindung mit dem Aufnahmeteil (2) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Aufnahmeteil (2) aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Gewindeabschnitt (6) des Aufnahmeteils (2) als Innengewinde ausgebildet ist, wobei der
korrespondierende Gewindeabschnitt (7) des Kopfteils (4) als Außengewinde ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Gewindeabschnitt (6) des Aufnahmeteils (2) als Außengewinde ausgebildet ist, wobei der
korrespondierende Gewindeabschnitt (7) des Kopfteils (4) als Innengewinde ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gewindeabschnitt (4) des Aufnahmeteils (2) als Versteifungselement ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gewindeabschnitt (6) des Aufnahmeteils (2) eine Steigung aus einem Bereich zwischen 2 mm und 50 mm und/oder eine Gangzahl aus einem Bereich zwischen 1 und 10 und/oder einen Außendurchmesser aus einem Bereich zwischen 10 mm und 200 mm und/oder einen Innendurchmesser aus einem Bereich zwischen 10 mm und 200 mm und/oder einen Kerndurchmesser aus einem Bereich zwischen 10 mm und 200 mm und/oder einen Flankenwinkel aus einem Bereich zwischen 30° und 120° aufweist.
6. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gewindeabschnitt (6) des Aufnahmeteils (2) als Rundgewinde ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopfteil (4) aus Grafit ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein maximale Wanddicke des Aufnahmeteils (2) kleiner als oder gleich 5.0 mm ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopfteil (4) mindestens ein Befestigungsmittel zur Anordnung des Kopfteils (4) an einer Haltestruktur aufweist oder ein solches Befestigungsmittel ausbildet.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopfteil (4) zumindest einen Teilabschnitt aufweist, wobei sich ein
Außendurchmesser des Kopfteils (4) in diesem Teilabschnitt vergrößert.
1 1 . Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopfteil (4) zumindest einen Teilabschnitt mit einem vorbestimmten
Außendurchmesser aufweist, wobei der vorbestimmte Außendurchmesser des Teilabschnitts größer als der/die Außendurchmesser der Teilabschnitte des Kopfteils (4) ist, der/die entlang der Mittellinie des Kopfteils (4) benachbart zu dem
Teilabschnitt mit dem vorbestimmten Außendurchmesser angeordnet ist/sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Kopfteil (4) eine Anschlagkante aufweist oder ausbildet.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass sich in einem ersten Teilabschnitt einer Durchlassöffnung (5) des Kopfteils (4) der Durchmesser der Durchlassöffnung (5) entlang der Mittellinie des Kopfteils (4) von einem einlassseitigen Ende der Durchlassöffnung (5) hin zum auslassseitigen Ende der Durchlassöffnung (5) verringert, wobei sich der Durchmesser in dem verbleibenden Teilabschnitt wieder vergrößert.
14. Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung (1 ) zur Aufnahme von Verdampfungsgut, wobei ein Aufnahmeteil (2) mit einem Aufnahmevolumen (3) bereitgestellt wird, wobei ein Kopfteil (4) mit einer Auslassöffnung (5) bereitgestellt wird, wobei das
Aufnahmeteil (2) mit einem Gewindeabschnitt (6) zur mechanischen Verbindung mit dem Kopfteil (4) bereitgestellt wird, wobei das Kopfteil (4) mit einem
korrespondierenden Gewindeabschnitt (7) zur mechanischen Verbindung mit dem Aufnahmeteil (2) bereitgestellt wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Aufnahmeteil (2) aus pyrolytischem Bornitrid ausgebildet ist.
EP15784684.1A 2014-10-23 2015-10-23 Verdampungstiegel Withdrawn EP3209810A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014221561.7A DE102014221561A1 (de) 2014-10-23 2014-10-23 Vorrichtung zur Aufnahme von Verdampfungsgut und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
PCT/EP2015/074569 WO2016062845A1 (de) 2014-10-23 2015-10-23 Verdampungstiegel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP3209810A1 true EP3209810A1 (de) 2017-08-30

Family

ID=54347540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP15784684.1A Withdrawn EP3209810A1 (de) 2014-10-23 2015-10-23 Verdampungstiegel

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP3209810A1 (de)
CN (1) CN107109627A (de)
DE (1) DE102014221561A1 (de)
WO (1) WO2016062845A1 (de)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63190163A (ja) * 1987-01-31 1988-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 蒸発源るつぼにおける気密構造

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3572672A (en) * 1968-11-22 1971-03-30 Rca Corp Vacuum evaporation apparatus
DE3590269T (de) * 1984-06-12 1986-06-05 Kievskij politechničeskij institut imeni 50-letija Velikoj Oktjabrskoj Socialističeskoj Revoljucii, Kiev Verfahren zum Aufbringen von dünnen Schichten durch Vakuumaufdampfen
JPS6353259A (ja) 1986-08-22 1988-03-07 Mitsubishi Electric Corp 薄膜形成方法
JPH02290963A (ja) 1989-04-28 1990-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 蒸着用るつぼ
JPH083748A (ja) * 1994-06-14 1996-01-09 Seiko Instr Inc 蒸着用坩堝およびその製造方法
WO2007069865A1 (en) 2005-12-16 2007-06-21 Doosan Mecatec Co., Ltd. Crucible assembly for deposition of organic thin film
US8747554B2 (en) 2006-06-20 2014-06-10 Momentive Performance Materials Inc. Multi-piece ceramic crucible and method for making thereof
KR100980729B1 (ko) 2006-07-03 2010-09-07 주식회사 야스 증착 공정용 다중 노즐 증발원
WO2010019218A2 (en) 2008-08-11 2010-02-18 Veeco Instruments Inc. Electrical contacts for use with vacuum deposition sources
US8512806B2 (en) 2008-08-12 2013-08-20 Momentive Performance Materials Inc. Large volume evaporation source
CN101619439A (zh) * 2009-07-23 2010-01-06 东南大学 有机材料纳米团簇热蒸发制备方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63190163A (ja) * 1987-01-31 1988-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 蒸発源るつぼにおける気密構造

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of WO2016062845A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102014221561A1 (de) 2016-04-28
CN107109627A (zh) 2017-08-29
WO2016062845A1 (de) 2016-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102011102990B4 (de) Vakuumventil
EP2271787B1 (de) Verdampferkörper
EP2782676B1 (de) Vapor chamber
WO2006095018A1 (de) Strukturelement eines flugzeugs mit einem hohlraum und einem drainageelement
DE202010002486U1 (de) Spann- und Kontaktierungsvorrichtung für Silizium-Dünnstäbe
DE112010000454B4 (de) Transportwalze mit endkappen
WO2015128169A1 (de) Vakuumventil
EP0684002A1 (de) Wärmeisolierende Flasche sowie Verfahren zu deren Herstellung
EP3198208A1 (de) Wärmespeicherkomponente und damit ausgerüstete wärmetauscher, insbesondere für rauchgasreinigungsanlagen von kraftwerken
EP0663024A1 (de) Düsenplattenhalterung und spinnbalken zum schmelzespinnen endloser fäden
EP1862564B1 (de) Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien mit einem Verdampferrohr
WO2020088878A1 (de) Verbindungseinheit zum verbinden von zwei bauteilen mit einem abstand dazwischen
DE29601288U1 (de) Beschichtungskammer und Substratträger hierfür
WO2016062845A1 (de) Verdampungstiegel
WO2016079232A1 (de) Vorrichtung zum beschichten eines grossflächigen substrats
DE102011084218B4 (de) Endkappe und Transportwalze mit Endkappen
WO2007045474A1 (de) Cremetiegel
EP3289232B1 (de) Spannmutter
DE102012202086A1 (de) Prozesswalze zur Aufnahme und Führung von bandförmigen Substraten in Vakuum-Beschichtungsanlagen
EP3669111A1 (de) Verschlussvorrichtung
DE1451089A1 (de) Kuehlanordnung
WO2020049187A1 (de) Rohrverschluss für ein prozessrohr und prozesseinheit
EP4210769A1 (de) Verdampfervorrichtung, insbesondere sterilisationsverdampfervorrichtung, zu einem verdampfen einer flüssigkeit und/oder eines aerosols
DE102022114968A1 (de) Isolierende Stempelplatte, Schmiedepresse sowie keramischer Isolierkörper
WO2012027763A1 (de) Vorrichtung zur verbindung einer vakuumkammer mit einem vakuumventil

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20170516

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: MATHIASSON, JOHAN

Inventor name: KRAUSE, FALK

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20180425

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20200420

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20200901

19U Interruption of proceedings before grant

Effective date: 20191023